JP2012196873A - 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電素子は、第1電極10と、第1電極10の上方に形成され、貫通孔22が形成された絶縁体層20と、貫通孔22の内部および貫通孔22の上方に形成された第1部分32、および絶縁体層20の上方に形成された第2部分34を有する圧電体層30と、第1部分32および第2部分34の上方に形成された第2電極40と、を含み、第2部分34は、第1部分32の周囲を囲み、圧電体層30の側面36は、絶縁体層20の上面24に接続されている。
【選択図】図1
Description
第1電極と、
前記第1電極の上方に形成され、貫通孔が形成された絶縁体層と、
前記貫通孔の内部および前記貫通孔の上方に形成された第1部分、および前記絶縁体層の上方に形成された第2部分を有する圧電体層と、
前記第1部分および前記第2部分の上方に形成された第2電極と、
を含み、
前記第2部分は、前記第1部分の周囲を囲み、
前記圧電体層の側面は、前記絶縁体層の上面に接続されている。
前記絶縁体層の材質は、酸化アルミニウムまたは酸化シリコンであってもよい。
前記絶縁体層の膜厚は、前記第2部分の膜厚の1/10以上であってもよい。
前記絶縁体層の膜厚は、前記第2部分の膜厚の2/10以下であってもよい。
前記圧電体層は、複数設けられ、
隣り合う前記圧電体層の間の領域において、前記第1電極は、前記絶縁体層で覆われていてもよい。
前記圧電体層は、複数設けられ、
隣り合う前記圧電体層の間の領域において、前記第1電極は、露出していてもよい。
本発明に係る圧電素子を含む。
本発明に係る圧電素子と、
前記圧電素子の動作によって容積が変化する流路が形成された流路形成基板と、
を含み、
前記絶縁体層の幅は、前記流路の幅よりも小さい。
本発明に係る液体噴射ヘッドを含む。
1.1. 圧電素子の構成
まず、第1実施形態に係る圧電素子の構成について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る圧電素子100を模式的に示す断面図である。図2は、圧電素子100を模式的に示す平面図である。なお、図1は、図2のI−I線断面図である。
次に、本実施形態に係る圧電素子100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図4〜図7は、本実施形態に係る圧電素子100の製造工程を模式的に示す図である。なお、図4,5,7は、図1に対応する断面図であり、図6は、図2に対応する平面図である。
次に、本実施形態の変形例に係る圧電素子について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態の変形例に係る圧電素子200を模式的に示す断面図である。なお、図8(a)は、YZ平面における断面図であり、図1に対応するものである。また、図8(b)は、ZX平面における断面図である。以下、本実施形態の変形例に係る圧電素子200において、本実施形態に係る圧電素子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2.1. 液体噴射ヘッド
次に、第2実施形態に係る液体噴射ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図9は、第2実施形態に係る液体噴射ヘッド600の要部を模式的に示す断面図である。図10は、液体噴射ヘッド600の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
次に、第2実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図11は、第2実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッド601を模式的に示す断面図であって、図9に対応するものである。以下、本実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッド601において、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第3実施形態に係る液体噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態に係る液体噴射装置700を模式的に示す斜視図である。
24 上面、30 圧電体層、32 第1部分、34 第2部分、34a 第1領域、
34b 第2領域、36 側面、40 第2電極、100,200 圧電素子、
600,601 液体噴射ヘッド、610 ノズル板、612 ノズル孔、
620 流路形成基板、622 圧力発生室、624 リザーバー、626 供給口、
628 貫通孔、630 筐体、700 液体噴射装置、710 駆動部、
720 装置本体、721 トレイ、722 排出口、730 ヘッドユニット、
731 インクカートリッジ、732 キャリッジ、741 キャリッジモーター、
742 往復動機構、743 タイミングベルト、744 キャリッジガイド軸、
750 給紙部、751 給紙モーター、752 給紙ローラー、
752a 従動ローラー、752b 駆動ローラー、760 制御部、
770 操作パネル
Claims (9)
- 第1電極と、
前記第1電極の上方に形成され、貫通孔が形成された絶縁体層と、
前記貫通孔の内部および前記貫通孔の上方に形成された第1部分、および前記絶縁体層の上方に形成された第2部分を有する圧電体層と、
前記第1部分および前記第2部分の上方に形成された第2電極と、
を含み、
前記第2部分は、前記第1部分の周囲を囲み、
前記圧電体層の側面は、前記絶縁体層の上面に接続されている、圧電素子。 - 請求項1において、
前記絶縁体層の材質は、酸化アルミニウムまたは酸化シリコンである、圧電素子。 - 請求項2において、
前記絶縁体層の膜厚は、前記第2部分の膜厚の1/10以上である、圧電素子。 - 請求項2または3において、
前記絶縁体層の膜厚は、前記第2部分の膜厚の2/10以下である、圧電素子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記圧電体層は、複数設けられ、
隣り合う前記圧電体層の間の領域において、前記第1電極は、前記絶縁体層で覆われている、圧電素子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記圧電体層は、複数設けられ、
隣り合う前記圧電体層の間の領域において、前記第1電極は、露出している、圧電素子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧電素子を含む、液体噴射ヘッド。
- 請求項6に記載の圧電素子と、
前記圧電素子の動作によって容積が変化する流路が形成された流路形成基板と、
を含み、
前記絶縁体層の幅は、前記流路の幅よりも小さい、液体噴射ヘッド。 - 請求項7または8に記載の液体噴射ヘッドを含む、液体噴射装置。
Priority Applications (1)
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JP2011062416A JP2012196873A (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
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JP2011062416A JP2012196873A (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019130881A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000037868A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2008087471A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-04-17 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
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2011
- 2011-03-22 JP JP2011062416A patent/JP2012196873A/ja active Pending
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JP7155656B2 (ja) | 2018-01-31 | 2022-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 |
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