JP5454795B2 - 圧電素子の製造方法および液滴噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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基板の上に、第1導電層を形成する工程と、
前記第1導電層の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層の上に、前記領域とオーバーラップする第2導電層を形成する工程と、
前記第2導電層の上に、前記領域とオーバーラップする第3導電層を形成する工程と、
前記領域の上方の前記第3導電層において、前記第3導電層を第1の部分と第2の部分とに分割する開口部を形成する工程と、
前記開口部と、前記第1の部分および前記第2の部分の前記開口部側の周縁部と、を覆うレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を用いて、前記第3導電層をエッチングし、第1導電部と第2導電部とを形成する工程と、
前記レジスト層を用いて、前記第2導電層をエッチングし、第3導電部を形成する工程と、
を含む。
前記第1導電部と前記第2導電部とを形成する工程の前記エッチングは、ウエットエッチングであり、
前記第3導電部を形成する工程の前記エッチングは、ドライエッチングであってもよい。
前記第2導電層の材料は、前記第3導電層の材料と異なってもよい。
前記第2導電層の材料は、イリジウムを含み、
前記第3導電層の材料は、金およびニッケル−クロム合金を含んでいてもよい。
前記圧電体層を形成する工程は、前記第2導電層と離間した位置において、前記第1導電層の一部を露出させるコンタクトホールを形成する工程を含み、
前記第2導電層と前記第3導電層とを形成する工程は、前記コンタクトホール内の前記第1導電層と電気的に接続され、かつ、前記第2導電層と前記第3導電層と離間したリード配線層を形成する工程を含み、
前記第3導電部を形成する工程は、互いに離間した前記第2導電層と、前記リード配線層との間の前記圧電体層が露出した部分において、凹部を形成する工程を含んでいてもよい。
上記のいずれかの圧電素子の製造方法を含む。
図1(A)は、本実施形態の圧電素子の製造方法により製造される圧電素子100と、その圧電素子100を含む液滴噴射ヘッド600(図2参照)の要部を模式的に示す平面図、図1(B)は、図1(A)に示すIB−IB線の断面図である。
次に、本実施形態に係る圧電素子100が圧電アクチュエーターとして機能する液滴噴射ヘッド600について、図面を参照しながら説明する。図1(A)および図1(B)は、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600の要部(圧電素子100)を模式的に示す平面図および断面図である。図2は、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
次に、本実施形態に係る圧電素子100の製造方法について説明する。図3(A)〜図5(C)は、本実施形態の圧電素子100の製造工程と、液滴噴射ヘッドの製造工程を模式的に示す断面図である。以下においては、液滴噴射ヘッド600に含まれる圧電素子100を製造する場合を一例として説明する。したがって、本実施形態に係る圧電素子の製造方法は、以下の説明に限定されない。
次に、本実施形態に係る液滴噴射装置について、図面を参照しながら説明する。液滴噴射装置は、上述の液滴噴射ヘッドを有する。以下では、液滴噴射装置が上述の液滴噴射ヘッド600を有するインクジェットプリンターである場合について説明する。図6は、本実施形態に係る液滴噴射装置700を模式的に示す斜視図である。
18a 配線層、18b 配線層、20 圧電体層、21 能動領域、21a 領域、
22 端面、26 コンタクトホール、28 部分、29 凹部、30 第2電極、
30a 第2導電層、30b 第3導電層、31 第1の部分、32 第2の部分、
33 第1導電部、33a 端部、34 第2導電部、34a 端部、
35 第3導電部、35a 端部、35b 端部、36 開口部、37 開口部、
38 端部、39 端部、100 圧電素子、110 第1の方向、
120 第2の方向、130 レジスト層、140 レジスト層、
600 液滴噴射ヘッド、610 ノズル板、612 ノズル孔、
620 圧力室基板、622 圧力室、624 リザーバー、626 供給口、
628 貫通孔、630 筐体、700 液滴噴射装置、710 駆動部、
720 装置本体、721 トレイ、722 排出口、730 ヘッドユニット、
731 インクカートリッジ、732 キャリッジ、741 キャリッジモーター、
742 往復動機構、743 タイミングベルト、744 キャリッジガイド軸、
750 給紙部、751 給紙モーター、752 給紙ローラー、
752a 従動ローラー、752b 駆動ローラー、760 制御部、
770 操作パネル
Claims (6)
- 基板の上に、第1導電層を形成する工程と、
前記第1導電層の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層の上に、前記領域とオーバーラップする第2導電層を形成する工程と、
前記第2導電層の上に、前記領域とオーバーラップする第3導電層を形成する工程と、
前記領域の上方の前記第3導電層において、前記第3導電層を第1の部分と第2の部分とに分割する開口部を形成する工程と、
前記開口部と、前記第1の部分および前記第2の部分の前記開口部側の周縁部と、を覆うレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を用いて、前記第3導電層をエッチングし、第1導電部と第2導電部とを形成する工程と、
前記レジスト層を用いて、前記第2導電層をエッチングし、第3導電部を形成する工程と、
を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項1において、
前記第1導電部と前記第2導電部とを形成する工程の前記エッチングは、ウエットエッチングであり、
前記第3導電部を形成する工程の前記エッチングは、ドライエッチングである、圧電素子の製造方法。 - 請求項1または2において、
前記第2導電層の材料は、前記第3導電層の材料と異なる、圧電素子の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項において、
前記第2導電層の材料は、イリジウムを含み、
前記第3導電層の材料は、金およびニッケル−クロム合金を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか1項において、
前記圧電体層を形成する工程は、前記第2導電層と離間した位置において、前記第1導電層の一部を露出させるコンタクトホールを形成する工程を含み、
前記第2導電層と前記第3導電層とを形成する工程は、前記コンタクトホール内の前記第1導電層と電気的に接続され、かつ、前記第2導電層と離間したリード配線層を形成する工程を含み、
前記第3導電部を形成する工程は、互いに離間した前記第2導電層と、前記リード配線層との間の前記圧電体層が露出した部分において、凹部を形成する工程を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項1から5のいずれかに1項に記載の圧電素子の製造方法を含む、液滴噴射ヘッドの製造方法。
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