JP2007118193A

JP2007118193A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

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Publication number: JP2007118193A
Application number: JP2005309091A
Authority: JP
Inventors: Shiro Yazaki; 士郎矢崎
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-10-24
Filing date: 2005-10-24
Publication date: 2007-05-17
Anticipated expiration: 2025-10-24
Also published as: US20070091149A1; JP4868118B2; US7637600B2

Abstract

【課題】圧電素子の破壊を確実に防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板の一方面側に設けられて圧電体能動部３２０の長手方向の端部を規定する下電極６０と、圧電体能動部３２０の短手方向の端部を規定する圧電体層及び上電極８０とからなる圧電素子３００と、該圧電素子３００を覆い前記上電極８０の表面を露出する露出部１０１が設けられた保護膜１００とを具備し、前記露出部１０１の長手方向の端部と前記圧電体能動部３２０の長手方向の端部との距離が、前記露出部１０１の幅が前記上電極８０の幅の５０％以上の場合には、前記上電極８０の幅の５０％以上とし、前記露出部１０１の幅が前記上電極８０の幅の５０％より小さい場合には、前記露出部１０１の幅以上とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

インクを吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインクを吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。

そして、たわみ振動モードのアクチュエータを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものがある。このような圧電素子は、例えば、湿気等の外部環境に起因して破壊され易いという問題を有する。

そこで、このような圧電素子の破壊を防止すると共に圧電素子の変形を阻害しないようにするヘッド構造として、圧電素子を構成する上電極の上面の少なくとも周縁及び圧電体層の側面を覆うように、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、有機材料、好ましくは感光性ポリイミドからなる薄い絶縁体膜を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。

また、圧電素子の破壊を防止すると共に圧電素子の変形を阻害しないようにするヘッド構造として、圧電素子を絶縁体からなる保護膜で覆うと共に、上電極の主要部に対応する領域に他の領域よりも薄い薄肉部を設けものがある（例えば、特許文献２参照）。

しかしながら、特許文献１の構成では、上電極を露出させた領域の長手方向の端部が規定されておらず、この端部が圧電素子の実質的な駆動部である圧電体能動部の端部よりも外側になっていると、圧電素子が撓み変形した際に、露出された領域の端部近傍に応力が集中し、圧電素子が破壊されてしまうという問題がある。

また、特許文献２では、保護膜の上電極の表面に薄肉部を設けることにより、圧電素子の外部環境に起因する破壊を防止することができるものの、薄肉部は、エッチング時間を調整するハーフエッチングにより形成されるため、薄肉部の厚さの管理が困難であり、均一な変位特性の圧電素子を得るのは難しいという問題がある。また、上電極の表面を露出した後、さらに薄肉部を形成することで薄肉部の厚さの管理を行うことができるものの、薄肉部を形成するための製造工程が増加し、煩雑であると共にコストが増大してしまうという問題がある。さらに、薄肉部によって圧電素子の撓み変形量が減少し、インク吐出特性が低下してしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

特許第３５５２０１３号（第４頁、第４図）特開２００１−２６０３５７号公報（第５〜６頁、第７〜８図）

本発明はこのような事情に鑑み、圧電素子の破壊を確実に防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板の一方面側に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、該圧電素子を覆うと共に前記上電極の表面を露出する露出部が設けられた無機絶縁材料からなる保護膜とを具備し、前記下電極の長手方向の端部が、前記圧力発生室に相対向する領域内に設けられて、前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の長手方向の端部を規定していると共に、前記上電極及び前記圧電体層の幅方向の端部が、前記圧力発生室に相対向する領域内に設けられて、前記圧電体能動部の短手方向の端部を規定し、且つ前記露出部の長手方向の端部と前記圧電体能動部の長手方向の端部との距離が、前記露出部の幅が前記上電極の幅の５０％以上の場合には、前記上電極の幅の５０％以上であると共に、前記露出部の幅が前記上電極の幅の５０％より小さい場合には、前記露出部の幅以上であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、無機材料からなる保護膜を設けることにより空気中の水分などの外部環境に起因する圧電素子の破壊を防止することができると共に、保護膜に露出部を設けることにより圧電体能動部の変位を阻害することなく、液体の噴射特性を保持することができる。また、露出部の端部を圧電体能動部の端部に基づいて規定することで、圧電体能動部と実質的に駆動しない圧電体非能動部との境界の剛性を低下させることなく、圧電素子や振動板などの破壊を防止することができる。

本発明の第２の態様は、前記露出部の長手方向端部には、当該露出部の幅が当該端部に向かって漸小するテーパ部が設けられていることを特徴とする第１の態様記載の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、保護膜にテーパ部を設けることによって、圧電素子の圧電体能動部と圧電体非能動部との境界の応力集中を分散させることができ、圧電素子や振動板などの破壊を防止することができる。

本発明の第３の態様は、前記露出部の幅が、前記上電極の幅の２５〜７５％であることを特徴とする第１又は２の態様に記載の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、保護膜によって、圧電体能動部の変位を阻害することなく、確実に圧電素子を覆って、圧電素子の外部環境に起因する破壊を防止することができる。

本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第４の態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの要部平面図であり、図３は、図２おＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。

また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、後述するマスク膜５２を介して接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０^-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。

一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、二酸化シリコンからなり厚さが例えば、約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）等からなり厚さが例えば、約０．３〜０．４μｍの絶縁体膜５５が積層形成されている。また、絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．１〜０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約０．５〜５μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とからなる圧電素子３００が形成されている。

ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部３２０という。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室１２毎に圧電体能動部３２０が形成されていることになる。

また、本実施形態では、下電極膜６０の圧力発生室１２の長手方向の端部を圧力発生室１２に相対向する領域内に設けることで、圧電素子３００の実質的な駆動部となる圧電体能動部３２０の長手方向の端部（長さ）を規定している。また、圧電体層７０及び上電極膜８０の圧力発生室１２の幅方向の端部を圧力発生室１２に相対向する領域内に設けることで、圧電体能動部３２０の短手方向の端部（幅）を規定している。すなわち、圧電体能動部３２０は、パターニングされた下電極膜６０及び上電極膜８０によって、圧力発生室１２に相対向する領域にのみ設けられていることになる。さらに、本実施形態では、圧電体層７０及び上電極膜８０が、図３（ｂ）に示すように、上電極膜８０側の幅が狭くなるようにパターニングされ、その側面は傾斜面となっている。

また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、本実施形態では、下電極膜６０を複数の圧電素子３００の並設方向に亘って設け、下電極膜６０の圧力発生室１２の長手方向の端部を、圧力発生室１２に相対向する位置となるように設けた。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。

そして、圧電素子３００を構成する下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０（圧電体能動部３２０）は、耐湿性を有する絶縁材料からなる保護膜１００によって覆われている。具体的には、保護膜１００は、圧電体層７０の側面と上電極膜８０の上面の周縁を覆うように設けられている。すなわち、上電極膜８０の上面の主要部は、保護膜１００が設けられておらず、上電極膜８０の上面の主要部を露出する露出部１０１が設けられている。露出部１０１は、保護膜１００を厚さ方向に貫通して圧電素子３００の長手方向に沿って矩形状に開口するものであり、例えば、流路形成基板１０上の全面に亘って保護膜１００を形成した後、選択的にパターニングすることで形成することができる。

このような露出部１０１の長手方向の端部は、圧電体能動部３２０の長手方向の端部、すなわち、下電極膜６０の圧力発生室１２の長手方向の端部から所定の距離内側となるように設けられている。

ここで、図２に示すように、露出部１０１の長手方向の端部と、圧電体能動部３２０の長手方向の端部との距離ｄは、露出部１０１の幅Ｗ_１が上電極膜８０の幅Ｗの５０％以上の場合（Ｗ_１≧Ｗ／２）には、距離ｄは上電極膜８０の幅Ｗの５０％以上（ｄ≧Ｗ／２）である。また、逆に露出部１０１の幅Ｗ_１が、上電極膜８０の幅Ｗの５０％より小さい場合（Ｗ_１＜Ｗ／２）には、距離ｄは露出部１０１の幅Ｗ_１以上（ｄ≧Ｗ_１）である。

そして、露出部１０１の幅Ｗ_１は、上電極膜８０の幅Ｗの２５〜７５％が好ましい。これは、例えば、露出部１０１の幅Ｗ_１が小さすぎると、詳しくは後述するが、保護膜１００が圧電素子３００（圧電体能動部３２０）の変位を阻害し、インクの吐出特性が低下してしまうと共に、露出部１０１の幅Ｗ_１が大きすぎると、圧電体層７０の側面を露出してしまう虞があり、圧電素子３００の大気中の水分などの外部環境に起因する破壊を防止することができないからである。本実施形態では、上電極膜８０の幅Ｗを約４０μｍとしたため、露出部１０１の幅Ｗ_１を１０〜３０μｍとするのが好ましい。

このように圧電素子３００を保護膜１００で覆うことにより、大気中の水分等に起因する圧電素子３００の破壊を防止することができる。ここで、このような保護膜１００材料としては、耐湿性を有する材料であればよいが、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ_ｘ）、酸化タンタル（ＴａＯ_ｘ）、酸化アルミニウム（ＡｌＯ_ｘ）等の無機絶縁材料を用いるのが好ましく、特に、無機アモルファス材料である酸化アルミニウム（ＡｌＯ_ｘ）、例えば、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を用いるのが好ましい。保護膜１００の材料として酸化アルミニウムを用いた場合、保護膜１００の膜厚を１００ｎｍ程度と比較的薄くしても、高湿度環境下での水分透過を十分に防ぐことができる。

また、保護膜１００に露出部１０１を設けることにより、圧電素子３００（圧電体能動部３２０）の変位を阻害することなく、インク吐出特性を良好に保持することができる。さらに、露出部１０１の端部を上述のように圧電体能動部３２０の端部に基づいて規定することにより、圧電体能動部３２０の駆動によって圧電素子３００の圧電体能動部３２０と実質的に駆動しない圧電体非能動部との境界に応力が集中した際に、この境界周辺の剛性を低下させることなく、応力集中による圧電素子３００及び振動板の破壊を防止することができる。

なお、本実施形態では、保護膜１００を図３（ｂ）に示すように、複数の圧電素子３００（圧電体能動部３２０）に亘って連続して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、保護膜１００を各圧電素子３００毎に設けるようにしてもよい。

この保護膜１００上には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が設けられている。リード電極９０は、保護膜１００に設けられた開口部１００ａを介して一端部が上電極膜８０に接続されると共に、他端部が流路形成基板１０の端部近傍まで延設され、延設された先端部は、後述する圧電素子を駆動する駆動回路と接続配線を介して接続されている。

また、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が、接着剤３５によって接合されている。なお、圧電素子保持部３１は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。

また、保護基板３０には、連通部１３に対向する領域にリザーバ部３２が設けられており、このリザーバ部３２は、上述したように、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１１０を構成している。また、保護基板３０の圧電素子保持部３１とリザーバ部３２との間の領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられ、この貫通孔３３内に下電極膜６０の一部及びリード電極９０の先端部が露出されている。

また、保護基板３０上には、圧電素子３００を駆動するための駆動回路２００が固定されている。この駆動回路２００としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路２００とリード電極９０とはボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線２１０を介して電気的に接続されている。

保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１１０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１１０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、保護膜１００に開口が矩形状の露出部１０１を設けるようにしたが、露出部１０１の形状は、特にこれに限定されるものではない。ここで、露出部の他の形状について図４を参照して説明する。なお、図４は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの要部平面図である。図４に示すように、露出部１０１の長手方向の端部には、露出部１０１の幅が端部に向かって漸小するテーパ部１０２が設けられている。本実施形態では、テーパ部１０２をその開口が台形状となるように設けた。このように露出部１０１の長手方向端部にテーパ部１０２を設けることにより、圧電素子３００の圧電体能動部３２０と圧電体非能動部との境界の応力集中を分散させることができ、さらに圧電素子３００（圧電体能動部３２０）及び振動板の破壊を防止することができる。なお、露出部１０１にテーパ部１０２を設けた場合にも、テーパ部１０２の端部と圧電体能動部３２０の端部（下電極膜６０の端部）との距離ｄが、上述した実施形態１と同様に、露出部１０１の幅Ｗ_１及び上電極膜８０の幅Ｗに基づいて規定されている。また、図４に示す例では、テーパ部１０２を開口が台形状となるように設けるようにしたが、テーパ部１０２の形状は特にこれに限定されず、例えば、三角形状、円形状及び楕円形状の開口で形成してもよい。

また、上述した実施形態１では、圧電素子保持部３１を有する保護基板３０を設けるようにしたが、圧電素子３００は保護膜１００によって覆われて外部環境に起因する破壊が防止されているため、保護基板３０を厚さ方向に貫通する圧電素子保持部としてもよく、また保護基板を設けなくてもよい。

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

また、上述した実施形態１では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。さらに、本発明は、このような液体噴射ヘッドに圧力発生手段として搭載されるアクチュエータ装置だけでなく、あらゆる装置に搭載されるアクチュエータ装置に適用することができる。例えば、アクチュエータ装置は、上述したヘッドの他に、センサー等にも適用することができる。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの要部平面図である。本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。

符号の説明

１０流路形成基板、１２圧力発生室、１３連通部、１４インク供給路、２０ノズルプレート、２１ノズル開口、３０保護基板、３１圧電素子保持部、３２リザーバ部、４０コンプライアンス基板、６０下電極膜、７０圧電体層、８０上電極膜、９０リード電極、１００保護膜、１０１露出部、１０２テーパ部、１１０リザーバ、２００駆動回路、２１０接続配線、３００圧電素子、３２０圧電体能動部

Claims

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板の一方面側に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、該圧電素子を覆うと共に前記上電極の表面を露出する露出部が設けられた無機絶縁材料からなる保護膜とを具備し、
前記下電極の長手方向の端部が、前記圧力発生室に相対向する領域内に設けられて、前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の長手方向の端部を規定していると共に、前記上電極及び前記圧電体層の幅方向の端部が、前記圧力発生室に相対向する領域内に設けられて、前記圧電体能動部の短手方向の端部を規定し、
且つ前記露出部の長手方向の端部と前記圧電体能動部の長手方向の端部との距離が、前記露出部の幅が前記上電極の幅の５０％以上の場合には、前記上電極の幅の５０％以上であると共に、前記露出部の幅が前記上電極の幅の５０％より小さい場合には、前記露出部の幅以上であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記露出部の長手方向端部には、当該露出部の幅が当該端部に向かって漸小するテーパ部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
前記露出部の幅が、前記上電極の幅の２５〜７５％であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。