JP3487319B2 - 積層型インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
積層型インクジェット式記録ヘッドInfo
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- JP3487319B2 JP3487319B2 JP29895695A JP29895695A JP3487319B2 JP 3487319 B2 JP3487319 B2 JP 3487319B2 JP 29895695 A JP29895695 A JP 29895695A JP 29895695 A JP29895695 A JP 29895695A JP 3487319 B2 JP3487319 B2 JP 3487319B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノズル開口に連通
する圧力発生室の一部領域に圧電振動体を設けて、圧電
振動体のたわみ振動により圧力発生室を圧縮してインク
滴を発生させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
する圧力発生室の一部領域に圧電振動体を設けて、圧電
振動体のたわみ振動により圧力発生室を圧縮してインク
滴を発生させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧力発生室の一部を構成する振動板に圧
電振動板を張設し、圧電振動板のたわみ振動により圧力
発生室の容積を変化させてインク滴を発生させるインク
ジェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位
させることが可能なため、インク滴を安定して発生させ
ることができるという特徴を備えている。このように圧
電振動体のたわみ振動を利用する場合には、圧電振動体
の表面が圧力発生室を構成する振動板と十分に接合して
いる必要があるため、特開平5-267742号公報に示された
ように振動板の表面に形成された電極の表面に、グリー
ンシートの圧電材料を塗布し、その後これを焼成して圧
電振動体が作り付けられている。このように圧電振動板
を焼成により作り付けることにより、個々の圧電振動体
の接着作業が不要となるばかりでなく、強力な接合力を
得ることができる。
電振動板を張設し、圧電振動板のたわみ振動により圧力
発生室の容積を変化させてインク滴を発生させるインク
ジェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位
させることが可能なため、インク滴を安定して発生させ
ることができるという特徴を備えている。このように圧
電振動体のたわみ振動を利用する場合には、圧電振動体
の表面が圧力発生室を構成する振動板と十分に接合して
いる必要があるため、特開平5-267742号公報に示された
ように振動板の表面に形成された電極の表面に、グリー
ンシートの圧電材料を塗布し、その後これを焼成して圧
電振動体が作り付けられている。このように圧電振動板
を焼成により作り付けることにより、個々の圧電振動体
の接着作業が不要となるばかりでなく、強力な接合力を
得ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、焼成時
の温度と記録ヘッドとして使用される室温との間に大き
な温度差があるため、圧電振動体や電極材料、振動板を
構成する材料の熱膨張率の差が生じる。そして、特に振
動板が圧力発生室の隔壁に対応する領域では振動板の剛
性が極めて大きいため、圧電振動体の長手方向の端部領
域に大きな残留応力が発生して、圧電振動体全体の圧電
定数にオ大きな影響を与えることになり、これに起因し
てノズル開口間のインク吐出能力にバラつきが生じると
いう問題がある。本発明はこれらの問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的とするところは、焼成により
発生した残留応力の影響を可及的に少なくして、ノズル
開口間でのインク吐出能力を一定ならしめることができ
るインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
の温度と記録ヘッドとして使用される室温との間に大き
な温度差があるため、圧電振動体や電極材料、振動板を
構成する材料の熱膨張率の差が生じる。そして、特に振
動板が圧力発生室の隔壁に対応する領域では振動板の剛
性が極めて大きいため、圧電振動体の長手方向の端部領
域に大きな残留応力が発生して、圧電振動体全体の圧電
定数にオ大きな影響を与えることになり、これに起因し
てノズル開口間のインク吐出能力にバラつきが生じると
いう問題がある。本発明はこれらの問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的とするところは、焼成により
発生した残留応力の影響を可及的に少なくして、ノズル
開口間でのインク吐出能力を一定ならしめることができ
るインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、絶縁性材料からなる振動板
と、圧力発生室を構成する通孔を備えたスペーサ部材
と、該スペーサ部材の他方を封止し、リザーバと前記圧
力発生室及びノズル開口と前記圧力発生室とを接続する
通孔を有する蓋板と、前記ノズル開口と前記圧力発生室
と連通する通孔、及び前記リザーバを形成する通孔を備
えたインク供給部材と、前記ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層し、さらに前記圧力発生室に対応して
前記振動板の表面に第１の電極を、第１の電極の表面に
圧電振動体を、前記圧電振動体の表面に第２の電極を形
成するとともに、前記第１の電極を前記圧力発生室の端
部近傍で外側が先細りとなる短冊型に形成する。
るために本発明においては、絶縁性材料からなる振動板
と、圧力発生室を構成する通孔を備えたスペーサ部材
と、該スペーサ部材の他方を封止し、リザーバと前記圧
力発生室及びノズル開口と前記圧力発生室とを接続する
通孔を有する蓋板と、前記ノズル開口と前記圧力発生室
と連通する通孔、及び前記リザーバを形成する通孔を備
えたインク供給部材と、前記ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層し、さらに前記圧力発生室に対応して
前記振動板の表面に第１の電極を、第１の電極の表面に
圧電振動体を、前記圧電振動体の表面に第２の電極を形
成するとともに、前記第１の電極を前記圧力発生室の端
部近傍で外側が先細りとなる短冊型に形成する。
【０００５】
【作用】圧電振動体が圧力発生室の端部近傍で中央部よ
りも細く形成されているため、圧力発生室の端部近傍で
の応力を自身で下方して残留応力が減少する。
りも細く形成されているため、圧力発生室の端部近傍で
の応力を自身で下方して残留応力が減少する。
【０００６】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は本発明の一実施
例を圧力発生室の近傍の断面構造で示す図であって、図
中符号１は、スペーサで、深さ１５０μｍ程度の圧力発
生室２、２を構成するの適した厚みを持つジルコニア
（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなる基板に細長
い通孔を中心線に対してほぼ対称となるように列状に穿
設して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は本発明の一実施
例を圧力発生室の近傍の断面構造で示す図であって、図
中符号１は、スペーサで、深さ１５０μｍ程度の圧力発
生室２、２を構成するの適した厚みを持つジルコニア
（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなる基板に細長
い通孔を中心線に対してほぼ対称となるように列状に穿
設して構成されている。
【０００７】３は、振動板で、スペーサ１と一体に焼成
したときに十分な接合力を発揮するとともに、後述する
圧電振動体４、４‥‥の歪みにより弾性変形する材料、
この実施例ではスペーサと同一の、厚さ１０μｍのジル
コニアの薄板で構成されている。
したときに十分な接合力を発揮するとともに、後述する
圧電振動体４、４‥‥の歪みにより弾性変形する材料、
この実施例ではスペーサと同一の、厚さ１０μｍのジル
コニアの薄板で構成されている。
【０００８】４、４‥‥はそれぞれ前述の圧電振動体
で、振動板３の表面に形成されている後述する駆動電極
３０の表面に、圧電材料のグリーンシートを焼結して作
り付けられている。
で、振動板３の表面に形成されている後述する駆動電極
３０の表面に、圧電材料のグリーンシートを焼結して作
り付けられている。
【０００９】図中符号５は、スペーサ１の他面に一体に
貼着される蓋板で、この実施例では厚さ１５０μｍのジ
ルコニアの薄板からなり、ノズルプレート２０のノズル
開口２１、２１‥‥と圧力発生室２、２とを接続する通
孔８、８と、後述するリザーバ１０、１０と圧力発生室
２、２とを接続する通孔１２、１２を穿設して構成され
ている。
貼着される蓋板で、この実施例では厚さ１５０μｍのジ
ルコニアの薄板からなり、ノズルプレート２０のノズル
開口２１、２１‥‥と圧力発生室２、２とを接続する通
孔８、８と、後述するリザーバ１０、１０と圧力発生室
２、２とを接続する通孔１２、１２を穿設して構成され
ている。
【００１０】１５は、インク供給流路構成板で、インク
流路を構成するに適した例えば１５０μｍのステンレス
鋼などの耐蝕性を備えた板材に、リザーバ１０、１０と
なる通孔と、圧力発生室２、２とノズル開口２１、２１
とを結ぶ通孔１６、１６を穿設して構成されている。
流路を構成するに適した例えば１５０μｍのステンレス
鋼などの耐蝕性を備えた板材に、リザーバ１０、１０と
なる通孔と、圧力発生室２、２とノズル開口２１、２１
とを結ぶ通孔１６、１６を穿設して構成されている。
【００１１】リザーバ１０、１０は、蓋板５に設けられ
た図示しないインク供給口と連通して外部のインクタン
クからインクの供給を受けて通孔１２、１２を介して圧
力発生室２、２にインクを供給するものである。
た図示しないインク供給口と連通して外部のインクタン
クからインクの供給を受けて通孔１２、１２を介して圧
力発生室２、２にインクを供給するものである。
【００１２】これら各部材１、３、５、１５、２０は、
それぞれ積層されて、構成されている材料に適した接合
方法で接合されてインクジェット式記録ヘッドに纏めら
れている。
それぞれ積層されて、構成されている材料に適した接合
方法で接合されてインクジェット式記録ヘッドに纏めら
れている。
【００１３】図２は、振動板３の表面に作り付けられた
駆動電極３０と圧電振動体４、４の構造を示すものであ
って、駆動電極３０は、圧力発生室２に対向する領域に
略短冊型の電極本体部３０ａと、圧力発生室の端部２
ａ、２ｂの近傍で長手方向の軸線に対して対称に先細り
となる先細り部３０ｂ、３０ｃを介して外部接続用リー
ド部３０ｄ、３０ｅを備えるよう、振動板３と圧電振動
体４とに対して共に強い接合力を発揮するとともに、導
電性を有する材料、例えば白金や白金系合金などを蒸着
して形成されている。
駆動電極３０と圧電振動体４、４の構造を示すものであ
って、駆動電極３０は、圧力発生室２に対向する領域に
略短冊型の電極本体部３０ａと、圧力発生室の端部２
ａ、２ｂの近傍で長手方向の軸線に対して対称に先細り
となる先細り部３０ｂ、３０ｃを介して外部接続用リー
ド部３０ｄ、３０ｅを備えるよう、振動板３と圧電振動
体４とに対して共に強い接合力を発揮するとともに、導
電性を有する材料、例えば白金や白金系合金などを蒸着
して形成されている。
【００１４】４は、圧電振動体で、駆動電極とほぼ同サ
イズの短冊型に形成されて、その端部４ａ、４ｂが圧力
発生室２の両端の端部２ａ、２ｂ近傍の圧力発生室側に
形成されている駆動電極３０の先細り部３０ｂ、３０ｃ
にまで延びていて、その端部４ａ、４ｂが駆動電極３０
の先細り部３０ｂ、３０ｃで本体部３０ａよりも小さな
面積で固定されている。
イズの短冊型に形成されて、その端部４ａ、４ｂが圧力
発生室２の両端の端部２ａ、２ｂ近傍の圧力発生室側に
形成されている駆動電極３０の先細り部３０ｂ、３０ｃ
にまで延びていて、その端部４ａ、４ｂが駆動電極３０
の先細り部３０ｂ、３０ｃで本体部３０ａよりも小さな
面積で固定されている。
【００１５】図中符号３１は、圧電振動体４の表面に形
成された共通電極で、駆動電極３０の引出し側と異なる
側に駆動電極３０のリード部３０ｅを跨ぐように二股部
３１ａ、３１ｂを設けて接続用電極３２に接続されてい
る。なお、図中符号３３は、駆動電極３０のリード部３
０ｅと外部駆動回路とを接続する導電パターンを示す。
成された共通電極で、駆動電極３０の引出し側と異なる
側に駆動電極３０のリード部３０ｅを跨ぐように二股部
３１ａ、３１ｂを設けて接続用電極３２に接続されてい
る。なお、図中符号３３は、駆動電極３０のリード部３
０ｅと外部駆動回路とを接続する導電パターンを示す。
【００１６】この実施例において、共通電極３１と１つ
の駆動電極３０に駆動信号を印加すると、圧電振動体４
は、長手方向を対称軸して幅方向に湾曲し、振動板３を
圧力発生室側に変形させる。
の駆動電極３０に駆動信号を印加すると、圧電振動体４
は、長手方向を対称軸して幅方向に湾曲し、振動板３を
圧力発生室側に変形させる。
【００１７】これにより圧力発生室２の容積が縮小し、
ここに存在するインクに圧力が印加されることになる。
圧力発生室２のインクは、蓋板７の通孔８からインク供
給流路構成板１５の通孔１６を経て、ノズルプレート２
０のノズル開口２１に流れ込み、ここからインク滴とな
って飛び出す。
ここに存在するインクに圧力が印加されることになる。
圧力発生室２のインクは、蓋板７の通孔８からインク供
給流路構成板１５の通孔１６を経て、ノズルプレート２
０のノズル開口２１に流れ込み、ここからインク滴とな
って飛び出す。
【００１８】駆動信号の印加が解除されて圧電振動体４
が元の形状に復帰すると、圧力発生室２の容積が膨張し
てリザーバ１０から圧力発生室２に、インク滴吐出によ
る消費分に相当するインクが補給される。
が元の形状に復帰すると、圧力発生室２の容積が膨張し
てリザーバ１０から圧力発生室２に、インク滴吐出によ
る消費分に相当するインクが補給される。
【００１９】ところで、本発明においては圧電振動体４
がその両端を駆動電極３０の先細り部３０ｂ、３０ｃで
本体部３０ａより狭い面積で固定されているため、焼成
時の熱膨張差と圧力発生室２の端部２ａ、２ｂ近傍の大
きな剛性とに起因する残留応力が弱められる。この結
果、圧電振動体４の駆動領域における圧電定数が残留応
力の影響を受けない本来の値を発現することになり、駆
動電極本体部３０ａと接触する領域を本来の圧電定数で
たわみ振動する。したがって、同一の記録ヘッドを構成
している圧力発生室２が圧電振動体４によりほぼ同程度
の容積変化を受けるため、各ノズル開口２１からのイン
ク滴のインク量がほぼ同一となる。
がその両端を駆動電極３０の先細り部３０ｂ、３０ｃで
本体部３０ａより狭い面積で固定されているため、焼成
時の熱膨張差と圧力発生室２の端部２ａ、２ｂ近傍の大
きな剛性とに起因する残留応力が弱められる。この結
果、圧電振動体４の駆動領域における圧電定数が残留応
力の影響を受けない本来の値を発現することになり、駆
動電極本体部３０ａと接触する領域を本来の圧電定数で
たわみ振動する。したがって、同一の記録ヘッドを構成
している圧力発生室２が圧電振動体４によりほぼ同程度
の容積変化を受けるため、各ノズル開口２１からのイン
ク滴のインク量がほぼ同一となる。
【００２０】次に上述した記録ヘッドの製造方法を図３
に基づいて説明する。焼成したとき圧力発生室２を形成
するのに適した厚みを備えたセラミックス材料、この実
施例ではジルコニアの粘土状薄板、いわゆるグリーンシ
ートに、圧力発生室を形成すべき位置をプレスにより打
ち抜いて通孔を穿設した第１のシートを用意する。同様
に振動板３に適した厚みのジルコニアの第２のグリーン
シートを用意する。さらに、圧力発生室２の他面を封止
するのに適した厚みを有するグリーンシートにプレスに
よりノズル開口２１と圧力発生室２とを接続する通孔、
及び共通のインク室１０と圧力発生室２とを接続する通
孔を穿設した第３のグリーンシートを用意する。 インク供給口１２基板
に基づいて説明する。焼成したとき圧力発生室２を形成
するのに適した厚みを備えたセラミックス材料、この実
施例ではジルコニアの粘土状薄板、いわゆるグリーンシ
ートに、圧力発生室を形成すべき位置をプレスにより打
ち抜いて通孔を穿設した第１のシートを用意する。同様
に振動板３に適した厚みのジルコニアの第２のグリーン
シートを用意する。さらに、圧力発生室２の他面を封止
するのに適した厚みを有するグリーンシートにプレスに
よりノズル開口２１と圧力発生室２とを接続する通孔、
及び共通のインク室１０と圧力発生室２とを接続する通
孔を穿設した第３のグリーンシートを用意する。 インク供給口１２基板
【００２１】第１のシート、第２のシート、及び第３の
グリーンシートとを積層して、均一な圧力を加えて２枚
を粘着させた状態で乾燥させる。この乾燥工程により２
枚のシートが仮接着されて半固化状態となる。ついで温
度、例えば１０００°Ｃで、反りを防止できる程度の圧
力を加えながら焼成する。これにより、各シートがセラ
ミックスとなり、同時に各シートの境界面では焼結作用
により３枚のシートが元から１枚のシートで構成されて
いたかのように一体に接合される。
グリーンシートとを積層して、均一な圧力を加えて２枚
を粘着させた状態で乾燥させる。この乾燥工程により２
枚のシートが仮接着されて半固化状態となる。ついで温
度、例えば１０００°Ｃで、反りを防止できる程度の圧
力を加えながら焼成する。これにより、各シートがセラ
ミックスとなり、同時に各シートの境界面では焼結作用
により３枚のシートが元から１枚のシートで構成されて
いたかのように一体に接合される。
【００２２】このように構成された部材の振動板３とな
る側の表面に圧力発生室２に対向する領域に駆動電極本
体部３０ａ、先細り部３０ｂ、３０ｃ、及びリード部３
０ｄ、３０ｅ（図２（イ））からなるパターン４１‥‥
を、導電性を備え、かつ振動板３と後述する圧電材料の
グリーンシートの焼成時に強い接合力を発揮する高い材
料、例えば白金や、白金系合金、銀、銀系合金の材料を
用いて蒸着やスパッタリング、スクリーン印刷等の導電
パターン形成技術を適用して形成する。同時にこれら駆
動電極のパターン４２の形成に合わせて、中央に共通電
極引出用電極のパターン４２を形成する。（図３
（イ））。
る側の表面に圧力発生室２に対向する領域に駆動電極本
体部３０ａ、先細り部３０ｂ、３０ｃ、及びリード部３
０ｄ、３０ｅ（図２（イ））からなるパターン４１‥‥
を、導電性を備え、かつ振動板３と後述する圧電材料の
グリーンシートの焼成時に強い接合力を発揮する高い材
料、例えば白金や、白金系合金、銀、銀系合金の材料を
用いて蒸着やスパッタリング、スクリーン印刷等の導電
パターン形成技術を適用して形成する。同時にこれら駆
動電極のパターン４２の形成に合わせて、中央に共通電
極引出用電極のパターン４２を形成する。（図３
（イ））。
【００２３】これら電極のパターン４１、４２が形成さ
れた段階で、これら駆動電極のパターン４１の幅より若
干大きめで、両端が駆動電極パターン４１の先細り部３
０ｂ、３０ｃより先にまで延びるように圧電材料のパタ
ーン４３を、テンプレート等を用いて厚膜印刷法により
振動子に適したグリーンシートを形成する（図３
（ロ））。この圧電材料としては、例えばジルコン酸チ
タン酸鉛（ＰＺＴ）等が望ましい。
れた段階で、これら駆動電極のパターン４１の幅より若
干大きめで、両端が駆動電極パターン４１の先細り部３
０ｂ、３０ｃより先にまで延びるように圧電材料のパタ
ーン４３を、テンプレート等を用いて厚膜印刷法により
振動子に適したグリーンシートを形成する（図３
（ロ））。この圧電材料としては、例えばジルコン酸チ
タン酸鉛（ＰＺＴ）等が望ましい。
【００２４】圧電材料のパターンが所定の乾燥度となっ
た段階で、圧電材料を焼成するのに適した温度、例えば
１０００乃至１２００°Ｃ程度で加熱する。このように
駆動電極本体部３０ａの圧力発生室２の端部２ａ、２ｂ
（図１）に対向する内側近傍に先細り部３０ｂ、３ｃを
備えたパターン４３の表面に圧電振動体のパターン４３
が形成されているため、圧力発生室２に対向する領域で
の圧電振動体のパターン４３と駆動電極３０との接合面
積が小さく、焼成時の応力を比較的容易に逃がすことが
可能となる。
た段階で、圧電材料を焼成するのに適した温度、例えば
１０００乃至１２００°Ｃ程度で加熱する。このように
駆動電極本体部３０ａの圧力発生室２の端部２ａ、２ｂ
（図１）に対向する内側近傍に先細り部３０ｂ、３ｃを
備えたパターン４３の表面に圧電振動体のパターン４３
が形成されているため、圧力発生室２に対向する領域で
の圧電振動体のパターン４３と駆動電極３０との接合面
積が小さく、焼成時の応力を比較的容易に逃がすことが
可能となる。
【００２５】そして圧電材料の焼成が終了した段階で、
各圧電振動体４の表面を覆うように、引出し側、この実
施例では中心線側の駆動電極のリード部３０ｄを避ける
ように二股部３１ａ、３１ｂを備えた共通電極４４を蒸
着等により形成して引出電極のパターン４２に接続する
（図３（ロ））。
各圧電振動体４の表面を覆うように、引出し側、この実
施例では中心線側の駆動電極のリード部３０ｄを避ける
ように二股部３１ａ、３１ｂを備えた共通電極４４を蒸
着等により形成して引出電極のパターン４２に接続する
（図３（ロ））。
【００２６】なお、上述の実施例においては、圧電振動
体４の表面に形成する上部電極となる共通電極３１の引
出し電極３２側に二股部３１ａ、３１ｂを形成して下部
電極である駆動電極３０との短絡を避けるようにしてい
るが、図５（イ）、（ロ）に示したように、共通電極引
出し電極３２（図１）と反対側に、電極３０と若干の間
隙４５を持たせて引出し電極４６を設けるとともに、圧
電振動体４のサイズをこれの一端４ｂが電極４６に到達
する大きさとして、駆動電極３１の端部３１ｅを引出し
電極４６の表面まで延長して形成してもよい。
体４の表面に形成する上部電極となる共通電極３１の引
出し電極３２側に二股部３１ａ、３１ｂを形成して下部
電極である駆動電極３０との短絡を避けるようにしてい
るが、図５（イ）、（ロ）に示したように、共通電極引
出し電極３２（図１）と反対側に、電極３０と若干の間
隙４５を持たせて引出し電極４６を設けるとともに、圧
電振動体４のサイズをこれの一端４ｂが電極４６に到達
する大きさとして、駆動電極３１の端部３１ｅを引出し
電極４６の表面まで延長して形成してもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
圧力発生室に対応して振動板の表面に圧力発生室の端部
近傍が先細りとなる駆動電極を形成したので、電極の表
面に焼成により形成、固定される圧電振動体の端部での
保持力を弱めることができて、残留応力による圧電定数
のバラつきをなくしてノズル開口間で一定なインクと出
力を得ることができる。
圧力発生室に対応して振動板の表面に圧力発生室の端部
近傍が先細りとなる駆動電極を形成したので、電極の表
面に焼成により形成、固定される圧電振動体の端部での
保持力を弱めることができて、残留応力による圧電定数
のバラつきをなくしてノズル開口間で一定なインクと出
力を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す圧力発生室近傍での断
面構造を示す図である。
面構造を示す図である。
【図２】同図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドにおける１つの圧力発生室における駆動電極、圧電振
動体、及び共通電極の構造を示す上面図とＡ−Ａ線での
断面構造を示す図である。
ドにおける１つの圧力発生室における駆動電極、圧電振
動体、及び共通電極の構造を示す上面図とＡ−Ａ線での
断面構造を示す図である。
【図３】同図（イ）乃至（ハ）は、それぞれ図２のＢ−
Ｂ線、Ｃ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線での断面構造を示す図である
Ｂ線、Ｃ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線での断面構造を示す図である
【図４】図（イ）、（ロ）、（ハ）は、それぞれ同上記
録ヘッドの製造工程の内、駆動電極、圧電振動体、及び
共通電極の形成工程を示す図である。
録ヘッドの製造工程の内、駆動電極、圧電振動体、及び
共通電極の形成工程を示す図である。
【図５】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の他の実
施例を、１つの圧力発生室における駆動電極、圧電振動
体、及び共通電極の構造を示す上面図、Ａ−Ａ線での断
面構造でもって示す図である。
施例を、１つの圧力発生室における駆動電極、圧電振動
体、及び共通電極の構造を示す上面図、Ａ−Ａ線での断
面構造でもって示す図である。
１ スペーサ
２ 圧力発生室
３ 振動板
４ 圧電振動体
４ａ、４ｂ 圧電振動体端部
２０ ノズルプレート
２１ ノズル開口
３０ 駆動電極
３０ａ 駆動電極本体部
３０ｂ、３０ｃ 駆動電極先細り部
３０ｄ、３０ｅ 駆動電極リード部
３１ 共通電極
３２ 共通電極引出電極
─────────────────────────────────────────────────────
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
Claims (3)
- 【請求項１】 絶縁性材料からなる振動板と、圧力発生
室を構成する通孔を備えたスペーサ部材と、該スペーサ
部材の他方を封止し、リザーバと前記圧力発生室及びノ
ズル開口と前記圧力発生室とを接続する通孔を有する蓋
板と、前記ノズル開口と前記圧力発生室と連通する通
孔、及び前記リザーバを形成する通孔を備えたインク供
給部材と、前記ノズル開口を備えたノズルプレートとを
積層し、さらに前記圧力発生室に対応して前記振動板の
表面に第１の電極を、第１の電極の表面に圧電振動体
を、前記圧電振動体の表面に第２の電極を形成するとと
もに、前記第１の電極を前記圧力発生室の端部近傍で外
側が先細りとなる短冊型に形成してなる積層型インクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記圧電振動体の両端が第１の電極の先
細り部まで延長されている請求項１のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記振動板は、ジルコニアにより、また
第１の各電極は、白金や、白金系合金、銀、銀系合金の
蒸着膜からなる請求項１のインクジェット式記録ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29895695A JP3487319B2 (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 積層型インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29895695A JP3487319B2 (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 積層型インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09118011A JPH09118011A (ja) | 1997-05-06 |
| JP3487319B2 true JP3487319B2 (ja) | 2004-01-19 |
Family
ID=17866366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29895695A Expired - Lifetime JP3487319B2 (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 積層型インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3487319B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5089860B2 (ja) | 2004-12-03 | 2012-12-05 | 富士フイルム株式会社 | 圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド |
| WO2011142256A1 (ja) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 電気機械変換素子 |
-
1995
- 1995-10-24 JP JP29895695A patent/JP3487319B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09118011A (ja) | 1997-05-06 |
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