JP2005212289A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電素子300を各圧力発生室12に対向する領域に設け、圧電素子300間に対応する領域の下電極60上から圧電素子300の外側まで引き出される接続配線90を設けると共に圧電素子300を構成する各層及び接続配線90を耐湿性を有する絶縁材料からなる保護膜100によって覆い、上電極80に接続される個別電極用リード電極110と接続配線90に接続される共通電極用リード電極120とを保護膜100上に設けると共に接続配線90と共通電極用リード電極120とを接続するための保護膜100の開口部100bを、圧電素子300の外側の領域に設ける。
【選択図】 図2
Description
かかる第1の態様では、共通電極と共通電極用リード電極とを接続するための開口部が、圧電素子の長手方向端部の外側の領域に設けられているため、圧電素子の間隔がこの開口部によって制限されることがなく、圧電素子を高密度に配列することができる。
かかる第2の態様では、圧電素子間を狭くすることにより圧電素子を高密度に配列でき且つ接続配線と共通電極用リード電極とを良好に接続することができる。
かかる第3の態様では、圧電素子を高密度に配列してヘッドを小型化することができると共に、接続配線と共通電極用リード電極とを良好に接続することができる。
かかる第4の態様では、接続配線の周囲に保護膜が良好に形成され、大気中の水分等に起因する圧電素子の破壊を確実に防止できる。
かかる第5の態様では、接続配線として特定の材料を用いることで、共通電極と接続配線とで電池が形成されるのを防止することができる。これにより、接続配線のエッチング時に発生する共通電極及び接続配線の腐食が防止される。
かかる第6の態様では、信頼性及び耐久性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図であり、図3は、図2のA−A′断面図及びB−B′断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ1〜2μmの弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、隔壁11によって区画された複数の圧力発生室12が並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14を介して連通されている。なお、連通部13は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、各接続配線は、それぞれ独立して設けられているが、これに限定されず、例えば、図4に示すように、接続配線90の接続部90aとは反対側の端部を圧力発生室12の外側まで延設し、圧力発生室12の外側の領域で各接続配線90を連結するようにしてもよい。これにより、複数の圧電素子300を同時に駆動した際の電圧降下の発生をより確実に防止することができる。また、上述した実施形態では、接続配線90及び共通電極用リード電極120は、圧電素子300の間のみに設けられているが、勿論、圧電素子300の列の外側にも設けられていてもよい。
Claims (6)
- 液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する複数の圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる共通電極、圧電体層及び個別電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子が各圧力発生室に対向する領域に設けられ、前記圧電素子間に対応する領域の前記共通電極上から前記圧電素子が並設された領域の外側まで引き出される接続配線を有すると共に前記圧電素子を構成する各層及び前記接続配線が耐湿性を有する無機絶縁材料からなる保護膜によって覆われ、前記個別電極に接続される個別電極用リード電極と前記接続配線に接続される共通電極用リード電極とが前記保護膜上に設けられると共に前記接続配線と前記共通電極用リード電極を接続するための前記保護膜の開口部が、前記圧電素子の並設された領域の外側の領域に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、前記保護膜の開口部に対向する前記接続配線の接続部の幅が、少なくとも前記圧電素子間に対応する領域の幅よりも広くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1又は2において、前記圧電素子間に対応する領域の前記接続配線の幅が、前記圧力発生室間の隔壁の幅よりも狭いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜3の何れかにおいて、前記接続配線が、単層で構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項4において、前記接続配線が、タングステン、モリブデン又はタンタルで形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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