JP5743076B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる態様では、第1電極が部分的に露出された露出部を覆うように導電層が設けられ、この導電層にリード電極を接続するようにしたので、第1電極とリード電極との接触不良の問題が発生し難く、圧電素子の駆動を効率的に行うことができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の要部平面図であり、図3は図2のA−A′線断面図である。
図4は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部拡大平面図及び要部拡大断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
レイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
Claims (4)
- 液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室が複数設けられた流路形成基板と、
前記流路形成基板の前記圧力発生室が設けられた面とは反対側の面に、前記圧力発生室に対応して設けられた第1電極、前記第1電極上に設けられた圧電体層及び前記圧電体層上に設けられた第2電極を有する圧力発生素子と、
前記圧力発生素子毎に対して個別に設けられた前記第1電極に電気的に接続されるリード電極と、
前記第2電極が形成されておらず前記圧電体層が露出している領域の、前記第1電極が部分的に露出されている領域に、前記第1電極に少なくとも一部が接して設けられている導電層と、を具備し、
前記第2電極は、複数の前記圧力発生素子に対して共通の電極であり、
前記リード電極は、前記第2電極が形成されておらず前記圧電体層が露出している領域に設けられた切欠き部により露出された第1電極に対して前記導電層を介して接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
複数の前記圧力発生素子の間に、前記第2電極及び前記圧電体層が除去された開口部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記切り欠き部の前記圧力発生素子の並設方向の幅が前記第1電極の幅より小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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