JP5522346B2 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents
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液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成され、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、前記圧力室とオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
前記第1領域において、第1の方向に延び、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように形成された第1の導電層と、
前記第1の導電層を覆うように形成された圧電体層と、
前記第1領域において、前記端部を含む前記第1の導電層とオーバーラップし、前記圧電体層の一部を覆い、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように形成された第2の導電層と、
前記第2の導電層の上に形成された第1金属層と、
を有し、
前記第1領域内の前記圧電体層において、前記第1の導電層と前記第2の導電層とによって挟まれた領域を駆動領域とし、
前記第1の方向に直交した第2の方向に沿って延びる直線であって、前記第1の方向において前記駆動領域を中央で分割する線を第1の線とし、
前記第2の導電層の前記第1領域とオーバーラップした領域において、前記第1の線から前記第1の導電層の前記端部が形成されている側の一方の領域を第2領域とし、前記第1の線から他方の領域を第3領域としたとき、
前記第1金属層は、前記第2領域に配置される。
液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成され、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
複数の前記第1領域において、第1の方向に延び、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するようにそれぞれ形成された第1の導電層と、
複数の前記第1の導電層をそれぞれ覆うように形成された圧電体層と、
複数の前記第1領域において、前記端部を含む前記第1の導電層とそれぞれオーバーラップし、前記圧電体層の一部を覆い、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように連続して形成された第2の導電層と、
前記第2の導電層の上に形成された第1金属層と、
を有し、
前記第1領域内の前記圧電体層において、前記第1の導電層と前記第2の導電層とによって挟まれた領域を駆動領域とし、
前記第1の方向に直交した第2の方向に沿って延びる直線であって、前記第1の方向において前記駆動領域を中央で分割する線を第1の線とし、
前記第2の導電層の前記第1領域とオーバーラップした領域において、前記第1の線から前記第1の導電層の前記端部が形成されている側の一方の領域を第2領域とし、前記第1の線から他方の領域を第3領域としたとき、
前記第1金属層は、前記第2領域に配置される。
前記第2領域において、前記第1金属層の少なくとも一部は、前記第1の導電層にオーバーラップするように配置されてもよい。
前記第2領域において、前記第1金属層は、前記第1の導電層の前記端部の上に配置されてもよい。
前記第2領域において、前記第1金属層は、前記駆動領域とオーバーラップする領域のみに配置されてもよい。
前記第2領域において、前記第1金属層は、前記第1の導電層にオーバーラップしなくてもよい。
前記第3領域において、第2金属層が配置されてもよい。
前記第3領域において、前記第2金属層の少なくとも一部は、前記第1の導電層にオーバーラップするように配置されてもよい。
前記第3領域において、前記第2金属層は、前記第2の導電層の前記端部の上に配置されてもよい。
前記第3領域において、前記第2金属層は、前記駆動領域とオーバーラップする領域のみに配置されてもよい。
前記第2金属層は、前記第2の導電層の前記端部と隣接した前記圧電体層上から、前記端部を覆うように形成されてもよい。
前記第1金属層および前記第2金属層は、金からなっていてもよい。
前記圧電体層において、前記第2の導電層が上方に形成されていない部分の少なくとも一部を覆うように形成された、電気的絶縁膜からなる保護膜を含み、
前記保護膜は、前記圧電体層から前記第2の導電層の一部を覆うように形成されてもよい。
いずれかの上記液体噴射ヘッドを有する。
圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成され、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、前記圧力室とオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
前記第1領域において、第1の方向に延び、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように第1の導電層を形成する工程と、
前記第1の導電層を覆うように圧電体層を形成する工程と、
前記第1領域において前記端部を含む前記第1の導電層とオーバーラップし、前記圧電体層の一部を覆い、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように第2の導電層を形成する工程と、
前記第2の導電層の上に第1金属層を形成する工程と、
を有し、
前記第1領域内の前記圧電体層において、前記第1の導電層と前記第2の導電層とによって挟まれた領域を駆動領域とし、
前記第1の方向に直交した第2の方向に沿って延びる直線であって、前記第1の方向において前記駆動領域を中央で分割する線を第1の線とし、
前記第2の導電層の前記第1領域とオーバーラップした領域において、前記第1の線から前記第1の導電層の前記端部が形成されている側の一方の領域を第2領域とし、前記第1の線から他方の領域を第3領域としたとき、
前記第1金属層は、前記第2領域に配置される。
複数の圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成され、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
複数の前記第1領域において、第1の方向に延び、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように第1の導電層をそれぞれ形成する工程と、
複数の前記第1の導電層を覆うように、圧電体層をそれぞれ形成する工程と、
複数の前記第1領域において、前記端部を含む前記第1の導電層とオーバーラップし、前記圧電体層の一部を覆い、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように第2の導電層をそれぞれ形成する工程と、
前記第2の導電層の上に第1金属層を形成する工程と、
を有し、
前記第1領域内の前記圧電体層において、前記第1の導電層と前記第2の導電層とによって挟まれた領域を駆動領域とし、
前記第1の方向に直交した第2の方向に沿って延びる直線であって、前記第1の方向において前記駆動領域を中央で分割する線を第1の線とし、
前記第2の導電層の前記第1領域とオーバーラップした領域において、前記第1の線から前記第1の導電層の前記端部が形成されている側の一方の領域を第2領域とし、前記第1の線から他方の領域を第3領域としたとき、
前記第1金属層は、前記第2領域に配置される。
前記第1金属層を形成する工程は、前記第3領域に第2金属層を形成する工程を含んでいてもよい。
前記第1金属層を形成する工程の前に、前記圧電体層において、前記第2の導電層が上方に形成されていない部分の少なくとも一部を覆うように電気的絶縁膜からなる保護膜を形成する工程を含み、
前記保護膜は、前記圧電体層から前記第2の導電層の一部を覆うように形成されてもよい。
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。
次に、本実施形態に係る液体噴射装置について説明する。本実施形態に係る液体噴射装置は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。ここでは、本実施形態に係る液体噴射装置1000がインクジェットプリンターである場合について説明する。図13は、本実施形態に係る液体噴射装置1000を模式的に示す斜視図である。
14 連通路、15 リザーバ、20 ノズル板、21 ノズル孔、30 振動板、
31 第1の面、32 第2の面、33 第1領域、33a 第1の辺、
33b 第2の辺、34 第2領域、40 第1の導電層、41 端部、
42 第1導電部、43 第2導電部、50 圧電体層、50a エッチング保護膜、
50b 圧電体層、50c 中間チタン層、51 上面、52 側面、53 面、
54 開口部、55 駆動領域、55a 端部、55b 端部、60 第2の導電層、
60a マスク層、60b 導電層、61 端部、62 第2領域、
63 第3領域、67 第3の導電層、70 第4の導電層、71 第1金属層、
72 第2金属層、80 保護膜、91 封止領域、
100 圧電素子、110 圧電アクチュエーター、
200 第1の方向、210 第2の方向、220 第1の線、
300 液体噴射ヘッド、
1000 液体噴射装置、1010 駆動部、1020 装置本体、1021 トレイ、
1022 排出口、1030 ヘッドユニット、1031 インクカートリッジ、
1032 キャリッジ、1041 キャリッジモータ、1042 往復動機構、
1043 タイミングベルト、1044 キャリッジガイド軸、1050 給紙部、
1051 給紙モータ、1052 給紙ローラ、1060 制御部、
1070 操作パネル
Claims (11)
- 液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室を有する圧力室板と、
前記圧力室板の上方に形成され、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップした第1領域を有する振動板と、
複数の前記第1領域において、第1の方向に延び、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するようにそれぞれ形成された第1の導電層と、
複数の前記第1の導電層をそれぞれ覆うように形成された圧電体層と、
複数の前記第1領域において、前記端部を含む前記第1の導電層とそれぞれオーバーラップし、前記圧電体層の一部を覆い、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように連続して形成された第2の導電層と、
前記第2の導電層の上に形成された第1金属層と、
を有し、
前記第1領域内の前記圧電体層において、前記第1の導電層と前記第2の導電層とによって挟まれた領域を駆動領域とし、
前記第1の方向に直交した第2の方向に沿って延びる直線であって、前記第1の方向において前記駆動領域を中央で分割する線を第1の線とし、
前記第2の導電層の前記第1領域とオーバーラップした領域において、前記第1の線から前記第1の導電層の前記端部が形成されている側の一方の領域を第2領域とし、前記第1の線から他方の領域を第3領域としたとき、
前記第1の導電層の前記端部の位置により、前記第2領域側の前記駆動領域の前記第1の方向における端部の位置が規定され、
前記第1金属層は、金を用いて前記第2領域に形成される、液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、
前記第2領域において、前記第1金属層の少なくとも一部は、前記第1の導電層にオーバーラップするように配置される液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、
前記第2領域において、前記第1金属層は、前記第1の導電層の前記端部の上に配置される液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、
前記第2領域において、前記第1金属層は、前記駆動領域とオーバーラップする領域のみに配置される液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、
前記第2領域において、前記第1金属層は、前記第1の導電層にオーバーラップしない液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項において、
前記第3領域において、第2金属層が配置される液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項において、
前記圧電体層において、前記第2の導電層が上方に形成されていない部分の少なくとも一部を覆うように形成された、電気的絶縁膜からなる保護膜を含み、
前記保護膜は、前記圧電体層から前記第2の導電層の一部を覆うように形成される液体噴射ヘッド。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
- 複数の圧力室を有する圧力室板を形成する工程と、
前記圧力室板の上方に形成され、前記圧力室板と対向した第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面を有し、前記第2の面において、複数の前記圧力室とそれぞれオーバーラップする第1領域を有した振動板を形成する工程と、
複数の前記第1領域において、第1の方向に延び、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように第1の導電層をそれぞれ形成する工程と、
複数の前記第1の導電層を覆うように、圧電体層をそれぞれ形成する工程と、
複数の前記第1領域において、前記端部を含む前記第1の導電層とオーバーラップし、前記圧電体層の一部を覆い、前記第1の方向における一方の端部を前記第1領域内に有するように第2の導電層をそれぞれ形成する工程と、
前記第2の導電層の上に第1金属層を形成する工程と、
を有し、
前記第1領域内の前記圧電体層において、前記第1の導電層と前記第2の導電層とによって挟まれた領域を駆動領域とし、
前記第1の方向に直交した第2の方向に沿って延びる直線であって、前記第1の方向において前記駆動領域を中央で分割する線を第1の線とし、
前記第2の導電層の前記第1領域とオーバーラップした領域において、前記第1の線から前記第1の導電層の前記端部が形成されている側の一方の領域を第2領域とし、前記第1の線から他方の領域を第3領域としたとき、
前記第1の導電層の前記端部の位置により、前記第2領域側の前記駆動領域の前記第1の方向における端部の位置が規定され、
前記第1金属層は、金を用いて前記第2領域に形成される、液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項9において、
前記第1金属層を形成する工程は、前記第3領域に第2金属層を形成する工程を含む液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項9において、
前記第1金属層を形成する工程の前に、前記圧電体層において、前記第2の導電層が上方に形成されていない部分の少なくとも一部を覆うように電気的絶縁膜からなる保護膜を形成する工程を含み、
前記保護膜は、前記圧電体層から前記第2の導電層の一部を覆うように形成される液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009054613A JP5522346B2 (ja) | 2009-03-09 | 2009-03-09 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009054613A JP5522346B2 (ja) | 2009-03-09 | 2009-03-09 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010208071A JP2010208071A (ja) | 2010-09-24 |
JP5522346B2 true JP5522346B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=42968801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009054613A Active JP5522346B2 (ja) | 2009-03-09 | 2009-03-09 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5522346B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5743076B2 (ja) * | 2011-04-06 | 2015-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014034114A (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
JP6094143B2 (ja) * | 2012-10-25 | 2017-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子 |
JP2015150713A (ja) | 2014-02-12 | 2015-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
JP6256641B2 (ja) * | 2017-02-01 | 2018-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3102481B1 (ja) * | 1998-06-08 | 2000-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3611016B2 (ja) * | 1999-02-05 | 2005-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP3531553B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2004-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
JP3491688B2 (ja) * | 2000-10-16 | 2004-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP3636301B2 (ja) * | 2000-12-13 | 2005-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP2007261216A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP4911289B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2012-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
-
2009
- 2009-03-09 JP JP2009054613A patent/JP5522346B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010208071A (ja) | 2010-09-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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