JP2002283571A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極の接続構造を簡素化することができるイ
ンクジェット記録ヘッドを提供すること。 【解決手段】 表面に複数の圧電振動子７を有して振動
部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞ
れに対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成
部材と、圧力室形成部材の他方を封止する蓋部材とを備
え、圧電振動子７により圧力室のインクを加圧するイン
クジェット記録ヘッドにおいて、圧電振動子７が、圧力
室の幅よりも小く、かつ圧力室の長手方向の長さよりも
長く形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ノズル開口に連通する
圧力室の一部領域を圧電振動子により加圧してインクを
吐出させるインクジェット記録ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】圧力室を構成している振動板の一部領域
に圧電振動板を張設し、圧電振動板の変位により圧力室
の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジェッ
ト式記録ヘッドは、圧力室の広い面積を変位させること
が可能なため、インク滴を安定して発生させることがで
きるという特徴を備えている。しかしながら振動板の変
位方向に直角な方向にインク滴を飛翔させるため、記録
用紙の紙面に垂直な方向のサイズが大きくなり、キャリ
ッジ等が大型化するという問題を抱えている。このよう
な問題を解消するために振動板を含む圧力発生部材、及
びインク流路形成部材を積層構造により構成して、振動
板の変位方向に平行にノズル開口を設けて薄型化を図っ
たインクジェット記録ヘッドが提案されている（特開昭
62-111758号公報）。このような積層構造を取ると、小
型化を図れるばかりでなく、プレス加工やエッチング加
工された板材を接着するとい簡単な方法が適用できるた
め、製造工程の簡素化を図ることが可能となる。しかし
ながら、各板材の接着を接着剤に頼っている関係上、微
細な小孔への接着剤の流れ込みによる流路抵抗の変動に
よる信頼性の低下を招いたり、振動板への圧電振動子の
取り付けを、接着剤や、エッチングやレーザー加工に頼
っているため、手間がかかるという問題を抱えている。
このような問題を解消するために半固化状態のセラミッ
クス板を所要の形状に加工して流路部材と、圧電振動子
を形成し、これらを積層して焼成することにより、圧電
振動子の取り付け作業を不要としたインクジェット記録
ヘッドも提案されている（特開昭63-149159号公報）。
しかしながら、圧電振動子の表面に形成される電極とケ
ーブルとの接続構造が複雑化するという問題がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこれらの問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、電極の接続構造を簡素化することができるインクジ
ェット記録ヘッドを提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、表面に複数の圧電振動子を
有して振動部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動
子のそれぞれに対応するように複数の圧力室を形成する
圧力室形成部材と、該圧力室形成部材の他方を封止する
蓋部材とを備え、前記圧電振動子により前記圧力室のイ
ンクを加圧するインクジェット記録ヘッドにおいて、前
記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小く、かつ前記
圧力室の長手方向の長さよりも長く形成されている。

【０００５】

【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１、２は本発明の一実施例を示
す断面図と、その分解斜視図であって、図中符号１は、
圧力室形成部材で、圧力室を形成するのに適した厚さ、
例えば１５０μｍのジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラ
ミックス板に、図４に拡大して示したように長軸側の端
部が丸く形成された長丸矩形状の圧力室２、２、２‥‥
の形状に一致し、一端が図３に示したようにリザーバ２
１に重なり、また他端がノズル開口３１に重なる長孔
２’、２’、２’‥‥を一定ピッチで穿設して構成され
ている。４は、圧力室形成部材１の一方の面に固定され
る振動板で、圧力室形成部材１と一体に焼成したとき相
性が良く、しかも弾性率の高い材料、この実施例では圧
力室形成部材と同様に厚さ１０μｍのジルコニアの薄板
で構成され、これの表面には図４に示したように圧力室
２に対応させて圧電振動子７の駆動信号印加電極５と、
後述する共通電極８の引出電極６が設けられている。

【０００６】７は、前述の圧電振動子で、駆動信号印加
電極５を覆い、図４に示したように圧力室２の長手方向
の長さとほぼ等しく、また幅が小さなサイズのＰＺＴ等
の圧電振動材料の薄板からなり、長手方向を軸とするよ
うに幅方向に湾曲するモードで振動するように構成され
ている。これら圧電振動子７、７、７‥‥、及び引出電
極６の表面は、図５、及び図６に示したように共通電極
８がスパッタリングなどの膜形成法により、圧電振動子
７の長手方向の一部を残すように作り付けられている。
また、共通電極引出端子６が圧電振動子７が形成されて
いない領域で、かつ圧電振動子７が形成されている領域
に延びるように形成されているため、各圧電振動子７は
振動板４側が駆動信号印加電極５に、また表面側が引出
端子6に接続された共通電極８に接続される。また、圧
電振動子７は、図６に見られるように駆動信号印加電極
５の幅よりも広く、かつ幅方向の両端からそれぞれ若干
Ｗ、Ｗ’張り出すように形成されている。

【０００７】１０は、振動板４と協同して圧力室２を形
成する蓋部材で、圧力室形成部材１と一体に焼成したと
き相性が良い材料、この実施例では厚さ１５０μｍのジ
ルコニアの薄板からなり、後述するノズル開口３１と圧
力室２を接続する通孔１１と、リザーバ２１と圧力室２
を接続する通孔１２を穿設して構成されている。これら
各部材１、４、１０は、それぞれ一体に固定されて圧力
発生ユニット１５としてまとめ上げられている。

【０００８】２０は、流路ユニット３５を構成するリザ
ーバ形成部材で、インク流路を構成するに適した例えば
１５０μｍのステンレス鋼などの耐蝕性を備えた板材
に、リザーバ２１を形成する略Ｖ字状の通孔２１’と、
圧力室２とノズル開口３１を結ぶ連通路となる通孔２２
を穿設して構成されている。リザーバ２１となる通孔２
１’は、インク供給口部材２４から各圧力室２、２、２
‥‥の端部に平行に伸びるように構成されている。すな
わち、ノズル開口列を２列備える本実施例においては、
インク供給口部材２４を先端として「Ｖ」字状に分岐し
て、各枝から圧力室２、２、２‥‥に至る直線状の流路
が構成されている。

【０００９】２６は、前述のリザーバ形成部材２０の一
方に固定されるインク供給部材で、圧力室２とノズル開
口３１を接続する通孔２７や、リザーバ２１と圧力室２
とを接続する通孔２を穿設するとともに、図示しないイ
ンクタンクと接続するインク供給口形成部材２４を表面
に固定して構成されている。

【００１０】３０は、スペーサ部材の他方の面に固定さ
れたノズルプレートで、直径４０μｍのノズル開口を穿
設するのに適した厚さ６０μｍのステンレス鋼板からな
り、圧力室２に対向する位置にノズル開口３１，３１‥
‥が設けられている。これら部材２０，２６，３０は、
それぞれ接着剤や溶着等により一体に積層されて流路ユ
ニット３５としてまとめ上げられている。そしてこれら
部材２０，２６，３０は金属により構成されているた
め、内部にリザーバ形成用の大きな通孔２１’を有する
としても、十分な接着強度を得るための圧力を加えても
食い込みや、変形を生じることがなく、高い精度寸法精
度を維持して層状にまとめあげることができる。

【００１１】そしてこれら圧力発生ユニット１５と流路
ユニット３５は、その対向する面、つまり蓋部材１０と
インク供給部材２６との接触面に接着剤を塗布して一体
に固定されて記録ヘッドに構成される。これにより、圧
力室２は、蓋部材１０の通孔１２とインク供給部材２６
の通孔２８を介してリザーバ２１に、及び蓋部材１０の
通孔１１とインク供給部材２６の通孔２７とリザーバ形
成部材２０の通孔２２を介してノズル開口３１に接続さ
れることになる。

【００１２】図７，図８は、それぞれ本発明の積層型イ
ンクジェット式記録ヘッドの表側、及び裏側の構造を示
すものであって、表側にはノズル開口３１，３１，３１
‥‥が２列一定の間隔を隔てて配列されており、また、
裏面側には流路ユニット３５に一体に圧力発生ユニット
１５が固定されていて、各圧電振動子７，７，７‥‥に
電気信号を伝達するケーブル３７が接続されている。

【００１３】この実施例において、圧電振動子７の１つ
に駆動信号を印加すると、圧電振動子７が図９示したよ
うに長手方向を軸とするように幅方向に湾曲し、振動板
４を圧力室側に変形させる。これにより圧力室２の容積
が縮小してここに存在するインクに圧力が印加されるこ
とになる。圧力室２のインクは、蓋部材１０の通孔１１
からインク供給部材２６の通孔２７、流路ユニット３５
のリザーバ形成部材２０の通孔２２を通ってノズルプレ
ート３０のノズル開口３１に移動し、ここからインク滴
となって飛び出す。

【００１４】ところで、圧力室２とノズル開口３１とを
接続する流路は、蓋部材１０、インク供給部材２６、及
びリザーバ形成部材２０に穿設した通孔１１、２７、２
２により構成されいて、ノズル開口側の口径が段階的に
小さくなっているため、圧力室の気泡が流路に侵入し難
くなっている。なお、圧力室２のインクは通孔１２、２
８を通ってリザーバ２１にも流れ込むが、通孔２８の口
径が小さいため、インク滴の飛翔に影響を与える程度に
までは圧力の損失はない。

【００１５】駆動信号の印加が解除されて圧電振動子７
が元の形状に復帰すると、圧力室２の容積が膨張して圧
力室２に陰圧が生じる。この結果、通孔２８，１２を通
ってリザーバ２１から圧力室２に、消費分に相当するイ
ンクが補給される。また圧力室２に発生した陰圧は、ノ
ズル開口３１にも作用するが、ノズル開口３１，３１，
３１‥‥に生じているメニスカスによりインクが圧力室
側に後退するのが阻止されてリザーバ２１からのインク
吸引に有効に作用する。

【００１６】そして、流路ユニット３５と圧力発生ユニ
ット１５は、３０μｍ程度の高分子材料製の接着剤の薄
い層を介して接続されているため、温度変化による両ユ
ニットの熱膨張差が生じたとしても、熱膨張差は接着層
により緩衝されてノズルプレートに歪みを生じさせるこ
とがなく、印刷品質の低下が接着層により防止される。

【００１７】次に上述した記録ヘッドの製造方法を図１
０に基づいて説明する。焼成したとき圧力室２を形成す
るのに適した厚みを備えたセラミックス材料、この実施
例ではジルコニアの粘土状薄板、いわゆるグリーンシー
ト４０に、圧力室を形成すべき位置をプレスにより打ち
抜いて通孔４１，４１‥‥を穿設した第１のシートを用
意する。同様に蓋部材１０を形成するのに適した厚みの
ジルコニアのグリーンシートにリザーバ２１とノズル開
口３１との連通孔となる通孔４３，４４をプレスにより
穿設した第２のシート４２を用意する。

【００１８】第１のシート４０を挟むように第２のシー
ト４２と、振動板４に適した厚みのジルコニアのグリー
ンシートからなる第３のシート４５とをサンドイッチ状
に積層して、均一な圧力を加えて３枚を粘着させた状態
で乾燥させる。この乾燥工程により３枚のシート４０，
４２，４５が仮接着されて半固化状態となる。ついで温
度、例えば１０００°Ｃで、反りを防止できる程度の圧
力を加えながら焼成する。これにより、各シートがセラ
ミックスに変化し、同時に各シートの境界面では焼結作
用により３枚のシートが元から１枚のシートで構成され
ていたかのように一体となる（図１０ Ｉ）。

【００１９】いうまでもなく、圧力室形成部材となる第
１のシート４０には圧力室となる通孔４１が穿設されて
いるとしても、この通孔４１の横幅が極めて小さいた
め、仮接着時に振動板や蓋部材となる第３、第２のシー
ト４５、４２に無用な変形を起こさせることなく、この
通孔４１の部分に適当に圧力が集中して振動板、及び蓋
部材となるシート４５、４２を第１のシート４０に焼結
させる際に寄与し、圧力室の容積を設計基準通りに仕上
げるのに役立つ。

【００２０】焼成により各シート４０、４２、４５はそ
れぞれ圧力室形成部材５０、蓋部材５１、振動板５２と
して機能するようになる。この状態で振動板５２の表面
に圧力室５３の位置と、共通電極引出端子の位置に導電
ペーストを厚膜印刷法により形成して乾燥させる。つい
で圧力室５３の形状に合わせて通孔を形成したマスクを
用いて粘土状の圧電材料を厚膜印刷する。振動子構成材
料の焼成に適した状態に乾燥した時点で、圧電振動子及
び電極を焼成するのに適した温度、例えば１０００乃至
１２００°Ｃ程度で全体を加熱する。これにより各圧力
室５３に圧電振動子５４を形成することができる（図１
０ ＩＩ）。そして圧電振動子５４を形成した段階で、
共通電極引出端子、及び圧電振動子５４を覆うように導
電材料の層をスパッタリング等の膜形成手法により形成
すると、振動板、圧力室形成部材、及び蓋部材を同一材
料であたかもブロックとして構成したような圧力発生ユ
ニットが完成する。

【００２１】一方、所定の厚みを備えた金属板材に連通
孔２７や流路制限孔２８に対応する通孔６１，６２をプ
レスにより穿設したインク供給部材６０と、リザーバ２
１や連通孔２２となる通孔６４，６５をプレスにより穿
設したリザーバ形成部材６６と、ノズル開口３１となる
通孔６８をプレスにより穿設したノズルプレート６９を
用意し、図１１に示したように部材６０，６６，６９間
に，各部材の通孔６１，６２，６４，６５，６８を塞が
ない程度の接着代を見込んだ通孔７０，７０，‥‥、７
１、７２，７２，７２‥‥、７３を穿設した接着フィル
ム７５，７６を介装して熱圧着して流路ユニットを構成
する（図１０ ＩＩＩ）。

【００２２】このようにして構成された圧力発生ユニッ
トと流路ユニットとの接合面に図１２（イ）したように
一方のユニット、例えば流路ユニットのインク供給部材
６０の表面に、接着剤を塗布したり、熱溶着フィルムに
より接着剤層８０を形成して（図１０ ＩＶ）、これに
圧力発生ユニットの蓋部材５１を、その通孔５６，５７
が同心円状に位置するように位置合わせして接合すると
（図１０ Ｖ）、流路ユニットと圧力発生ユニットとの
間に異種材料間の熱膨張差を吸収する緩衝材となる接着
層８１を介した記録ヘッドが完成する。なお、接着剤層
８０は、２つの被接合部材から圧力を受けると横に広が
るため、通孔外周に接着剤を塗布しない領域８２を設け
て、蓋部材５１とインク供給部材６０の通孔に流れ込む
のを防止されている。

【００２３】この実施例によれば圧力発生部材を金属に
比較して密度の小さなセラミックスにより構成いている
から、減衰度が大きく隣接する圧電振動子から伝搬して
くる振動を可及的に減衰させることができ、クロストー
クを防止することができる。また、振動により常に変形
を受ける部材が中間に異材を介することなく一体に構成
できるため、接合不良に起因するインク漏れを確実に防
止することができる。さらには圧力発生ユニットの基体
と、振動発生ユニットを構成するセラミックスをそれぞ
れに適した温度で焼成することができるため、信頼性の
向上を図ることができる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、圧
電振動子を絶縁部材として使用でき、共通電極と、これ
の引出電極との接続構造を簡素化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電圧電振動子を使用したインクジェ
ット記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。

【図２】本発明の圧電振動子を使用したインクジェット
記録ヘッドの一実施例を示す分解斜視図である。

【図３】圧力室、圧電振動子、及びリザーバの相対位置
関係を示す図である。

【図４】圧力室に対する圧電振動子の取り付け位置を示
す図である。

【図５】圧電振動子と各電極との位置関係を示す斜視図
である。

【図６】振動板に取り付けられた圧電振動子の構造を図
５の線Ａ−Ａの断面で示す図である。

【図７】本発明の積層型インクジェット記録ヘッドの概
観を示す斜視図である。

【図８】本発明の積層型インクジェット記録ヘッドの裏
面構造を示す斜視図である。

【図９】図（イ）（ロ）は、同上記録ヘッドのインク滴
発生における圧電振動子と圧力室の状態を長手方向の断
面と、幅方向（線Ｂ−Ｂ）の断面とで示す断面図であ
る。

【図１０】図（Ｉ）乃至（Ｖ）は、それぞれ積層型イン
クジェット記録ヘッドの製造方法を示す図である。

【図１１】流路ユニットを構成する各板の接着工程を示
す図である。

【図１２】同図（イ）（ロ）は、それぞれ流路ユニット
と圧力発生ユニットとを接着する接着層を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 圧力室形成部材 ２ 圧力室 ４ 振動板 ５ 信号印加電極 ６ 共通電極引出電極 ７ 圧電振動子 ８ 共通電極 １０ 蓋部材 １５ 圧力発生ユニット ２０ リザーバ形成部材 ２１ リザーバ ２４ インク供給口部材 ２６ インク供給部材 ３０ ノズルプレート ３１ ノズル開口 ３５ 流路ユニット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に複数の圧電振動子を有して振動部
   材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞれ
   に対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成部
   材と、該圧力室形成部材の他方を封止する蓋部材とを備
   え、前記圧電振動子により前記圧力室のインクを加圧す
   るインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小く、かつ前
   記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成されているイ
   ンクジェット記録ヘッド。
2. 【請求項２】 前記圧電振動子が、前記第１の板材に形
   成された駆動信号印加電極の表面に、前記駆動信号印加
   電極の幅よりも広く、かつ前記加圧室の幅よりも狭く形
   成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
   ド。
3. 【請求項３】 前記圧電振動子の長手方向の一部を残
   し、かつ複数の前記圧電振動子の表面を共通に覆おうよ
   うに共通電極が形成されている請求項１に記載のインク
   ジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 前記圧電振動子の非形成領域で、かつ前
   記圧電振動子の形成領域にまで延びて前記共通電極に接
   続する共通電極引出端子が形成されている請求項３に記
   載のインクジェット記録ヘッド。