JP2007261216A - アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10の一方面側に振動板を介して設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300と、絶縁材料からなり圧電素子300の少なくとも側面を覆って設けられる保護膜100とを具備し、圧電素子300の実質的な駆動部である圧電体能動部320を構成する上電極80に対向する領域の保護膜100に、圧電素子300の長手方向に沿って複数の凹部101が並設されているようにする。
【選択図】図3
Description
かかる第1の態様では、圧力発生室の長手方向における振動板の剛性が、圧力発生室の幅方向の剛性よりも大きくなる。したがって、絶縁破壊の発生を防止すると共に圧電素子の駆動による振動板の変位量の低下も抑えられ、且つ圧電素子の変形に伴う振動板の破壊も防止することができる。
かかる第2の態様では、圧電素子の変形に伴う振動板の破壊を防止でき、且つ振動板の変位量の低下もより確実に抑えられる。
かかる第3の態様では、振動板の変位量の低下がより確実に抑えられる。
かかる第4の態様では、大気中の水分(湿度)の起因する圧電素子の絶縁破壊をより確実に防止することができる。
かかる第5の態様では、液滴の吐出特性、耐久性等の各種特性に優れた液体噴射ヘッドを実現することができる。
かかる第6の態様では、圧電素子の変形に伴う振動板の破壊を防止しつつ圧電素子の駆動による振動板の変位量の低下もより確実に抑えることができる。
かかる第7の態様では、圧力発生室の幅方向における振動板の剛性のみが実質的に振動板の変形に寄与するため、保護膜に複数の凹部を設けることによる振動板の変位量の低下が少なくなる。
図1は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの要部平面図及びそのA−A′断面図である。
Claims (8)
- 基板の一方面側に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、絶縁材料からなり前記圧電素子の少なくとも側面を覆って設けられる保護膜とを具備し、前記圧電素子の実質的な駆動部である圧電体能動部を構成する前記上電極に対向する領域の前記保護膜に、前記圧電素子の長手方向に沿って複数の凹部が並設されていることを特徴とするアクチュエータ装置。
- 前記圧電素子の長手方向での前記凹部の長さが、前記圧電体能動部の長さの2/3以上であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記凹部が前記保護膜を貫通する貫通孔であることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記保護膜が、無機絶縁材料からなることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1〜4の何れかに記載のアクチュエータ装置を前記基板に形成された圧力発生室に当該圧力発生室内の液体をノズル開口から噴射させるための圧力を発生させる圧力発生手段として具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 隣接する前記凹部間の前記保護膜の圧電素子長手方向の幅が前記圧力発生室の幅以下であることを特徴とする請求項5に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電素子の長手方向両端部が、前記圧力発生室に対向する領域の外側までそれぞれ延設されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項5〜7の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010208071A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
US7914128B2 (en) | 2008-03-28 | 2011-03-29 | Sieko Epson Corporation | Liquid ejecting head, piezoelectric element, and liquid ejecting apparatus |
JP2012171245A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10146986A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Nec Niigata Ltd | インクジェット記録装置 |
JPH11245406A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2001260357A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-25 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2004209740A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP3552013B2 (ja) * | 1996-12-09 | 2004-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10146986A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Nec Niigata Ltd | インクジェット記録装置 |
JP3552013B2 (ja) * | 1996-12-09 | 2004-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JPH11245406A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2001260357A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-25 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2004209740A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7914128B2 (en) | 2008-03-28 | 2011-03-29 | Sieko Epson Corporation | Liquid ejecting head, piezoelectric element, and liquid ejecting apparatus |
JP2010208071A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
JP2012171245A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
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