JP6551577B2

JP6551577B2 - 液体噴射装置

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Publication number: JP6551577B2
Application number: JP2018115161A
Authority: JP
Inventors: 弘樹宮嶋; 光浩小関
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2018-06-18
Filing date: 2018-06-18
Publication date: 2019-07-31
Anticipated expiration: 2034-02-28
Also published as: JP2018183999A

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドと、液体噴射ヘッドに対して被噴射媒体を搬送する第１搬送ローラー及び第２搬送ローラーと、を具備する液体噴射装置に関する。

液体噴射装置としては、例えば、液体としてインクをインク滴として吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備し、インクジェット式記録ヘッドのノズルから吐出されたインク滴を記録用紙等の被噴射媒体に着弾させてドットを形成することで画像等の記録を行うインクジェット式記録装置が挙げられる。

このようなインクジェット式記録装置では、被噴射媒体の搬送方向において、インクジェット式記録ヘッドを挟んだ上流及び下流のそれぞれに第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとを設け、第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとの間で搬送・保持された被噴射媒体にインクジェット式記録ヘッドから噴射されたインク滴を着弾させる（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００−２３３５４６号公報

しかしながら、第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとの距離が離れていると、インクジェット式記録装置が大型化してしまうと共に、第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとの間で被噴射媒体の浮き上がりが発生するなど、被噴射媒体の姿勢の制御が困難で、インクジェット式記録ヘッドから噴射されたインク滴の着弾位置がずれてしまうという問題がある。

また、第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとを近接して設けるには、インクジェット式記録ヘッドを第１搬送ローラー及び第２搬送ローラーとは干渉しない位置まで、被噴射媒体から離れる方向に移動して配置しなくてはならず、インクジェット式記録装置が液体噴射方向に大型化してしまうという問題がある。また、インクジェット式記録ヘッドのインク滴が噴射される液体噴射面と被噴射媒体との距離が離れると、インク滴の着弾位置ずれが生じると共に印刷速度が低下してしまうという問題がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、被噴射媒体の姿勢の制御を容易にして、液体の着弾位置ずれ及び印刷速度の低下を抑制して、小型化を図ることができる液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、第１搬送ローラーと、該第１搬送ローラーとの間で被噴射媒体を搬送する第２搬送ローラーと、前記第１搬送ローラーと前記第２搬送ローラーとの間に配置され、搬送された前記被噴射媒体に向けて液体を噴射する複数のノズル開口と、該複数のノズル開口に連通する流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、一方の面が前記液体が噴射される方向と対向するように配置され、前記圧力発生手段と電気的に接続された配線基板と、を具備する液体噴射ヘッドと、を具備し、前記配線基板は、前記第１搬送ローラーと前記第２搬送ローラーとの間に配置されると共に、前記第１搬送ローラー及び前記第２搬送ローラーに重ならない位置に配置されており、前記第１搬送ローラー及び前記第２搬送ローラーの少なくとも何れか一方は、前記液体噴射ヘッドに重なる位置に配置されていることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、第１搬送ローラー及び第２搬送ローラーの少なくとも一方を液体噴射ヘッドに重なる位置に配置すると共に、配線基板を第１搬送ローラー及び第２搬送ローラーに重ならない位置に配置することで、液体噴射面と被噴射媒体との間隔を広げることなく、また、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置が液体噴射方向に大型化することなく、液体噴射ヘッドに重なる位置に第１搬送ローラー及び第２搬送ローラーの少なくとも一方に関連する従動ローラー等を配置する空間を確保することができる。そして、第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとの距離を短くすることができるため、第１搬送ローラーと第２搬送ローラーとの間で保持される被噴射媒体の浮き上がり等を抑制して、被噴射媒体の姿勢を高精度に固定することができると共に、液体噴射装置の被噴射媒体の搬送方向の小型化を図ることができる。また、配線基板を液体噴射面に近い位置に配置することができ、配線基板と圧力発生手段とを接続する配線部材を短くして小型化及び低コスト化を図ることができる。

ここで、前記液体噴射ヘッドは、液体を噴射するヘッド本体と、該ヘッド本体を保持する保持部材と、を具備し、前記配線基板は、前記保持部材の内側に収容されていることが好ましい。これによれば、配線基板に液体が付着するのを抑制して、配線の短絡や電子部品の故障を抑制することができる。

また、前記配線基板には、可撓性基板と接続されるコネクターが設けられており、該コネクターに接続された前記可撓性基板は、前記搬送方向と交差した方向に導出されていることが好ましい。これによれば、コネクターに接続される可撓性基板を搬送方向と交差した方向から導出させることで、液体噴射ヘッドの搬送方向の幅をさらに小さくすることができる。

また、前記液体噴射ヘッドに重なる位置に配置された前記第１搬送ローラー及び前記第２搬送ローラーの少なくとも一方は、前記液体噴射ヘッドに設けられた流路に重なる位置に配置されていることが好ましい。これによれば、流路を広いスペースに形成することができる。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。本発明の実施形態１に係るヘッド本体の平面図である。本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部の分解斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部の断面図である。本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録装置の要部の平面図である。本発明の実施形態１に係る記録装置の要部の断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。

（実施形態１）
最初に本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図である。

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１は、流路部材１３０と、流路部材１３０に固定された保持部材１４０と、保持部材１４０に固定された複数のヘッド本体１５０と、ヘッド本体１５０の液体噴射面側を覆うカバーヘッド１６０と、を具備する。

まず、ヘッド本体１５０について、さらに図４〜図５を参照して詳細に説明する。なお、図４は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図５は、ヘッド本体の液体噴射面側の平面図であり、図６は図５のＡ−Ａ′線断面図である。

図示するように、本実施形態のヘッド本体１５０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０及びケース部材等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。

流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ₂あるいはＡｌ₂Ｏ₃を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ₃のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｄ１と称する。また、本実施形態では、第１の方向Ｄ１において、詳しくは後述する流路部材１３０が保持部材１４０よりも突出した一端側をＤ１Ａ側と称し、反対側の他端部側をＤ１Ｂ側と称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｄ１に並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｄ１に沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列並べられた方向を、以降、第２の方向Ｄ２と称する。さらに、第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２の双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｄ３と称する。なお、本実施形態では、説明理解を容易にするために各方向（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるべきものでないことを言及しておく。また、本実施形態では、圧力発生室１２が第１の方向Ｄ１に並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が第１の方向Ｄ１で隣り合う圧力発生室１２の間隔の半分だけ第１の方向Ｄ１にずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけ第１の方向Ｄ１にずれて配置されて、第１の方向Ｄ１の解像度を２倍にしている。もちろん、２列の圧力発生室１２の第１の方向Ｄ１の位置を同じ位置として、圧力発生室１２の列毎に異なるインクが供給されるようにしてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側（積層方向であって第３の方向Ｄ３）には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部（絞り流路、オリフィス流路）１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｄ２の一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

このような連通板１５としては、ステンレスやＮｉなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックなどを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｄ１に並設され、この第１の方向Ｄ１に並設されたノズル開口２１の列（ノズル列）が第２の方向Ｄ２に２列形成されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する第３の方向Ｄ３の一方面を液体噴射面２０ａと称する。なお、液体噴射面２０ａの面方向に直交する方向、すなわち、本実施形態の第３の方向Ｄ３がインクが噴射される液体噴射方向となる。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、本実施形態では、成膜及びリソグラフィー法によって積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方又は両方を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護して収容するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、厚さ方向である第３の方向Ｄ３に貫通する貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の第２電極８０に接続された一端部とは反対側の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線部材１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、このような構成のヘッド本体１５０には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１５０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１５０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１５０とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。

なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。本実施形態では、１つのヘッド本体１５０には２つの独立したマニホールド１００が設けられているため、導入路４４はマニホールド１００毎に、すなわち合計２個設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

このような構成のヘッド本体１５０では、インクを噴射する際に、インクカートリッジ２から流路部材１３０を介して導入路４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

このようなヘッド本体１５０は、図１〜図３に示すように、保持部材１４０にノズル列の並び方向、すなわち、第２の方向Ｄ２に所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１には、ノズル開口２１が並設されたノズル列が８列設けられていることになる。このように複数のヘッド本体１５０を用いてノズル列の多列化を図ることで、１つのヘッド本体１５０にノズル列を多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列の多列化を図るために複数のヘッド本体１５０を用いることで、１枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体１５０の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。

ここで、保持部材１４０について、図７及び図８を参照してさらに詳細に説明する。なお、図７は、インクジェット式記録ヘッドの要部を示す分解斜視図であり、図８は、インクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。

図７に示すように、保持部材１４０は、第３の方向Ｄ３の一方面側（記録シートＳ側）には、内部にヘッド本体１５０が収容保持されるヘッド本体保持部１４１が設けられている。ヘッド本体保持部１４１は、保持部材１４０の記録シートＳ側の面に開口する凹形状を有する。本実施形態では、ヘッド本体保持部１４１は、４つのヘッド本体１５０が収容可能な大きさで形成されている。そして、ヘッド本体保持部１４１内には、４つのヘッド本体１５０が収容されている。本実施形態では、ヘッド本体１５０のケース部材４０の液体噴射面２０ａとは反対面をヘッド本体保持部１４１の底面に固定されることで保持されている。

また、保持部材１４０のヘッド本体保持部１４１側の面には、ヘッド本体保持部１４１の開口を覆うカバーヘッド１６０が設けられている。

カバーヘッド１６０は、ヘッド本体１５０の液体噴射面２０ａを露出する露出開口部１６１を有する板状部材からなる。露出開口部１６１は、各ヘッド本体１５０の液体噴射面２０ａを独立して露出するように４つ形成されている（図６参照）。このような露出開口部１６１は、本実施形態では、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５と同じ開口を有する。

このようなカバーヘッド１６０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対側に接合されており、コンプライアンス部４９にインクが付着するのを抑制している。

さらに、図７及び図８に示すように、保持部材１４０の第３の方向Ｄ３の他方面側、すなわち、流路部材１３０側には、内部に配線基板１７０が収容される配線基板保持部１４２が設けられている。配線基板保持部１４２内には、配線基板１７０が、インクを噴射する噴射方向である第３の方向Ｄ３に対向して配置されている。すなわち、配線基板１７０は、本実施形態ではリジット基板からなり、配線基板１７０が第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２を含む面方向となるように配線基板保持部１４２内に収容されている。

配線基板保持部１４２は、ヘッド本体保持部１４１よりも第２の方向Ｄ２の両側に突出して設けられている。すなわち、配線基板１７０は、第２の方向Ｄ２において、保持された４つのヘッド本体１５０よりも大きな幅を有する。したがって、配線基板１７０が保持される配線基板保持部１４２は、４つのヘッド本体１５０を収容するヘッド本体保持部１４１よりも第２の方向Ｄ２の両側に突出して設けられている。なお、配線基板１７０の第１の方向Ｄ１の幅は、ヘッド本体１５０、すなわち、ヘッド本体保持部１４１の第１の方向Ｄ１の幅と略同等の幅を有する。このような配線基板保持部１４２は、詳しくは後述するが、第３の方向Ｄ３の液体噴射面２０ａとは反対側の開口が流路部材１３０によって封止される。これにより、配線基板１７０は、保持部材１４０の配線基板保持部１４２内に収容される。このように、配線基板１７０を保持部材１４０内に収容することで、配線基板１７０にインクが付着することによる配線の短絡や搭載された電子部品の故障等を抑制することができる。

また、保持部材１４０には、流路部材１３０から供給されたインクをヘッド本体１５０に供給するための接続流路１４３が設けられている。本実施形態では、接続流路１４３は、ヘッド本体１５０の導入路４４毎に設けられている。すなわち、１つのヘッド本体１５０には、２個の導入路４４が設けられているため、４個のヘッド本体１５０に対して合計８個の接続流路１４３が設けられている。なお、接続流路１４３は、一端が配線基板保持部１４２内に突出して設けられた第１突起部１４４の端面に開口して設けられている。また、接続流路１４３の他端は、ヘッド本体保持部１４１の底面に開口して設けられている。第１突起部１４４の端面に開口する一端が流路部材１３０に接続され、ヘッド本体保持部１４１の底面に開口する他端がヘッド本体１５０の導入路４４に接続される。これにより、流路部材１３０からのインクは、接続流路１４３を介してヘッド本体１５０に供給される。

また、保持部材１４０には、第１の方向Ｄ１において、１つのヘッド本体１５０毎に設けられた２個の接続流路１４３の間に、配線部材１２１を挿通するための配線部材挿通孔１４５が設けられている。配線部材挿通孔１４５は、ヘッド本体１５０の接続口４３に挿通して、配線部材１２１をヘッド本体１５０側から流路部材１３０側に挿通するためのものである。このような配線部材挿通孔１４５は、ヘッド本体１５０の第１の方向Ｄ１の幅と略同じ幅の開口で設けられている。

また、配線基板１７０には、第１突起部１４４を挿通する第１挿通孔１７１と、配線部材１２１を挿通する第２挿通孔１７２と、が設けられている。そして、第２挿通孔１７２を挿通された配線部材１２１は、液体噴射面２０ａとは反対側の面において、配線基板１７０と接続されている。なお、配線基板１７０と配線部材１２１との接続方法は特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付けなどのろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等が挙げられる。

また、配線基板１７０には、第２の方向Ｄ２の両端部にコネクター１７３が設けられている。コネクター１７３は、本実施形態では、第３の方向Ｄ３において、配線基板１７０のヘッド本体１５０とは反対面側に固定されている。そして、保持部材１４０には、コネクター１７３に相対向する側壁に配線基板保持部１４２と外部とを連通する接続孔１４６が設けられており、コネクター１７３は、接続孔１４６によって外部に露出される。これにより、コネクター１７３には、インクジェット式記録ヘッド１の外部からＦＰＣ、ＦＦＣ等のフレキシブル基板である可撓性基板４００が接続される（図１参照）。すなわち、本実施形態のコネクター１７３に接続された外部配線である可撓性基板４００は、インクジェット式記録ヘッド１の第２の方向Ｄ２に導出される。なお、本実施形態では、詳しくは後述するが、インクジェット式記録ヘッド１は、第２の方向Ｄ２がインクジェット式記録装置Ｉの搬送方向Ｘと交差するＹ方向となるように搭載されるため、可撓性基板４００の導出方向は、インクジェット式記録装置ＩにおいてＹ方向となる。

このような保持部材１４０の配線基板保持部１４２側には、図１〜図３に示すように、流路部材１３０が接合されている。

ここで、図１〜３を参照して流路部材１３０について説明する。図示するように、流路部材１３０は、ケース部材１３１と、ケース部材１３１の内部に収容された流路形成部材１３５と、を具備する。

ケース部材１３１は、中空の箱形状を有し、第１ケース部材１３２と第２ケース部材１３３とに分割された２つの部材が固定されて構成されている。このようなケース部材１３１の内部には、空間である収容部１３４が形成されており、この収容部１３４内に流路形成部材１３５が収容されている。

ケース部材１３１に収容される流路形成部材１３５は、特に図示していないが、例えば、インクに含まれる気泡や異物を除去するフィルターや、流路内のインクの圧力に応じて流路を開閉する弁体等の各機能部が設けられた機能部材である。また、流路形成部材１３５には、ヒーター等の加熱手段が設けられていてもよい。本実施形態の流路形成部材１３５は、複数の部材、例えば、３つの部材を第３の方向Ｄ３に積層することで構成されている。このような流路形成部材１３５の内部には、流路１３５１が設けられており、流路１３５１の一端は、第１ケース部材１３２側に開口して設けられて、インクが供給されるインク供給口１３５１ａとなっている。また、特に図示していないが、流路１３５１の他端は、第２ケース部材１３３側に開口して設けられている。なお、本実施形態では、インク供給口１３５１ａは、流路形成部材１３５の第１の方向Ｄ１の一端部側に設けられており、流路１３５１の他端は、記録シートＳを平面視、すなわち、第３の方向Ｄ３から平面視した際に、保持部材１４０に重なる位置に配置されている。これにより、流路１３５１からのインクは、保持部材１４０を介してヘッド本体１５０に供給可能となっている。

第１ケース部材１３２には、インク供給口１３５１ａを露出する開口部１３２１が設けられている。開口部１３２１によって露出されたインク供給口１３５１ａにインクカートリッジ２が直接又は他の流路部材やチューブ等の供給管を介して接続されてインクが供給される。

また、図８に示すように、第２ケース部材１３３と流路形成部材１３５との間には、供給部材１３６が設けられている。

供給部材１３６には、流路形成部材１３５の流路１３５１（図３参照）に連通すると共に保持部材１４０に連通する第１供給流路１３６１が設けられている。第１供給流路１３６１は、一端が流路形成部材１３５側に突出して設けられた第２突起部１３６２の端面に開口して設けられている。また、第１供給流路１３６１の他端は、第２ケース部材１３３側に開口して設けられており、第２ケース部材１３３側に内径が拡幅された第１液体溜まり部１３６３が設けられている。

第２ケース部材１３３には、第２供給流路１３３１が設けられている。第２供給流路１３３１の供給部材１３６側の開口部分は、第１液体溜まり部１３６３に対応して拡幅された第２液体溜まり部１３３２となっており、第２液体溜まり部１３３２の開口部分（第１液体溜まり部１３６３と第２液体溜まり部１３３２との間）には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター１３７が設けられている。これにより、第１供給流路１３６１から供給されたインクは、フィルター１３７を介して第２供給流路１３３１に供給される。

また、第２供給流路１３３１は、第２液体溜まり部１３３２よりも下流側（保持部材１４０側）で、２つに分岐されている。すなわち、本実施形態では、供給部材１３６には、４つの第１供給流路１３６１が設けられ、第２ケース部材１３３には、８個の第２供給流路１３３１が設けられている。つまり、流路形成部材１３５のインク供給口１３５ａは、第１供給流路１３６１と同じ４個形成されている。

このように、フィルター１３７よりも上流の第１供給流路１３６１の数を減らすことで、第１供給流路１３６１を形成する領域を確保するために流路部材１３０が大型化するのを抑制することができる。また、フィルター１３７よりも下流の第２供給流路１３３１の２つに対して１つの共通するフィルター１３７を設けることで、フィルター１３７を接合する面積や、隣り合う第１液体溜まり部１３６３（第２液体溜まり部１３３２）同士が連通しないように隔離する壁などを設けるスペースを減少させて、流路部材１３０の小型化を図ることができる。

このような流路部材１３０は、保持部材１４０の配線基板保持部１４２側に固定される。また、保持部材１４０と流路部材１３０との間には、接続流路１４３と第２供給流路１３３１とを接続する接続連通路１８１が設けられたシール部材１８０が設けられている。シール部材１８０によって接続流路１４３と第２供給流路１３３１とが密封された状態で接続されている。

なお、流路部材１３０は、第１の方向Ｄ１の幅が保持部材１４０よりも大きな幅を有する。これは、上述のように、流路形成部材１３５は、内部にフィルターや、弁体、加熱手段等の各機能部が設けられた機能部材であるため、各機能部を配置する領域や、各機能部への流路１３５１を引き回す領域が必要だからである。すなわち、流路部材１３０の第１の方向Ｄ１の幅を保持部材１４０と同じ幅まで縮小するのは実質的に困難であり、また、保持部材１４０側を流路部材１３０と同じ第１の方向Ｄ１まで拡幅すると、インクジェット式記録ヘッド１の大型化、特に液体噴射面２０ａ側の大型化を招き、詳しくは後述する第２搬送手段２２０を所望の位置に配置することができずに、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との距離が離れてしまう。

したがって、本実施形態の流路部材１３０は、保持部材１４０よりも第１の方向Ｄ１のＤ１Ｂ側から突出して設けられている。なお、本実施形態の流路部材１３０は、第１の方向Ｄ１において保持部材１４０よりもＤ１Ａ側にも突出して設けられているが、これはキャリッジ３に搭載されるための突出であり、流路部材１３０の保持部材１４０からの突出量は、Ｄ１Ｂ側の方がＤ１Ａ側よりも大きくなっている。これにより、詳しくは後述するが、第３の方向Ｄ３において、流路部材１３０の保持部材１４０よりもＤ１Ｂ側に突出した部分と、記録シートＳとの間に空間を形成することができる。

このようなインクジェット式記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置に搭載される。ここで、インクジェット式記録装置の一例について説明する。なお、図９は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図であり、図１０は、インクジェット式記録装置の要部の平面図であり、図１１は、図１０のＢ−Ｂ′線断面図である。

図示するように、上述したインクジェット式記録ヘッド１は、キャリッジ３に搭載されている。キャリッジ３は、キャリッジ軸５の軸方向に移動可能に設けられている。
ここで、インクジェット式記録装置Ｉは、詳しくは後述するが、第１搬送ローラー２１１を有する第１搬送手段２１０と、第２搬送ローラー２２１を有する第２搬送手段２２０とを具備し、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１とが間隔を有して離間して配置されている。この第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１とが間隔を有して離間する方向が被噴射媒体である記録シートＳが搬送される搬送方向であり、本実施形態では、この搬送方向を搬送方向Ｘ（Ｘ方向）と称する。また、第１搬送ローラー２１１及び第２搬送ローラー２２１の回転軸が延在する方向を搬送方向Ｘと交差する方向Ｙ（Ｙ方向）と称する。また、Ｘ方向及びＹ方向の双方に交差する方向をＺ方向と称する。なお、本実施形態では、説明理解を容易にするために各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。

そして、図１０に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、第１の方向Ｄ１が被噴射媒体である記録シートＳの搬送方向Ｘと一致するようにキャリッジ３に搭載される。すなわち、インクジェット式記録ヘッド１の第２の方向Ｄ２は、キャリッジ軸５の軸方向、すなわち、キャリッジ３の移動方向と一致するようにキャリッジ３に搭載されている。なお、キャリッジ３の移動方向（キャリッジ軸５の軸方向）は、本実施形態では、Ｙ方向と一致して設けられている。また、インクジェット式記録ヘッド１の液体噴射方向である第３の方向Ｄ３が、Ｚ方向と一致する。

また、本実施形態では、図１０に示すように、インクジェット式記録ヘッド１は、流路部材１３０の保持部材１４０から第１の方向Ｄ１に突出した側が、記録シートＳの搬送方向Ｘにおいて下流側となるようにキャリッジ３に配置されている。

このようなキャリッジ３には、インクジェット式記録ヘッド１にインクを供給するための液体貯留手段であるインクカートリッジ２が着脱可能に設けられている。なお、本実施形態では、インクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成を例示したが、特にこれに限定されず、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、液体貯留手段とインクジェット式記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿ってＹ方向に移動される。

一方、装置本体４には、記録シートＳのインク滴が着弾する面、いわゆる印刷面とは反対側の裏面を支持する支持部材２００が設けられている。

また、装置本体４には、インクジェット式記録ヘッド１よりも記録シートＳの搬送方向Ｘの一方側、すなわち、搬送方向Ｘの上流側には、記録シートＳをインクジェット式記録ヘッド１に相対向する位置、すなわち、支持部材２００上に搬送する第１搬送手段２１０が設けられている。

また、装置本体４には、インクジェット式記録ヘッド１よりも記録シートＳの搬送方向Ｘの他方側、すなわち、搬送方向Ｘの下流側には、支持部材２００上の記録シートＳを搬送方向Ｘの他方側に向かって搬送する第２搬送手段２２０が設けられている。

このように第１搬送手段２１０によって記録シートＳは、搬送方向Ｘの一方側から支持部材２００上に搬送され、支持部材２００によって支持されてインクジェット式記録ヘッド１から噴射されたインク滴が着弾される。また、インク滴が着弾された記録シートＳは、第２搬送手段２２０によって、装置本体４の外部に排出される。なお、本実施形態では、搬送方向Ｘにおいて、インクジェット式記録ヘッド１に対して上流側に第１搬送手段２１０が設けられ、下流側に第２搬送手段２２０が設けられている構成を例示したが、記録シートＳは、搬送方向Ｘに往復移動しながら印刷されるようにしてもよい。すなわち、記録シートＳが第２搬送手段２２０側から第１搬送手段２１０側に向かって搬送されてもよい。この場合には、搬送方向Ｘにおいて、第２搬送手段２２０側が上流側となり、第１搬送手段２１０側が下流側となる。

ここで、第１搬送手段２１０は、図１１に示すように、図示しない駆動モーター等の駆動手段によって回転駆動される第１搬送ローラー２１１と、第１搬送ローラー２１１に従動する第１従動ローラー２１２と、を具備する。

このような第１搬送ローラー２１１は、搬送方向Ｘにおいて、インクジェット式記録ヘッド１よりも第１の方向Ｄ１のＤ１Ａ側に設けられている。このような第１搬送ローラー２１１は、搬送された記録シートＳを平面視した際に、すなわち、液体噴射方向である第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）から平面視した際に、インクジェット式記録ヘッド１とは重ならない位置に設けられている。つまり、第１搬送ローラー２１１は、第３の方向Ｄ３から平面視した際に、インクジェット式記録ヘッド１の配線基板１７０とは重ならない位置に設けられている。言い換えると、インクジェット式記録ヘッド１と第１搬送ローラー２１１とは、液体噴射方向である第３の方向Ｄ３において互いに相対向しない位置に配置されている。ただし、第１搬送ローラー２１１は、詳しくは後述するが、インクジェット式記録ヘッド１から搬送方向Ｘに離れた位置に配置されていると、第１搬送ローラー２１１と第２搬送手段２２０の第２搬送ローラー２２１との搬送方向Ｘの間隔が遠くなってしまい、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との間で保持する記録シートＳの姿勢の固定が困難にある。したがって、第１搬送ローラー２１１は、できるだけインクジェット式記録ヘッド１に近接して設けるのが好ましい。ちなみに、例えば、第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）から平面視した際に、第１搬送ローラー２１１を、インクジェット式記録ヘッドに重なる位置に配置する場合、第１搬送ローラー２１１に従動する第１従動ローラー２１２を配置するスペースが確保できずに、インクジェット式記録ヘッド１と第１従動ローラー２１２とが互いに干渉してしまう。また、第１従動ローラー２１２を配置するスペースを確保するために、インクジェット式記録ヘッド１と支持部材２００とを第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）に離して配置すると、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔が広くなり、インクジェット式記録装置Ｉが第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）に大型化してしまうと共に、噴射されたインク滴の着弾位置ずれの発生や、高速印刷が実行できないなどの不具合が生じる。本実施形態では、第１搬送ローラー２１１を、第３の方向Ｄ３から平面視した際に、インクジェット式記録ヘッド１に重ならない位置に配置することで、インクジェット式記録装置Ｉの小型化、着弾位置ずれの抑制及び高速印刷を実現することができる。

一方、第２搬送手段２２０は、第２搬送ローラー２２１と、ガイド部材２２２と、ガイド部材２２２内に設けられて、第２搬送ローラー２２１に従動する第２従動ローラー２２３と、を具備する。

第２搬送ローラー２２１は、図示しない駆動モーター等の駆動手段によって回転駆動される。また、第２搬送ローラー２２１は、搬送された記録シートＳを平面視した際に、すなわち、液体噴射方向である第３の方向Ｄ３から平面視した際に、インクジェット式記録ヘッド１に重なる位置で、且つインクジェット式記録ヘッド１の配線基板１７０に重ならない位置に設けられている。すなわち、第２搬送ローラー２２１は、第３の方向Ｄ３において、インクジェット式記録ヘッド１に相対向する領域のうち、配線基板１７０に相対向する領域の外側、つまり相対向しない領域に配置されている。

このように、第２搬送ローラー２２１をインクジェット式記録ヘッド１に相対向する領域のうち、配線基板１７０に相対向しない領域に配置することで、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との記録シートＳの搬送方向Ｘの距離を短くすることができる。そして、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との記録シートＳの搬送方向Ｘの距離を短くすることで、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との間での記録シートＳの姿勢の固定が容易になって、印刷品質を向上することができると共に高速印刷が可能となる。また、インクジェット式記録装置Ｉの搬送方向Ｘの小型化を図ることができる。これに対して、第２搬送ローラー２２１を第１搬送ローラー２１１と同様に、インクジェット式記録ヘッド１に第３の方向Ｄ３で相対向しない領域に設けると、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との距離が遠くなり、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との間での記録シートＳの姿勢の固定が困難になり、着弾位置ずれが発生して印刷品質が低下すると共に、高速印刷ができなくなる。

また、ガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置する空間を確保するために、インクジェット式記録ヘッド１を支持部材２００から第３の方向Ｄ３に離して配置すると、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔が広くなり、インクジェット式記録装置Ｉが第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）に大型化してしまうと共に、噴射されたインク滴の着弾位置ずれの発生や、高速印刷が実行できないなどの不具合が生じる。本実施形態では、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔を広くすることなく、第２搬送ローラー２２１をインクジェット式記録ヘッド１に相対向する領域のうち、配線基板１７０に相対向しない領域に配置することで、インクジェット式記録ヘッド１と記録シートＳとの間にガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置する空間を確保することができる。

具体的には、上述したように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、流路部材１３０が、配線基板１７０を保持した保持部材１４０よりも第１の方向Ｄ１のＤ１Ａ側に突出して設けられている。したがって、第２搬送ローラー２２１は、第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）において、流路部材１３０の保持部材１４０よりも第１の方向Ｄ１（Ｘ方向）のＤ１Ａ側に突出した領域に相対向して配置されている。すなわち、流路部材１３０の保持部材１４０よりも第１の方向Ｄ１のＤ１Ａ側に突出した領域と記録シートＳとの間には空間が形成されているため、この空間内にガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置することができる。すなわち、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、配線基板１７０の第１の方向Ｄ１の幅を流路部材１３０よりも狭くすることで、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔を広げることなく、流路部材１３０と記録シートＳとの間に空間を形成して、この空間にガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置することができるものである。これに対して、例えば、配線基板１７０の第１の方向Ｄ１の幅を流路部材１３０と同等の幅で形成すると、インクジェット式記録ヘッド１の保持部材１４０の第１の方向Ｄ１の幅を流路部材１３０と同等の幅で形成する必要がある。このため、配線基板１７０と記録シートＳとの間には、ガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置する空間を確保できない。また、ガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置する空間を確保するために、インクジェット式記録ヘッド１と支持部材２００とを第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）に離して配置すると、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔が広くなり、インクジェット式記録装置ＩがＺ方向に大型化してしまうと共に、インク滴の着弾位置ずれの発生や、高速印刷が実行できないなどの不具合が生じる。また、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔を広げることなく、第２搬送手段２２０を配置する空間を確保するために、第１の方向Ｄ１の幅が広い配線基板１７０を第３の方向Ｄ３において記録シートＳから離れた位置に配置することも考えられるものの、インクジェット式記録ヘッド１が第３の方向Ｄ３に大型化してしまう。また、ヘッド本体１５０と配線基板１７０とが離れて配置されると、これらを接続する配線部材１２１を長くしなくてはならない。配線部材１２１は、高価な部品であるため、配線部材１２１が長くなると、高コストになってしまう。

本実施形態では、配線基板１７０の第１の方向Ｄ１の幅を、流路部材１３０よりも狭くすることで、液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔を短くした状態で、ガイド部材２２２及び第２従動ローラー２２３を配置する空間を確保しつつ、配線基板１７０とヘッド本体１５０とを第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）に近づけて配置することができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１及びインクジェット式記録装置Ｉの第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）の小型化を図ることができると共に配線部材１２１を短くしてコストを低減することができる。また、第２搬送手段２２０をインクジェット式記録ヘッド１の外側、すなわち、Ｚ方向で相対向する領域の外側に設けることなく、第１搬送手段２１０と第２搬送手段２２０との距離を短くすると共に、インクジェット式記録ヘッド１の液体噴射面２０ａと記録シートＳとの間隔を短くすることができるため、インク滴の着弾位置ずれを抑制し、高速印刷が可能となる。

また、本実施形態では、第２搬送ローラー２２１は、流路部材１３０に相対向する位置に設けられているため、第２搬送ローラー２２１は、記録シートＳを平面視した際に、すなわち、液体噴射方向である第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）から平面視した際に、インクジェット式記録ヘッド１の流路１３５１に重なる位置に配置されていることになる。すなわち、上述したように、流路部材１３０に設けられた流路形成部材１３５は、内部にフィルターや、弁体、加熱手段等の各機能部が設けられた機能部材であるため、各機能部を配置する領域や、各機能部への流路１３５１を引き回す領域が必要である。このため、流路部材１３０は、第１の方向Ｄ１の幅が保持部材１４０よりも大きな幅で形成されている。したがって、第２搬送ローラー２２１は、実質的に流路部材１３０の流路１３５１に第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）で相対向して配置される。もちろん、流路１３５１の配置によっては、第２搬送ローラー２２１は、流路１３５１に第３の方向Ｄ３（Ｚ方向）で相対向する位置に配置されていなくてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述した物に限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１では、配線基板１７０の可撓性基板４００が接続されるコネクター１７３を搬送方向Ｘと一致する第１の方向Ｄ１に対して、直交する第２の方向Ｄ２（Ｙ方向）に設け、可撓性基板４００が第２の方向Ｄ２（Ｙ方向）に導出されるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、コネクター１７３を第１の方向Ｄ１に設け、可撓性基板４００が第１の方向Ｄ１と一致する搬送方向Ｘに導出されてもよい。ただし、可撓性基板４００が第１の方向Ｄ１に導出されるためには、インクジェット式記録ヘッド１の保持部材１４０が第１の方向Ｄ１に大型化する虞があり、第１搬送ローラー２１１と第２搬送ローラー２２１との距離が離れる虞がある。

また、本実施形態では、第１搬送手段２１０の第１搬送ローラー２１１を記録シートＳのインク滴が着弾する面、いわゆる印刷面とは反対側の裏面に設け、第１従動ローラー２１２を印刷面側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１搬送ローラー２１１を印刷面側に設け、第１従動ローラー２１２を裏面に設けるようにしてもよい。また、第２搬送手段２２０についても同様に、第２搬送ローラー２２１を印刷面側に設け、第２従動ローラー２２３等を裏面側に設けるようにしてもよい。

さらに、上述した実施形態１では、第１搬送ローラー２１１が、第３の方向Ｄ３から平面視した際に、インクジェット式記録ヘッド１に重なる位置に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１搬送ローラー２１１及び第２搬送ローラー２２１の少なくとも一方が第３の方向Ｄ３から平面視した際にインクジェット式記録ヘッド１に重なる位置に設けられていればよい。すなわち、第２搬送ローラー２２１のみがインクジェット式記録ヘッド１に重なる位置に配置されていてもよく、第１搬送ローラー２１１及び第２搬送ローラー２２１の両方がインクジェット式記録ヘッド１に重なる位置に背馳されていてもよい。

また、上述した実施形態１では、第２搬送手段２２０として、１組の第２搬送ローラー２２１及び第２従動ローラー２２３を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、２組以上の第２搬送ローラー２２１及び第２従動ローラー２２３を設けるようにしてもよい。この場合には、全ての第２搬送ローラー２２１がインクジェット式記録ヘッド１に重なる位置で、且つ配線基板１７０に重ならない位置に配置されている必要はなく、少なくとも第１搬送手段２１０側の第２搬送ローラー２２１が、インクジェット式記録ヘッド１に重なる位置で、且つ配線基板１７０に重ならない位置に配置されていればよい。

さらに、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、上記実施の形態においては、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に適用できる。

Ｉインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、３キャリッジ、１０流路形成基板、２０ノズルプレート、２０ａ液体噴射面、２１ノズル開口、３０保護基板、４０ケース部材、４５コンプライアンス基板、１００マニホールド、１２０駆動回路、１２１配線部材、１３０流路部材、１４０保持部材、１５０ヘッド本体、１６０カバーヘッド、１７０配線基板、１８０シール部材、２００支持部材、２１０第１搬送手段、２１１第１搬送ローラー、２２０第２搬送手段、２２１第２搬送ローラー、４００可撓性基板、Ｓ記録シート（被噴射媒体）、Ｄ１第１の方向、Ｄ２第２の方向、Ｄ３第３の方向、ＸＸ方向（搬送方向）、ＹＹ方向、ＺＺ方向

Claims

媒体を搬送する第１搬送ローラー及び第２搬送ローラーと、前記第１搬送ローラーと前記第２搬送ローラーの間の領域において前記媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドとを備える液体噴射装置であって、
前記液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル列を備えた複数のヘッド本体、前記複数のヘッド本体を保持する保持部材、前記複数のヘッド本体と配線部材を介して接続されるリジット基板としての配線基板、前記保持部材に接続される流路と当該流路の一端に設けられた液体供給口とを有する流路形成部材の順に、液体噴射方向に沿って積層されて構成されており、
前記配線基板は、液体噴射方向と媒体搬送方向とに直交する方向において前記複数のヘッド本体よりも大きな幅を有すると共に、液体噴射方向に沿って見たときに前記第１搬送ローラー及び前記第２搬送ローラーと重ならない範囲に配置されており、
前記流路形成部材は、液体噴射方向に沿って見たときに前記第２搬送ローラーと重なる範囲に配置されている、液体噴射装置。
前記保持部材は前記ヘッド本体に液体を供給するための接続流路が形成された突起部を有しており、前記突起部は、前記配線基板を挿通し、シール部材を介して前記流路形成部材の前記流路と接続されている、請求項１に記載の液体噴射装置。
前記流路形成部材は、液体噴射方向に沿って見たときに前記保持部材よりも媒体搬送方向に沿って突出した部分を有する、請求項１または２に記載の液体噴射装置。
前記液体供給口は、前記流路形成部材における前記突出した部分に設けられている、請求項３に記載の液体噴射装置。
前記液体供給口は、液体噴射方向に沿って見たときに前記第２搬送ローラーと重なる範囲に配置されている、請求項１乃至４の何れか一項に記載の液体噴射装置。