JP2007216429A - 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法において、流路形成用基板、振動板、下電極、圧電体層及び上電極の順で積層された部材の上電極及び圧電体層を各圧力発生室毎にパターニングする工程、少なくとも該上電極及び該圧電体層を覆うように保護膜を形成する工程、該保護膜にコンタクトホールを形成する工程、該コンタクトホールに露出している部分の上電極を逆スパッタ処理し、該コンタクトホールを貫通して上電極に接続するリード電極を形成する工程、次いで、該上電極の中央部の上にある該保護膜を除去して中抜き部を形成する工程からなることを特徴とする液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法。
【選択図】図1
Description
かかる第1の態様では、密着性確保のための逆スパッタ処理→NiCr成膜→Au成膜からなるリード電極の形成における逆スパッタ処理の段階では、上電極膜の中央部の上にある保護膜は除去されていない(中抜き部が形成されていない)ので、コンタクトホールに露出している部分の上電極膜だけがエッチングされる(清浄化される)ことになる。即ち、後工程で形成される中抜き部に相当する部分の上電極膜がエッチングされることがなく、上電極膜の厚みにばらつきが生じることがなく、変位のばらつき、ひいては、ヘッドの吐出特性のばらつきは生じない。
かかる第2の態様は、上電極膜が露出するまで保護膜を除去するので圧電体能動部の変位を阻害することがなく、液体の噴射特性を保持することができる。
かかる第3の態様は、上電極膜の表面に保護膜の薄肉部が形成されているので、その薄肉部によって圧電素子の外部環境に起因する破壊を防止しつつ、圧電素子の変形量を過度に落とすこともない。
図1(a)、(b)、(c)及び(d)は本発明の液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法の工程を説明する概略図である。
圧電素子、 320 圧電体能動部
Claims (3)
- 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法において、
流路形成用基板、振動板、下電極、圧電体層及び上電極の順で積層された部材の上電極及び圧電体層を各圧力発生室毎にパターニングする工程、
少なくとも該上電極及び該圧電体層を覆うように保護膜を形成する工程、
該保護膜にコンタクトホールを形成する工程、
該コンタクトホールに露出している部分の上電極を逆スパッタ処理し、該コンタクトホールを貫通して上電極に接続するリード電極を形成する工程、
次いで、該上電極の中央部の上にある該保護膜を除去して中抜き部を形成する工程
からなることを特徴とする液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法。 - 上電極が露出するまで該保護膜を除去する請求項1記載の液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法。
- 該保護膜をハーフエッチング除去して該保護膜を厚み方向で一部残す請求項1記載の液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法。
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