JP5741867B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
本態様によれば、圧電体層が、圧力発生室の長手方向における下電極の一端部および圧力発生室の一端部を超えて設けられているので、特に第3の部分での圧電体層の剛性を高めることができ、圧電素子の変位に伴い圧電体層の一部に応力集中が発生してもこの部分の破損を有効に回避することができる。
また、圧電体層をエッチングにより形成すると上電極の付きまわりが悪く、剥離し易いという問題を生起し、しかもかかる剥離は圧電体層を細くエッチングした場合に顕著になる。これに対し、本態様によれば第3の部分ではある程度の幅を確保することができ、また第2の部分ではエッチングの必要がないので上電極の付着性を向上させることができる。この結果、上電極の剥離を有効に防止することができ、当該液体噴射ヘッドの信頼性の向上に資することができる。
さらに、本態様では、前記下電極の一端部よりも前記圧力発生室の他端側にあるので、大きな応力が集中する下電極の前記端部での圧電体層の破壊を有効に防止することができる。ここで、前記下電極の一端部が、前記圧力発生室対応する領域に位置するのが望ましい。
本発明の他の態様は、液滴を吐出するノズルに連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側に設けられた個別電極としての下電極、圧電体層及び前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられた共通電極としての上電極と、を具備し、前記圧電体層は、前記圧力発生室の長手方向における前記下電極の一端部および前記圧力発生室の一端部を超えて設けられるともに、前記並設方向において前記下電極よりも広い幅で且つ前記圧力発生室よりも狭い幅の第1の部分と、複数の前記圧力発生室に亘って共通化された第2の部分と、前記第1の部分から前記第2の部分にかけて幅が漸増する第3の部分を有し、前記第1の部分と前記第3の部分との境界が、前記圧力発生室の長手方向において前記下電極の一端部よりも前記圧力発生室の他端側にあることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、圧電体層が、圧力発生室の長手方向における下電極の一端部および圧力発生室の一端部を超えて設けられているので、特に第3の部分での圧電体層の剛性を高めることができ、圧電素子の変位に伴い圧電体層の一部に応力集中が発生してもこの部分の破損を有効に回避することができる。
また、圧電体層をエッチングにより形成すると上電極の付きまわりが悪く、剥離し易いという問題を生起し、しかもかかる剥離は圧電体層を細くエッチングした場合に顕著になる。これに対し、本態様によれば第3の部分ではある程度の幅を確保することができ、また第2の部分ではエッチングの必要がないので上電極の付着性を向上させることができる。この結果、上電極の剥離を有効に防止することができ、当該液体噴射ヘッドの信頼性の向上に資することができる。
さらに、本態様では、前記第1の部分と前記第3の部分との境界が、前記圧力発生室の長手方向において前記下電極の一端部よりも前記圧力発生室の他端側にあるので、大きな応力が集中する下電極の前記端部での圧電体層の破壊を有効に防止することができる。ここで、前記下電極の一端部が、前記圧力発生室対応する領域に位置するのが望ましい。
さらに、本発明の他の態様は、液滴を吐出するノズルに連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側に設けられた個別電極としての下電極、圧電体層及び前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられた共通電極としての上電極と、を具備し、前記圧電体層は、前記圧力発生室の長手方向における前記下電極の一端部および前記圧力発生室の一端部を超えて設けられるともに、前記並設方向において前記下電極よりも広い幅で且つ前記圧力発生室よりも狭い幅の第1の部分と、複数の前記圧力発生室に亘って共通化された第2の部分と、前記第1の部分から前記第2の部分にかけて幅が漸増する第3の部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
また、圧電体層をエッチングにより形成すると上電極の付きまわりが悪く、剥離し易いという問題を生起し、しかもかかる剥離は圧電体層を細くエッチングした場合に顕著になる。これに対し、本態様によれば第3の部分ではある程度の幅を確保することができ、また第2の部分ではエッチングの必要がないので上電極の付着性を向上させることができる。この結果、上電極の剥離を有効に防止することができ、当該液体噴射ヘッドの信頼性の向上に資することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。
Claims (4)
- 液滴を吐出するノズルに連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に設けられた個別電極としての下電極、圧電体層及び前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられた共通電極としての上電極と、を具備し、
前記圧電体層は、前記圧力発生室の長手方向における前記下電極の一端部および前記圧力発生室の一端部を超えて設けられるともに、前記並設方向において前記下電極よりも広い幅で且つ前記圧力発生室よりも狭い幅の第1の部分と、複数の前記圧力発生室に亘って共通化された第2の部分と、前記第1の部分から前記第2の部分にかけて幅が漸増する第3の部分を有し、前記第3の部分と前記第2の部分との境界が、前記圧力発生室の長手方向において前記圧力発生室の一端部よりも前記圧力発生室の他端側にあることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 液滴を吐出するノズルに連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に設けられた個別電極としての下電極、圧電体層及び前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられた共通電極としての上電極と、を具備し、
前記圧電体層は、前記圧力発生室の長手方向における前記下電極の一端部および前記圧力発生室の一端部を超えて設けられるともに、前記並設方向において前記下電極よりも広い幅で且つ前記圧力発生室よりも狭い幅の第1の部分と、複数の前記圧力発生室に亘って共通化された第2の部分と、前記第1の部分から前記第2の部分にかけて幅が漸増する第3の部分を有し、前記第1の部分と前記第3の部分との境界が、前記圧力発生室の長手方向において前記下電極の一端部よりも前記圧力発生室の他端側にあることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1又は請求項2に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記下電極の一端部が、前記圧力発生室に対応する領域に位置することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置。
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JP2013135573A JP5741867B2 (ja) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013135573A JP5741867B2 (ja) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
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JP2009077843A Division JP5305017B2 (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置 |
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Family Applications (1)
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