JP2011110784A - アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るアクチュエーター100は、振動板110と、振動板110の上方に形成された所定の方向に延びる第1導電層122と、第1導電層122を覆う圧電体層124と、圧電体層124の上方に形成された第2導電層126と、振動板110の上方および第2導電層126の上方に形成された金属層130,132と、金属層130,132と電気的に接続された電極140と、を含み、第1導電層122、第2導電層126、および第1導電層122と第2導電層126とで挟まれた圧電体層124は、駆動部120を構成し、駆動部120は、前記所定の方向に垂直な方向Aに複数配列され、金属層130,132は、複数の第2導電層126と交差し、複数の第2導電層126と電気的に接続される。
【選択図】図1
Description
振動板と、
前記振動板の上方に形成された所定の方向に延びる第1導電層と、
前記第1導電層を覆う圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第2導電層と、
前記振動板の上方および前記第2導電層の上方に形成された金属層と、
前記金属層と電気的に接続された電極と、
を含み、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第1導電層と前記第2導電層とで挟まれた前記圧電体層は、駆動部を構成し、
前記駆動部は、前記所定の方向に垂直な方向に複数配列され、
前記金属層は、複数の前記第2導電層と交差し、複数の前記第2導電層と電気的に接続される。
前記金属層は、複数形成されていることができる。
複数の前記金属層のうちの第1金属層は、前記第2導電層の上方において、前記第2導電層の一方の端面側に位置し、
複数の前記金属層のうちの第2金属層は、前記第2導電層の上方において、前記第2導電層の他方の端面側に位置していることができる。
前記第1金属層は、隣り合う前記駆動部の間に形成され、前記一方の端面側に向かって延びる第1延出部を有し、
前記第1延出部は、前記電極と電気的に接続されていることができる。
前記第2金属層は、隣り合う前記駆動部の間に形成され、前記他方の端面側に向かって延びる第2延出部を有することができる。
前記電極、前記第1金属層、および前記第2金属層は、ニッケル−クロム合金と、金と、を積層した構造を有することができる。
本発明に係るアクチュエーターと、
ノズル孔と連通し、アクチュエーターの動作によって容積が変化する圧力室と、
を含む。
本発明に係る液体噴射ヘッドを含む。
まず、本実施形態に係るアクチュエーター100および液体噴射ヘッド1000について説明する。ここでは、アクチュエーター100の例として、アクチュエーター100を液体噴射ヘッド1000に用いた場合について説明する。なお、アクチュエーター100の用途は、液体噴射ヘッドに限定されない。
次に、本実施形態に係るアクチュエーター100および液体噴射ヘッド1000の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図3から図7は、アクチュエーター100および液体噴射ヘッド1000の製造方法を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る液体噴射装置について説明する。本実施形態に係る液体噴射装置は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。ここでは、本実施形態に係る液体噴射装置1000がインクジェットプリンターである場合について説明する。図8は、本実施形態に係る液体噴射装置10000を模式的に示す斜視図である。
14 連通路、15 リザーバー、20 ノズル板、21 ノズル孔、40 封止板、
41 領域、100 アクチュエーター、101 金属膜、102 層、
110 振動板、120 駆動部、122 第1導電層、123a 第1導電部、
123b 第2導電部、124 圧電体層、124a 上面、124b 側面、
125a 第1領域、125b 第2領域、126 第2導電層、
126a 第1端面、126b 第2端面、130 第1金属層、131 第1延出部、
132 第2金属層、133 第2延出部、140 電極(共通電極)、
150 開口部、160 リード電極、162 導電部、1000 液体噴射ヘッド、
1010 ヘッドユニット駆動部、1020 装置本体、1021 トレイ、
1022 排出口、1030 ヘッドユニット、1031 インクカートリッジ、
1032 キャリッジ、1041 キャリッジモーター、1042 往復動機構、
1043 タイミングベルト、1044 キャリッジガイド軸、1050 給紙部、
1051 給紙モーター、1052 給紙ローラー、1060 制御部、
1070 操作パネル、10000 液体噴射装置
Claims (8)
- 振動板と、
前記振動板の上方に形成された所定の方向に延びる第1導電層と、
前記第1導電層を覆う圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第2導電層と、
前記振動板の上方および前記第2導電層の上方に形成された金属層と、
前記金属層と電気的に接続された電極と、
を含み、
前記第1導電層、前記第2導電層、および前記第1導電層と前記第2導電層とで挟まれた前記圧電体層は、駆動部を構成し、
前記駆動部は、前記所定の方向に垂直な方向に複数配列され、
前記金属層は、複数の前記第2導電層と交差し、複数の前記第2導電層と電気的に接続される、アクチュエーター。 - 請求項1において、
前記金属層は、複数形成されている、アクチュエーター。 - 請求項2において、
複数の前記金属層のうちの第1金属層は、前記第2導電層の上方において、前記第2導電層の一方の端面側に位置し、
複数の前記金属層のうちの第2金属層は、前記第2導電層の上方において、前記第2導電層の他方の端面側に位置している、アクチュエーター。 - 請求項2または3において、
前記第1金属層は、隣り合う前記駆動部の間に形成され、前記一方の端面側に向かって延びる第1延出部を有し、
前記第1延出部は、前記電極と電気的に接続されている、アクチュエーター。 - 請求項4において、
前記第2金属層は、隣り合う前記駆動部の間に形成され、前記他方の端面側に向かって延びる第2延出部を有する、アクチュエーター。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記電極、前記第1金属層、および前記第2金属層は、ニッケル−クロム合金と、金と、を積層した構造を有する、アクチュエーター。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のアクチュエーターと、
ノズル孔と連通し、アクチュエーターの動作によって容積が変化する圧力室と、
を含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項7に記載の液体噴射ヘッドを含む、液体噴射装置。
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