JP2007144734A - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 Download PDF

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宣昭 岡沢
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Abstract

【課題】流路基板のひびや割れを防止しつつ、ヘッド構成部材の相対位置を精度良く合わせることが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路基板40に、相互の間隔が圧力室空部列の全長よりも長くなる位置に配置された第1基準穴52a及び第2基準穴52bを開設し、ノズル基板41及び封止板39の第2貫通穴53b,54bを、第1貫通穴53a,54aとの並び方向の寸法が基準穴の内接円の直径よりも長い長穴とすると共に、ヘッドケース24の第2ケース穴34bを、第1ケース穴34aとの並び方向の寸法が上記内接円の直径よりも長い長穴とし、第1位置決めピン57aを第1基準穴、第1貫通穴、及び第1ケース穴に、第2位置決めピン57bを第2基準穴、第2貫通穴、及び第2ケース穴にそれぞれ挿通することにより、ノズル基板、流路基板、封止板、及びヘッドケースの相対位置を規定可能とした。
【選択図】図8

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に係り、特に、共通液体室から圧力室を通ってノズル開口に至る一連の液体流路を形成する流路ユニットを備え、ノズル開口から液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備える液体噴射装置に関する。
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
このような液体噴射ヘッドには種々の形式があるが、例えば、インクジェット式記録装置(以下、単にプリンタという)におけるインクジェット式記録ヘッド(以下、記録ヘッドという)は、複数のノズル開口が開設されたノズル基板、共通インク室から圧力室を通ってノズル開口に至る一連のインク流路を区画する圧力室空部や溝部などの流路部が形成された流路基板、圧力発生手段(例えば、圧電振動子)の作動に応じて圧力室に対応するダイヤフラム部が弾性変形する弾性板(流路基板の開口を封止する封止板とも言える)を積層してなる流路ユニットを備え、これをヘッドケースに固定している。流路ユニット構成部材のうち、上記流路基板は、記録画像の高密度化や記録動作の高速化に対応すべく、高い加工密度や加工精度が要求される。そのため、この流路基板の材料としては、異方性エッチング等によって微細な形状を寸法精度良く形成可能なシリコン単結晶性基材(シリコンウェハー)などの結晶性基材が好適に用いられる。
そして、この記録ヘッドにおいて、精度の高い吐出制御を行うためには、上記の複数の構成部材を正確に位置決めして組み付けることが重要となる。そのため、この種の記録ヘッドでは、流路ユニット構成部材やヘッドケースに位置決めの基準となる貫通穴をそれぞれ少なくとも2箇所ずつ設け、この貫通穴に位置決めピンを通すことで各部材の相対位置を規定した状態で、各構成部材を積層して組み付けている(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−30490号公報
ところで、流路基板が上記のように結晶性基材によって作成される場合、この流路基板の貫通穴は、圧力室空部等と同様にエッチングによって開設される。この場合において、流路基板の貫通穴同士の間隔とヘッドケースの貫通穴同士の間隔との間に誤差がある場合、この誤差によって位置決めピンを介して流路基板に対して機械的ストレスがかかり、これにより流路基板にひびや割れが生じる虞があった。このような不具合を防止するべく、図9に示すように、流路基板の貫通穴61a,61bのうちの一方の貫通穴61bを、貫通穴同士の並び方向に、位置決めピン62の直径よりも長い長穴とすることが考えられる。この流路基板の貫通穴61は、流路基板の結晶方位面(例えば、第1(111)面および第2(111)面)によって区画形成されるので、上記のように長穴とする場合には、結晶方位面方向にしか延すことができない。そのため、貫通穴61a,61b同士の並び方向は、必然的に流路基板の結晶方位面方向に限られる。
しかしながら、この図9の例では、圧力室空部63を列設してなる圧力室空部列64の全長D1が、貫通穴61a,61b同士の間隔D2よりも長いので、各貫通穴61(位置決めピン)から遠い位置にある流路部において、何れかの位置決めピン62を支点とする回転方向の振れ幅が大きくなってしまい、位置精度が低下するという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路基板のひびや割れを防止しつつ、ヘッド構成部材の相対位置を精度良く合わせることが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、圧力室となる圧力室空部を含む流路部が形成された結晶性基材からなる流路基板、複数のノズル開口が圧力室毎に対応して開設されたノズル基板、及び、流路基板の流路部の開口を封止する封止板から構成され、流路基板の一方の面にノズル基板を、他方の面に封止板をそれぞれ接合することで、共通液体室から圧力室を通ってノズル開口に至る一連の液体流路を形成する流路ユニットと、
前記流路ユニットを固定するヘッドケースとを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記流路基板には、結晶性基材表面に直交する第1結晶方位面の垂直軸方向に圧力室空部を列設して圧力室空部列を形成すると共に、第1結晶方位面方向に圧力室空部列を並設し、流路部形成領域よりも外側のフレーム領域に配置された第1基準穴と、フレーム領域であって第1基準穴との間隔が圧力室空部列の全長よりも長くなる位置に配置された第2基準穴とを開設し、
前記第1基準穴及び前記第2基準穴を、第1結晶方位面と、当該第1結晶方位面に交差すると共に結晶性基材表面に直交する第2結晶方位面とにより、4辺の長さが等しい菱形状に構成し、
前記ノズル基板及び前記封止板において、前記流路基板の第1基準穴に対応する位置には当該第1基準穴の内接円の直径と同程度の直径に揃えられた第1貫通穴を開設すると共に、第2基準穴に対応する位置に第2貫通穴を開設し、
前記ヘッドケースの流路取付面において、流路基板の第1基準穴に対応する位置には前記内接円の直径と同程度の直径に揃えられた第1ケース穴を、第2基準穴に対応する位置には第2ケース穴をそれぞれ開設し、
前記ノズル基板及び前記封止板の第2貫通穴を、第1貫通穴との並び方向の寸法が前記内接円の直径よりも長い長穴とすると共に、前記ヘッドケースの第2ケース穴を、第1ケース穴との並び方向の寸法が前記内接円の直径よりも長い長穴とし、
前記内接円の直径と同程度の直径に揃えられた第1位置決めピン及び第2位置決めピンのうち、第1位置決めピンを第1基準穴、第1貫通穴、及び第1ケース穴に挿通し、第2位置決めピンを第2基準穴、第2貫通穴、及び第2ケース穴に挿通することにより、ノズル基板、流路基板、封止板、及びヘッドケースの相対位置を規定可能としたことを特徴とする。
上記構成によれば、第1位置決めピンを第1基準穴、第1貫通穴、及び第1ケース穴に挿通し、第2位置決めピンを第2基準穴、第2貫通穴、及び第2ケース穴に挿通することにより、ノズル基板、流路基板、封止板、及びヘッドケースの相対位置を規定可能としたので、流路基板に機械的ストレスを与えることなく、相対位置を精度良く規定した状態で各部材同士を組み付けることが可能となる。具体的には、第1基準穴、第1貫通穴、及び第1ケース穴と、第2基準穴、第2貫通穴、及び第2ケース穴との間隔が圧力室空部列の全長よりも長いので、基準穴(貫通穴)から遠い位置にある流路部において、何れかの位置決めピンを支点とする回転方向の振れ幅を可及的に抑えることができ、その結果、より精度良く位置決めを行うことが可能となる。
また、封止板及びノズル基板における第2基準穴を第1基準穴との並び方向に長い長穴とし、ヘッドケースの流路取付面における第2ケース穴を第1ケース穴との並び方向に長い長穴としているので、基準穴同士の間隔或いはケース穴同士の間隔と、位置決めピン同士の間隔との間に誤差がある場合には、これらの長穴と位置決めピンとの間に生じる間隙によって誤差を吸収することができる。これにより、流路基板にひびや割れを生じさせることなく、精度良く位置決めした状態で流路ユニットをヘッドケースに接合することが可能となる。
上記構成において、前記第1位置決めピンを第1貫通穴及び第1基準穴に挿通すると共に、前記第2位置決めピンを第2貫通穴及び第2基準穴に挿通して相対位置を規定した状態で、ノズル基板、流路基板、及び封止板を接合した後、封止板の第1貫通穴から突出した第1位置決めピンの先端部を第1ケース穴に挿通すると共に封止板の第2貫通穴から突出した第2位置決めピンの先端部を第2ケース穴に挿通して相対位置を規定した状態で流路ユニットとヘッドケースを接合する構成を採用することが望ましい。
この構成によれば、流路ユニット構成部材の接合時の位置決めに用いる位置決めピンを、流路ユニットとヘッドケースの接合時の位置決めにも使用するので、より効率良く各部材を組み付けることが可能となる。
また、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
上記構成によれば、液体噴射ヘッドを構成する各部材が精度良く位置決めされた状態で組み付けられているので、当該液体噴射ヘッドによる吐出動作時においては、ノズル開口から規定量の液滴を規定の速度で吐出することができ、吐出対象物に対して液滴をより高精度に着弾させることが可能となる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、図1に示すインクジェット式プリンタ(以下、プリンタと略記する)を例示する。
プリンタ1は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド2が取り付けられると共に、インクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるキャリッジ4と、記録ヘッド2の下方に配設されたプラテン5と、記録ヘッド2が搭載されたキャリッジ4を記録紙6(吐出対象物の一種)の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構7と、紙幅方向に直交する方向である紙送り方向に記録紙6を搬送する紙送り機構8等を備えて概略構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向(ヘッド走査方向)であり、紙送り方向とは、副走査方向(即ち、ヘッド走査方向に直交する方向)である。なお、インクカートリッジ3としては、キャリッジ4に装着するタイプでも、或いはプリンタ1の筐体側に装着してインク供給チューブを介して記録ヘッド2に供給するタイプでもよい。
キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構7の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ4の主走査方向の位置は、リニアエンコーダ10によって検出され、検出信号が位置情報として制御部(図示せず)に送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダ10からの位置情報に基づいてキャリッジ4(記録ヘッド2)の走査位置を認識しながら、記録ヘッド2による記録動作(吐出動作)等を制御することができる。
また、記録ヘッド2の移動範囲内であってプラテン5よりも外側には、記録ヘッド2の走査起点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、キャッピング機構11が設けられている。このキャッピング機構11は、キャップ部材11´によって記録ヘッド2のノズル形成面を封止し、ノズル開口19(図2参照)からのインク溶媒の蒸発を防止する。また、このキャッピング機構11は、封止状態のノズル面に負圧を与えてノズル開口19からインクを強制的に吸引排出するクリーニング動作に用いられる。
図2は、記録ヘッド2の構成を説明する分解斜視図、図3は、記録ヘッド2の構成を説明する要部断面図、図4は、流路ユニット18とケースユニット24を下方(ノズル基板41側)から見た分解斜視図である。本実施形態における記録ヘッド2は、複数のインク導入針13(液体導入針の一種)を立設する導入針ユニット14、複数の圧電振動子15を備えたアクチュエータユニット16、当該アクチュエータユニット16を駆動するための配線基板17、共通インク室20(共通液体室)からインク供給口21及び圧力室22を通ってノズル開口19に至る一連の液体流路インク流路(液体流路の一種)を形成する流路ユニット18、及び、ヘッドケース24を備えて概略構成されている。
上記導入針ユニット14は、例えばエポキシ樹脂などの合成樹脂によって成型されており、その上面にはフィルタ26を介在させた状態でインク導入針13がそれぞれ取り付けられている。そして、各インク導入針13にはインクカートリッジやサブタンク等が装着されるようになっている。この導入針ユニット14の内部には、インク導入針側からヘッドケース側に向けて集束した集束流路(図示せず)が各インク導入針13に対応して複数形成されている。この集束流路の上流端は、インク導入針13の針流路と液密状態で連通する一方、集束流路の下流端は、エラストマー等の弾性部材からなるパッキンシート27を介在させた状態でヘッドケース24の内部に形成されたケース流路(図示せず)と液密状態で連通する。
上記配線基板17は、プリンタ本体側からの駆動信号を受け、この駆動信号をTCP(テープ・キャリア・パッケージ)等のフレキシブルケーブル38(図3参照)を通じてアクチュエータユニット16の圧電振動子15へ供給するための配線パターンが形成された制御基板である。この配線基板17は、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ29や電子部品30等を実装している。コネクタ29にはFFC(フレキシブルフラットケーブル)等の配線部材が接続され、このFFCを介してプリンタ本体側から駆動信号を受けるようになっている。この配線基板17は、電子部品実装面を導入針ユニット14側に向けた状態で、ヘッドケース24の基板取付面31に配置される。
ヘッドケース24は、中空箱体状のケーシングであり、その内部には各アクチュエータユニット16を個別に収容する収容室32が形成されている。このヘッドケース24は、熱硬化性樹脂の一種であるエポキシ樹脂によって成型されており、図4に示すように、基板取付面31とは反対側の流路取付面33に流路ユニット18が固定される。また、ヘッドケース24の内部には、一端が流路取付面33に開口したケース穴34が2箇所形成されている。これらの第1ケース穴34a,第2ケース穴34bは、流路ユニット18との接合の際に、後述する治具56に立設された第1位置決めピン57a,第2位置決めピン57bが挿入される穴である。本実施形態においては、第1ケース穴34aは流路基板40に開設された第1基準穴52aに対応する位置に、他方の第2ケース穴34bは流路基板40に開設された第3基準穴52cに対応する位置に、それぞれ設けられている。なお、流路ユニット18とヘッドケース24との接合については後述する。
上記のアクチュエータユニット16は、圧力発生手段としての圧電振動子15と、この圧電振動子15が接合される固定板37と、圧電振動子15に配線基板17からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル38等から構成される。各圧電振動子15は、自由端部が固定板37の先端面よりも外側に突出した所謂片持ち梁の状態で固定板37上に取り付けられている。各圧電振動子15を支持する固定板37は、例えば厚さ1mm程度のステンレス鋼によって構成されている。なお、圧力発生手段としては、上記圧電振動子以外にも、静電アクチュエータ、磁歪素子、発熱素子等を用いることができる。
流路ユニット18は、振動板39、流路基板40、及びノズル基板41からなる流路ユニット構成部材を積層した状態で接合して一体化することにより作製されている。この流路ユニット18における圧力室22は、ノズル開口19の列設方向(ノズル列方向)に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室20は、インク導入針13側からのインクが導入される室である。そして、この共通インク室20に導入されたインクは、インク供給口21を通じて各圧力室22に分配供給されるようになっている。
流路ユニット18の底部に配置されるノズル基板41は、ドット形成密度に対応したピッチ(例えば180dpi)で複数のノズル開口19を、副走査方向に列状に開設した金属製の薄い板材である。本実施形態のノズル基板41は、ステンレス鋼の板材によって作製され、ノズル開口19の列(ノズル列)が、複数並べて設けられている。そして、1つのノズル列は、例えば180個のノズル開口19によって構成される。
ノズル基板41と振動板39の間に配置される流路基板40は、図5に示すように、インク流路となる流路部43、具体的には、共通インク室20となる開口部44、インク供給口21となる溝部、及び、圧力室22となる圧力室空部45が区画形成された板状の部材である。本実施形態において、流路基板40は、結晶性基材の一種であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。このシリコンウェハーは、例えば、表面が結晶方位面(110)面に設定されたシリコン単結晶基板である。そして、この流路基板40では、(110)面上であって、この(110)面に直交する第1(111)面(本発明における第1結晶方位面に相当)の垂直軸方向に圧力室空部45を列設して圧力室空部列46が形成されている。各圧力室空部45は、ノズル基板41のノズル開口19に1対1に対応している。また、圧力室空部列46は、第1(111)面方向にノズル列毎に対応して複数並設されている。
上記の振動板39は、図3に示すように、ステンレス鋼等の金属製の支持板39a上にPPS樹脂等の弾性フィルム39bをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板39において圧力室22に対応する部分には、圧電振動子15の自由端部の先端を接合するための島部48が形成されており、この部分がダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板39は、圧電振動子15の作動に応じて島部48の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されている。また、振動板39は、流路基板40の開口部44の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部49としても機能する。このコンプライアンス部49に相当する部分については弾性フィルム39bだけにしている。なお、この振動板39は、流路基板40に形成された流路部43の開口面を封止する封止板と言うこともできる。
ここで、上記の流路基板40において、流路部43の形成領域(流路部形成領域)よりも外側のフレーム領域51には、図5に示すように、流路ユニット構成部材(振動板39及びノズル基板42)やヘッドケース24との相対位置を規定するための基準穴52が2箇所開設されている。具体的には、図5においてフレーム領域51の左上の隅角部に配置された第1基準穴52aと、フレーム領域51の左下の隅角部に配置された第2基準穴52bとが、圧力室空部45等と同様に異方性エッチングによって開設されている。なお、第2基準穴52bは、圧力室空部列46を間に挟んで第1基準穴52aとは反対側に配置され、第1基準穴52aとの間隔L1が圧力室空部列46の全長L2よりも長くなっている。
図6(a)に示すように、第1基準穴52a及び第2基準穴52bは、第1(111)面と、この第1(111)面に70.53°で交差すると共に基材表面(流路基板40の表面)に直交する第2(111)面(本発明における第2結晶方位面に相当)とにより、4辺の長さが等しい菱形状に構成されている。これらの第1基準穴52a及び第2基準穴52bの寸法に関し、向かい合う辺同士の垂直距離がd1となるように定められている。換言すると、基準穴52a,52bに内接する仮想的な内接円Cvの直径がd1となるように穴の寸法が定められている。この内接円Cvの直径d1は、後述する治具56の位置決めピン57の直径に揃えられている。
図4に示すように、振動板39及びノズル基板41において流路基板40の各基準穴52に対応する位置には、それぞれ貫通穴53,54が開設されている。即ち、振動板39において、第1基準穴52aに対応する位置には第1貫通穴53aが、第2基準穴52bに対応する位置には第2貫通穴53bが開設されている。また、ノズル基板41において、第1基準穴52aに対応する位置には第1貫通穴54aが、第2基準穴52bに対応する位置には第2貫通穴54bが開設されている。各貫通穴53,54のうち、第1貫通穴53a,54aは、図6(b)に示すように、直径がd1に設定された真円の穴に構成されている。同様に、上記の第1ケース穴34aも直径d1の真円の穴となっている。一方、第2貫通穴53b,54bは、図6(c)に示すように、第1貫通穴53a,54aとの並び方向に長い長穴に構成されている。これらの第2貫通穴53b,54bに関し、第1貫通穴53a,54aとの並び方向に直交する方向の内寸がd1に設定されているのに対し、第1ケース穴34aとの並び方向の内寸d2はd1よりも長く設定されている。同様に、上記第2ケース穴34bは、第1ケース穴34aとの並び方向に直交する方向の内寸がd1に設定され、第1ケース穴34aとの並び方向の内寸がd2に設定された長穴に構成されている。なお、図6は、各穴の寸法を説明する模式図であり、便宜上、複数の異なる穴を一つの代表した穴で示している。
上記流路ユニット構成部材、即ち、振動板39、流路基板40、及びノズル基板41を接合する際には、図7に示すように、治具56上に各構成部材を順次積層するようになっている。この治具56の流路ユニット載置面56′において、上記の第1基準穴52a及び第1貫通穴53a,54aに対応する位置には第1位置決めピン57aが、第2基準穴52b及び第2貫通穴53b,54bに対応する位置には第2位置決めピン57bが、それぞれ立設されている。この位置決めピン57は、例えばステンレス鋼などの金属によって作成されており、その直径dpは、基準穴52a,52bの内接円Cvの直径d1に揃えられている(正確には、d1よりも極く僅かに小さく設定されている)。また、この位置決めピン57は、基端部分にフランジ部58を側方(ピン直径方向)に向けて延出している。そして、治具56には、位置決めピン57の本体部分を流路ユニット載置面56′に対して垂直に突出する状態でフランジ部58を保持する保持空部59が形成されている。この保持空部59の深さ方向の寸法は、フランジ部58の厚さと同程度に揃えられているのに対し、保持空部59の幅は、保持状態における位置決めピン57の本体根本部分とフランジ部58の側方に若干のクリアランスを形成するような寸法に定められている。これにより、位置決めピン57は、流路ユニット載置面56′に対する垂直姿勢を保ったまま側方(流路ユニット載置面方向)にスライドすることができるようになっている。
本実施形態においては、まず、第1位置決めピン57aを第1貫通穴54aに、第2位置決めピン57bを第2貫通穴54bにそれぞれ挿通した状態で、治具56の流路ユニット載置面56′上にノズル基板41を積層する。次に、第1位置決めピン57aを第1基準穴52aに、第2位置決めピン57bを第2基準穴52bにそれぞれ挿通し、接着剤を間に介在させた状態でノズル基板41の上に流路基板40を載置する。これにより、相対位置が規定された状態でノズル基板41と流路基板40とが積層される。さらに、第1位置決めピン57aを第1貫通穴53aに、第2位置決めピン57bを第2貫通穴53bにそれぞれ挿通し、接着剤を間に介在させた状態で流路基板40上に振動板39を載置する。これにより、相対位置が規定された状態で流路基板40と振動板39とが積層される。
このようにして、ノズル基板41、流路基板40、及び振動板39の相対位置が規定された状態で相互を接合して流路ユニット18が形成される。この際、第1基準穴52aと第2基準穴52bの間隔に応じて位置決めピン57がスライドするので、流路基板40に対して機械的ストレスを与えることなく位置決めを行うことができる。また、上述したように、振動板39の第2貫通穴53bと、ノズル基板41の第2貫通穴54bをそれぞれ長穴としているので、流路基板40における第1基準穴52aと第2基準穴52bの間隔に対して、振動板39における第1貫通穴53aと第2貫通穴53bの間隔、或いは、ノズル基板41における第1貫通穴54aと第2貫通穴54bの間隔に誤差がある場合には、位置決めピン57の間隔を第1基準穴52aと第2基準穴52bの間隔に合わせた上で、長穴と第2位置決めピン57bとの間に形成される隙間によって上記の誤差を吸収することができる。したがって、流路ユニット構成部材の相対位置は、流路基板40の第1基準穴52aと第2基準穴52bを基準として定められる。
治具56上で各構成部材を積層して流路ユニット18を形成したならば、図8に示すように、治具56に載置された流路ユニット18の上(即ち、振動板39の上)に、接着剤を介在させた状態でヘッドケース24を積層する。この際、流路取付面33を振動板39側に向けた姿勢で、振動板39の第1貫通穴53aから上方に突出した第1位置決めピン57aの先端部を第1ケース穴34aに挿通すると共に、振動板39の第2貫通穴53bから上方に突出した第2位置決めピン57bの先端部を第2ケース穴34bに挿通し、ヘッドケース24を流路ユニット18の上に積層する。これにより、流路ユニット18とヘッドケース24の相対位置が定められた状態で流路ユニット18がヘッドケース24の流路取付面33に接合される。
本実施形態においては、第2ケース穴34bを、第1ケース穴34aとの並び方向に長い長穴としているので、位置決めピン57a,57bの間隔との間に誤差があった場合には、第1ケース穴34aと第2位置決めピン57bとの間に生じる間隙によって誤差を吸収することができ、流路基板40の基準穴52a,52bを基準として定められた位置決めピン57a,57bの間隔を変えることなく精度良く位置決めした状態で流路ユニット18とヘッドケース24を接合することが可能となる。即ち、流路基板40に対する機械的ストレスを生じることなく、流路ユニット18とヘッドケース24を接合することが可能となる。
以上のように、上記記録ヘッド2では、第1位置決めピン57aを第1貫通穴53a,54a及び第1基準穴52aに挿通すると共に、第2位置決めピン57bを第2貫通穴53b,54b及び第2基準穴52bに挿通してノズル基板39、流路基板40、及び封止板41の相対位置を規定した状態で各部材同士を接合した後、振動板39の第1貫通穴53aから上方に突出した第1位置決めピン57aの先端部を第1ケース穴34aに挿通すると共に、振動板39の第2貫通穴53bから突出した第2位置決めピン57bの先端部を第2ケース穴34bに挿通して相対位置を規定した状態で流路ユニット18とヘッドケース24を接合するように構成したので、流路基板40にひびや割れを生じさせることなく、相対位置を精度良く規定した状態で記録ヘッド2を構成する各部材同士を組み付けることが可能となる。
また、第1基準穴52a、第1貫通穴53a,54a、及び第1ケース穴34aと、第2基準穴52b、第2貫通穴53b,54b、及び第2ケース穴34bとの間隔L1が圧力室空部列46の全長L2よりも長いので、各穴に挿通された位置決めピン57から遠い位置にある流路部において、位置決めピン57を支点とする回転方向の振れ幅を可及的に抑えることができ、その結果、より精度良く位置決めを行うことが可能となる。
さらに、上記プリンタ1は、上記構成の記録ヘッド2を搭載しているので、この記録ヘッド2による吐出動作(記録動作)時においては、ノズル開口19から規定量のインク滴を規定の速度で吐出することができ、吐出したインク滴を記録紙6に対してより高精度に着弾させることが可能となる。これにより、記録画像の品質を向上させることができる。
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
例えば、流路基板40における各基準穴の形状に関し、上記実施形態では、第1(111)面と第2(111)面によって平行四辺形(菱形)状に構成した例を示したが、これには限らない。例えば、エッチング残りを利用して、六角形の穴に構成することもできる。また、各基準穴の開設位置に関しても、上記実施形態で例示したものには限られない。要は、第1基準穴52aと第2基準穴52bとの間隔L1が、圧力室空部列46の全長L2よりも長くなるような配置であれば、任意の配置パターンを採用することができる。
また、以上では、本発明は、上記プリンタに限らず、他の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレーやFED(面発光ディスプレー)等の電極を形成する電極製造装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。
プリンタの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。 流路ユニットとケースユニットを下方から見た分解斜視図である。 流路基板の構成の一例を説明する平面図である。 (a)は、流路基板における第1基準穴及び第2基準穴の寸法を説明する図、(b)は、振動板及びノズル基板における第1貫通穴及びヘッドケースにおける第1ケース穴の寸法を説明する図である。(c)は、振動板及びノズル基板における第2貫通穴及びヘッドケースにおける第2ケース穴の寸法を説明する図である。 治具を用いて流路ユニット構成部材を積層する状態を説明する断面図である。 治具上に載置された流路ユニットとヘッドケースとを接合する状態を説明する図である。 従来における流路基板の構成の一例を説明する図である。
符号の説明
1…プリンタ,2…記録ヘッド,15…圧電振動子,16…アクチュエータユニット,18…流路ユニット,19…ノズル開口,20…共通インク室,21…インク供給口,22…圧力室,24…ヘッドケース,31…基板取付面,33…流路取付面,34a…第1ケース穴,34b…第2ケース穴,39…振動板,40…流路基板,41…ノズル基板,43…流路部,45…圧力室空部,46…圧力室空部列,51…フレーム領域,52a…第1基準穴,52b…第2基準穴,52c…第3基準穴,53a,54a…第1貫通穴,53b,54b…第2貫通穴,53c,54c…第3貫通穴,56…治具,57a…第1位置決めピン,57b…第2位置決めピン

Claims (3)

  1. 圧力室となる圧力室空部を含む流路部が形成された結晶性基材からなる流路基板、複数のノズル開口が圧力室毎に対応して開設されたノズル基板、及び、流路基板の流路部の開口を封止する封止板から構成され、流路基板の一方の面にノズル基板を、他方の面に封止板をそれぞれ接合することで、共通液体室から圧力室を通ってノズル開口に至る一連の液体流路を形成する流路ユニットと、
    前記流路ユニットを固定するヘッドケースとを備えた液体噴射ヘッドであって、
    前記流路基板には、結晶性基材表面に直交する第1結晶方位面の垂直軸方向に圧力室空部を列設して圧力室空部列を形成すると共に、第1結晶方位面方向に圧力室空部列を並設し、流路部形成領域よりも外側のフレーム領域に配置された第1基準穴と、フレーム領域であって第1基準穴との間隔が圧力室空部列の全長よりも長くなる位置に配置された第2基準穴とを開設し、
    前記第1基準穴及び前記第2基準穴を、第1結晶方位面と、当該第1結晶方位面に交差すると共に結晶性基材表面に直交する第2結晶方位面とにより、4辺の長さが等しい菱形状に構成し、
    前記ノズル基板及び前記封止板において、前記流路基板の第1基準穴に対応する位置には当該第1基準穴の内接円の直径と同程度の直径に揃えられた第1貫通穴を開設すると共に、第2基準穴に対応する位置に第2貫通穴を開設し、
    前記ヘッドケースの流路取付面において、流路基板の第1基準穴に対応する位置には前記内接円の直径と同程度の直径に揃えられた第1ケース穴を、第2基準穴に対応する位置には第2ケース穴をそれぞれ開設し、
    前記ノズル基板及び前記封止板の第2貫通穴を、第1貫通穴との並び方向の寸法が前記内接円の直径よりも長い長穴とすると共に、前記ヘッドケースの第2ケース穴を、第1ケース穴との並び方向の寸法が前記内接円の直径よりも長い長穴とし、
    前記内接円の直径と同程度の直径に揃えられた第1位置決めピン及び第2位置決めピンのうち、第1位置決めピンを第1基準穴、第1貫通穴、及び第1ケース穴に挿通し、第2位置決めピンを第2基準穴、第2貫通穴、及び第2ケース穴に挿通することにより、ノズル基板、流路基板、封止板、及びヘッドケースの相対位置を規定可能としたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記第1位置決めピンを第1貫通穴及び第1基準穴に挿通すると共に、前記第2位置決めピンを第2貫通穴及び第2基準穴に挿通して相対位置を規定した状態で、ノズル基板、流路基板、及び封止板を接合した後、封止板の第1貫通穴から突出した第1位置決めピンの先端部を第1ケース穴に挿通すると共に封止板の第2貫通穴から突出した第2位置決めピンの先端部を第2ケース穴に挿通して相対位置を規定した状態で、流路ユニットとヘッドケースを接合したことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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