JP2013162063A - 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体能動部320の少なくとも一方の端部が第2電極80の端部により規定され、第1電極60の圧電体能動部320を構成する部分が圧電体層70によって覆われていると共に、第1電極60及び圧電体層70が、圧電体能動部320の端部を規定された第2電極80の端部の外側まで延設されており、第1電極60が、第2電極80の端部よりも外側において、圧電体層で覆われていない露出部61を備えると共に、露出部61を形成する圧電体層70の端部上に、第2電極80と電気的に独立した独立電極85が設けられた構成とする。
【選択図】図3
Description
かかる本発明の態様では、第1電極と第2電極との間でリーク電流が生じるのを効果的に抑制することができ、圧電体層を保護膜で覆うことなくリーク電流に起因する圧電体層の破壊を十分に抑制することができる。また独立電極を設けるようにすることで、第2電極のパターニング時に生じる第1電極のオーバーエッチによる断線を抑制することができる。
かかる本発明の態様では、圧電素子の耐久性や信頼性を向上した液体噴射ヘッドを実現することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′線断面図である。
Claims (6)
- 振動板上に設けられる第1電極と、
該第1電極上に設けられた圧電体層と、
該圧電体層上に設けられた第2電極と、を備える圧電素子であって、
前記圧電体層が前記第1電極と前記第2電極とで挟まれた圧電体能動部の少なくとも一方の端部が前記第2電極の端部により規定され、
前記第1電極は前記圧電体能動部を構成する部分が前記圧電体層によって覆われていると共に、前記第1電極及び前記圧電体層が、前記圧電体能動部の端部を規定された前記第2電極の端部の外側まで延設されており、
当該第1電極は、前記第2電極の端部よりも外側において、前記圧電体層で覆われていない露出部を備えると共に、
該露出部を形成する前記圧電体層の端部上に、前記第2電極と電気的に独立した独立電極が設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記第2電極の端部よりも外側の前記圧電体層に、前記露出部を構成する貫通孔が形成されており、
前記独立電極が、前記貫通孔の周囲に亘って連続して設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1又は2に記載の圧電素子において、
前記独立電極が、前記第2電極と同一材料で形成されていることを特徴とする圧電素子。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、
各圧力発生室に圧力変化を生じさせる請求項1〜3の何れか一項に記載の圧電素子と、
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項4に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
各圧電素子を構成する前記第1電極が、短冊状に形成されると共に、前記露出部に接続された接続配線を介してそれぞれ接続されており、複数の前記圧電素子に共通する共通電極を構成していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項4又は5に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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