JP2010149376A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、圧電体層、圧電体層の下方側に形成された下電極膜及び圧電体層の上方側に形成された上電極膜を備えた圧電素子とを、有する液体噴射ヘッドにおいて、圧電体層への水分の付着及び浸入による絶縁破壊に対して抑制効果を十分得ることのできる液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】上電極膜80は、圧力発生室12に対向する領域の圧電体層70の上面及び側面の略全域を覆って設けられている。そして、圧電体層70を構成する厚肉部70aの側面71が傾斜面を形成している。この傾斜角度は、流路形成基板10の平面視方向即ち絶縁体膜55の表面に対して5°〜75°の範囲となっている。
【選択図】図3
【解決手段】上電極膜80は、圧力発生室12に対向する領域の圧電体層70の上面及び側面の略全域を覆って設けられている。そして、圧電体層70を構成する厚肉部70aの側面71が傾斜面を形成している。この傾斜角度は、流路形成基板10の平面視方向即ち絶縁体膜55の表面に対して5°〜75°の範囲となっている。
【選択図】図3
Description
本発明は、液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
インクジェット式記録ヘッドとして、ノズル開口に連通する圧力発生室の列を備えた流路形成基板と、この流路形成基板に設けられた圧電素子側に接合されて且つ圧電素子を駆動させる駆動ICが実装される接合基板と、を有する構造が知られている。
圧電素子は、上電極、圧電体層及び下電極を有して構成されている。ここで、圧電体層は数μmと薄く形成されており、圧電体層の側面への水分の付着、あるいは圧電体層への水分の浸入により、上電極と下電極との短絡等の問題が生じ絶縁破壊の原因になることがある。このため、例えば、圧電体層の外周面を上電極で覆うようにした圧電素子が知られている(例えば、特許文献1参照)。
圧電素子は、上電極、圧電体層及び下電極を有して構成されている。ここで、圧電体層は数μmと薄く形成されており、圧電体層の側面への水分の付着、あるいは圧電体層への水分の浸入により、上電極と下電極との短絡等の問題が生じ絶縁破壊の原因になることがある。このため、例えば、圧電体層の外周面を上電極で覆うようにした圧電素子が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載されている圧電素子では、圧電体層の形状が柱状に形成されており、その側面は流路形成基板の表面に略垂直な角度となっている。このため、圧電体層を上電極で覆うようにした場合、圧電体層の上面の部分に形成する上電極の厚さに比して側面の部分の厚さが薄くなったり、上電極の付きまわりが悪くなったりすることがある。この結果、圧電体層への水分の付着及び浸入による絶縁破壊に対しての抑制効果を十分に得ることができなくなる可能性がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、圧電体層、前記圧電体層の一方側に形成された第1電極及び前記圧電体層の他方側に形成された第2電極を備えた圧電素子とを、有する液体噴射ヘッドであって、前記第1電極が複数の前記圧電素子毎の個別電極となり、前記第2電極が前記圧電体層を覆うとともに前記複数の前記圧電素子に共通する共通電極となり、前記圧電体層の側面が前記基板の平面視方向に対して5°〜75°の範囲で傾斜する傾斜面であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、圧電体層、前記圧電体層の一方側に形成された第1電極及び前記圧電体層の他方側に形成された第2電極を備えた圧電素子とを、有する液体噴射ヘッドであって、前記第1電極が複数の前記圧電素子毎の個別電極となり、前記第2電極が前記圧電体層を覆うとともに前記複数の前記圧電素子に共通する共通電極となり、前記圧電体層の側面が前記基板の平面視方向に対して5°〜75°の範囲で傾斜する傾斜面であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例によれば、圧電素子を構成する圧電体層が、複数の圧電素子の共通電極となる第2電極によって覆われている。そして、圧電体層の側面は、基板の平面視方向に対して5°〜75°の範囲で傾斜する傾斜面となっている。圧電体層の側面が5°〜75°の傾斜面であることから、第2電極が圧電体層を覆うようにした場合に、圧電体層の側面の部分と側面以外の部分とを同等な厚さで確実に覆うことができる。
これにより、圧電体層への水分の付着及び浸入を防止することができ、且つ第2電極の断線を防止する効果を得ることができる。また、圧電体層を覆う第2電極を形成する際の付きまわりを向上することができ、圧電体層への水分の付着及び浸入を更に防止することができる。この結果、第1電極と第2電極との短絡等による絶縁破壊を抑制することができる。
これにより、圧電体層への水分の付着及び浸入を防止することができ、且つ第2電極の断線を防止する効果を得ることができる。また、圧電体層を覆う第2電極を形成する際の付きまわりを向上することができ、圧電体層への水分の付着及び浸入を更に防止することができる。この結果、第1電極と第2電極との短絡等による絶縁破壊を抑制することができる。
[適用例2]
上記液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層は、前記圧力発生室に対向して形成された厚肉部と、隣接する前記厚肉部同士を連通させて且つ前記厚肉部より薄く形成された薄肉部と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、圧電体層の隣接する厚肉部同士が、薄肉部によって連通することから、圧電素子の駆動により変位が生じる部分について、剛性を向上させて割れの発生を防止させることができる。
上記液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層は、前記圧力発生室に対向して形成された厚肉部と、隣接する前記厚肉部同士を連通させて且つ前記厚肉部より薄く形成された薄肉部と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、圧電体層の隣接する厚肉部同士が、薄肉部によって連通することから、圧電素子の駆動により変位が生じる部分について、剛性を向上させて割れの発生を防止させることができる。
[適用例3]
上記液体噴射ヘッドであって、前記傾斜面は、前記基板の平面視方向に対して30°±5°の範囲で傾斜することを特徴とする液体噴射ヘッド。
上記液体噴射ヘッドであって、前記傾斜面は、前記基板の平面視方向に対して30°±5°の範囲で傾斜することを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、圧電体層の側面が30°±5°の傾斜面であることから、第2電極が圧電体層を覆うようにした場合に、圧電体層の側面の部分と側面以外の部分とを同等な厚さで更に確実に覆うことができる。
[適用例4]
上記の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
上記の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
この適用例によれば、上記の液体噴射ヘッドを備えることにより、ヘッドの耐久性が向上した信頼性ある液体噴射装置を実現することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A'断面図である。
図1は、本発明の第1実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A'断面図である。
図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では結晶面方位が(110)であるシリコン単結晶基板からなり、その一方面には酸化膜からなる弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、隔壁11によって区画されて一方側の面が弾性膜50で構成される複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。
流路形成基板10には、圧力発生室12の長手方向一端部側に、隔壁11によって区画されて各圧力発生室12に連通するインク供給路13と連通路14とが設けられている。連通路14の外側には、各連通路14と連通する連通部15が設けられている。この連通部15は、後述する保護基板30のリザーバ部32と連通して、各圧力発生室12の共通のインク室(液体室)となるリザーバ100の一部を構成する。
ここで、インク供給路13は、圧力発生室12よりも狭い断面積となるように形成されており、連通部15から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。例えば、インク供給路13は、リザーバ100と各圧力発生室12との間の圧力発生室12側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室12の幅より小さい幅で形成されている。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成しても良い。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成しても良い。また、各連通路14は、圧力発生室12の幅方向両側の隔壁11を連通部15側に延設してインク供給路13と連通部15との間の空間を区画することで形成されている。
なお、流路形成基板10の材料として、本実施形態ではシリコン単結晶基板を用いているが、勿論これに限定されず、例えば、ガラスセラミックス、ステンレス鋼等を用いても良い。
流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路13とは反対側の端部近傍に連通するノズル21が穿設されたノズルプレート20が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート20は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼などからなる。
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、弾性膜50とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体膜55が形成されている。更に、この絶縁体膜55上には、第1電極としての下電極膜60と、圧電体層70と、第2電極としての上電極膜80とからなる圧電素子300が形成されている。ここで、圧電素子300は、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80を有する部分だけでなく、少なくとも圧電体層70を有する部分を含む。またここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び下電極膜60が振動板として作用するが、弾性膜50、絶縁体膜55を設けずに、下電極膜60のみを残して下電極膜60を振動板としても良い。また、圧電素子300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしても良い。
ここで、本実施形態に係る圧電素子300の構造について詳しく説明する。図3は、本実施形態に係る圧電素子300の構成を示す断面図である。同図に示すように、圧電素子300を構成する下電極膜60は、各圧力発生室12に対向する領域毎に、圧力発生室12の幅よりも狭い幅で設けられて各圧電素子300の個別電極を構成している。また下電極膜60は、各圧力発生室12の長手方向一端部側から周壁上まで延設されている。そして下電極膜60には、圧力発生室12の外側の領域で、例えば、金(Au)等からなる図1及び図2に示すリード電極90がそれぞれ接続され、このリード電極90を介して各圧電素子300に選択的に電圧が印加されるようになっている。一方、圧力発生室12の長手方向他端部側の下電極膜60の端部は、圧力発生室12に対向する領域内に位置している。
圧電体層70は、下電極膜60の幅よりも広い幅で且つ圧力発生室12の幅よりも狭い幅で設けられている。圧力発生室12の長手方向においては、圧電体層70の両端部は、圧力発生室12の端部の外側まで延設されている。即ち圧電体層70は、圧力発生室12に対向する領域の下電極膜60の上面及び側面を完全に覆うように設けられている。なお、圧力発生室12の長手方向一端部側の圧電体層70の端部は、圧力発生室12の端部近傍に位置しておりその外側の領域には下電極膜60が更に延設されている。
また、圧電体層70は、並設された複数の圧力発生室12に対向する領域に亘って連続して形成されている。圧電体層70において、圧力発生室12と対向する領域にあって厚く形成された部分が厚肉部70aとなり、各圧電素子300間の領域にあって厚肉部70aより薄く形成された部分が薄肉部70bとなる。即ち、薄肉部70bは、隣接する厚肉部70a同士を連通させる役割を有する。これらの厚肉部70a及び薄肉部70bのそれぞれの厚さは特に限定されず、圧電素子300の変位量を考慮して適宜決定されれば良い。
また、圧電体層70は、並設された複数の圧力発生室12に対向する領域に亘って連続して形成されている。圧電体層70において、圧力発生室12と対向する領域にあって厚く形成された部分が厚肉部70aとなり、各圧電素子300間の領域にあって厚肉部70aより薄く形成された部分が薄肉部70bとなる。即ち、薄肉部70bは、隣接する厚肉部70a同士を連通させる役割を有する。これらの厚肉部70a及び薄肉部70bのそれぞれの厚さは特に限定されず、圧電素子300の変位量を考慮して適宜決定されれば良い。
このように圧電体層70を連続的に設けることで、圧電素子300の駆動に伴う振動板、即ち弾性膜50及び絶縁体膜55の破壊を防止することができる。圧力発生室12の幅方向両端部近傍の振動板は、圧電素子300の駆動に伴って大きく変形するため割れが生じやすいが、圧電体層70を連続的に設けておくことで振動板の剛性が実質的に向上し、このような振動板の割れの発生を防止することができる。
上電極膜80は、複数の圧力発生室12に対向する領域に連続的に形成されて各圧電素子300の共通電極を構成している。また、上電極膜80は、圧力発生室12の長手方向他端部側から周壁上まで延設されている。即ち、上電極膜80は、圧力発生室12に対向する領域の圧電体層70の上面及び側面の略全域を覆って設けられている。これにより、圧電体層70への大気中の水分(湿気)の浸透が実質的に防止される。したがって、水分(湿気)に起因する圧電素子300(圧電体層70)の破壊を防止することができ、圧電素子300の耐久性を著しく向上することができる。なお、上電極膜80が複数の圧力発生室12に対向する領域に連続的に形成されるのではなく、各圧力発生室12に対向する領域に櫛歯状に設けられていても良い。
また、圧力発生室12の長手方向他端部側の上電極膜80の端部は、圧力発生室12に対向する領域内に位置しており、圧電素子300の実質的な駆動部が圧力発生室12に対向する領域内に設けられている。即ち、圧力発生室12内に位置する下電極膜60の端部と上電極膜80の端部との間の部分の圧電素子300が実質的な駆動部となっている。このため、圧電素子300を駆動しても、圧力発生室12の長手方向両端部近傍の振動板(弾性膜50、絶縁体膜55)には大きな変形が生じないことから、この部分の振動板に割れが発生するのを防止することができる。なお、このような構成では、圧力発生室12に対向する領域内でも圧電体層70の表面が若干露出されることになるが、その面積は極めて狭く、また、後述するように上電極膜80の周縁部と下電極膜60の間の距離が大きいため、水分に起因する圧電体層70の破壊を防止することができる。
そして、本発明では、圧電体層70を構成する厚肉部70aの側面71が傾斜面を形成している。この傾斜面の傾斜角度は、流路形成基板10の平面視方向即ち絶縁体膜55の表面に対して5°〜75°の範囲が好ましく、更には30°±5°の範囲が好ましい。本実施形態では、絶縁体膜55の表面に対しての傾斜面の傾斜角度を30°としている。
厚肉部70aの側面71を上述した傾斜角度の傾斜面にすることにより、上電極膜80が圧電体層70を覆うときに、厚肉部70aの側面71の部分も含めて均一な厚さで確実に覆うことができる。これにより、圧電体層70への水分の付着及び浸入を防止することができ、且つ上電極膜80の断線を防止する効果を得ることができる。
また、圧電体層70を覆う上電極膜80を形成する際の付きまわりを向上することができる。これにより、密着性及び信頼性に優れた圧電体層70を形成することができ、圧電体層70への水分の付着及び浸入を更に防止することができる。
この結果、下電極膜60と上電極膜80との短絡等による圧電素子300の絶縁破壊を抑制することができ、耐久性を向上したインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。
また、圧電体層70を覆う上電極膜80を形成する際の付きまわりを向上することができる。これにより、密着性及び信頼性に優れた圧電体層70を形成することができ、圧電体層70への水分の付着及び浸入を更に防止することができる。
この結果、下電極膜60と上電極膜80との短絡等による圧電素子300の絶縁破壊を抑制することができ、耐久性を向上したインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。
図1及び図2に戻って、このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上には、圧電素子300に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部31を有する保護基板30が接着剤35を介して接合されている。圧電素子300は、この圧電素子保持部31内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。また、保護基板30には、流路形成基板10の連通部15に対応する領域にリザーバ部32が設けられている。このリザーバ部32は、本実施形態では、保護基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板10の連通部15と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。
更に、保護基板30の圧電素子保持部31とリザーバ部32との間の領域には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられ、下電極膜60及びリード電極90の端部がこの貫通孔33内に露出されている。そして、図示しないが、これら下電極膜60及びリード電極90は、貫通孔33内に延設される接続配線によって圧電素子300を駆動するための駆動IC等に接続される。
なお、保護基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
この保護基板30上には、更に、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜41によってリザーバ部32の一方面が封止されている。固定板42は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板42のリザーバ100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、リザーバ100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ100からノズル21に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動ICからの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの圧電素子300に電圧を印加し、圧電素子300をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル21からインク滴が吐出する。
(第2実施形態)
図4は、第2実施形態に係る圧電素子300の構成を示す断面図である。同図に示すように、本実施形態では、図3に示す第1実施形態に係る圧電素子300とは異なり、圧電体層70が各圧力発生室12に対向する領域に独立して個別に形成されている。
図4は、第2実施形態に係る圧電素子300の構成を示す断面図である。同図に示すように、本実施形態では、図3に示す第1実施形態に係る圧電素子300とは異なり、圧電体層70が各圧力発生室12に対向する領域に独立して個別に形成されている。
このように圧電体層70を個別に設けた場合でも、第1実施形態と同様に、圧電体層70の側面71を傾斜面にすることにより、上電極膜80が圧電体層70を覆うときに、側面71の部分も含めて均一な厚さで確実に覆うことができる。また、圧電体層70を覆う上電極膜80を形成する際の付きまわりを向上することができる。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を備える記録ヘッドユニットの一部を構成して、液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置に搭載される。図5は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図5に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A,1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A,2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A,1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A,1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車及びタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A,1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4には、キャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどによって給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。
なお、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は、上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
1A…記録ヘッドユニット、2A…カートリッジ、3…キャリッジ、4…装置本体、5…キャリッジ軸、6…駆動モータ、7…タイミングベルト、8…プラテン、10…流路形成基板、11…隔壁、12…圧力発生室、13…インク供給路、14…連通路、15…連通部、20…ノズルプレート、21…ノズル、30…保護基板、31…圧電素子保持部、32…リザーバ部、33…貫通孔、35…接着剤、40…コンプライアンス基板、41…封止膜、42…固定板、43…開口部、50…弾性膜、55…絶縁体膜、60…下電極膜、70…圧電体層、70a…厚肉部、70b…薄肉部、71…側面、80…上電極膜、90…リード電極、100…リザーバ、300…圧電素子。
Claims (4)
- ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、
圧電体層、前記圧電体層の一方側に形成された第1電極及び前記圧電体層の他方側に形成された第2電極を備えた圧電素子とを、有する液体噴射ヘッドであって、
前記第1電極が複数の前記圧電素子毎の個別電極となり、
前記第2電極が前記圧電体層を覆うとともに前記複数の前記圧電素子に共通する共通電極となり、
前記圧電体層の側面が前記基板の平面視方向に対して5°〜75°の範囲で傾斜する傾斜面であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層は、
前記圧力発生室に対向して形成された厚肉部と、
隣接する前記厚肉部同士を連通させて且つ前記厚肉部より薄く形成された薄肉部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記傾斜面は、前記基板の平面視方向に対して30°±5°の範囲で傾斜することを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8632167B2 (en) | 2010-03-11 | 2014-01-21 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000311136A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Nec Corp | 遠隔操作制御方法および遠隔操作用コンピュータシステム並びに遠隔操作制御用プログラムを記憶した記憶媒体 |
JP2000326503A (ja) * | 1998-06-08 | 2000-11-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2007281031A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2008044217A (ja) * | 2006-08-15 | 2008-02-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2009172878A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
-
2008
- 2008-12-25 JP JP2008329373A patent/JP2010149376A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000326503A (ja) * | 1998-06-08 | 2000-11-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2000311136A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Nec Corp | 遠隔操作制御方法および遠隔操作用コンピュータシステム並びに遠隔操作制御用プログラムを記憶した記憶媒体 |
JP2007281031A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2008044217A (ja) * | 2006-08-15 | 2008-02-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2009172878A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8632167B2 (en) | 2010-03-11 | 2014-01-21 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
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