JP2010208237A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電素子300に対向する領域には、被覆膜100及び第2の電極80の一部が除去された中抜き部101が設けられており、中抜き部101を画成する被覆膜100の端面の流路形成基板10に対する傾斜角度θ1と中抜き部101を画成する第2の電極80の端面の傾斜角度θ2とが、θ2<θ1の関係を満たしている構成とする。
【選択図】図3
Description
かかる本発明では、中抜き部の端部への応力集中が抑えられるため、この部分を起点として圧電素子にクラックが生じるのを抑えることができる。特に、圧電素子の幅方向(短手方向)の中抜き部の端部においては、クラックの発生が顕著に抑えられる。
かかる本発明では、中抜き部の端部への応力集中が抑えられるため、この部分を起点として圧電素子にクラックが生じるのを抑えることができる。特に、圧電素子の幅方向(短手方向)の中抜き部の端部においては、クラックの発生が顕著に抑えられる。
図1は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2はその断面図である。また図3は圧電素子の構成を示す平面図であり、図4は、図3のA−A′断面図である。
Claims (6)
- ノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板の上部に形成される第1の電極と、該第1の電極の上部に形成される圧電体層と、該圧電体層の上部に形成される第2の電極とで構成される圧電素子と、前記圧電素子を覆って設けられる被覆膜と、を具備すると共に、前記圧電素子に対向する領域には、前記被覆膜及び前記第2の電極の一部が除去された中抜き部が設けられており、
前記中抜き部を画成する前記被覆膜の端面の前記流路形成基板に対する傾斜角度θ1と前記中抜き部を画成する前記第2の電極の端面の傾斜角度θ2とが、θ2<θ1の関係を満たしていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記中抜き部を構成する前記被覆膜又は前記第2の電極の端面の傾斜角度が前記中抜き部の深さ方向で変化する場合には、
前記傾斜角度θ1が前記被覆膜の端面の上端と下端とを結ぶ直線の前記流路形成基板に対する傾斜角度であり、前記傾斜角度θ2が前記第2の電極の端面の上端と下端とを結ぶ直線の前記流路形成基板に対する傾斜角度であることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記中抜き部を構成する前記被覆膜の端面及び前記第2の電極の端面の少なくとも一方が曲面で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記中抜き部を構成する前記被覆膜の端面及び前記第2の電極の端面の少なくとも一方が、傾斜角度の異なる複数の傾斜面で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 基板の上部に形成される第1の電極と、該第1の電極の上部に形成される圧電体層と、該圧電体層の上部に形成される第2の電極とで構成される圧電素子と、前記圧電素子を覆って設けられる被覆膜と、を具備すると共に、前記圧電素子に対向する領域には、前記被覆膜及び前記第2の電極の一部が除去された中抜き部が設けられており、
前記中抜き部を画成する前記被覆膜の端面の前記流路形成基板に対する傾斜角度θ1と前記中抜き部を画成する前記第2の電極の端面の傾斜角度θ2とが、θ2<θ1の関係を満たしていることを特徴とするアクチュエーター。
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