JP5413598B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、圧電素子の構造を示す平面図及びそのA−A′断面図である。また図3(a)は図2のB−B′断面図であり、図3(b)は図2のC−C′断面図である。
レイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
Claims (5)
- 液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して各圧力発生室に対応して設けられる圧電素子と、を具備し、
該圧電素子は、前記流路形成基板上に設けられて前記圧電素子毎に独立する第1の電極と、該第1の電極上に設けられる圧電体層と、該圧電体層上に複数の圧電素子に亘って連続して設けられてこれら複数の圧電素子に共通する第2の電極と、で構成され、当該圧電素子は、前記第1の電極と前記圧電体層と前記第2の電極とが積層された圧電体能動部と、該圧電体能動部から連続する前記第1の電極と前記圧電体層とを有するが電圧駆動されない圧電体非能動部とを、前記圧力発生室に対向して備えると共に、前記圧電体非能動部が、前記圧力発生室の外側まで延設されており、前記圧電体非能動部の前記圧電体層上には、前記第2の電極の内部応力と同じ方向の内部応力を有し前記第2の電極とは電気的に絶縁された応力制御層が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記応力制御層が、前記圧力発生室の長手方向端部よりも内側に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記応力制御層が、前記第2の電極と同一層で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記応力制御層が、前記圧力発生室の短手方向外側まで延設されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010055171A JP5413598B2 (ja) | 2010-03-11 | 2010-03-11 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
CN201110060943.XA CN102189799B (zh) | 2010-03-11 | 2011-03-09 | 液体喷射头以及液体喷射装置 |
US13/045,410 US8632167B2 (en) | 2010-03-11 | 2011-03-10 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010055171A JP5413598B2 (ja) | 2010-03-11 | 2010-03-11 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011189523A JP2011189523A (ja) | 2011-09-29 |
JP5413598B2 true JP5413598B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=44559573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010055171A Active JP5413598B2 (ja) | 2010-03-11 | 2010-03-11 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8632167B2 (ja) |
JP (1) | JP5413598B2 (ja) |
CN (1) | CN102189799B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5957914B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2016-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP2013169061A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Seiko Epson Corp | 液滴噴射ヘッド |
JP6337703B2 (ja) | 2014-09-01 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP6582803B2 (ja) * | 2015-09-25 | 2019-10-02 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、液体吐出ヘッド、および、電子デバイスの製造方法 |
JP6707974B2 (ja) * | 2016-04-27 | 2020-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | Memsデバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
JP6146515B2 (ja) * | 2016-06-17 | 2017-06-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、圧電デバイスおよび液体噴射装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3412156B2 (ja) * | 1992-08-26 | 2003-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JP3543933B2 (ja) * | 1999-01-26 | 2004-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3114808B2 (ja) * | 1998-07-29 | 2000-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
US6502928B1 (en) | 1998-07-29 | 2003-01-07 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus comprising the same |
JP2000052550A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-22 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3491688B2 (ja) | 2000-10-16 | 2004-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP5358868B2 (ja) * | 2004-11-01 | 2013-12-04 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 |
JP5162871B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2013-03-13 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置用ヘッドの駆動方法および液滴吐出装置用ヘッド |
JP4386091B2 (ja) * | 2007-04-02 | 2009-12-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
JP5278654B2 (ja) | 2008-01-24 | 2013-09-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP5327443B2 (ja) | 2008-03-03 | 2013-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009255529A (ja) | 2008-03-27 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ |
CN101544113A (zh) * | 2008-03-27 | 2009-09-30 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头、液体喷射装置、以及执行器 |
JP5061990B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2012-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ |
JP2010137485A (ja) | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2010149376A (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
-
2010
- 2010-03-11 JP JP2010055171A patent/JP5413598B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-09 CN CN201110060943.XA patent/CN102189799B/zh active Active
- 2011-03-10 US US13/045,410 patent/US8632167B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102189799B (zh) | 2014-09-17 |
CN102189799A (zh) | 2011-09-21 |
JP2011189523A (ja) | 2011-09-29 |
US20110221832A1 (en) | 2011-09-15 |
US8632167B2 (en) | 2014-01-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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