JPH10217466A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH10217466A JPH10217466A JP2750697A JP2750697A JPH10217466A JP H10217466 A JPH10217466 A JP H10217466A JP 2750697 A JP2750697 A JP 2750697A JP 2750697 A JP2750697 A JP 2750697A JP H10217466 A JPH10217466 A JP H10217466A
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- Japan
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- thickness
- lower electrode
- piezoelectric element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 変位特性の振動板を有する吐出液量の多いイ
ンクジェットヘッドを提供することを目的とする。 【解決手段】 その上面が振動板３となる液室２を有
し、この振動板３の上に下部電極４を形成する。このと
き、下部電極４の長辺Ｌ1が振動板３（液室２）の長辺
Ｌ2よりも長くなっており、下部電極４の両短辺Ｓ1，Ｓ
2が振動板３（液室２）からはみ出している。この下部
電極４を覆うように圧電素子５を形成する。このとき、
圧電素子５の両長辺Ｗ1，Ｗ2は振動板３（液室２）の両
長辺からはみ出していても良いし、収まっていても良い
が、収まっている方が望ましい。さらに、この圧電素子
５の上に上部電極６が形成される。また、図示のよう
に、隣り合うヘッドの振動板間を液室基板１とする。
ンクジェットヘッドを提供することを目的とする。 【解決手段】 その上面が振動板３となる液室２を有
し、この振動板３の上に下部電極４を形成する。このと
き、下部電極４の長辺Ｌ1が振動板３（液室２）の長辺
Ｌ2よりも長くなっており、下部電極４の両短辺Ｓ1，Ｓ
2が振動板３（液室２）からはみ出している。この下部
電極４を覆うように圧電素子５を形成する。このとき、
圧電素子５の両長辺Ｗ1，Ｗ2は振動板３（液室２）の両
長辺からはみ出していても良いし、収まっていても良い
が、収まっている方が望ましい。さらに、この圧電素子
５の上に上部電極６が形成される。また、図示のよう
に、隣り合うヘッドの振動板間を液室基板１とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット、
より詳細には、インクジェット記録装置における記録ヘ
ッドの改良に関する。
より詳細には、インクジェット記録装置における記録ヘ
ッドの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】印刷による圧電素子を利用したインクジ
ェットヘッドは、圧電素子の両面に電極を持ち、その両
電極に電位差を与えることで、圧電体を変形させ、その
時生じる力で振動板を変位させ、この変位を利用してイ
ンク液の圧力を増加させてインク滴を噴射させるという
ものであるが、ここで、インクジェットヘッドにおいて
は、その吐出量の能力が重要事項の一つとなる。
ェットヘッドは、圧電素子の両面に電極を持ち、その両
電極に電位差を与えることで、圧電体を変形させ、その
時生じる力で振動板を変位させ、この変位を利用してイ
ンク液の圧力を増加させてインク滴を噴射させるという
ものであるが、ここで、インクジェットヘッドにおいて
は、その吐出量の能力が重要事項の一つとなる。
【０００３】特開平７−１４８９２１号公報以前の技術
では、下部電極の幅は振動板（液室）の幅と等しく構成
されていた。しかし、特開平７−１４８９２１号公報で
は下部電極の幅を振動板（液室）の幅よりも挟く形成す
ることで、振動板の変位を大きくし、インク吐出量を多
くしていた。
では、下部電極の幅は振動板（液室）の幅と等しく構成
されていた。しかし、特開平７−１４８９２１号公報で
は下部電極の幅を振動板（液室）の幅よりも挟く形成す
ることで、振動板の変位を大きくし、インク吐出量を多
くしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記特開平
７−１４８９２１号公報に記載されたインクジェットヘ
ッドと同等、もしくはそれを上回る変位特性の振動板を
有する吐出液量の多いインクジェットヘッドを提供する
ことを目的としてなされたものである。
７−１４８９２１号公報に記載されたインクジェットヘ
ッドと同等、もしくはそれを上回る変位特性の振動板を
有する吐出液量の多いインクジェットヘッドを提供する
ことを目的としてなされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、側壁
によって仕切られた複数の液室と、これらの液室の上面
を封止する振動板と、該振動板の外面に配置された下部
電極と、該下部電極に密着して配置された圧電素子と、
これら圧電素子を前記下部電極とで挟みこむように配置
した上部電極とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記下部電極の短辺幅を前記振動板の短辺幅よりも
挟く、長辺幅を振動板の長辺幅よりも広くしたことを特
徴とし、もって、振動板の変位を大きくし、インク滴の
吐出量を多くしたものである。
によって仕切られた複数の液室と、これらの液室の上面
を封止する振動板と、該振動板の外面に配置された下部
電極と、該下部電極に密着して配置された圧電素子と、
これら圧電素子を前記下部電極とで挟みこむように配置
した上部電極とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記下部電極の短辺幅を前記振動板の短辺幅よりも
挟く、長辺幅を振動板の長辺幅よりも広くしたことを特
徴とし、もって、振動板の変位を大きくし、インク滴の
吐出量を多くしたものである。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以上の場合は、前記圧
電素子の厚み＝（振動板の厚み／２＋２０）±（振動板
の厚み／３）μｍとすることを特徴とし、もって、振動
板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くしたもの
である。
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以上の場合は、前記圧
電素子の厚み＝（振動板の厚み／２＋２０）±（振動板
の厚み／３）μｍとすることを特徴とし、もって、振動
板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くしたもの
である。
【０００７】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以下の場合は、前記圧
電素子の厚み＝振動板の厚み＋７.５μｍ，誤差｛−
（振動板の厚み／２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μ
ｍ｝とすることを特徴とし、もって、振動板の変位を大
きくし、インク滴の吐出量を多くしたものである。
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以下の場合は、前記圧
電素子の厚み＝振動板の厚み＋７.５μｍ，誤差｛−
（振動板の厚み／２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μ
ｍ｝とすることを特徴とし、もって、振動板の変位を大
きくし、インク滴の吐出量を多くしたものである。
【０００８】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記圧電素子の短辺幅を前記振動板の短辺幅の（８
５±１０）％としたことを特徴とし、もって、振動板の
変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くしたものであ
る。
て、前記圧電素子の短辺幅を前記振動板の短辺幅の（８
５±１０）％としたことを特徴とし、もって、振動板の
変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くしたものであ
る。
【０００９】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、前記上部電極の形成前に、前記液室の外面の隣り合
う振動板の境界に絶縁層を形成することを特徴とし、上
下電極の絶縁性を高め、電気的なクロストークを減少さ
せるようにしたものである。
て、前記上部電極の形成前に、前記液室の外面の隣り合
う振動板の境界に絶縁層を形成することを特徴とし、上
下電極の絶縁性を高め、電気的なクロストークを減少さ
せるようにしたものである。
【００１０】請求項６の発明は、側壁によって仕切られ
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、隣り合う振動板
の長辺が最大でその１／２だけ接していることを特徴と
し、もって、機械的なクロストークを減少させるように
したものである。
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、隣り合う振動板
の長辺が最大でその１／２だけ接していることを特徴と
し、もって、機械的なクロストークを減少させるように
したものである。
【００１１】請求項７の発明は、請求項１の発明におい
て、隣り合う振動板の長辺が最大でその１／２だけ接し
ていることを特徴とし、電気的，機械的クロストークを
減少させるようにしたものである。
て、隣り合う振動板の長辺が最大でその１／２だけ接し
ていることを特徴とし、電気的，機械的クロストークを
減少させるようにしたものである。
【００１２】請求項８の発明は、側壁によって仕切られ
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極が
前記振動板以外に拘束されていないことを特徴とし、も
って、振動板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多
くしたものである。
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極が
前記振動板以外に拘束されていないことを特徴とし、も
って、振動板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多
くしたものである。
【００１３】請求項９の発明は、側壁によって仕切られ
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドであり、前記下部電極の短
辺幅・長辺幅が共に該振動板のそれぞれに対して挟く形
成されているインクジェットヘッドにおいて、前記振動
板の厚みを２５μｍ以下、圧電素子の厚みを（振動板の
厚み＋７.５μｍ）、その誤差を｛−（振動板の厚み／
２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μｍ｝とし、該圧電
素子の短辺幅を該振動板（液室）の短辺幅の（８５±１
０）％としたことを特徴としたものである。
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドであり、前記下部電極の短
辺幅・長辺幅が共に該振動板のそれぞれに対して挟く形
成されているインクジェットヘッドにおいて、前記振動
板の厚みを２５μｍ以下、圧電素子の厚みを（振動板の
厚み＋７.５μｍ）、その誤差を｛−（振動板の厚み／
２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μｍ｝とし、該圧電
素子の短辺幅を該振動板（液室）の短辺幅の（８５±１
０）％としたことを特徴としたものである。
【００１４】
（請求項１の発明）図１は、本発明によるインクジェッ
トヘッドの一実施例を説明するための図で、図中、１は
液室基板、２は液室、３は振動板、４は下部電極、５は
圧電素子、６は上部電極で、図１（Ａ）上面図（圧電素
子は省略）、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図
（長辺方向断面図）、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のＣ−Ｃ
線断面図（短辺方向断面図）で、図示のように、その上
面が振動板３となる液室２を有し、この振動板３の上に
下部電極４を形成する。このとき、下部電極４の長辺Ｌ
1が振動板３の長辺Ｌ2よりも長くなっており、下部電極
４の両短辺Ｓ1，Ｓ2が振動板３からはみ出している。こ
の下部電極４を覆うように圧電素子５を形成する。この
とき、圧電素子５の両長辺Ｗ1，Ｗ2は振動板３の両長辺
からはみ出していても良いし（図２（Ａ））、収まって
いても良い（図２（Ｂ））が、収まっている方が望まし
い。さらに、この圧電素子５の上に上部電極６が形成さ
れる。図１において、隣り合うヘッドの振動板間を液室
基板とする。
トヘッドの一実施例を説明するための図で、図中、１は
液室基板、２は液室、３は振動板、４は下部電極、５は
圧電素子、６は上部電極で、図１（Ａ）上面図（圧電素
子は省略）、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図
（長辺方向断面図）、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のＣ−Ｃ
線断面図（短辺方向断面図）で、図示のように、その上
面が振動板３となる液室２を有し、この振動板３の上に
下部電極４を形成する。このとき、下部電極４の長辺Ｌ
1が振動板３の長辺Ｌ2よりも長くなっており、下部電極
４の両短辺Ｓ1，Ｓ2が振動板３からはみ出している。こ
の下部電極４を覆うように圧電素子５を形成する。この
とき、圧電素子５の両長辺Ｗ1，Ｗ2は振動板３の両長辺
からはみ出していても良いし（図２（Ａ））、収まって
いても良い（図２（Ｂ））が、収まっている方が望まし
い。さらに、この圧電素子５の上に上部電極６が形成さ
れる。図１において、隣り合うヘッドの振動板間を液室
基板とする。
【００１５】下部電極４の両長辺が振動板３からはみ出
して液室基板１に接合形成されていると、振動板３の変
位が小さくなることが分かっている。そこで、下部電極
４の短辺は振動板３の短辺よりも挟いとして、下部電極
４の長辺が振動板３の長辺よりも短い場合、長い場合の
振動板の変位を計算した。結果を表１に示す。
して液室基板１に接合形成されていると、振動板３の変
位が小さくなることが分かっている。そこで、下部電極
４の短辺は振動板３の短辺よりも挟いとして、下部電極
４の長辺が振動板３の長辺よりも短い場合、長い場合の
振動板の変位を計算した。結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】下部電極４の長辺が振動板３からはみ出し
ている方が、振動板の変位が大きいことが分かる（以
下、全ての表において、“変位”の値は“振動板の中心
の変位”の値を示すものとする。また、計算において
は、圧電体の幅と上下電極の幅は等しくしている）。
ている方が、振動板の変位が大きいことが分かる（以
下、全ての表において、“変位”の値は“振動板の中心
の変位”の値を示すものとする。また、計算において
は、圧電体の幅と上下電極の幅は等しくしている）。
【００１８】それ以上に重要なことは、下部電極４を形
成する際に、下部電極４が振動板部に収まっていれば、
各ヘッドの吐出能力を均一化するために、下部電極の位
置，大きさを一定に制御しなければならない。一方、図
１の構成では、下部電極４の長辺方向の長さを考慮しな
くて良いので、その分下部電極の形成が簡単になる。
成する際に、下部電極４が振動板部に収まっていれば、
各ヘッドの吐出能力を均一化するために、下部電極の位
置，大きさを一定に制御しなければならない。一方、図
１の構成では、下部電極４の長辺方向の長さを考慮しな
くて良いので、その分下部電極の形成が簡単になる。
【００１９】表１は、図３に矢印にて示すように、圧電
素子５の長辺長を変えた場合で、 振動板の可変面積：３.０ｍｍ×０.４ｍｍ 振動板の厚み ：２０μｍ 圧電素子の短辺長：０.３ｍｍ 圧電素子の厚み ：３０μｍ 印加電圧 ：３０Ｖ である。
素子５の長辺長を変えた場合で、 振動板の可変面積：３.０ｍｍ×０.４ｍｍ 振動板の厚み ：２０μｍ 圧電素子の短辺長：０.３ｍｍ 圧電素子の厚み ：３０μｍ 印加電圧 ：３０Ｖ である。
【００２０】〔実施例１〕ヘッドの作成法を説明する
と、インク液室をセラミックスであるジルコニアを用い
て加圧焼成により形成する。振動板上に印刷により５μ
ｍ程度の下部電極（白金）を形成し焼成する。この上に
同じく印刷により圧電素子（チタン酸ジルコン酸鉛）を
形成して焼成する。さらに、その上に印刷により上部電
極（白金）を形成して焼成する。以下の実施例において
も、ヘッドの作成方法は基本的に同じである。
と、インク液室をセラミックスであるジルコニアを用い
て加圧焼成により形成する。振動板上に印刷により５μ
ｍ程度の下部電極（白金）を形成し焼成する。この上に
同じく印刷により圧電素子（チタン酸ジルコン酸鉛）を
形成して焼成する。さらに、その上に印刷により上部電
極（白金）を形成して焼成する。以下の実施例において
も、ヘッドの作成方法は基本的に同じである。
【００２１】上述の計算結果を確かめるために、表１の
圧電素子の長辺長が２.４，３.０，４.０μｍの３つの
ヘッドを試作して振動板の変位を測定した。試作時の寸
法誤差等を考慮すると、レーザードップラー振動計を用
いても振動板の変位には有意な差が見出せなかった。し
かしながら、下部電極形成は簡単になった。
圧電素子の長辺長が２.４，３.０，４.０μｍの３つの
ヘッドを試作して振動板の変位を測定した。試作時の寸
法誤差等を考慮すると、レーザードップラー振動計を用
いても振動板の変位には有意な差が見出せなかった。し
かしながら、下部電極形成は簡単になった。
【００２２】（請求項２の発明）振動板の変位という観
点から見ると、振動板の厚みに対して圧電素子の最適な
厚みがあるはずである。この圧電素子の最適な厚みを得
ることを目的として計算を行い、その結果を表２に示し
た。ここで圧電素子への印加電圧は圧電素子の効率を同
じにするために１Ｖ／１μｍとした。
点から見ると、振動板の厚みに対して圧電素子の最適な
厚みがあるはずである。この圧電素子の最適な厚みを得
ることを目的として計算を行い、その結果を表２に示し
た。ここで圧電素子への印加電圧は圧電素子の効率を同
じにするために１Ｖ／１μｍとした。
【００２３】
【表２】
【００２４】図４は、表２を基に、最適な振動板の厚み
と圧電素子の厚みの組み合わせをプロットしたものであ
る。図４から分かるように、プロットは振動板の厚み２
５μｍ付近で傾きが変わる。２５μｍ以上では、振動板
の厚みに対して最適な圧電素子の厚み（圧電素子の厚
み）＝（振動板の厚み／２＋２０）μｍ程度である。ま
た、変位が１０％減少するには、圧電体の厚みが最適値
から最低でも±１０μｍ変化しなければならず、圧電素
子の形成時において厚みの制御はさほど重要ではない。
と圧電素子の厚みの組み合わせをプロットしたものであ
る。図４から分かるように、プロットは振動板の厚み２
５μｍ付近で傾きが変わる。２５μｍ以上では、振動板
の厚みに対して最適な圧電素子の厚み（圧電素子の厚
み）＝（振動板の厚み／２＋２０）μｍ程度である。ま
た、変位が１０％減少するには、圧電体の厚みが最適値
から最低でも±１０μｍ変化しなければならず、圧電素
子の形成時において厚みの制御はさほど重要ではない。
【００２５】なお、表２において、 圧電素子の面積 ：３.２ｍｍ×０.３ｍｍ 振動板の可変面積：３.０ｍｍ×０.４ｍｍ である。
【００２６】（請求項３の発明）２５μｍ以下では、振
動板の厚みに対して最適な圧電素子の厚みは、（圧電素
子の厚み）＝（振動板の厚み＋７.５）μｍ程度であ
る。また、振動板の変位が１０％減少するのは、圧電素
子の厚みが最適値よりも、（振動板の厚み／２＋２）μ
ｍ程度薄くなった場合、または（振動板の厚み）μｍ程
度厚くなった場合である。これは、例えば、振動板の厚
みが５μｍの場合、圧電体の厚みが最適値よりも４.５
％薄いか５％で、振動板の変位が１０％程度減少すると
いうことである。従って、複数ヘッドを精度よく形成す
るには、圧電体の厚みを精度よく制御しなければならな
い。
動板の厚みに対して最適な圧電素子の厚みは、（圧電素
子の厚み）＝（振動板の厚み＋７.５）μｍ程度であ
る。また、振動板の変位が１０％減少するのは、圧電素
子の厚みが最適値よりも、（振動板の厚み／２＋２）μ
ｍ程度薄くなった場合、または（振動板の厚み）μｍ程
度厚くなった場合である。これは、例えば、振動板の厚
みが５μｍの場合、圧電体の厚みが最適値よりも４.５
％薄いか５％で、振動板の変位が１０％程度減少すると
いうことである。従って、複数ヘッドを精度よく形成す
るには、圧電体の厚みを精度よく制御しなければならな
い。
【００２７】〔実施例２〕表２における振動板の厚みが
４０μｍ、圧電素子の厚みが２０，４０，６０μｍとい
う３種のヘッドを試作した。これらの変位をレーザード
ップラー振動計を用いて測定したところ、表４の結果と
定性的にも値の大きさにおいても同じような結果が得ら
れた。
４０μｍ、圧電素子の厚みが２０，４０，６０μｍとい
う３種のヘッドを試作した。これらの変位をレーザード
ップラー振動計を用いて測定したところ、表４の結果と
定性的にも値の大きさにおいても同じような結果が得ら
れた。
【００２８】〔実施例３〕表２における振動板の厚みが
１０μｍ、圧電素子の厚みが１０，２０，３０μｍとい
う３種のヘッドを試作した。これらの変位をレーザード
ップラー振動計を用いて測定したところ、表４の結果と
定性的にも値の大きさにおいても同じような結果が得ら
れた。
１０μｍ、圧電素子の厚みが１０，２０，３０μｍとい
う３種のヘッドを試作した。これらの変位をレーザード
ップラー振動計を用いて測定したところ、表４の結果と
定性的にも値の大きさにおいても同じような結果が得ら
れた。
【００２９】（請求項４の発明）請求項１の発明の構
成、すなわち、下部電極の短辺幅は前記振動板の短辺幅
よりも挟く、長辺幅は振動板の長辺幅よりも広くしたイ
ンクジェットヘッドにおいて、図５に示すように、振動
板３の矢印方向の変位が最大となるような下部電極の短
辺幅と振動板の短辺幅の関係を得ることを目的として計
算を行い、その結果を、表３，４，５に示した（ここ
で、振動板の厚みと圧電素子の厚みは最適な組み合わせ
を選んだ）。
成、すなわち、下部電極の短辺幅は前記振動板の短辺幅
よりも挟く、長辺幅は振動板の長辺幅よりも広くしたイ
ンクジェットヘッドにおいて、図５に示すように、振動
板３の矢印方向の変位が最大となるような下部電極の短
辺幅と振動板の短辺幅の関係を得ることを目的として計
算を行い、その結果を、表３，４，５に示した（ここ
で、振動板の厚みと圧電素子の厚みは最適な組み合わせ
を選んだ）。
【００３０】
【表３】
【００３１】
【表４】
【００３２】
【表５】
【００３３】表３の５つの表から分かるように、最大変
位は圧電素子の短辺長が０.３４ｍｍとなる付近であ
り、圧電体と振動板の厚みにはよらない。表３，４，５
をも考慮すると、圧電素子の短辺長は振動板の短辺長の
８５％程度が最適であることがわかる。
位は圧電素子の短辺長が０.３４ｍｍとなる付近であ
り、圧電体と振動板の厚みにはよらない。表３，４，５
をも考慮すると、圧電素子の短辺長は振動板の短辺長の
８５％程度が最適であることがわかる。
【００３４】なお、表３において、 振動板の可変面積：３.０ｍｍ×０.４ｍｍ 圧電素子の長辺長：３.２ｍｍ 表４において、 振動板の可変面積：３.０ｍｍ×０.２ｍｍ 圧電素子の長辺長：３.２ｍｍ 表５において、 振動板の可変面積：４.０ｍｍ×１.２０ｍ 圧電素子の長辺長：４.２ｍｍ である。
【００３５】〔実施例４〕表３の２段目において、圧電
素子の短辺長が０.３２，０.３４，０.３６ｍｍのヘッ
ド３つと、表４の圧電素子の短辺長が０.１６，０.１
７，０.１８のヘッド３つの計６の試作を行い、それら
の振動板の変位を調べたところ、定性的に同じ結果が得
られた。
素子の短辺長が０.３２，０.３４，０.３６ｍｍのヘッ
ド３つと、表４の圧電素子の短辺長が０.１６，０.１
７，０.１８のヘッド３つの計６の試作を行い、それら
の振動板の変位を調べたところ、定性的に同じ結果が得
られた。
【００３６】（請求項５の発明）図６は、請求項５の発
明の実施例を説明するための要部断面構成を示す図で、
ヘッド作製時、下部電極４の形成後（図６（Ａ），図６
（Ｂ））もしくは圧電素子５の形成後（図６（Ｃ），図
６（Ｄ））に、ヘッド間の液室基板部に絶縁材料７を形
成する。ここで、請求項１の発明の構成は、下部電極の
短辺幅が振動板の短辺幅よりも挟いため、その分絶縁材
料の幅を広く形成できる。圧電素子の縁において、圧電
素子が下部電極を十分に覆っていない場合が、現実に
は、考えられる。そこで、図６に示すように絶縁体７を
形成することにより上下電極のリークを防ぐことができ
る。さらに、高集積化を行なう場合には隣り合うヘッド
の電気的クロストークを減少させることができる。
明の実施例を説明するための要部断面構成を示す図で、
ヘッド作製時、下部電極４の形成後（図６（Ａ），図６
（Ｂ））もしくは圧電素子５の形成後（図６（Ｃ），図
６（Ｄ））に、ヘッド間の液室基板部に絶縁材料７を形
成する。ここで、請求項１の発明の構成は、下部電極の
短辺幅が振動板の短辺幅よりも挟いため、その分絶縁材
料の幅を広く形成できる。圧電素子の縁において、圧電
素子が下部電極を十分に覆っていない場合が、現実に
は、考えられる。そこで、図６に示すように絶縁体７を
形成することにより上下電極のリークを防ぐことができ
る。さらに、高集積化を行なう場合には隣り合うヘッド
の電気的クロストークを減少させることができる。
【００３７】〔実施例５〕表３の２段目において、圧電
素子の短辺長が０.３４ｍｍのヘッドを５つ持つチップ
（Ａチップ）と、これに圧電素子形成後に絶縁材料（パ
イレックスガラス）を成膜したヘッドを５つ持つチップ
（Ｂチップ）の２つを作製した。それぞれチップである
ヘッドに駆動電圧８０Ｖをかけて電流の流れ具合を見た
ところ、Ａチップヘッドでは上下電極間にリークが見ら
れた。一方、Ｂチップヘッドではリークは見られなかっ
た。
素子の短辺長が０.３４ｍｍのヘッドを５つ持つチップ
（Ａチップ）と、これに圧電素子形成後に絶縁材料（パ
イレックスガラス）を成膜したヘッドを５つ持つチップ
（Ｂチップ）の２つを作製した。それぞれチップである
ヘッドに駆動電圧８０Ｖをかけて電流の流れ具合を見た
ところ、Ａチップヘッドでは上下電極間にリークが見ら
れた。一方、Ｂチップヘッドではリークは見られなかっ
た。
【００３８】（請求項６の発明）図７は、請求項６発明
の実施例を説明するための図で、ヘッド１０はそれぞれ
の長辺において隣のヘッド１０と接しているが、接する
部分は最大でも長辺長の１／２としている。ヘッドが高
集積化されていればいる程、ある振動板の変形の影響に
より、隣の振動板がわずかながらも変形する可能性が大
きくなる。特に、最大変位する中心の変位は大きな影響
を与える。図７の構成により最大変位する中心の変位は
隣の振動板に影響を与えにくくなる。従って、機械的な
クロストークが減少する。
の実施例を説明するための図で、ヘッド１０はそれぞれ
の長辺において隣のヘッド１０と接しているが、接する
部分は最大でも長辺長の１／２としている。ヘッドが高
集積化されていればいる程、ある振動板の変形の影響に
より、隣の振動板がわずかながらも変形する可能性が大
きくなる。特に、最大変位する中心の変位は大きな影響
を与える。図７の構成により最大変位する中心の変位は
隣の振動板に影響を与えにくくなる。従って、機械的な
クロストークが減少する。
【００３９】〔実施例６〕図７に示したように、１つお
きにヘッド１０の位置を長辺長の２／３ずらした構成を
とる複数ヘッドチップ（チップＩ）と、ずらしていない
複数ヘッドチップ（チップII）を試作した。振動板と圧
電素子の条件は以下に示す通りである。 振動板の幅，厚み ： ２ｍｍ×１ｍｍ，２０μｍ 圧電素子の幅，厚み ： ２ｍｍ×１ｍｍ，３０μｍ 印加電圧 ： ６０Ｖ
きにヘッド１０の位置を長辺長の２／３ずらした構成を
とる複数ヘッドチップ（チップＩ）と、ずらしていない
複数ヘッドチップ（チップII）を試作した。振動板と圧
電素子の条件は以下に示す通りである。 振動板の幅，厚み ： ２ｍｍ×１ｍｍ，２０μｍ 圧電素子の幅，厚み ： ２ｍｍ×１ｍｍ，３０μｍ 印加電圧 ： ６０Ｖ
【００４０】それぞれのチップにおいて、ある振動板に
駆動電圧をかけて振動板を変位させながら、その隣の振
動板の変位をレーザードップラー振動計で測定した。結
果、チップＩには僅かの振動が生じていたが、チップII
には生じていなかった。
駆動電圧をかけて振動板を変位させながら、その隣の振
動板の変位をレーザードップラー振動計で測定した。結
果、チップＩには僅かの振動が生じていたが、チップII
には生じていなかった。
【００４１】（請求項７の発明）請求項７の発明は、隣
り合う振動板の長辺が最大で、その１／２だけ接してい
るものであり、請求項５，６の発明で説明した理由によ
り、ヘッドの機械的クロストーク・電気的クロストーク
が減少し、上下電極のリークを防ぐことができる。なお
請求項７の実施例は特に示さないが、実施例５，６より
上記の主張は帰結される。
り合う振動板の長辺が最大で、その１／２だけ接してい
るものであり、請求項５，６の発明で説明した理由によ
り、ヘッドの機械的クロストーク・電気的クロストーク
が減少し、上下電極のリークを防ぐことができる。なお
請求項７の実施例は特に示さないが、実施例５，６より
上記の主張は帰結される。
【００４２】（請求項８の発明）請求項８の発明は、下
部電極が振動板以外に拘束されていないようにしたもの
で、図８（Ａ）〜図８（Ｆ）等に示すようにいろいろな
構成が考えられる。図８において、被線部は下部電極４
と振動板３又は下部電極４と液室基板の接合部で圧電素
子の幅は下部電極の幅と同じかそれ以上であり、かつ圧
電素子は下部電極以外に拘束されていない。圧電素子の
短辺幅が下部電極の短辺幅より広くても振動板以外の部
分で接着・固着されていれば、圧電素子の短辺幅が下部
電極の短辺幅より挟い場合よりも大きな振動板の変位を
得ることができる。このことは長辺幅についても同様で
ある。つまり、下部電極において振動板に接合されてい
る部分の周り数十μｍの幅の部分の変形が振動板の変形
に寄与する。ただし、振動板の変形に寄与するのは数十
μｍの幅の部分だけなので、圧電素子の幅を必要以上に
広くしてもそれ以上の効果は望めない。
部電極が振動板以外に拘束されていないようにしたもの
で、図８（Ａ）〜図８（Ｆ）等に示すようにいろいろな
構成が考えられる。図８において、被線部は下部電極４
と振動板３又は下部電極４と液室基板の接合部で圧電素
子の幅は下部電極の幅と同じかそれ以上であり、かつ圧
電素子は下部電極以外に拘束されていない。圧電素子の
短辺幅が下部電極の短辺幅より広くても振動板以外の部
分で接着・固着されていれば、圧電素子の短辺幅が下部
電極の短辺幅より挟い場合よりも大きな振動板の変位を
得ることができる。このことは長辺幅についても同様で
ある。つまり、下部電極において振動板に接合されてい
る部分の周り数十μｍの幅の部分の変形が振動板の変形
に寄与する。ただし、振動板の変形に寄与するのは数十
μｍの幅の部分だけなので、圧電素子の幅を必要以上に
広くしてもそれ以上の効果は望めない。
【００４３】〔実施例８〕図８（Ｃ）の構成を持つヘッ
ドを試作した。ここでは試作方法を変えたのでその方法
を説明する。振動板を含む液室はジルコニアで作製し
た。一方、ピエゾのグリーンシートに上下電極を付け、
これを加圧により液室に付けて焼成した。加圧の時に選
択的加圧を行い、図８（Ｃ）の構成を持つヘッド（ａヘ
ッド）と図８（Ｃ）において下部電極の接合されない部
分がない（下部電極の短辺幅が振動板の短辺幅よりも挟
い）ヘッド（ｂヘッド）を作製した。
ドを試作した。ここでは試作方法を変えたのでその方法
を説明する。振動板を含む液室はジルコニアで作製し
た。一方、ピエゾのグリーンシートに上下電極を付け、
これを加圧により液室に付けて焼成した。加圧の時に選
択的加圧を行い、図８（Ｃ）の構成を持つヘッド（ａヘ
ッド）と図８（Ｃ）において下部電極の接合されない部
分がない（下部電極の短辺幅が振動板の短辺幅よりも挟
い）ヘッド（ｂヘッド）を作製した。
【００４４】圧電素子と振動板の形状は以下の通りであ
る。 振動板の幅，厚み ３ｍｍ×０.５ｍｍ，２０μｍ 圧電素子の幅，厚み ３ｍｍ×０.５ｍｍ，３０μｍ（ａヘッド） ２.６ｍｍ×０.５ｍｍ，３０μｍ（ｂヘッド） 下部電極の幅，厚み ２.８ｍｍ×０.４２ｍｍ，５μｍ（ａヘッド） ２.４ｍｍ×０.４２ｍｍ，５μｍ（ｂヘッド） 接合幅 ２.４ｍｍ×０.４２ｍｍ
る。 振動板の幅，厚み ３ｍｍ×０.５ｍｍ，２０μｍ 圧電素子の幅，厚み ３ｍｍ×０.５ｍｍ，３０μｍ（ａヘッド） ２.６ｍｍ×０.５ｍｍ，３０μｍ（ｂヘッド） 下部電極の幅，厚み ２.８ｍｍ×０.４２ｍｍ，５μｍ（ａヘッド） ２.４ｍｍ×０.４２ｍｍ，５μｍ（ｂヘッド） 接合幅 ２.４ｍｍ×０.４２ｍｍ
【００４５】振動板の変位を評価するとａヘッドの方が
ｂヘッドに比べて良い結果がでた。
ｂヘッドに比べて良い結果がでた。
【００４６】（請求項９の発明）図９は、請求項９の発
明の実施例を説明するための要部構成図（図９（Ａ）は
下部電極部平面図、図９（Ｂ）は断面図）で、振動板
３，圧電素子５の厚み，幅の条件が振動板の変位に与え
る影響は、下部電極４の長辺幅が振動板の長辺幅よりも
大きい場合でも小さい場合でも定性的に同じと考えられ
る。従って、上述の理由により、振動板３の厚みを２５
μｍ以下とし、圧電素子５の厚みは（振動板３の厚み＋
７.５）μｍ、その誤差を｛−（振動板３の厚み／２＋
２）μｍ〜＋（振動板３の厚み）μｍ｝とし、該圧電素
子５の短辺幅は該振動板３の短辺幅の（８５±１０）％
とする、という条件を課す。これにより、振動板３の変
位を最大にすることができる。
明の実施例を説明するための要部構成図（図９（Ａ）は
下部電極部平面図、図９（Ｂ）は断面図）で、振動板
３，圧電素子５の厚み，幅の条件が振動板の変位に与え
る影響は、下部電極４の長辺幅が振動板の長辺幅よりも
大きい場合でも小さい場合でも定性的に同じと考えられ
る。従って、上述の理由により、振動板３の厚みを２５
μｍ以下とし、圧電素子５の厚みは（振動板３の厚み＋
７.５）μｍ、その誤差を｛−（振動板３の厚み／２＋
２）μｍ〜＋（振動板３の厚み）μｍ｝とし、該圧電素
子５の短辺幅は該振動板３の短辺幅の（８５±１０）％
とする、という条件を課す。これにより、振動板３の変
位を最大にすることができる。
【００４７】〔実施例９〕以下の条件を持つヘッド（Ａ
ヘッド）を試作した 振動板の幅，厚み ３ｍｍ×０.５ｍｍ，１５μｍ 圧電素子の厚み ２２.５μｍ 下部電極の幅，厚み ２.８ｍｍ×０.４２５ｍｍ，５μｍ
ヘッド）を試作した 振動板の幅，厚み ３ｍｍ×０.５ｍｍ，１５μｍ 圧電素子の厚み ２２.５μｍ 下部電極の幅，厚み ２.８ｍｍ×０.４２５ｍｍ，５μｍ
【００４８】さらに振動板の形状はそのままで、圧電素
子の厚み，下部電極の短辺長をかえて（その他の条件も
一定にしておいて）、次の４種のヘッドを試作した。
子の厚み，下部電極の短辺長をかえて（その他の条件も
一定にしておいて）、次の４種のヘッドを試作した。
【００４９】 圧電素子の厚み １２.５μｍ 下部電極の短辺長 ０.４７５μｍ 圧電素子の厚み ３８μｍ 下部電極の短辺長 ０.３７５μｍ 圧電素子の厚み １２.５μｍ 下部電極の短辺長 ０.３７５μｍ 圧電素子の厚み ３８μｍ 下部電極の短辺長 ０.４７５μｍ
【００５０】レーザドップラー振動計により、それぞれ
のヘッドの振動板の変位を評価した。結果は明らかにＡ
ヘッドの変位が最も良かった。
のヘッドの振動板の変位を評価した。結果は明らかにＡ
ヘッドの変位が最も良かった。
【００５１】
【発明の効果】請求項１の発明は、側壁によって仕切ら
れた複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動
板と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部
電極に密着して配置された圧電素子と、これら圧電素子
を前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極と
を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極
の短辺幅を前記振動板（液室）の短辺幅よりも挟く、長
辺幅を振動板（液室）の長辺幅よりも広くしたので、振
動板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くするこ
とができる。
れた複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動
板と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部
電極に密着して配置された圧電素子と、これら圧電素子
を前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極と
を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極
の短辺幅を前記振動板（液室）の短辺幅よりも挟く、長
辺幅を振動板（液室）の長辺幅よりも広くしたので、振
動板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くするこ
とができる。
【００５２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以上の場合は、前記圧
電素子の厚み＝（振動板の厚み／２＋２０）±（振動板
の厚み／３）μｍとしたので、振動板の変位を大きく
し、インク滴の吐出量を多くすることができる。
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以上の場合は、前記圧
電素子の厚み＝（振動板の厚み／２＋２０）±（振動板
の厚み／３）μｍとしたので、振動板の変位を大きく
し、インク滴の吐出量を多くすることができる。
【００５３】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以下の場合は、前記圧
電素子の厚み＝振動板の厚み＋７.５μｍ，誤差｛−
（振動板の厚み／２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μ
ｍ｝としたので、振動板の変位を大きくし、インク滴の
吐出量を多くすることができる。
て、前記振動板の厚みが２５μｍ以下の場合は、前記圧
電素子の厚み＝振動板の厚み＋７.５μｍ，誤差｛−
（振動板の厚み／２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μ
ｍ｝としたので、振動板の変位を大きくし、インク滴の
吐出量を多くすることができる。
【００５４】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記圧電素子の短辺幅を前記振動板（液室）の短辺
幅の（８５±１０）％としたので、振動板の変位を大き
くし、インク滴の吐出量を多くすることができる。
て、前記圧電素子の短辺幅を前記振動板（液室）の短辺
幅の（８５±１０）％としたので、振動板の変位を大き
くし、インク滴の吐出量を多くすることができる。
【００５５】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、前記上部電極の形成前に、前記液室の外面の隣り合
う振動板の境界に絶縁層を形成するようにしたので、上
下電極の絶縁性を高め、電気的なクロストークを減少さ
せることができる。
て、前記上部電極の形成前に、前記液室の外面の隣り合
う振動板の境界に絶縁層を形成するようにしたので、上
下電極の絶縁性を高め、電気的なクロストークを減少さ
せることができる。
【００５６】請求項６の発明は、側壁によって仕切られ
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、隣り合う振動板
の長辺が最大でその１／２だけ接しているようにしたの
で、機械的なクロストークを減少させることができる。
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、隣り合う振動板
の長辺が最大でその１／２だけ接しているようにしたの
で、機械的なクロストークを減少させることができる。
【００５７】請求項７の発明は、請求項１の発明におい
て、隣り合う振動板の長辺が最大でその１／２だけ接し
ているようにしたので、電気的，機械的クロストークを
減少させることができる。
て、隣り合う振動板の長辺が最大でその１／２だけ接し
ているようにしたので、電気的，機械的クロストークを
減少させることができる。
【００５８】請求項８の発明は、側壁によって仕切られ
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極が
前記振動板以外に拘束されていないようにしたので、振
動板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くするこ
とができる。
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極が
前記振動板以外に拘束されていないようにしたので、振
動板の変位を大きくし、インク滴の吐出量を多くするこ
とができる。
【００５９】請求項９の発明は、側壁によって仕切られ
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドであり、前記下部電極の短
辺幅・長辺幅が共に該振動板（液室）のそれぞれに対し
て挟く形成されているインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板の厚みを２５μｍ以下、圧電素子の厚みを
（振動板の厚み＋７.５μｍ）、その誤差を｛−（振動
板の厚み／２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μｍ｝と
し、該圧電素子の短辺幅を該振動板（液室）の短辺幅の
（８５±１０）％としたので、振動板の変位を大きく
し、インク滴の吐出量を多くすることができる。
た複数の液室と、これらの液室の上面を封止する振動板
と、該振動板の外面に配置された下部電極と、該下部電
極に密着して配置される圧電素子と、これら圧電素子を
前記下部電極とで挟みこむように配置した上部電極とを
備えたインクジェットヘッドであり、前記下部電極の短
辺幅・長辺幅が共に該振動板（液室）のそれぞれに対し
て挟く形成されているインクジェットヘッドにおいて、
前記振動板の厚みを２５μｍ以下、圧電素子の厚みを
（振動板の厚み＋７.５μｍ）、その誤差を｛−（振動
板の厚み／２＋２）μｍ，＋（振動板の厚み）μｍ｝と
し、該圧電素子の短辺幅を該振動板（液室）の短辺幅の
（８５±１０）％としたので、振動板の変位を大きく
し、インク滴の吐出量を多くすることができる。
【図１】 本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例を説明するための要部構成図である。
例を説明するための要部構成図である。
【図２】 圧電素子の配設例を示す図である。
【図３】 請求項１の発明の動作説明をするための図で
ある。
ある。
【図４】 表２を基に、最適な振動板の厚みと圧電素子
の厚みの組み合わせをプロットしたものである。
の厚みの組み合わせをプロットしたものである。
【図５】 請求項４の発明の動作説明をするための図で
ある。
ある。
【図６】 請求項５の発明の実施例を説明するための要
部断面構成を示す図である。
部断面構成を示す図である。
【図７】 請求項６発明の実施例を説明するための図で
ある。
ある。
【図８】 請求項８の実施例を説明するための図であ
る。
る。
【図９】 請求項９の発明の実施例を説明するための要
部構成図（図９（Ａ）は下部電極部平面図、図９（Ｂ）
は断面図）である。
部構成図（図９（Ａ）は下部電極部平面図、図９（Ｂ）
は断面図）である。
１…液室基板、２…液室、３…振動板、４…下部電極、
５…圧電素子、６…上部電極、７…絶縁材料、１０…ヘ
ッド。
５…圧電素子、６…上部電極、７…絶縁材料、１０…ヘ
ッド。
Claims (9)
- 【請求項１】 側壁によって仕切られた複数の液室と、
これらの液室の上面を封止する振動板と、該振動板の外
面に配置された下部電極と、該下部電極に密着して配置
された圧電素子と、これら圧電素子を前記下部電極とで
挟みこむように配置した上部電極とを備えたインクジェ
ットヘッドにおいて、前記下部電極の短辺幅は前記振動
板の短辺幅よりも挟く、長辺幅は前記振動板の長辺幅よ
りも広いことを特徴としたインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 請求項１において、前記振動板の厚みが
２５μｍ以上の場合、圧電素子の厚み＝（振動板の厚み
／２＋２０）±（振動板の厚み／３）μｍとすることを
特徴としたインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 請求項１において、前記振動板の厚みが
２５μｍ以下の場合、圧電素子の厚み＝振動板の厚み＋
７.５μｍ，誤差｛−（振動板の厚み／２＋２）μｍ，
＋（振動板の厚み）μｍ｝とすることを特徴としたイン
クジェットヘッド。 - 【請求項４】 請求項１において、前記圧電素子の短辺
幅を前記振動板の短辺幅の（８５±１０）％としたこと
を特徴としたインクジェットヘッド。 - 【請求項５】 請求項１において、前記上部電極の形成
前に、液室外面の隣り合う振動板の境界に絶縁層を形成
することを特徴としたインクジェットヘッド。 - 【請求項６】 側壁によって仕切られた複数の液室と、
これらの液室の上面を封止する振動板と、該振動板の外
面に配置された下部電極と、該下部電極に密着して配置
される圧電素子と、これら圧電素子を前記下部電極とで
挟みこむように配置した上部電極とを備えたインクジェ
ットヘッドにおいて、隣り合う振動板の長辺が、最大で
その１／２だけ接していることを特徴としたインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項７】 請求項１において、隣り合う振動板の長
辺が最大でその１／２だけ接していることを特徴とした
インクジェットヘッド。 - 【請求項８】 側壁によって仕切られた複数の液室と、
これらの液室の上面を封止する振動板と、該振動板の外
面に配置された下部電極と、該下部電極に密着して配置
される圧電素子と、これら圧電素子を前記下部電極とで
挟みこむように配置した上部電極とを備えたインクジェ
ットヘッドにおいて、前記下部電極が前記振動板以外に
拘束されていないことを特徴としたインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項９】 側壁によって仕切られた複数の液室と、
これらの液室の上面を封止する振動板と、該振動板の外
面に配置された下部電極と、該下部電極に密着して配置
される圧電素子と、これら圧電素子を前記下部電極とで
挟みこむように配置した上部電極とを備えたインクジェ
ットヘッドであり、前記下部電極の短辺幅・長辺幅が共
に前記液室のそれぞれに対して挟く形成されているイン
クジェットヘッドにおいて、前記振動板の厚みを２５μ
ｍ以下とし、圧電素子の厚みを（振動板の厚み＋７.５
μｍ）、その誤差を｛−（振動板の厚み／２＋２）μ
ｍ，＋（振動板の厚み）μｍ｝とし、該圧電素子の短辺
幅を前記液室の短辺幅の（８５±１０）％としたことを
特徴としたインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2750697A JPH10217466A (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2750697A JPH10217466A (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10217466A true JPH10217466A (ja) | 1998-08-18 |
Family
ID=12223032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2750697A Pending JPH10217466A (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10217466A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6869170B2 (en) | 2000-10-16 | 2005-03-22 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording head having a vibration plate prevented from being damaged and ink-jet recording apparatus for using the same |
| JP2006168359A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Samsung Electronics Co Ltd | プリンタヘッドの欠陥検出装置及び方法 |
| JP2008273219A (ja) * | 2008-08-22 | 2008-11-13 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びアクチュエータユニット |
| US7526846B2 (en) | 2004-10-15 | 2009-05-05 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Forming piezoelectric actuators |
| US7575306B2 (en) | 2004-03-30 | 2009-08-18 | Fujifilm Corporation | Discharge head, method of manufacturing discharge head, and liquid discharge apparatus |
| US7992969B2 (en) | 2008-05-20 | 2011-08-09 | Ricoh Company, Ltd. | Piezoelectric actuator, liquid-drop ejecting head, and liquid-drop ejecting apparatus |
| JP2015160395A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
-
1997
- 1997-02-12 JP JP2750697A patent/JPH10217466A/ja active Pending
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| JP4727406B2 (ja) * | 2004-12-15 | 2011-07-20 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | プリンタヘッドの欠陥検出装置及び方法 |
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