JP5516879B2 - 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents
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Description
ノズル孔にそれぞれ連通する圧力室が複数設けられた圧力室基板と、
前記圧力室基板の上方に順に設けられた第1導電層、圧電体層及び第2導電層を含む圧電素子と、
を具備し、
平面視において、前記圧力室、前記第1導電層、前記圧電体層及び前記第2導電層がオーバーラップするオーバーラップ領域を有し、
前記第1導電層は、
前記オーバーラップ領域において、第1方向を長手方向とし、前記第1方向と直交する第2方向を短手方向として、前記オーバーラップ領域ごとに設けられ、
前記第2導電層は、
平面視において、複数の前記圧力室とオーバーラップして連続して設けられ、かつ、
前記オーバーラップ領域の少なくとも一方の前記第1方向の端側に、端部領域を有し、
前記端部領域は、前記第1方向の端に向かうほど、前記第2方向における幅が狭くなる。
前記端部領域は、前記第1方向の端に向かうほど、前記第2方向における幅が両側から狭くなっていてもよい。
前記第2導電層は、前記オーバーラップ領域の前記第1方向の両端側に前記端部領域を有していてもよい。
前記第2導電層は、平面視において、前記オーバーラップ領域の形状が線対称となるように設けられていてもよい。
前記第2導電層は、前記オーバーラップ領域において、前記第1方向の一方と他方に、2つの端部を有していてもよい。
前記第2導電層は、平面視において、隣り合う前記オーバーラップ領域に挟まれる領域の少なくとも一部から、前記第1方向の両側に延出する延出部を有していてもよい。
前記第2導電層上に設けられた第1固体層及び第2固体層を含み、
前記第1固体層は、平面視において、前記オーバーラップ領域の前記第1方向における一端側で、前記オーバーラップ領域とオーバーラップするように設けられ、
前記第2固体層は、平面視において、前記オーバーラップ領域の前記第1方向における他端側で、前記オーバーラップ領域とオーバーラップするように設けられていてもよい。
これらのいずれかの液滴吐出ヘッドを含む。
1−1.第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構造
以下、図面を参照して、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構造について説明する。図1は、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド300の分解斜視図である。
図3は、第2実施形態に係る液滴吐出ヘッド302の分解斜視図である。また、図4(A)は、第2実施形態に係る液滴吐出ヘッド302の要部である圧力室基板10、振動板30、及び圧電素子100のみを模式的に示した平面図である。図4(B)は、図4(A)に示す要部のIIC−IIC線断面図である。図4(E)は、図4(A)に示す要部のIIE−IIE線断面図である。なお、図2(B)及び図2(D)に示される構造は、上述した第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド300と共通であり、その詳細な説明を省略する。
上述の第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド300及び第2実施形態に係る液滴吐出ヘッド302は、種々の変形が可能である。以下では、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド300及び第2実施形態に係る液滴吐出ヘッド302に適用可能な変形の一例について説明する。図5は、変形例に係る液滴吐出ヘッドの要部を模式的に示す平面図である。
以下、図面を参照して、第2実施形態に係る液滴吐出ヘッド302を例にとり、液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。なお、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド300及び変形例に係る液滴吐出ヘッドについても、第2実施形態に係る液滴吐出ヘッド302と同様の製造方法で製造することができる。
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置1000は、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド300を有する。ここでは、本実施形態に係る液滴吐出装置1000がインクジェットプリンターである場合について説明する。図12は、本実施形態に係る液滴吐出装置1000を模式的に示す斜視図である。
Claims (6)
- ノズル孔にそれぞれ連通する圧力室が複数設けられた圧力室基板と、
前記圧力室基板の上方に順に設けられた第1導電層、圧電体層及び第2導電層を含む圧電素子と、
を具備し、
平面視において、前記圧力室、前記第1導電層、前記圧電体層及び前記第2導電層がオーバーラップするオーバーラップ領域を有し、
前記第1導電層は、
前記オーバーラップ領域において、第1方向を長手方向とし、前記第1方向と直交する第2方向を短手方向として、前記オーバーラップ領域ごとに設けられ、
前記第2導電層は、
平面視において、複数の前記圧力室とオーバーラップして連続して設けられ、かつ、
前記オーバーラップ領域において、前記第1方向の一方と他方に、2つの端部を有し、かつ、
平面視において、隣り合う前記オーバーラップ領域に挟まれる領域の少なくとも一部から、前記第1方向の両側に延出する延出部を有し、かつ、
前記オーバーラップ領域の少なくとも一方の前記第1方向の端側に、端部領域を有し、
前記端部領域は、前記第1方向の端に向かうほど、前記第2方向における幅が狭くなる、液滴吐出ヘッド。 - 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記端部領域は、前記第1方向の端に向かうほど、前記第2方向における幅が両側から狭くなる、液滴吐出ヘッド。 - 請求項1及び2のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第2導電層は、前記オーバーラップ領域の前記第1方向の両端側に前記端部領域を有する、液滴吐出ヘッド。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第2導電層は、平面視において、前記オーバーラップ領域の形状が線対称となるように設けられている、液滴吐出ヘッド。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第2導電層上に設けられた第1固体層及び第2固体層を含み、
前記第1固体層は、平面視において、前記オーバーラップ領域の前記第1方向における一端側で、前記オーバーラップ領域とオーバーラップするように設けられ、
前記第2固体層は、平面視において、前記オーバーラップ領域の前記第1方向における他端側で、前記オーバーラップ領域とオーバーラップするように設けられた、液滴吐出ヘッド。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドを含む、液滴吐出装置。
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