JP2013162063A - 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013162063A JP2013162063A JP2012024885A JP2012024885A JP2013162063A JP 2013162063 A JP2013162063 A JP 2013162063A JP 2012024885 A JP2012024885 A JP 2012024885A JP 2012024885 A JP2012024885 A JP 2012024885A JP 2013162063 A JP2013162063 A JP 2013162063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric
- piezoelectric element
- piezoelectric layer
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電体能動部320の少なくとも一方の端部が第2電極80の端部により規定され、第1電極60の圧電体能動部320を構成する部分が圧電体層70によって覆われていると共に、第1電極60及び圧電体層70が、圧電体能動部320の端部を規定された第2電極80の端部の外側まで延設されており、第1電極60が、第2電極80の端部よりも外側において、圧電体層で覆われていない露出部61を備えると共に、露出部61を形成する圧電体層70の端部上に、第2電極80と電気的に独立した独立電極85が設けられた構成とする。
【選択図】図3
Description
かかる本発明の態様では、第1電極と第2電極との間でリーク電流が生じるのを効果的に抑制することができ、圧電体層を保護膜で覆うことなくリーク電流に起因する圧電体層の破壊を十分に抑制することができる。また独立電極を設けるようにすることで、第2電極のパターニング時に生じる第1電極のオーバーエッチによる断線を抑制することができる。
かかる本発明の態様では、圧電素子の耐久性や信頼性を向上した液体噴射ヘッドを実現することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′線断面図である。
Claims (6)
- 振動板上に設けられる第1電極と、
該第1電極上に設けられた圧電体層と、
該圧電体層上に設けられた第2電極と、を備える圧電素子であって、
前記圧電体層が前記第1電極と前記第2電極とで挟まれた圧電体能動部の少なくとも一方の端部が前記第2電極の端部により規定され、
前記第1電極は前記圧電体能動部を構成する部分が前記圧電体層によって覆われていると共に、前記第1電極及び前記圧電体層が、前記圧電体能動部の端部を規定された前記第2電極の端部の外側まで延設されており、
当該第1電極は、前記第2電極の端部よりも外側において、前記圧電体層で覆われていない露出部を備えると共に、
該露出部を形成する前記圧電体層の端部上に、前記第2電極と電気的に独立した独立電極が設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記第2電極の端部よりも外側の前記圧電体層に、前記露出部を構成する貫通孔が形成されており、
前記独立電極が、前記貫通孔の周囲に亘って連続して設けられていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1又は2に記載の圧電素子において、
前記独立電極が、前記第2電極と同一材料で形成されていることを特徴とする圧電素子。 - 液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、
各圧力発生室に圧力変化を生じさせる請求項1〜3の何れか一項に記載の圧電素子と、
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項4に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
各圧電素子を構成する前記第1電極が、短冊状に形成されると共に、前記露出部に接続された接続配線を介してそれぞれ接続されており、複数の前記圧電素子に共通する共通電極を構成していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項4又は5に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012024885A JP2013162063A (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
US13/761,638 US8702210B2 (en) | 2012-02-08 | 2013-02-07 | Piezoelectric element, liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012024885A JP2013162063A (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013162063A true JP2013162063A (ja) | 2013-08-19 |
Family
ID=48902526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012024885A Withdrawn JP2013162063A (ja) | 2012-02-08 | 2012-02-08 | 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8702210B2 (ja) |
JP (1) | JP2013162063A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019055582A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および圧電デバイス |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6394903B2 (ja) * | 2015-03-10 | 2018-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッド及び液体噴射装置 |
US10181835B2 (en) * | 2016-05-31 | 2019-01-15 | Avago Technologies International Sales Pte. Limited | Bulk acoustic resonator devices and processes for fabricating bulk acoustic resonator devices |
JP6862820B2 (ja) * | 2016-12-26 | 2021-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波装置 |
US10611152B2 (en) | 2017-09-19 | 2020-04-07 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and piezoelectric device |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08213459A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2000091423A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Nec Corp | 多層配線半導体装置及びその製造方法 |
JP2005088441A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2008246888A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、及び、この圧電アクチュエータを備えた液体移送装置 |
JP2009172878A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009239208A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 圧電アクチュエータの製造方法及び液体吐出ヘッド |
JP2011104850A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 |
JP2011110784A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
JP2011253898A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置及び製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5007823B2 (ja) | 2008-02-25 | 2012-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2009255531A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ |
-
2012
- 2012-02-08 JP JP2012024885A patent/JP2013162063A/ja not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-02-07 US US13/761,638 patent/US8702210B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08213459A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2000091423A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Nec Corp | 多層配線半導体装置及びその製造方法 |
JP2005088441A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2008246888A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ、及び、この圧電アクチュエータを備えた液体移送装置 |
JP2009172878A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009239208A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 圧電アクチュエータの製造方法及び液体吐出ヘッド |
JP2011104850A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 |
JP2011110784A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
JP2011253898A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置及び製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019055582A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および圧電デバイス |
JP7059656B2 (ja) | 2017-09-19 | 2022-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および圧電デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8702210B2 (en) | 2014-04-22 |
US20130201258A1 (en) | 2013-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5007823B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5957914B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP5958568B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP5737535B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US8702210B2 (en) | Piezoelectric element, liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2009016625A (ja) | アクチュエータ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5382323B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5999301B2 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5737534B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP7009857B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、圧電デバイス | |
JP6418275B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電デバイスおよび液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US9016839B2 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus and actuator | |
JP6024170B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター | |
JP5790919B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2013111819A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP4888647B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6274423B2 (ja) | 圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5382324B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5686170B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010228276A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 | |
JP6146515B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、圧電デバイスおよび液体噴射装置 | |
JP2023173529A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電デバイス | |
JP6065926B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP6024171B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター | |
JP2011073206A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20160316 |