JP2020138422A - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電気基板の小型化が可能な液液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】駆動素子が駆動することによって液体を噴射するノズル（３７）と、ノズルへ液体を供給する流路を有する流路部材（１１）と、流路部材に第１方向に積層され、駆動素子と電気的に接続される電気基板（１４）と、を備え、流路部材は、電気基板が積層された側の面から第１方向に突出し、内部に前記流路が形成されたパイプ（２１，２２）を複数有し、電気基板は、パイプが挿入される貫通孔（４６，４７）を有し、複数のパイプは、貫通孔の内周面と接触する接触面（４９）を有する第１パイプ（２１）を含む。【選択図】図２

Description

本発明は、駆動素子の駆動に係る電気基板を備えた液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法に関する。

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

液体噴射ヘッドは、複数の構成部材が積層されて構成されている。例えば、特許文献１に開示されている液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル等を有するヘッド本体と、当該ヘッド本体を保持すると共にヘッド本体にインクを供給する下流流路部材と、下流流路部材上に保持された中継基板（即ち、電気基板）と、上流流路部材と、が積層されて構成されている。この構成において、下流流路部材の中継基板が保持される面には、位置決め用の凸部が突出しており、当該凸部を中継基板の凹部（即ち、貫通孔）に挿通して嵌合させることで、下流流路部材に対する中継基板の位置決めが行われる。また、中継基板において下流流路部材の中継基板が保持される面には、内部の流路の上流側の端部としてパイプ状の突起部が突出しており、これに対応させて、中継基板には突起部を挿通させるための流路挿通孔がそれぞれ設けられている。

特開２０１５−１３９９３９号公報

上記の構成では、中継基板にインク供給流路用の突起部を挿通させるための貫通孔と、位置決め用の貫通孔と、がそれぞれ設けられているため、これらの孔が形成されている領域には回路配線やチップ配置ができない。このため、孔が形成されている領域を避けた位置に回路配線等を形成することになり、その結果、電気基板が大型化し、延いては液体噴射ヘッドが大型化するという問題があった。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記課題に鑑みて提案されたものであり、駆動素子が駆動することによって液体を噴射するノズル（３７）と、
前記ノズルへ液体を供給する流路を有する流路部材（１１）と、
前記流路部材に第１方向に積層され、前記駆動素子と電気的に接続される電気基板（１４）と、
を備え、
前記流路部材は、前記電気基板が積層された側の面から前記第１方向に突出し、内部に前記流路が形成されたパイプ（２１，２２）を複数有し、
前記電気基板は、前記パイプが挿入される貫通孔（４６，４７）を有し、
複数の前記パイプは、前記貫通孔の内周面と接触する接触面（４９）を有する第１パイプ（２１）を含む。

液体噴射装置の構成を説明する斜視図である。 液体噴射ヘッドの平面図である。 図２におけるＡ−Ａ線断面図である。 流路ユニット近傍の断面図である。 電気基板における第２パイプ及び貫通孔の近傍の平面図である。 図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。 電気基板における第１位置決め用貫通孔及び第１パイプの近傍の構成を説明する平面図である。 図７におけるＣ−Ｃ線断面図である。 電気基板における第２位置決め用貫通孔及び第１パイプの近傍の構成を説明する平面図である。 図９におけるＤ−Ｄ線断面図である。 第１の変形例における第１パイプ及び第１位置決め用貫通孔の構成を説明する平面図である。 第１の変形例における第１パイプ及び第２位置決め用貫通孔の構成を説明する平面図である。 第２の変形例における第１パイプ及び第２位置決め用貫通孔の構成を説明する平面図である。 第３の変形例における第１パイプの構成を説明する平面図である。 第４の変形例における第１位置決め用貫通孔の構成を説明する平面図である。 第４の変形例における第２位置決め用貫通孔の構成を説明する平面図である。 第２の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 第３の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 第３の実施形態の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。 第４の実施形態における液体噴射ヘッドの平面図である。 第４の実施形態の第１の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。 第４の実施形態の第２の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。 第４の実施形態の第３の変形例における液体噴射ヘッドの平面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッドを搭載したインクジェット式プリンターを例に挙げて説明する。

まず、本実施形態における液体噴射装置１の構成について、図１を参照して説明する。液体噴射装置１は、記録紙等の媒体２の表面に対し、液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。以下においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のうち、媒体２の搬送方向、即ち、媒体２と液体噴射ヘッド３との相対移動方向をＹ方向（本発明における第２方向に相当）とし、当該搬送方向に直交する方向をＸ方向（本発明における第３方向に相当）とし、ＸＹ平面に直交する方向をＺ方向（本発明における第１方向に相当）とする。また、方向を示す矢印の先端側を（＋）方向とし、方向を示す矢印の基端側を（−）方向とする。

この液体噴射装置１は、液体噴射ヘッド３、この液体噴射ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を媒体２の幅方向である主走査方向（Ｘ方向）に往復移動させるキャリッジ移動機構５を備えている。また、液体噴射装置１は、媒体２を搬送方向（Ｙ方向）に搬送する図示しない搬送機構等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体貯留部材としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、液体噴射ヘッド３の液体供給ユニット１０（後述）に着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７が液体噴射装置１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて液体噴射ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。

図２は、＋Ｚ方向から見た液体噴射ヘッド３の平面図であり、図３は、図２におけるＡ−Ａ線断面図である。さらに、図４は、液体噴射ヘッド３の流路ユニット９の近傍の構成を説明する断面図である。なお、図２では、液体供給ユニット１０の図示は省略されており、また、図３では、液体供給ユニット１０は破線で示されている。さらに図４では、ヘッドカバー１８の図示は省略されている。以下においては、液体噴射ヘッド３のノズル３７が形成されたノズル面（即ち、後述するノズルプレート３０）が、上記ＸＹ平面と平行な面であると仮定して当該ノズル面に直交する方向をＺ方向とする。

本実施形態における液体噴射ヘッド３は、液体供給ユニット１０と、ヘッドケース１１と、これらの液体供給ユニット１０とヘッドケース１１との間に配置された電気基板１４（回路基板とも言える）と、を備えている。液体供給ユニット１０は、内部にインクが流れる流路や当該インクを濾過するフィルター等を備えた構造体であり、インクカートリッジ７に貯留されているインクを、内部流路を通じてヘッドケース１１の導入流路に分配する。

ヘッドケース１１は、アクチュエーターユニット１３を収容した収容室２０と、供給ユニット１０から供給されるインクを流路ユニット９に導入する液体流路である導入流路１７と、が形成された合成樹脂製の部材であり、発明における流路部材の一種である。ヘッドケース１１のＺ方向における下面には、流路ユニット９が接合された上で、流路ユニット９のノズル面を露出させる開口部が開設されたステンレス鋼等の金属製のヘッドカバー１８が接合されている。また、ヘッドケース１１のＺ方向における上面には、電気基板１４及び液体供給ユニット１０が積層されている。本実施形態においては、ノズルプレート３０に形成された１０列のノズル列３７ａに対応して合計１０個のアクチュエーターユニット１３が、それぞれ個別に設けられた収容室２０に収容されてＸ方向に並べて設けられている。なお、アクチュエーターユニット１３の数については例示した数には限られない。

ヘッドケース１１の内部において、収容室２０から外れた位置には、液体供給ユニット１０からのインクを流路ユニット９に導入するための複数の導入流路１７が形成されている。各導入流路１７は、ヘッドケース１１の高さ方向、即ちＺ方向を貫通している。そして、ヘッドケース１１において、液体供給ユニット１０及び電気基板１４が積層された側の面には、複数の円筒状のパイプが、導入流路１７の上端部分として＋Ｚ方向に突出した状態で形成されている。複数のパイプのうち、電気基板１４の長手方向であって後述のノズル列３７ａが並ぶ方向であるＸ方向の両側に位置するパイプは、第１パイプ２１であり、これらの第１パイプ２１の間の領域に形成されているパイプは、第２パイプ２２である。これらのパイプ２１，２２は、内部に形成された導入流路１７と液体供給ユニット１０の内部流路とを液密に接続させる。第１パイプ２１と第２パイプ２２との詳細については後述する。

図４に示されるように、上記アクチュエーターユニット１３は、駆動素子（或は圧力発生素子又はアクチュエーターとも言える）として機能する圧電素子２５と、この圧電素子２５が接合される固定板２６と、圧電素子２５に駆動信号を供給する配線部材２７と、を備えている。なお、本実施形態における圧電素子２５は、電界方向に交差する方向に変位する所謂縦振動モードの圧電素子であり、駆動信号が供給されると圧電体及び電極の積層方向とは交差する方向に変位、即ち、伸縮する。この圧電素子２５の先端部分は、流路ユニット９の島部４１に接合されている。

流路ユニット９は、流路基板２９のＺ方向における一方（−Ｚ方向側）の面にノズルプレート３０が接合されると共に、流路基板２９のＺ方向における他方（＋Ｚ方向側）の面に振動板３１が接合されて構成されている。この流路ユニット９には、共通液室３３と、個別供給路３４と、圧力室３５と、ノズル連通口３６と、ノズル３７と、が設けられている。本実施形態において、ノズル３７はノズルプレート３０に形成され、共通液室３３、個別供給路３４、圧力室３５、及びノズル連通口３６は流路基板２９に形成されている。なお、流路基板２９は、複数の基板が積層されて構成されても良い。

上記ノズルプレート３０は、複数のノズル３７がＹ方向に沿って所定のピッチで並べて形成された板材であり、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼等の金属板から作製されている。このノズルプレート３０には、Ｙ方向に並ぶ複数のノズル３７から構成されたノズル列３７ａ（ノズル群）が複数設けられており、本実施形態においては、合計１０列のノズル列３７ａがノズルプレート３０にＸ方向に並べて設けられている。

流路基板２９は、例えば、シリコン単結晶基板から作製された板材である。この流路基板２９には、複数の圧力室３５が、上記ノズル３７にそれぞれ対応させてＹ方向に並べて形成されている。流路基板２９において、圧力室３５が形成された領域からＸ方向の外側に外れた領域には共通液室３３が形成され、共通液室３３と各圧力室３５とが、圧力室３５毎に設けられた個別供給路３４を介して連通されている。共通液室３３は、複数の圧力室３５に共通に設けられた液室であり、ヘッドケース１１の導入流路１７を通じて供給されるインクを貯留する。個別供給路３４の流路断面積は、圧力室３５の断面積よりも小さくなっている。圧力室３５において個別供給路３４側とは反対側には、流路基板２９の厚さ方向であるＺ方向を貫通したノズル連通口３６が形成されている。このノズル連通口３６は、圧力室３５とノズルプレート３０のノズル３７とを１対１で連通させる流路である。なお、流路基板２９におけるこれらの圧力室３５、個別供給路３４、および、ノズル連通口３６は、異方性エッチングにより形成されている。

上記振動板３１は、支持板３８と弾性膜３９とが積層された二重構造である。本実施形態では、例えば金属板の一種であるステンレス板が支持板３８とされ、この支持板３８の表面に樹脂フィルムが弾性膜３９としてラミネートされた複合板材により振動板３１が構成されている。この振動板３１には、圧力室３５の容積を変化させるダイアフラム４０が設けられている。ダイアフラム４０は、エッチング加工等によって支持板３８を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイアフラム４０は、圧電素子２５の先端面が接合される部分が島部４１として残された状態で、その島部４１の周囲の支持板３８が環状に除去されて弾性膜３９のみとされることで構成されている。そして、この島部４１に圧電素子２５の先端面が接合されているので、この圧電素子２５が伸縮すると、これに応じてダイアフラム４０が変位し、これにより圧力室３５の容積が変動する。この容積変動に伴って圧力室３５内のインクに圧力変動（換言すると、圧力変化）が生じる。

そして、上記構成の液体噴射ヘッド３では、共通液室３３から圧力室３５を通ってノズル３７に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、後述する電気基板１４から配線部材２７を通じて印加される駆動信号に応じて圧電素子２５が駆動されることにより、圧力室３５内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル３７からインクが噴射される。なお、本実施形態においてはアクチュエーターユニット１３として、いわゆる縦振動型の圧電素子２５を備えたものを例示したが、いわゆる撓み振動型の圧電素子を備えた構成を採用することも可能である。その他、駆動素子としては、圧電素子に限られず、静電アクチュエーターや発熱素子等、ノズル３７からインク等の液体を噴射させることが可能な他の駆動素子を採用することも可能である。

本実施形態における電気基板１４は、ノズル列方向であるＹ方向に直交するＸ方向に長尺なプリント基板（換言するとリジッド基板）である。つまり、電気基板１４は、複数のノズル列３７ａが並ぶＸ方向に長尺となっている。図２及び図３に示されるように、電気基板１４は、プリンター本体側からのＦＦＣ（即ち、フレキシブルフラットケーブル）８が接続されるコネクター４３をＸ方向における両側に備え、ＩＣチップや抵抗等の実装部品４４を上面に備えている。また、圧電素子２５に接続された配線部材２７が挿通される配線挿通口４５が、基板厚さ方向（即ち、Ｚ方向）を貫通した状態で形成されている。配線挿通口４５は、Ｚ方向からの平面視において配線部材２７の幅よりもＹ方向に長尺な開口形状を有し、また、１つの配線挿通口４５に２本の配線部材２７が挿通される。本実施形態における電気基板１４には、合計５つの配線挿通口４５がＸ方向に並べて形成されている。これらの配線挿通口４５のＸ方向における両側の縁部には図示しない基板端子部が形成されており、当該基板端子部には、電気基板１４の下面側から配線挿通口４５に挿通された各配線部材２７の配線端子部が電気的に接合される。電気基板１４は、ＦＦＣ８を通じてプリンター本体側から受けた駆動信号等の電気信号を各配線部材２７に送るための配線機能を有する。そして、電気基板１４を介して受けた電気信号がアクチュエーターユニット１３に伝わることによって、圧電素子２５に電圧が印加される。また、本実施形態の配線部材２７には、電気信号を圧電素子２５へ供給するか否かを切り替えるトランスミッションゲート等のスイッチ素子（不図示）が設けられる。なお、実装部品４４としてスイッチ素子を電気基板１４に設ける構成を採用することもできる。

また、電気基板１４において上記パイプ２１，２２に対応する位置には、複数の貫通孔４６，４７が基板厚さ方向（即ち、Ｚ方向）を貫通した状態で形成されている。図２に示されるように、本実施形態においては、隣り合う配線挿通口４５の間の領域に２つの貫通孔４６がＹ方向に並べて形成されている。また、電気基板１４の長手方向であるＸ方向における両端側、具体的には、複数の配線挿通口４５のうちのＸ方向における両端に位置する配線挿通口４５よりも外側、即ち、コネクター４３側には、後述するように位置決め孔を兼ねた貫通孔である位置決め用貫通孔４７が形成されている。これらの位置決め用貫通孔４７のうち、一端側（図２中の左側、即ち、＋Ｚ方向側）の第１位置決め用貫通孔４７ａの開口形状と、他端側（図２中の右側、即ち、−Ｚ方向側）の第２位置決め用貫通孔４７ｂの開口形状とは、後述するように異なっている。以下において、各パイプ２１，２２及び貫通孔４６，４７の構成についてより詳細に説明する。

図５は、電気基板１４における貫通孔４６及び第２パイプ２２の近傍の構成を説明する平面図であり、図６は、図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。また、図７は、電気基板１４における第１位置決め用貫通孔４７ａ及び第１パイプ２１ａの近傍の構成を説明する平面図であり、図８は、図７におけるＣ−Ｃ線断面図である。さらに、図９は、電気基板１４における第２位置決め用貫通孔４７ｂ及び第１パイプ２１ｂの近傍の構成を説明する平面図であり、図１０は、図９におけるＤ−Ｄ線断面図である。なお、本実施形態において、Ｘ方向における一端側の第１パイプ２１ａと他端側の第１パイプ２１ｂとは同一形状を呈し、両者に共通する構成について説明する場合には、単に第１パイプ２１と称する。

図６に示されるように、本実施形態における第２パイプ２２は、ヘッドケース１１の電気基板１４が積層された上面（以下、積層面という）よりも、流路ユニット９が接合された下面側に一段下がったパイプ形成面５１からＺ方向における上方（即ち、液体供給ユニット１０側）に向けて突出した円筒状の部材である。本実施形態における第２パイプ２２の先端面（換言すると、頂面）における周縁部は面取りされてテーパー形状とされている。これにより、ヘッドケース１１に液体供給ユニット１０及び電気基板１４を取り付ける際に、液体供給ユニット１０の内部流路に第２パイプ２２を円滑に挿通させることができる。この第２パイプ２２のパイプ形成面５１からの突出長さは、電気基板１４の厚さよりも長く設定されており、当該第２パイプ２２が貫通孔４６に挿通されてヘッドケース１１の積層面に電気基板１４が積層された状態では、第２パイプ２２の先端部が電気基板１４の上面より液体供給ユニット１０側に突出するように構成されている。なお、本実施形態におけるパイプ２１，２２は、パイプ形成面５１から＋Ｚ方向側に突出するように形成された構成を例示したが、これには、限られず、電気基板１４が積層された積層面から＋Ｚ方向側に突出するように形成された構成を採用することができる。要は、電気基板１４が積層された側の面から各パイプ２１，２２が突出した構成であればよい。

図５に示されるように、第２パイプ２２の＋Ｚ方向からの平面視における外形は、本実施形態においてはＹ方向に長尺な長円状（換言すると、トラック形状）となっている。この第２パイプ２２が挿通される貫通孔４６は、当該第２パイプ２２の外形よりも大きく設定された開口形状を有している。即ち、貫通孔４６は第２パイプ２２の平面形状に対応させてＹ方向に長尺な長円状を呈しており、その外形の寸法は、第２パイプ２２の外形の寸法よりも大きく設定されている。つまり、当該貫通孔４６のＹ方向における寸法、及び、Ｘ方向における寸法は、第２パイプ２２のＹ方向における寸法、及び、Ｘ方向における寸法よりもそれぞれ大きく設定されている。このため、電気基板１４が第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７によって位置決めされてヘッドケース１１に積層された状態では、第２パイプ２２の外周面と貫通孔４６の内周面との間には隙間が生じ、両者が接触しないようになっている。換言すると、第２パイプ２２は、貫通孔４６に非接触で挿入される。

図７及び図９に示されるように、本実施形態における第１パイプ２１（２１ａ，２１ｂ）は、第２パイプ２２と同様にパイプ形成面５１からＺ方向における上方（＋Ｚ方向）に向けて突出した円筒状の部材である。また、第１パイプ２１の先端面における周縁部も、第２パイプ２２と同様に面取りされてテーパー形状とされており、パイプ形成面５１からの第１パイプ２１全体の突出長さは、第２パイプ２２の突出長さと揃えられている。このため、第１パイプ２１が貫通孔４６に挿通されてヘッドケース１１の積層面に電気基板１４が積層された状態では、第１パイプ２１の先端部が電気基板１４の上面より液体供給ユニット１０側に突出する。

図７から図１０に示されるように、本実施形態における第１パイプ２１は、液体供給ユニット１０の内部流路と接続するための接続部４８と、当該接続部４８よりも基端側（換言するとパイプ形成面５１側）に形成された位置決め部４９と、により構成されている点で第２パイプ２２と異なっている。平面視において、接続部４８は、第２パイプ２２と同様な形状及び大きさに形成されている。即ち、第２パイプ２２の平面視における外形は長円状を呈しており、本実施形態においては、Ｙ方向に長尺な長円状となっている。これに対し、位置決め部４９は、平面視において接続部４８の形状と相似形状を呈し、尚且つ、位置決め部４９の外形の寸法は、接続部４８の外形の寸法よりも大きく設定されている。即ち、位置決め部４９は、接続部４８の平面形状に対応させて長円状を呈し、また、当該位置決め部４９のＹ方向における寸法、及び、Ｘ方向における寸法は、それぞれ、接続部４８のＹ方向における寸法、及び、Ｘ方向における寸法よりも大きく設定されている。つまり、位置決め部４９は、接続部４８と比較して外形が拡大した部分であり、ＸＹ平面に対する厚みが接続部４８よりも肉厚である。以下においては、第１パイプ２１の平面視における形状及び寸法は、位置決め部４９の平面視における形状及び寸法であるものとして説明する。

位置決め部４９のＺ方向における頂面（＋Ｚ方向側の面）の位置は、積層面に積層された電気基板１４の上面と同一面上に揃えられているか、又は、電気基板１４の上面よりも上方（即ち、接続部４８の先端側）に設定されている。このような位置決め部４９の外周面は、位置決め用貫通孔４７の内周面に接触することで、ヘッドケース１１と電気基板１４との相対位置を規定し、本発明における接触面として機能する。つまり、第１パイプ２１は、導入流路１７が形成される流路としての機能に加え、ヘッドケース１１と電気基板１４との相対位置を規定する位置決めピンとしての機能が付与されている。また、位置決め用貫通孔４７は、第１パイプ２１を通す貫通孔にヘッドケース１１と電気基板１４との相対位置を規定する位置決め孔としての機能が付与されている。そして、接続部４８よりも肉厚な位置決め部４９を別途設けることにより、先端部にテーパー形状を有する接続部４８よりも、当該位置決め部４９の外周面をより精度の高い平坦な接触面として形成することができ、位置決め精度を高めることができる。

本実施形態における第１パイプ２１は、図３に示されるように、Ｘ方向において、複数のノズル列３７ａのうちの両端に配置されたノズル列３７ａよりも外側にそれぞれ配置されている。即ち、ヘッドケース１１に設けられた複数のパイプのうち、Ｘ方向において一端側（本実施形態においては図２中の左側、即ち、＋Ｘ方向側）に配置された第１パイプ２１ａとＸ方向において他端側（本実施形態においては図２中の右側、即ち−Ｘ方向側）に配置された第１パイプ２１ｂとは、複数のパイプのうちの互いに最も離れて配置された２つのパイプである。このような構成を採用することにより、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めに係る第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の距離（即ち、中心間距離）をより長く確保することができるので、位置決め精度がより向上する。また、第１パイプ２１ａ，２１ｂは、第１パイプ２１ａと２１ｂとを結ぶ仮想的な直線がＸ方向に沿うように配置されている。この第１パイプ２１が挿通される位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂのうちの一端側の第１位置決め用貫通孔４７ａの平面視における外形は、図７に示されるように、接続部４８の外形よりも大きく、また、位置決め部４９の外形と同程度か若しくは僅かに大きく設定されている。即ち、第１位置決め用貫通孔４７ａは、第１パイプ２１の位置決め部４９の平面形状に対応させて長円状を呈し、また、当該第１位置決め用貫通孔４７ａのＹ方向における寸法、及び、Ｘ方向における寸法は、それぞれ、位置決め部４９のＹ方向における寸法、及び、Ｘ方向における寸法と同程度若しくは僅かに大きく設定されている。要するに、第１位置決め用貫通孔４７ａの開口の寸法は、位置決め部４９が挿通可能な範囲内で当該位置決め部４９の外周面との間の隙間が小さく設定された貫通孔となっている。このため、ヘッドケース１１の載置面に電気基板１４が載置される際に第１パイプ２１ａが第１位置決め用貫通孔４７ａに挿通されると、当該第１パイプ２１ａの位置決め部４９の外周面の少なくとも一部が、第１位置決め用貫通孔４７ａの内周面に接触するように構成されている。

第１パイプ２１が挿通される位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂのうちの他端側の第２位置決め用貫通孔４７ｂは、図９及び図１０に示されるように、Ｙ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａの寸法に揃えられている一方で、当該第１位置決め用貫通孔４７ａとの並び方向であるＸ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＸ方向における寸法よりも大きく設定されている。このため、ヘッドケース１１の載置面に電気基板１４が載置される際に第１パイプ２１ｂが第２位置決め用貫通孔４７ｂに挿通されると、Ｘ方向において当該第１パイプ２１ｂの位置決め部４９の外周面と第２位置決め用貫通孔４７ｂの内周面との間に隙間Ｇが形成され、当該隙間Ｇの範囲内で第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の間隔と位置決め用貫通孔４７ａ、４７ｂ同士の間隔との誤差を吸収しつつ、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能となる。

液体噴射ヘッド３の製造時には、ヘッドケース１１の積層面に電気基板１４を積層する際、電気基板１４の各貫通孔４６に、ヘッドケース１１の各第２パイプ２２が非接触でそれぞれ挿入され、また、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂにＸ方向の両側の第１パイプ２１がそれぞれ挿通されて、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの内周面と第１パイプ２１の位置決め部４９の外周面とが接触することで、ヘッドケース１１に対して電気基板１４が位置決めされる。

このように、本発明に係る構成によれば、導入流路１７が内部に形成された複数のパイプが、位置決め用貫通孔４７の内周面と接触する接触面（本実施形態では、位置決め部４９の外周面）を備えた第１パイプ２１を有するので、第１パイプ２１は、ヘッドケース１１と電気基板１４とを位置決めするための位置決めピンとして機能し、当該第１パイプ２１が挿通される位置決め用貫通孔４７は、ヘッドケース１１と電気基板１４とを位置決めするための位置決め孔として機能する。このため、パイプ２１，２２及びこれらのパイプ２１，２２が挿通される挿通孔４６，４７の他に、ヘッドケース１１と電気基板１４とを位置決めするための突起部（即ち、位置決めピン）及び当該突起部が挿通される位置決め孔を別途設ける必要がない。したがって、その分、電気基板１４上に配線や実装部品４４を配置するスペースが確保されるので、電気基板１４の小型化が可能となる。その結果、液体噴射ヘッド３の小型化に寄与する。また、従来の位置決め用の突起部が不要であるため、このような突起部が液体噴射ヘッドの製造の際に他の部材（例えば、本実施形態では液体供給ユニット１０）と接触することで、部材間の流路の液密性が低下する不具合を抑制することができる。

なお、ヘッドケース１１の第１パイプ２１及びこれに対応する電気基板１４の位置決め用貫通孔４７が、少なくとも１組あれば、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能であるが、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７が２組以上設けられ、複数個所で位置決めを行うことで、位置決め精度をより向上させることができる。また、本実施形態においては、２つの第１パイプ２１ａ，２１ｂが、電気基板１４のＸ方向における両端側にそれぞれ配置されているが、この両端側に配置された第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の距離（Ｚ方向からの平面視における中心間距離）は、電気基板１４の短手方向（本実施形態においては、Ｙ方向）における寸法よりも長くなっている。そして、本実施形態においては、これらのパイプ２１，２２に関し、ヘッドケース１１と一体に設けられた構成を例示したが、ヘッドケース１１とは別体として形成されたものをヘッドケース１１に取り付ける構成を採用することもできる。また、上記実施形態では、第１パイプ２１に位置決め部４９が形成され、当該位置決め部４９の外周面が接触面として機能する構成を例示したが、これには限られない。例えば、第１パイプ２１に位置決め部４９に相当する部分を設けない構成、即ち、第１パイプ２１と第２パイプ２２とが共通の形状とされ、第１パイプ２１の外周面自体が接触面として機能する構成を採用することもできる。また、第１パイプ２１の外周に、当該第１パイプ２１とは別体の位置決め部４９を取り付ける構成を採用することも可能である。この場合、位置決め部４９を第１パイプ２１とは異なる材料、例えば、金属等で構成することも可能である。このように位置決め部４９を別体とする構成では、当該位置決め部４９の接触面をより高い精度で形成することで、位置決め精度を一層向上させることができる。

図１１及び図１２は、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の第１の変形例について説明する図であり、図１１は、第１の変形例における第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの構成を説明する平面図、図１２は、第１の変形例における第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの構成を説明する平面図である。第１の実施形態では、２つの第２パイプ２２の平面視における外形は、何れも長円状を呈した構成を例示したが、これには限られず、種々の形状を採用することができる。

例えば、図１１及び図１２に示されるように、第１の変形例における第１パイプ２１（２１ａ，２１ｂ）の平面視における外形、即ち、接続部４８及び位置決め部４９の平面形状は、何れも真円状を呈している。また、一端側の第１パイプ２１ａが挿通される第１位置決め用貫通孔４７ａの平面視における開口形状も真円状を呈しており、その大きさは、位置決め部４９が挿通可能な範囲内で当該位置決め部４９の外周面との間の隙間が小さく設定されている。このため、ヘッドケース１１の載置面に電気基板１４が載置される際に第１パイプ２１ａが第１位置決め用貫通孔４７ａに挿通されると、位置決め部４９の外周面の少なくとも一部が、第１位置決め用貫通孔４７ａの内周面に接触する。ここで、真円状とは、完全な真円のみならず、多少不完全なものも含む意味である。要するに、平面視からの目視で概ね真円であると一般的に認識できる程度であれば真円状に含まれる。

図１２に示されるように、他端側の第１パイプ２１ｂが挿通される第２位置決め用貫通孔４７ｂは、Ｙ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａの寸法に揃えられている一方で、当該第１位置決め用貫通孔４７ａとの並び方向であるＸ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＸ方向における寸法よりも大きく設定されている。即ち、この第２位置決め用貫通孔４７ｂは、平面視において、Ｘ方向において長尺な長円状を呈している。そして、ヘッドケース１１の載置面に電気基板１４が載置される際に第１パイプ２１ｂが第２位置決め用貫通孔４７ｂに挿通されると、Ｘ方向において当該第１パイプ２１ｂの位置決め部４９の外周面と第２位置決め用貫通孔４７ｂの内周面との間に隙間Ｇが形成され、当該隙間Ｇの範囲内で第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の間隔と位置決め用貫通孔４７ａ、４７ｂ同士の間隔との誤差を吸収しつつ、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能となる。

図１３は、第２の変形例における第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの構成を説明する平面図である。本変形例では、２つの第１パイプ２１のうちの一端側の第１パイプ２１ａ及び当該第１パイプ２１ａが挿通される第１位置決め用貫通孔４７ａの構成は、第１の変形例と共通であるが、他端側の第１パイプ２１ｂ及び当該第１パイプ２１ｂが挿通される第２位置決め用貫通孔４７ｂの構成が第１の変形例とは異なっている。本変形例において、第２位置決め用貫通孔４７ｂの平面視における開口形状は、第１位置決め用貫通孔４７ａと同様に真円状を呈している。そして、この第２位置決め用貫通孔４７ｂに挿通される他端側の第１パイプ２１ｂに関し、平面視においてＹ方向の寸法は、一端側の第１パイプ２１ａの直径と揃えられているのに対し、Ｘ方向の寸法は、一端側の第１パイプ２１ａの直径及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの内径よりも小さく設定されている。つまり、本変形例における第１パイプ２１ｂの平面視における外形は、Ｙ方向に長尺且つＸ方向に短尺な長円状を呈している。このため、ヘッドケース１１の載置面に電気基板１４が載置される際に第１パイプ２１ｂが第２位置決め用貫通孔４７ｂに挿通されると、Ｘ方向において当該第１パイプ２１ｂの位置決め部４９の外周面と第２位置決め用貫通孔４７ｂの内周面との間に隙間Ｇが形成されるので、この隙間Ｇにより第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の間隔と位置決め用貫通孔４７ａ、４７ｂ同士の間隔との誤差を吸収しつつ、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能となる。

図１４は、第３の変形例における第１パイプ２１（２１ａ，２１ｂ）の構成を説明する平面図である。本変形例における第１パイプ２１は、接続部４８の外周に沿って一定間隔で配置されたリブ状の位置決め部４９を有している点に特徴を有している。この位置決め部４９は、接続部４８の外周面から当該接続部４８の径方向に平面視で台形状或は三角形状に突出した部分であり、接続部４８の外周に沿って複数（本変形例では８つ）の位置決め部４９が設けられている。勿論、このようなリブ状の位置決め部４９の平面視における形状や、接続部４８に設けられる数は例示したものには限られず、種々の構成を採用することができる。なお、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂや、他の構成については上記第１の変形例と同様である。本変形例によれば、第１パイプ２１の外周面、即ち、接触面として機能する位置決め部４９の外周面（換言すると、接続部４８からの位置決め部４９の突出端）と位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの内周面との接触面積が小さくなるので、第１位置決め用貫通孔４７ａの内周面と位置決め部４９の外周面との間の隙間をより小さく、また、第２位置決め用貫通孔４７ｂについてはＹ方向における隙間をより小さく設定した場合においても、第１パイプ２１ａ，２１ｂの位置決め部４９をそれぞれ位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂに挿通させることができる。このため、第１パイプ２１ａ，２１ｂにおける位置決め部４９の外周面と、位置決め用貫通孔４７の内周面とをより確実に接触させることができ、位置決め精度をより向上させることが可能となる。

図１５及び図１６は、第４の変形例における位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの構成を説明する平面図である。本変形例における第１位置決め用貫通孔４７ａは、内周面に沿って凹凸形状を有している。この第１位置決め用貫通孔４７ａの内周面に設けられた凸部分は、当該内周面から中心側に向けて台形状或は三角形状に突出した部分である。また、第２位置決め用貫通孔４７ｂは、第１位置決め用貫通孔４７ａの形状をＸ方向に大きくした形状とされている。但し、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの凸部分の平面視における形状や数は例示したものには限られず、第１位置決め用貫通孔４７ａにおける凹凸の数と、第２位置決め用貫通孔４７ｂにおける凹凸の数とは異なっていてもよく、種々の構成を採用することができる。なお、第１パイプ２１ａ，２１ｂや、他の構成については上記第１の変形例と同様である。第４の変形例によれば、第１パイプ２１ａ，２１ｂの外周面、即ち、接触面として機能する位置決め部４９の外周面と、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの内周面（即ち、凸部分の第１パイプ２１側の端面）と、の接触面積が小さくなるので、第１位置決め用貫通孔４７ａの内周面と位置決め部４９の外周面との間の隙間をより小さく、また、第２位置決め用貫通孔４７ｂについてはＹ方向における隙間をより小さく設定した場合においても、第１パイプ２１ａ，２１ｂの位置決め部４９をそれぞれ位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂに挿通させることができる。このため、第１パイプ２１ａ，２１ｂにおける位置決め部４９の外周面と、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの内周面とをより確実に接触させることができ、位置決め精度をより向上させることが可能となる。この他、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の平面視における形状（即ち、外形）に関し、以上で例示した形状には限られず、多角形等の種々の形状を採用することができる。要は、第１パイプ２１の接触面と、位置決め用貫通孔４７の内周面とが接触することでヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能な構成であればよい。

図１７は、＋Ｚ方向から見た第２の実施形態における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０の図示は省略されている。上記第１の実施形態においては、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組と第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組との並び方向がＸ方向、即ち、電気基板１４の長尺方向と平行である構成を例示したが、これには限られない。本実施形態では、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組と第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組とは、電気基板１４のＸ方向における両端側に配置されている点では第１実施形態と同様であるが、これらの組の並び方向がＸ方向に対して傾斜したＸａ方向である。つまり、電気基板１４の仮想中心Ｃｂに対し点対称となるように、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組はＹ方向における一側（図１７における仮想中心線Ｌｂよりも上側）に配置され、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組はＹ方向における他側（図１７における仮想中心線Ｌｂよりも下側）に配置されている。これにより、これらの組の距離（即ち、第１パイプ２１ａ，２１ｂの中心間距離）をより長く確保することができるので、位置決め精度がより向上する。

本実施形態では、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組に関し、平面視において、長円形状を呈する第１パイプ２１ｂの長軸方向がＹａ方向、短軸方向がＸａ方向にそれぞれ沿うように、換言すると、Ｘ方向及びＹ方向に対して長軸及び短軸がそれぞれ傾斜する形状に形成されている。これに応じて、第２位置決め用貫通孔４７ｂの平面形状は、Ｙａ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＹ方向の寸法に揃えられている一方で、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組との並び方向であるＸａ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＸ方向における寸法よりも大きく設定されている。これにより、第１パイプ２１ｂの位置決め部４９の外周面と、第２位置決め用貫通孔４７ｂの内周面と、の間に生じる隙間Ｇは、Ｘａ方向に直交するＹａ方向よりも、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組と第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組との並び方向であるＸａ方向に大きく生じる。したがって、第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の間隔と位置決め用貫通孔４７ａ、４７ｂ同士の間隔との誤差を吸収しつつ、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能となる。なお、Ｙａ方向における隙間Ｇが存在しない構成でも構わない。なお、他の構成は第１の実施形態と同様である。

図１８は、＋Ｚ方向から見た第３の実施形態における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０の図示は省略されている。なお、図１８においてＹ方向における下側（−Ｙ方向側）を一側とし、Ｙ方向における上側（＋Ｙ方向側）を他側として説明する（図１９も同様）。本実施形態においては、ヘッドケース１１の載置面における電気基板１４が載置される領域のＹ方向における両側に、当該領域を囲む壁５２ａ，５２ｂが形成されており、このうちの他側の壁５２ａと電気基板１４との間に当該電気基板１４を付勢して第４方向であるＷ方向の一側に片寄せる片寄部材５３が設けられている点に特徴を有している。図１８の例では、Ｗ方向は、Ｙ方向、即ち、第２方向に揃えられており、片寄部材５３は、電気基板１４をＷ方向、即ちＹ方向における一側に片寄せている。これにより、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの内周面におけるＷ方向における他側の面、即ち、図中の上側の面と、第１パイプ２１ａ，２１ｂの位置決め部４９におけるＷ方向の他側の面とがより確実に接触することで、ヘッドケース１１と電気基板１４とがより高い精度で位置決めされる。

なお、片寄部材５３による電気基板１４を片寄せる方向であるＷ方向については任意に定めることができ、Ｘ方向に平行であっても良いし、Ｘ方向及びＹ方向に傾斜しても良い。片寄部材５３としては、例えば、ゴムやエラストマー等の弾性材や、バネ等の付勢部材を採用することができる。また、片寄部材５３として、例えば、偏心カムを採用することもできる。この場合、偏心カムの外周を電気基板１４に接触させた状態で偏心カムを回転させたときの当該偏心カムの回転中心から電気基板１４と接触している部分までのカム径の増減により当該電気基板１４を片寄せることもできる。さらに、例えば、先端部が電気基板１４に接触した状態の調整ネジの締め込み量で当該電気基板１４を片寄せる構成を採用することもできる。その他の構成は第１の実施形態と同様である。

図１９は、＋Ｚ方向から見た第３の実施形態の変形例における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０の図示は省略されている。この変形例では、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組が一組のみ設けられており、他は第２パイプ２２及び貫通孔４６の組となっている。また、ヘッドケース１１の壁５２ａ，５２ｂのうち一側（＋Ｙ方向側）の壁５２ｂにおいて、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７側とはＸ方向における反対側（即ち、電気基板１４の仮想中心Ｃｂを挟んで反対側）の他端側には、載置面上の電気基板１４側に向けて凸部５４が形成されており、この凸部５４の電気基板１４側の端面が、電気基板１４の位置を規定する突き当て面５５として機能する。即ち、本変形では、片寄部材５３により電気基板１４がＷ方向（図１９の変形例ではＹ方向）の一側に片寄せられて、位置決め用貫通孔４７の内周面における第４方向の他側の面と第１パイプ２１の位置決め部４９におけるＷ方向の他側の面とが接触すると共に、電気基板１４のＷ方向における一側の側面が凸部５４の突き当て面５５に接触することにより、ヘッドケース１１と電気基板１４との相対位置が規定される。この構成においても、ヘッドケース１１と電気基板１４との相対位置がより高い精度で規定される。なお、突き当て面５５の位置に関し、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組とは、電気基板１４の仮想中心Ｃｂを間に挟んで当該電気基板１４の長尺方向（本変形例ではＸ方向）における反対側であって、且つ、電気基板１４に対して片寄部材５３の片寄せ方向である第４方向の一側に配置されていればよい。この場合においても、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組と突き当て面５５との距離ができるだけ長い方が位置決め精度が向上する。また、突き当て面５５は、ラッピング加工等により高精度に形成された面であることが望ましく、また、面積が小さいほど位置決め精度が向上するのでより望ましい。さらに、突き当て面５５は、ヘッドケース１１の一部として構成されるものには限られず、例えば、ヘッドケース１１とは別部材で構成することもできる。この場合、突き当て面５５を有する部材をヘッドケース１１とは異なる材料、例えば、金属等で構成することも可能である。他の構成は第３の実施形態と同様である。

図２０は、＋Ｚ方向から見た第４の実施形態における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０や電気基板１４上の実装部品４４等の図示は省略されている。本実施形態は、電気基板１４がノズル列方向であるＹ方向に長尺である点で上記各実施形態と異なっている。本実施形態において、Ｙ方向に沿ったノズル列３７ａがＸ方向に２列並べて形成されており、各ノズル列３７ａに対応して第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組がそれぞれ一つずつ設けられている。より具体的には、Ｙ方向におけるノズル列３７ａの中心（本実施形態においては電気基板１４の仮想中心Ｃｂに対応する位置）に対し、一側（図２０中の上側）と他側（図２０中の下側）に第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組が一組ずつ設けられている。この両側に配置された第１パイプ２１（２１ａ，２１ｂ）同士の距離（Ｚ方向からの平面視における中心間距離）は、電気基板１４の短手方向（本実施形態においては、Ｘ方向）における寸法よりも長くなっている。本実施形態では、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組同士の並ぶ方向をＸａ方向とし、Ｘａ方向に直交する方向をＹａ方向とする。

上記の第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組のうちの一側に配置されている組の位置決め用貫通孔４７は、第１パイプ２１ａの位置決め部４９が挿通可能な範囲内で当該位置決め部４９の外周面との間の隙間が小さく設定された第１位置決め用貫通孔４７ａであり、他側に配置されている組の位置決め用貫通孔４７は、Ｙａ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＸ方向における寸法に揃えられている一方で、Ｘａ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＹ方向における寸法よりも大きく設定された第２位置決め用貫通孔４７ｂである。これに応じて、平面視において長円形状を呈する第１パイプ２１ｂの長軸方向がＸａ方向、短軸方向がＹａ方向にそれぞれ沿うように形成されている。これにより、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組と第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組との並び方向であるＸａ方向における隙間Ｇは、第１パイプ２１ｂと第２位置決め用貫通孔４７ｂとのＹａ方向における隙間Ｇよりも大きい。これにより、第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の間隔と位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂ同士の間隔との誤差を吸収しつつ、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能となる。なお、第１パイプ２１同士の間隔と位置決め用貫通孔４７同士の間隔との誤差が問題とならない場合、他側の位置決め用貫通孔４７を第１位置決め用貫通孔４７ａとすることも可能である。

このように、本実施形態においては、Ｘ方向に並ぶ一方（図２０中の左側）のノズル列３７ａの一端部に対応する位置に第１パイプ２１ａ及び位置決め用貫通孔４７ａの組が配置され、Ｘ方向に並ぶ他方（図２０中の右側）のノズル列３７ａの他端部に対応する位置に第１パイプ２１ｂ及び位置決め用貫通孔４７ｂの組が配置されているので、これらの組同士の距離をより長く確保することができる。そして、ヘッドケース１１の積層面に電気基板１４を積層する際、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂにＹ方向における両側の第１パイプ２１ａ，２１ｂがそれぞれ挿通されて、各位置決め用貫通孔４７の内周面と各第１パイプ２１の位置決め部４９の外周面とがそれぞれ接触することで、ヘッドケース１１に対して電気基板１４が位置決めされる。本実施形態においても、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の他にヘッドケース１１と電気基板１４とを位置決めする位置決めピン及び位置決め孔を別途設ける必要がなく、その分、電気基板１４上に配線や実装部品４４を配置するスペースが確保されるので、電気基板１４の小型化が可能となる。その結果、液体噴射ヘッド３の小型化に寄与する。なお、電気基板１４がノズル列３７ａの方向に長尺な構成であれば、ノズル列３７ａの数は例示した２列には限られず、一列又は３列以上とすることもできる。この場合、第１パイプ２１及びこれらの第１パイプ２１が挿通される位置決め用貫通孔４７の組は、それぞれ、ノズル列３７ａが形成された領域よりも電気基板１４の短尺方向における外側であって、ノズル列３７ａのＹ方向における一側と他側に配置されていればよい。

図２１は、＋Ｚ方向から見た第４の実施形態の第１の変形例における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０や電気基板１４上の実装部品４４等の図示は省略されている。本変形例では、各ノズル列３７ａに対応して第２パイプ２２及び貫通孔４６の組、若しくは第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組がそれぞれ２組ずつ設けられている。より具体的には、Ｘ方向における一方（図２１中の左側）に配置されているノズル列３７ａに対応して、当該ノズル列３７ａの中心に対し、Ｙ方向における一側（図２１中の上側）と他側（図２１中の下側）に第２パイプ２２及び貫通孔４６の組がそれぞれ設けられている。また、Ｘ方向における他方（図２１中の右側）に配置されているノズル列３７ａに対応して、当該ノズル列３７ａの中心に対し、Ｙ方向における一側には第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組が、他側には第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組が、それぞれ設けられている。本変形によっても、ヘッドケース１１の積層面に電気基板１４を積層する際、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂにＹ方向における両側の第１パイプ２１ａ，２１ｂがそれぞれ挿通されて、位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂの内周面と第１パイプ２１ａ，２１ｂの位置決め部４９の外周面とがそれぞれ接触することで、ヘッドケース１１に対して電気基板１４が位置決めされる。なお、本変形例では、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組と、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組との位置関係に関し、Ｘ方向における位置が同じである構成を例示したが、これには限られず、第４の実施形態と同様にＸ方向における位置が互いに異なっていてもよい。また、少なくとも第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組を有していればよく、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組は必ずしも有しなくてもよい。この場合、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組に対応する位置に、第２パイプ２２及び貫通孔４６が設けられる構成を採用することができる。他の構成については、第４の実施形態と同様である。

図２２は、＋Ｚ方向から見た第４の実施形態の第２の変形例における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０や電気基板１４上の実装部品４４等の図示は省略されている。本変形例では、各ノズル列３７ａに対応して第２パイプ２２及び貫通孔４６の組、若しくは第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組がそれぞれ３組ずつ設けられている。より具体的には、Ｘ方向における一方（図２２中の左側）に配置されているノズル列３７ａに対応して、第２パイプ２２及び貫通孔４６の組が互いに間隔を空けて３組設けられている。また、Ｘ方向における他方（図２２中の右側）に配置されているノズル列３７ａに対応して、Ｙ方向における一側から他側に向けて順に、第１パイプ２１及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組、第２パイプ２２及び貫通孔４６の組、及び、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組が、互いに間隔を空けて設けられている。なお、他の構成については、第４の実施形態と同様である。

図２３は、＋Ｚ方向から見た第４の実施形態の第３の変形例における液体噴射ヘッド３の平面図であり、液体供給ユニット１０や電気基板１４上の実装部品４４等の図示は省略されている。本変形例では、各ノズル列３７ａに対応して第２パイプ２２及び貫通孔４６の組、若しくは第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組がそれぞれ３組ずつ設けられている。より具体的には、Ｘ方向における一方（図２３中の左側）に配置されているノズル列３７ａに対応して、第１パイプ２１ａ及び第１位置決め用貫通孔４７ａの組と、２組の第２パイプ２２及び貫通孔４６の組と、が互いに間隔を空けて合計３組設けられている。また、Ｘ方向における他方（図２２中の右側）に配置されているノズル列３７ａに対応して、Ｙ方向における一側から他側に向けて順に、２組の第２パイプ２２及び貫通孔４６の組と、第１パイプ２１ｂ及び第２位置決め用貫通孔４７ｂの組とが、互いに間隔を空けて合計３組設けられている。本変形例における第２位置決め用貫通孔４７ｂは、第４の実施形態と同様に、Ｙａ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＸ方向における寸法に揃えられている一方で、Ｘａ方向における寸法が、第１位置決め用貫通孔４７ａのＹ方向における寸法よりも大きく設定されている。これに応じて、平面視において長円形状を呈する第１パイプ２１ｂの長軸方向がＸａ方向、短軸方向がＹａ方向にそれぞれ沿うように形成されている。これにより、第１パイプ２１ａ，２１ｂ同士の間隔と位置決め用貫通孔４７ａ，４７ｂ同士の間隔との誤差を吸収しつつ、ヘッドケース１１と電気基板１４との位置決めが可能となる。他の構成については、第４の実施形態と同様である。この構成によれば、第２の変形例と比較して第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７ａの組と他側の第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７ｂの組との距離をより長く確保することができるので、位置決め精度が向上する。他の構成については、第４の実施形態と同様である。

なお、上記各実施形態では、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組同士で位置決めを行う構成、或は、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組と突き当て面５５とで位置決めを行う構成を例示したが、これには限られず、例えば、第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組と、従来の技術である位置決めピン及び位置決め孔の組とを用いてヘッドケース１１と電気基板１４とを位置決めする構成を採用することもできる。即ち、ヘッドケース１１と電気基板１４とを位置決めするための構成として第１パイプ２１及び位置決め用貫通孔４７の組を少なくとも一組採用することで、その分、電気基板１４上に配線や実装部品４４を配置するスペースが確保されるので、電気基板１４の小型化が可能となる。

また、上記の各実施形態では、各ノズル列３７ａが媒体２の搬送方向（Ｙ方向）に沿って設けられていたが、各ノズル列３７ａが媒体２の搬送方向（Ｙ方向）に対して傾斜した方向に沿って設けられるような構成を採用しても良い。

さらに、上記の各実施形態の液体噴射ヘッド３は、キャリッジ４がＸ方向に往復移動しながら液体を噴射することで印刷動作を行う所謂シリアル型のヘッドであったが、液体噴射ヘッド３をＸ方向に複数並べることで、複数の液体噴射ヘッド３のＸ方向における寸法が媒体２の幅方向（Ｘ方向）の寸法以上である所謂ラインヘッドとして採用してもよい。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式液体噴射ヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は、流路部材と電気基板とが位置決めされて積層される構成を採用する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

以下に、上述した実施形態及び変更例から把握される技術的思想及びその作用効果を記載する。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、駆動素子が駆動することによって液体を噴射するノズルと、
前記ノズルへ液体を供給する流路を有する流路部材と、
前記流路部材に第１方向に積層され、前記駆動素子と電気的に接続される電気基板と、
を備え、
前記流路部材は、前記電気基板が積層された側の面から前記第１方向に突出し、内部に前記流路が形成されたパイプを複数有し、
前記電気基板は、前記パイプが挿入される貫通孔を有し、
複数の前記パイプは、前記貫通孔の内周面と接触する接触面を有する第１パイプを含むことを特徴とする（第１の構成）。

この構成によれば、流路が内部に形成された複数のパイプが、貫通孔の内周面と接触する接触面を備えた第１パイプを有するので、第１パイプ及び当該第１パイプが挿通される貫通孔は、それぞれ流路部材と電気基板とを位置決めする位置決めピン及び位置決め孔として機能する。このため、パイプ及びパイプが挿通される挿通孔の他に、流路部材と電気基板とを位置決めする位置決めピン及び位置決め孔を別途設ける必要がない。したがって、その分、電気基板上に配線や実装部品を配置するスペースが確保されるので、電気基板の小型化が可能となる。

また、上記第１の構成において、前記第１パイプが複数設けられた構成を採用することが望ましい（第２の構成）。

この構成によれば、複数個所で位置決めを行うことで、位置決め精度をより向上させることができる。

また、上記第２の構成において、前記第１パイプは、前記第１方向からの平面視において、前記電気基板の長手方向における両端側にそれぞれ配置された構成を採用することが望ましい（第３の構成）。

この構成によれば、流路部材と電気基板との位置決めに係る第１パイプ同士の距離をより長く確保することができるので、位置決め精度がより向上する。

上記第２又は第３の構成において、複数の前記ノズルが第２方向に沿って配置されることでノズル列を構成し、
前記第１パイプは、前記第２方向における前記ノズル列の中心に対し、前記第２方向における一側と他方側とにそれぞれ少なくとも１つ設けられる構成を採用することができる（第４の構成）。

この構成によれば、第１パイプは、第２方向におけるノズル列の中心に対し、第２方向における一側と他方側とにそれぞれ少なくとも１つ設けられるので、電気基板が第２方向に長尺な構成において、流路部材と電気基板との位置決めに係る第１パイプ同士の距離をより長く確保することができるので、位置決め精度がより向上する。

上記第２から第４の何れか一の構成において、複数の前記ノズルが第２方向に沿って配置されることでノズル列を複数構成し、
複数の前記ノズル列は、前記第２方向と交差する第３方向に並べて配置され、
前記第１パイプは、前記第１方向からの平面視において、前記電気基板の前記第３方向における両端側に配置された構成を採用することができる（第５の構成）。

この構成によれば、第１パイプが電気基板の第３方向における両端側に配置されたので、流路部材と電気基板との位置決めに係る第１パイプ同士の距離をより長く確保することができ、これにより、位置決め精度がより向上する。

上記第５の構成において、前記第１パイプは、前記第３方向において、複数の前記ノズル列のうちの両端に配置された前記ノズル列よりも外側に配置された構成を採用することが望ましい（第６の構成）。

この構成によれば、複数のノズル列のうちの両端に配置されたノズル列よりも外側に第１パイプが配置されることで、流路部材と電気基板との位置決めに係る第１パイプ同士の距離をより長く確保することができ、これにより、位置決め精度がさらに向上する。

上記第４から第６の何れか一の構成において、前記電気基板を第４方向の一側に片寄せる片寄せ部材を備え、
前記内周面における前記第４方向の他側の面と、前記接触面における前記第４方向の他側の面と、が接触する構成を採用することが望ましい（第７の構成）。

この構成によれば、片寄せ部材によって電気基板が第４方向の一側に片寄せられることで、貫通孔の内周面と第１パイプの接触面とがより確実に接触するので、流路部材と電気基板とをより高い精度で位置決めすることができる。

上記第１の構成において、複数の前記パイプは、前記貫通孔に非接触で挿通される第２パイプを含み、
前記第１パイプは、複数の前記パイプのうちの最も離れて配置された２つのパイプである構成を採用することが望ましい（第８の構成）。

この構成によれば、流路部材と電気基板との位置決めに係る第１パイプ同士の距離をより長く確保することができるので、位置決め精度がより向上する。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記第１から第８の何れか一の構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする（第９の構成）。

本発明によれば、電気基板の小型化が可能となるので、液体噴射ヘッドの小型化に寄与する。

また、本発明の液体噴射装置の製造方法は、上記第１から第８の何れか一の構成の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１パイプの前記接触面と前記貫通孔の前記内周面とを接触させることによって前記電気基板と前記流路部材との位置決めを行うことを特徴とする。

本発明によれば、電気基板や液体噴射ヘッドの小型化を図りつつも、流路部材と電気基板とをより高い精度で位置決めすることができる。また、従来の位置決め用の突起部が不要であるため、このような突起部が液体噴射ヘッドの製造の際に他の部材と接触することで、部材間の流路の液密性が低下する不具合を抑制することができる。

１…液体噴射装置，２…媒体，３…液体噴射ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，７…インクカートリッジ，８…ＦＦＣ，９…流路ユニット，１０…液体供給ユニット，１１…ヘッドケース，１２…封止空間，１３…アクチュエーターユニット，１４…電気基板，１７…導入流路，１８…ヘッドカバー，２０…収容室，２１…第１パイプ，２２…第２パイプ，２５…圧電素子，２６…固定板，２７…配線部材，２９…流路基板，３０…ノズルプレート，３１…振動板，３３…共通液室，３４…個別供給路，３５…圧力室，３６…ノズル連通口，３７…ノズル，３８…支持板，３９…弾性膜，４０…ダイアフラム，４１…島部，４３…コネクター，４４…実装部品，４５…配線挿通口，４６…貫通孔，４７…位置決め用貫通孔，４８…接続部，４９…位置決め部，５１…パイプ形成面，５２…壁，５３…片寄部材，５４…凸部，５５…突き当て面

Claims (10)

1. 駆動素子が駆動することによって液体を噴射するノズルと、
   前記ノズルへ液体を供給する流路を有する流路部材と、
   前記流路部材に第１方向に積層され、前記駆動素子と電気的に接続される電気基板と、
   を備え、
   前記流路部材は、前記電気基板が積層された側の面から前記第１方向に突出し、内部に前記流路が形成されたパイプを複数有し、
   前記電気基板は、前記パイプが挿入される貫通孔を有し、
   複数の前記パイプは、前記貫通孔の内周面と接触する接触面を有する第１パイプを含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１パイプが複数設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１パイプは、前記第１方向からの平面視において、前記電気基板の長手方向における両端側にそれぞれ配置されたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 複数の前記ノズルが第２方向に沿って配置されることでノズル列を構成し、
   前記第１パイプは、前記第２方向における前記ノズル列の中心に対し、前記第２方向における一側と他方側とにそれぞれ少なくとも１つ設けられることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 複数の前記ノズルが第２方向に沿って配置されることでノズル列を複数構成し、
   複数の前記ノズル列は、前記第２方向と交差する第３方向に並べて配置され、
   前記第１パイプは、前記第１方向からの平面視において、前記電気基板の前記第３方向における両端側に配置されたことを特徴とする請求項２から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記第１パイプは、前記第３方向において、複数の前記ノズル列のうちの両端に配置された前記ノズル列よりも外側に配置されたことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記電気基板を第４方向の一側に片寄せる片寄せ部材を備え、
   前記内周面における前記第４方向の他側の面と、前記接触面における前記第４方向の他側の面と、が接触することを特徴とする請求項２から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 複数の前記パイプは、前記貫通孔に非接触で挿通される第２パイプを含み、
   前記第１パイプは、複数の前記パイプのうちの最も離れて配置された２つのパイプであることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
10. 請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記第１パイプの前記接触面と前記貫通孔の前記内周面とを接触させることによって前記電気基板と前記流路部材との位置決めを行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

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