JP5376157B2 - 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 - Google Patents
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Description
ノズル孔に連通する圧力室が設けられた圧力室基板と、
第1面と、該第1面と対向する第2面とを有し、前記第1面で前記圧力室を覆う振動板と、
第1導電層と、
圧電体層と、
第2導電層とを含み、
前記圧力室基板には、前記圧力室が第1方向に複数並設され、
前記振動板は、前記第1方向と直交し、かつ、前記第1面の法線方向となる第2方向から見て、前記圧力室を覆う第1領域面を前記第1面に有するように形成され、
前記第1導電層は、前記第2方向から見て、前記第1方向においては前記第1領域面と重なる領域内で前記振動板の前記第2面を覆い、かつ、前記第1方向及び前記第2方向と直交する第3方向の少なくとも一方においては前記第1領域面と重なる領域外まで延出して前記振動板の前記第2面を覆うように複数形成され、
前記圧電体層は、前記第2方向から見て、少なくとも前記第1領域面と重なる領域内において前記第1導電層を覆うように形成され、
前記第2導電層は、
前記第2方向から見て、少なくとも前記第1領域面と重なる領域内において、前記第1方向においては前記圧電体層を覆って連続的に形成され、かつ、前記第3方向においては前記第1導電層の一部と重なるように、前記圧電体層の少なくとも一部を覆うように形成され、さらに、
前記第2方向から見て、隣り合う前記第1導電層の間の領域の少なくとも一部において、前記第3方向の両側に延出する延出部を有する。
前記延出部は、前記第2方向から見て、前記第1領域面の前記第3方向における端部よりも外側まで延出していてもよい。
前記延出部は、前記第2方向から見て、前記第1領域面とは重ならない位置に設けられていてもよい。
前記第1導電層と前記第2導電層とが重なる領域は、前記第2方向から見て、前記第1領域面の前記第3方向における一端から他端までの範囲において、前記第1方向を対称軸として対称に設けられ、
前記延出部は、前記第2方向から見て、前記第3方向における前記第1領域面の一端から他端までの範囲内において、前記第1方向を対称軸として対称に設けられていてもよい。
前記第2導電層は、共通電極と電気的に接続され、
前記延出部のうち少なくとも一部は、延出先において前記共通電極と電気的に接続されていてもよい。
前記第2方向から見て、隣り合う前記第1領域面の間の領域の少なくとも一部において、前記圧電体層が存在しない領域を有してもよい。
これらのいずれかの液滴噴射ヘッドを含む。
1−1.構造
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液滴噴射ヘッドの構造について説明する。
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド300の製造方法について説明する。
次に、本実施形態に係る液滴噴射装置について説明する。本実施形態に係る液滴噴射装置は、本発明に係る液滴噴射ヘッドを有する。ここでは、本実施形態に係る液滴噴射装置1000がインクジェットプリンターである場合について説明する。図10は、本実施形態に係る液滴噴射装置1000を模式的に示す斜視図である。
Claims (7)
- ノズル孔に連通する圧力室が設けられた圧力室基板と、
第1面と、該第1面と対向する第2面とを有し、前記第1面で前記圧力室を覆う振動板と、
第1導電層と、
圧電体層と、
第2導電層とを含み、
前記圧力室基板には、前記圧力室が第1方向に複数並設され、
前記振動板は、前記第1方向と直交し、かつ、前記第1面の法線方向となる第2方向から見て、前記圧力室を覆う第1領域面を前記第1面に有するように形成され、
前記第1導電層は、前記第2方向から見て、前記第1方向においては前記第1領域面と重なる領域内で前記振動板の前記第2面を覆い、かつ、前記第1方向及び前記第2方向と直交する第3方向の少なくとも一方においては前記第1領域面と重なる領域外まで延出して前記振動板の前記第2面を覆うように複数形成され、
前記圧電体層は、前記第2方向から見て、少なくとも前記第1領域面と重なる領域内において前記第1導電層を覆うように形成され、
前記第2導電層は、
前記第2方向から見て、少なくとも前記第1領域面と重なる領域内において、前記第1方向においては前記圧電体層を覆って連続的に形成され、かつ、前記第3方向においては前記第1導電層の一部と重なるように、前記圧電体層の少なくとも一部を覆うように形成され、さらに、
前記第2方向から見て、隣り合う前記第1導電層の間の領域の少なくとも一部において、前記第3方向の両側に延出する延出部を有する、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液滴噴射ヘッドにおいて、
前記延出部は、前記第2方向から見て、前記第1領域面の前記第3方向における端部よりも外側まで延出している、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1及び2のいずれかに記載の液滴噴射ヘッドにおいて、
前記延出部は、前記第2方向から見て、前記第1領域面とは重ならない位置に設けられた、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴噴射ヘッドにおいて、
前記第1導電層と前記第2導電層とが重なる領域は、前記第2方向から見て、前記第1領域面の前記第3方向における一端から他端までの範囲において、前記第1方向を対称軸として対称に設けられ、
前記延出部は、前記第2方向から見て、前記第3方向における前記第1領域面の一端から他端までの範囲内において、前記第1方向を対称軸として対称に設けられた、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の液滴噴射ヘッドにおいて、
前記第2導電層は、共通電極と電気的に接続され、
前記延出部のうち少なくとも一部は、延出先において前記共通電極と電気的に接続された、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴噴射ヘッドにおいて、
前記第2方向から見て、隣り合う前記第1領域面の間の領域の少なくとも一部において、前記圧電体層が存在しない領域を有する、液滴噴射ヘッド。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴噴射ヘッドを含む、液滴噴射装置。
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