JP3407535B2 - 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 - Google Patents
積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法Info
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- JP3407535B2 JP3407535B2 JP11413696A JP11413696A JP3407535B2 JP 3407535 B2 JP3407535 B2 JP 3407535B2 JP 11413696 A JP11413696 A JP 11413696A JP 11413696 A JP11413696 A JP 11413696A JP 3407535 B2 JP3407535 B2 JP 3407535B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力発生室をたわ
み振動を行う圧電振動子により膨張、収縮させてノズル
開口からインク滴を吐出させる積層型インクジェット式
記録ヘッドに関する。
み振動を行う圧電振動子により膨張、収縮させてノズル
開口からインク滴を吐出させる積層型インクジェット式
記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、特開平6-40035号公報に示され
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。
【０００３】このような記録ヘッドは、通常、圧力発生
室、振動板、及び圧電振動板をセラミックスの焼結によ
り製作されたアクチュエータユニットを、複数のノズル
開口列に対応させて形成された金属板から成る単一の流
路構成ユニットに接着層を介して固定して構成されてい
る。このような構成によれば、少なくともアクチュエー
タユニットを焼結作業により構成することができて、製
造工数を削減することができる。しかしながら、記録密
度が高くなると圧電振動板のサイズが小さくなり、圧電
材料のグリーンシートを振動板となるグリーンシートに
貼着したり、また塗布する作業が極めて困難で、とくに
圧電振動板のエッジ部での接合不良等により圧電振動子
の特性にバラつきが生じるという問題がある。
室、振動板、及び圧電振動板をセラミックスの焼結によ
り製作されたアクチュエータユニットを、複数のノズル
開口列に対応させて形成された金属板から成る単一の流
路構成ユニットに接着層を介して固定して構成されてい
る。このような構成によれば、少なくともアクチュエー
タユニットを焼結作業により構成することができて、製
造工数を削減することができる。しかしながら、記録密
度が高くなると圧電振動板のサイズが小さくなり、圧電
材料のグリーンシートを振動板となるグリーンシートに
貼着したり、また塗布する作業が極めて困難で、とくに
圧電振動板のエッジ部での接合不良等により圧電振動子
の特性にバラつきが生じるという問題がある。
【０００４】このような問題を解消するため、特開平5-
261921号公報に見られるように振動板を圧電材料で構成
し、これの表面に圧力発生室に対向する領域にだけ選択
的に駆動電極を形成し、この駆動電極の表面にたわみ振
動を誘起するための剛性部材を作り付けたインクジェッ
ト式記録装置が提案されている。これによれば、圧電振
動板が一枚の板として構成されているため、ここに独立
に形成する場合に比較して接合不良の影響を受け難いた
め、インク吐出特性をノズル開口全てにわたって均一化
することができる。
261921号公報に見られるように振動板を圧電材料で構成
し、これの表面に圧力発生室に対向する領域にだけ選択
的に駆動電極を形成し、この駆動電極の表面にたわみ振
動を誘起するための剛性部材を作り付けたインクジェッ
ト式記録装置が提案されている。これによれば、圧電振
動板が一枚の板として構成されているため、ここに独立
に形成する場合に比較して接合不良の影響を受け難いた
め、インク吐出特性をノズル開口全てにわたって均一化
することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、さらに高い
密度で印刷を行なわせようとすると、インク滴を吐出さ
せるには十分な変位量を得ることができないという問題
がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは、圧電振動子の変位
量の安定化と増大を図ることができる積層型インクジェ
ット式記録ヘッドを提供することである。本発明の他の
目的は、上記記録ヘッドの製造方法を提案することであ
る。
密度で印刷を行なわせようとすると、インク滴を吐出さ
せるには十分な変位量を得ることができないという問題
がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは、圧電振動子の変位
量の安定化と増大を図ることができる積層型インクジェ
ット式記録ヘッドを提供することである。本発明の他の
目的は、上記記録ヘッドの製造方法を提案することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、圧電材料からなり、表面に
圧力発生室に対向するように駆動電極が、また裏面に少
なくとも前記圧力発生室に対向する領域に共通電極が形
成された振動板と、一方の面を前記振動板により封止さ
れて前記圧力発生室を形成する圧力発生室形成基板と、
該圧力発生室形成基板の他方の面を封止するとともに、
共通のインク室からのインクを前記圧力発生室に供給す
るインク供給口と、前記圧力発生室とノズル開口とを接
続するインク供給口形成基板とからなるアクチュエータ
ユニットと、前記圧力発生室からインクの供給を受けて
インク滴を吐出するノズル開口と、前記共通のインク室
とを備えた流路ユニットとを一体に接合してなる積層型
インクジェット式記録ヘッドにおいて、前記駆動電極の
表面に前記圧力発生室に対向するように前記振動板より
も剛性が大きな第１の振動誘起板と、前記共通電極の表
面に前記第１の振動誘起板の間で、かつ前記圧力発生室
を区画する隔壁の近傍に、前記隔壁の表面に接して前記
振動板よりも剛性の大きな第２の振動誘起板とを形成し
て構成されている。
るために本発明においては、圧電材料からなり、表面に
圧力発生室に対向するように駆動電極が、また裏面に少
なくとも前記圧力発生室に対向する領域に共通電極が形
成された振動板と、一方の面を前記振動板により封止さ
れて前記圧力発生室を形成する圧力発生室形成基板と、
該圧力発生室形成基板の他方の面を封止するとともに、
共通のインク室からのインクを前記圧力発生室に供給す
るインク供給口と、前記圧力発生室とノズル開口とを接
続するインク供給口形成基板とからなるアクチュエータ
ユニットと、前記圧力発生室からインクの供給を受けて
インク滴を吐出するノズル開口と、前記共通のインク室
とを備えた流路ユニットとを一体に接合してなる積層型
インクジェット式記録ヘッドにおいて、前記駆動電極の
表面に前記圧力発生室に対向するように前記振動板より
も剛性が大きな第１の振動誘起板と、前記共通電極の表
面に前記第１の振動誘起板の間で、かつ前記圧力発生室
を区画する隔壁の近傍に、前記隔壁の表面に接して前記
振動板よりも剛性の大きな第２の振動誘起板とを形成し
て構成されている。
【０００７】
【作用】駆動電極が形成されている領域の上面には振動
板よりも剛性の高い第１の振動誘起板が固定されている
ため、この領域が表面側に凸となるようにたわむ。そし
て、第１の振動誘起板と境を接するように振動板の裏面
の、振動板よりも剛性が大きな第２の振動誘起板の反力
を受けるため、第１の振動誘起板単独の場合よりもたわ
み量が拡大される。
板よりも剛性の高い第１の振動誘起板が固定されている
ため、この領域が表面側に凸となるようにたわむ。そし
て、第１の振動誘起板と境を接するように振動板の裏面
の、振動板よりも剛性が大きな第２の振動誘起板の反力
を受けるため、第１の振動誘起板単独の場合よりもたわ
み量が拡大される。
【０００８】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、図２、図３
（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の一実施例を示すも
のであって、図中符号１は、流路ユニットで、共通のイ
ンク室３、及びノズル開口４を備え、連通孔５、６、７
を介して後述するアクチュエータユニット２の圧力発生
室８にインクを供給したり、また圧力発生室８で加圧さ
れたインクをノズル開口４からインク滴として吐出させ
るものである。
した実施例に基づいて説明する。図１、図２、図３
（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の一実施例を示すも
のであって、図中符号１は、流路ユニットで、共通のイ
ンク室３、及びノズル開口４を備え、連通孔５、６、７
を介して後述するアクチュエータユニット２の圧力発生
室８にインクを供給したり、また圧力発生室８で加圧さ
れたインクをノズル開口４からインク滴として吐出させ
るものである。
【０００９】流路ユニット１は、不錆鋼等に圧力発生室
８側が拡開するテーパ状の通孔を穿設してノズル開口４
が形成されたノズルプレート２１と、所定の厚みの不錆
鋼に共通のインク室３及び連通孔５となる窓や通孔をプ
レスにより形成した共通のインク室形成基板１０と、圧
力発生室８の両端に位置してこれら連通孔５や共通のイ
ンク室３に接続する連通孔６、７を穿設した連通基板１
１とをそれぞれの間にポリオレフィンフィルム等の熱溶
着フィルム１２、１３を介して溶着して構成されてい
る。なお、図中符号１４は、共通のインク室３に対向す
る領域に形成されたダンパ室を示す。
８側が拡開するテーパ状の通孔を穿設してノズル開口４
が形成されたノズルプレート２１と、所定の厚みの不錆
鋼に共通のインク室３及び連通孔５となる窓や通孔をプ
レスにより形成した共通のインク室形成基板１０と、圧
力発生室８の両端に位置してこれら連通孔５や共通のイ
ンク室３に接続する連通孔６、７を穿設した連通基板１
１とをそれぞれの間にポリオレフィンフィルム等の熱溶
着フィルム１２、１３を介して溶着して構成されてい
る。なお、図中符号１４は、共通のインク室３に対向す
る領域に形成されたダンパ室を示す。
【００１０】一方、流路ユニット１に固定されるアクチ
ュエータユニット２は、圧力発生室８を形成する圧力発
生室形成基板２０と、これの一方を封止して共通のイン
ク室３と圧力発生室８との流体抵抗を規制するインク供
給口２１と、圧力発生室８とノズル開口４とを接続する
連通孔２２とを備えたインク供給口形成基板２３と、圧
力発生室形成基板２０の他面を封止する振動板２４とを
一体に接合して構成されている。
ュエータユニット２は、圧力発生室８を形成する圧力発
生室形成基板２０と、これの一方を封止して共通のイン
ク室３と圧力発生室８との流体抵抗を規制するインク供
給口２１と、圧力発生室８とノズル開口４とを接続する
連通孔２２とを備えたインク供給口形成基板２３と、圧
力発生室形成基板２０の他面を封止する振動板２４とを
一体に接合して構成されている。
【００１１】この振動板２４は、厚さ１０μｍ程度のＰ
ＺＴ等の圧電材料からなる板として構成され、表面とな
る側には圧力発生室８に対向する領域に図４に示すよう
に駆動電極２５が金属の蒸着やスパッタリング等により
形成されている。
ＺＴ等の圧電材料からなる板として構成され、表面とな
る側には圧力発生室８に対向する領域に図４に示すよう
に駆動電極２５が金属の蒸着やスパッタリング等により
形成されている。
【００１２】駆動電極２５の表面には圧力発生室８をた
わませる領域には、図５に示したように振動板２４の剛
性よりも大きく、振動板２４に変位をたわみ振動に変換
するのに適した短冊状の第１の誘起振動板２６がメッキ
やスパッタリング、スクリーンマスク厚膜印刷法等で作
り付けられている。この振動誘起板２６はその幅Ｗ１が
駆動電極の幅Ｗ２よりも小さく、かつ圧力発生室８の全
域に及ぶ長さに選択されている。そして、これに連続す
るようにして圧力発生室８から外れた領域にまで延びる
引出し電極部２６ａが形成されている。
わませる領域には、図５に示したように振動板２４の剛
性よりも大きく、振動板２４に変位をたわみ振動に変換
するのに適した短冊状の第１の誘起振動板２６がメッキ
やスパッタリング、スクリーンマスク厚膜印刷法等で作
り付けられている。この振動誘起板２６はその幅Ｗ１が
駆動電極の幅Ｗ２よりも小さく、かつ圧力発生室８の全
域に及ぶ長さに選択されている。そして、これに連続す
るようにして圧力発生室８から外れた領域にまで延びる
引出し電極部２６ａが形成されている。
【００１３】振動板２４の裏面には、図６に示したよう
に圧力発生室８、８、８‥‥が形成されている領域を覆
うように耐インク性を備えたアルミニューム、銅、クロ
ム等の金属層を形成して共通電極２７が形成されてい
る。
に圧力発生室８、８、８‥‥が形成されている領域を覆
うように耐インク性を備えたアルミニューム、銅、クロ
ム等の金属層を形成して共通電極２７が形成されてい
る。
【００１４】共通電極２７の表面には第１の振動誘起板
板２６の間に位置する領域、つまり圧力発生室８を区画
する隔壁８ａの近傍に、図７に示したようにインクに対
して耐蝕性を備え、振動板２４よりも剛性が高くなるよ
うにその厚みが設定されたニッケルやジルコニウム等の
短冊状の第２の誘起振動板２８が圧力発生室８の配列ピ
ッチに合わせて作り付けられている。
板２６の間に位置する領域、つまり圧力発生室８を区画
する隔壁８ａの近傍に、図７に示したようにインクに対
して耐蝕性を備え、振動板２４よりも剛性が高くなるよ
うにその厚みが設定されたニッケルやジルコニウム等の
短冊状の第２の誘起振動板２８が圧力発生室８の配列ピ
ッチに合わせて作り付けられている。
【００１５】これら振動板２４、圧力発生室形成基板２
０、及びインク供給口形成基板２３は、セラミックに焼
成する過程で一体に重ね合わされて一体物として構成さ
れ、熱溶着フィルム２９により流路ユニット１のインク
供給口形成基板１１に固定されてインクジェット式記録
装置に構成されている。
０、及びインク供給口形成基板２３は、セラミックに焼
成する過程で一体に重ね合わされて一体物として構成さ
れ、熱溶着フィルム２９により流路ユニット１のインク
供給口形成基板１１に固定されてインクジェット式記録
装置に構成されている。
【００１６】こうような記録ヘッドは、焼成により圧電
振動板となるＰＺＴ等の圧電材料のグリーンシートの一
方の面の少なくとも圧力発生室８に対向する領域に共通
電極２７を蒸着やスパッタリングにより形成する。次い
で共通電極２７の表面に圧力発生室８と対向する領域で
は間隙が生じるように圧力発生室８を区画する隔壁８ａ
に中心が対向する位置に、第２の振動誘起板２８を金属
の厚膜メッキや、スパッタリング、厚膜印刷法で形成す
る。
振動板となるＰＺＴ等の圧電材料のグリーンシートの一
方の面の少なくとも圧力発生室８に対向する領域に共通
電極２７を蒸着やスパッタリングにより形成する。次い
で共通電極２７の表面に圧力発生室８と対向する領域で
は間隙が生じるように圧力発生室８を区画する隔壁８ａ
に中心が対向する位置に、第２の振動誘起板２８を金属
の厚膜メッキや、スパッタリング、厚膜印刷法で形成す
る。
【００１７】上述の工程で形成された部材を圧力発生室
形成基板２０の一方の面に、また圧力発生室形成基板２
０の他方の面にインク供給口形成基板２３とを接合す
る。この状態では振動板２４の表面に駆動電極２５や第
１の振動誘起板２６が作り付けられていないので、振動
板２４を圧力発生室８内に陥没させてしまったり、歪む
ませることなく、面全体を均一に加圧することができ、
各層を確実に接合することができる。
形成基板２０の一方の面に、また圧力発生室形成基板２
０の他方の面にインク供給口形成基板２３とを接合す
る。この状態では振動板２４の表面に駆動電極２５や第
１の振動誘起板２６が作り付けられていないので、振動
板２４を圧力発生室８内に陥没させてしまったり、歪む
ませることなく、面全体を均一に加圧することができ、
各層を確実に接合することができる。
【００１８】このようにして接合された部材を焼成する
ことにより振動板２４の上面に作り付けるべき駆動電極
２５や第１の振動誘起板２６を備えない流路ユニット２
の半製品が焼結体として完成する。そして圧力発生室８
に対向するように表面に導電材料のスパッタリングや蒸
着により駆動電極２５を形成して、これの表面に金属を
蒸着したり、またセラミックスの厚膜印刷等で第１の振
動誘起板２６を形成する。
ことにより振動板２４の上面に作り付けるべき駆動電極
２５や第１の振動誘起板２６を備えない流路ユニット２
の半製品が焼結体として完成する。そして圧力発生室８
に対向するように表面に導電材料のスパッタリングや蒸
着により駆動電極２５を形成して、これの表面に金属を
蒸着したり、またセラミックスの厚膜印刷等で第１の振
動誘起板２６を形成する。
【００１９】そして最後に、この焼結体と、予め別の工
程で製作した流路ユニット１とを接着剤により接着した
り、また両者の間に熱溶着フィルム２９を介装して熱溶
着により接合することにより記録ヘッドが完成する。
程で製作した流路ユニット１とを接着剤により接着した
り、また両者の間に熱溶着フィルム２９を介装して熱溶
着により接合することにより記録ヘッドが完成する。
【００２０】この実施例において、共通電極２７と駆動
電極２５とに駆動信号を印加すると、駆動電極２５と対
向する領域が圧力発生室８の幅方向に収縮する。ところ
が、駆動電極２５が形成されている領域の上面には振動
板２４よりも剛性の高い第１の振動誘起板２６が固定さ
れているため、図８に示したようにこの領域が圧力発生
室８側から外方を凸とするようにたわむ。そして、第１
の振動誘起板２６と境を接するように振動板２４の裏面
の、振動板２４よりも剛性が大きな第２の振動誘起板２
８、２８の反力を受けるため、第１の振動誘起板２６単
独の場合よりもたわみ量が拡大される。
電極２５とに駆動信号を印加すると、駆動電極２５と対
向する領域が圧力発生室８の幅方向に収縮する。ところ
が、駆動電極２５が形成されている領域の上面には振動
板２４よりも剛性の高い第１の振動誘起板２６が固定さ
れているため、図８に示したようにこの領域が圧力発生
室８側から外方を凸とするようにたわむ。そして、第１
の振動誘起板２６と境を接するように振動板２４の裏面
の、振動板２４よりも剛性が大きな第２の振動誘起板２
８、２８の反力を受けるため、第１の振動誘起板２６単
独の場合よりもたわみ量が拡大される。
【００２１】これにより、高密度配列により圧力発生室
の容積を小さくせざるを得ない場合にも、圧力発生室８
の容積変化率を拡大できて、印刷に必要なインク量のイ
ンク滴を吐出させることができる。
の容積を小さくせざるを得ない場合にも、圧力発生室８
の容積変化率を拡大できて、印刷に必要なインク量のイ
ンク滴を吐出させることができる。
【００２２】なお、上述の実施例のおいては第１の振動
誘起板２６を金属などに導電材料で構成し、その一端を
圧力発生室８の領域外まで延長して駆動信号供給用の配
線パターンを形成しているが、第１の振動誘起板２６を
セラミック等の絶縁材料で構成した場合には、駆動電極
２５に接続する導電パターンを形成して駆動電極２５に
信号を供給するように構成できる。
誘起板２６を金属などに導電材料で構成し、その一端を
圧力発生室８の領域外まで延長して駆動信号供給用の配
線パターンを形成しているが、第１の振動誘起板２６を
セラミック等の絶縁材料で構成した場合には、駆動電極
２５に接続する導電パターンを形成して駆動電極２５に
信号を供給するように構成できる。
【００２３】また、上述の実施例においては、第２の振
動誘起板２６を圧力発生室８を区画する隔壁８ａを跨ぐ
連続体として形成しているが、図９に示したように各圧
力発生室８に収まるように隔壁８ａに対向する領域で分
離された２つの分割体２８ａ、２８ａとして形成しても
同様の作用を奏することは明らかである。
動誘起板２６を圧力発生室８を区画する隔壁８ａを跨ぐ
連続体として形成しているが、図９に示したように各圧
力発生室８に収まるように隔壁８ａに対向する領域で分
離された２つの分割体２８ａ、２８ａとして形成しても
同様の作用を奏することは明らかである。
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
第１の振動誘起板と境を接するように振動板の裏面の、
振動板よりも剛性が大きな第２の振動誘起板の反力を受
けて、第１の振動誘起板単独の場合よりもたわみ量が拡
大することができ、圧力発生室の小型化が可能となり、
高密度配列に対応することができる。
第１の振動誘起板と境を接するように振動板の裏面の、
振動板よりも剛性が大きな第２の振動誘起板の反力を受
けて、第１の振動誘起板単独の場合よりもたわみ量が拡
大することができ、圧力発生室の小型化が可能となり、
高密度配列に対応することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例を流路ユニットとアクチュエ
ータユニットに分離して示す図である。
ータユニットに分離して示す図である。
【図３】図（イ）、（ロ）は、それぞれ圧力発生室の長
手方向、及び幅方向での断面構造を示す断面図である。
手方向、及び幅方向での断面構造を示す断面図である。
【図４】弾性板の表面に形成される駆動電極に一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図５】駆動電極の表面に形成される第１の振動誘起板
の一実施例を示す図である。
の一実施例を示す図である。
【図６】弾性板の裏面に形成される共通電極の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図７】共通電極の表面に形成される第２の振動誘起板
の一実施例を示す図である。
の一実施例を示す図である。
【図８】同上装置における圧力発生室の膨張状態を示す
図である。
図である。
【図９】本発明の他の実施例を示す断面図である。
１ 流路ユニット
２ アクチュエータユニット
３ 共通のインク室
４ ノズル開口
８ 圧力発生室
２０ 圧力発生室形成基板
２１ インク供給口
２３ インク供給口形成基板
２４ 振動板
２５ 駆動電極
２６ 第１の振動誘起板
２７ 共通電極
２８ 第２の振動誘起板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
B41J 2/16
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電材料からなり、表面に圧力発生室に
対向するように駆動電極が、また裏面に少なくとも前記
圧力発生室に対向する領域に共通電極が形成された振動
板と、一方の面を前記振動板により封止されて前記圧力
発生室を形成する圧力発生室形成基板と、該圧力発生室
形成基板の他方の面を封止するとともに、共通のインク
室からのインクを前記圧力発生室に供給するインク供給
口と、前記圧力発生室とノズル開口とを接続するインク
供給口形成基板とからなるアクチュエータユニットと、 前記圧力発生室からインクの供給を受けてインク滴を吐
出するノズル開口と、前記共通のインク室とを備えた流
路ユニットとを一体に接合してなる積層型インクジェッ
ト式記録ヘッドにおいて、 前記駆動電極の表面に前記圧力発生室に対向するように
前記振動板よりも剛性が大きな第１の振動誘起板と、前
記共通電極の表面に前記第１の振動誘起板の間で、かつ
前記圧力発生室を区画する隔壁の近傍に、前記隔壁の表
面に接して前記振動板よりも剛性の大きな第２の振動誘
起板とを形成してなる積層型インクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項２】 圧電材料からなり、表面に圧力発生室に
対向するように駆動電極が、また裏面に少なくとも前記
圧力発生室に対向する領域に共通電極が形成された振動
板と、一方の面を前記振動板により封止されて前記圧力
発生室を形成する圧力発生室形成基板と、該圧力発生室
形成基板の他方の面を封止するとともに、共通のインク
室からのインクを前記圧力発生室に供給するインク供給
口と、前記圧力発生室とノズル開口とを接続するインク
供給口形成基板とからなるアクチュエータユニットと、 前記圧力発生室からインクの供給を受けてインク滴を吐
出するノズル開口と、前記共通のインク室とを備えた流
路ユニットとを一体に接合してなる積層型インクジェッ
ト式記録ヘッドにおいて、 前記駆動電極の表面に前記圧力発生室に対向するように
前記振動板よりも剛性が大きな第１の振動誘起板と、前
記共通電極の表面に前記第１の振動誘起板の間で、かつ
前記圧力発生室を区画する隔壁を跨ぐように前記振動板
よりも剛性の大 きな第２の振動誘起板とを形成してなる
積層型インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 圧電材料の一方の面の少なくとも前記圧
力発生室に対向する領域に共通電極を構成する工程と、
前記共通電極の表面に圧力発生室側に間隙を形成するよ
うに前記圧力発生室を区画する隔壁に対向する位置に、
第２の振動誘起板を形成する第１の工程と、圧力発生室
形成基板の一方の面に第１の工程で形成された部材を、
他方の面にインク供給口形成基板とを接合して焼成する
第２の工程と、前記圧力発生室に対向するように表面に
駆動電極を形成する第３の工程と、前記駆動電極の表面
に第１の振動誘起板を形成する第４の工程と、前記圧力
発生室からのインクを受けてインク滴を吐出するノズル
開口と、共通のインク室とを備えた流路ユニットに前記
第４の工程で形成された部材を熱溶着により接合する第
５の工程と、とからなる積層型インクジェット式記録ヘ
ッドの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11413696A JP3407535B2 (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
| DE69716157T DE69716157T3 (de) | 1996-04-11 | 1997-04-11 | Piezolelektrischer Vibrator, diesen piezoelektrischen Vibrator verwendender Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zur Herstellung |
| US08/843,002 US6217158B1 (en) | 1996-04-11 | 1997-04-11 | Layered type ink jet recording head with improved piezoelectric actuator unit |
| EP97106000A EP0803918B2 (en) | 1996-04-11 | 1997-04-11 | Piezoelectric vibrator unit, ink jet recording head using the piezoelectric vibrator unit and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11413696A JP3407535B2 (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09277532A JPH09277532A (ja) | 1997-10-28 |
| JP3407535B2 true JP3407535B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=14630046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11413696A Expired - Lifetime JP3407535B2 (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3407535B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001072519A1 (fr) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre a buses multiples et procede de fabrication de celle-ci |
| JP2013248762A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Toshiba Corp | インクジェット式記録ヘッド |
-
1996
- 1996-04-11 JP JP11413696A patent/JP3407535B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09277532A (ja) | 1997-10-28 |
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