JP2017193108A - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 高密度化ノズルにおけるいずれの共通電極が断線しても電気的接続を確実に維持できるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することが課題である。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、全てのアクチュエータの共通電極は、振動板の上に第１の配線パターンとは重ならない位置に設けられ、圧電体の外周部の間に跨る配線部を介して電気的に接続されている共通した第２の配線パターンと、前記第２の配線パターンと異なる方向に延設され、第２の配線パターンと電気的に繋がれている第３の配線パターンとに接続されている。第１の配線パターンおよび第３の配線パターンは、互いに電気的に接続しない状態で交差している。
【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。

圧電体を利用したインクジェットヘッドとして、圧電性材料で形成されたノズル基板を用いた構成が知られている。圧力室の一端に、ノズルを備えた圧電アクチュエータを有するインクジェットヘッドが特許文献１に開示されている。

従来技術のインクジェットヘッドでは、アクチュエータは、振動板の上に設けられた圧電体と、圧電体に電気的に接続された共通電極と、圧電体に電気的に接続されるとともに共通電極と協働して圧電体を挟み込んだ個別電極と、を含んでいる。個別電極に接続された配線パターンと共通電極に接続された配線パターンは振動板の上で互いに重なり合うことなく離れている。

また、高密度化ノズルを採用することにより、印字品質を向上させることが知られている。ここでは、アクチュエータの共通電極および個別電極から引き出された複数の導体パターンを配線するため、隣り合うアクチュエータの間に電気的に接続されている配線パターンを設けている。

特開２０１３−７８９３３号公報

上記従来構成の装置は、共通電極と接続されている配線で断線や電気的な破壊が発生すると、一部のアクチュエータが共通電極と断線されてしまう。

実施形態は、高密度化ノズルにおけるいずれの共通電極が断線しても電気的接続を確実に維持できるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを課題とする。

実施形態によれば、インクジェットヘッドは、複数のノズルと、前記ノズル毎に設けられ、インクを加圧して前記ノズルから吐出させる複数のアクチュエータと、を備えている。前記アクチュエータは、圧電体と、共通電極と、個別電極と、を含む。前記個別電極は、前記振動板に設けられた第１の配線パターンに個別に電気的に接続されている。全ての前記アクチュエータの前記共通電極は、前記振動板の上に前記第１の配線パターンとは重ならない位置に設けられ、前記圧電体の外周部の間に跨る配線部を介して電気的に接続されている共通した第２の配線パターンと、前記第２の配線パターンと異なる方向に延設され、前記第２の配線パターンと電気的に繋がれている第３の配線パターンとに接続されている。前記第１の配線パターンおよび前記第３の配線パターンは、互いに電気的に接続しない状態で交差している。

図１は、第１の実施形態であるインクジェットヘッドを示す斜視図である。 図２は、第１の実施形態における流路基板の上の要部構成を示す平面図である。 図３は、図３の部分拡大図とアクチュエータの詳細を示す平面図である。 図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 図５は、強誘電体のヒステリシスとバッタフライ変位曲線である。 図６は、第２の実施形態における配線パターンを示す平面図である。 図７は、第３の実施形態における配線パターンの部分拡大図とアクチュエータの詳細を示す平面図である。 図８は、第１の実施形態であるインクジェット記録装置の概略図である。

以下に、第１の実施の形態について、図１から図５を参照して説明する。なお、複数の表現が可能な各要素に、一つ以上の他の表現の例を付すことがある。しかし、これは、他の表現が付されていない要素について異なる表現がされることを否定するものではないし、例示されていない他の表現がされることを制限するものでもない。また、各図面は実施形態を概略的に示すものであり、図面に示される各要素の寸法は、実施形態の説明と異なることがある。

以下、本実施形態のインクジェットヘッド１の配線パターンについて説明する。なお、各図は実施形態とその理解を促すための模式図であり、その形状や寸法、比などは実際のものと異なる個所があるが、これらは適宜、設計変更することができる。

図１は、第１の実施形態であるインクジェットヘッド１を示す外観斜視図である。
このインクジェットヘッド１は、流路基板２と、インク供給部３と、フレキシブル配線板４と、駆動回路５とで構成されている。

流路基板２には、インクが吐出するノズル１７（後述する図３、図４に示す）が設けられたアクチュエータ６がアレイ状に配置されている。ここでは、複数のノズル１７を記録媒体である記録紙Ｐの搬送方向であるＹ方向に対し一定の角度を有する斜めの方向に直線状に規則的に配列している。なお、図１中で、矢印Ｘは、インクジェットヘッド１の長手方向を示す。インクジェットヘッド１の長手方向とは、矢印Ｙで示す記録紙Ｐの搬送方向と直交する方向のことを指しており、記録紙Ｐの幅方向と一致する。

各ノズル１７は、印刷方向に対して互いに重なり合わず、印刷方向に直交する方向に対して等間隔に配置されている。各々のアクチュエータ６はフレキシブル配線板４を介して駆動回路５と電気的に接続している。駆動回路５は、印字制御を行う制御回路（図示せず）と電気的に接続する。流路基板２とフレキシブル配線板４は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ））により電気的に接続した状態で接合されている。フレキシブル配線板４と駆動回路５とは、例えばＣＯＦ（Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｆｌｅｘ）により電気的に接続した状態で接合されている。

インク供給部３は、チューブ等に接続するインク供給口（図示せず）を有し、インク供給口に供給されたインクを流路基板２に供給する。流路基板２とインク供給部３とは、例えばエポキシ系接着剤により接合されている。

インク供給口から、インクが供給され、駆動回路５がアクチュエータ６に電気信号（駆動信号ともいう）を送ると、アクチュエータ６が流路基板２の内部の圧力室１８（後述する図４に示す）に充填されたインクを振動させ、アクチュエータ６に設けられたノズル１７から、流路基板２の表面に対して垂直方向に、インクが吐出する。つまり、駆動回路５は、アクチュエータ６に電気信号を供給する。アクチュエータ６は、電気信号に応じて圧力室１８の容積を変化させてインクに圧力振動を生じさせる。これにより、ノズル１７は、圧力室１８内のインクを吐出する。
インク供給口に供給するインクの圧力は、大気圧に対して、概ね１０００Ｐａ程度低い値が望ましい。

図２は、第１の実施形態における流路基板２の上の配線パターンの平面図を示している。配線パターンの同じパターンの繰り返しになる部分は省略している。流路基板２には、多数のアクチュエータ６と、多数の個別電極７と、共通電極８ａ，８ｂと、多数の実装パッド９とが形成されている。なお、共通電極８ａまたは８ｂを単に共通電極８ということもある。

実装パッド９は、フレキシブル配線板４に形成された多数の配線パターンを介して駆動回路５に電気的に接続している。実装パッド９とフレキシブル配線板４との接続には、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を用いることができる。他に、実装パッド９は、ワイヤボンディングなどの方法により、駆動回路５と接続しても良い。

個別電極７は、アクチュエータ６毎に個々に独立して設けられている。第１配線パターン１９は、個々に独立して設けられている複数の個別電極７で形成されている。

第２配線パターン２０は、複数の共通電極８ａおよび８ｂで形成されている。共通電極８ｂは、端部の実装パッド９に電気的に接続している。共通電極８ａは、共通電極８ｂから分岐し、複数の隣り合うアクチュエータ６に電気的に接続している。共通電極８ａ，８ｂは、複数のアクチュエータ６同士で電気的に共有されている。

図３は、流路基板２におけるアクチュエータ６の付近の配線パターンを拡大して示す平面図である。図４は図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う箇所における流路基板２の縦断面図である。
図４に示すようにアクチュエータ６は、振動板１０と、下部電極１１と、圧電体１２と、上部電極１３と、第１絶縁層１４と、共通電極８と、保護層１６と、ノズル１７とで構成されている。

流路基板２は一例として厚み５００μｍの単結晶シリコンウエハで形成されている。流路基板２の内部には、インクが充填される圧力室１８が形成されている。圧力室１８の直径は、一例として２００μｍとした。圧力室１８は、流路基板２の下面からドライエッチングで穴をあけることにより形成した。

振動板１０は、圧力室１８の上面を覆うように、流路基板２と一体に形成されている。振動板１０は、圧力室１８の形成前に、流路基板２の単結晶シリコンウエハを高温で加熱することにより、熱酸化により形成されるシリコン酸化膜である二酸化シリコンで形成した。振動板１０にはノズル１７と同心円状に、ノズル１７より大きい貫通穴が形成されている。振動板１０の厚みは、一例として４μｍとした。

振動板１０の上には、下部電極１１と、圧電体１２と、上部電極１３との積層体がノズル１７を中心にドーナッツ状に形成されている。積層体の内径は一例として３０μｍ、外径は一例として１４０μｍとした。下部電極１１、圧電体１２、上部電極１３は、一例として、各々、白金、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛（Ｌｅａｄ Ｚｉｒｃｏｎａｔｅ Ｔｉｔａｎａｔｅ））、白金をスパッタ法で成膜した。上部電極１３と下部電極１１の厚みは一例として０．１〜０．２μｍである。ＰＺＴの厚みは、一例として２μｍとした。なお、ＰＺＴは、スパッタ法などにより成膜しても良い。

圧電体１２は、成膜の時点で決まった配向方向（分極方向）を持ち、厚み方向に分極を発生させる。本実施形態では、スパッタ法により下部電極１１上に圧電体１２を成膜するので、当該圧電体膜の分極方向は下部電極１１から上部電極１３に向かう方向となる。

図５は強誘電体である圧電体１２のヒステリシスと呼ばれる特性（Ａ）と、バタフライ変位曲線と呼ばれる特性（Ｂ）を示している。図５に示すように、圧電体１２に分極方向と逆向きの電界を印加する場合（Ａ→Ｂ→Ｃ）、ＡからＢにかけては電界の強度を強くしていくと変位が下がるが、Ｂの位置で分極が逆方向になり、ＢからＣにかけては電界の強度を強くしていくと変位が上がるので、アクチュエータ６の動作特性が複雑になり、制御しにくい。一方、圧電体１２に分極方向と同じ向きの電界を印加する場合（Ａ→Ｅ）、電界の強度を強くしていくと単調に変位が上がるので、制御しやすい。したがって、（Ａ→Ｂ→Ｃ）のように分極方向と逆向きの電界を加えるよりも、（Ａ→Ｅ）のように分極方向と同一方向の電界を加える方が、変位が電界にほぼ比例しているので好ましい。

更にまた、マイナス電圧用の駆動ＩＣや電源装置は、正電圧用のものと比べてコスト高（おおよそ、数倍〜数十倍）になることが知られている。したがって、圧電体１２の分極方向と同一方向の電界を印加して駆動し、ノズル１７から液体を吐出させるには、上部電極１３をアドレスとし、下部電極１１をグランドとして、上部電極１３に駆動源から正電圧を印加する第１の方法、または上部電極１３をグランドとし、下部電極１１をアドレスとして、下部電極１１に駆動源から正電圧を印加する第２の方法が好ましい。ただし、第１の方法では圧電体１２の分極方向が上部電極１３から下部電極１１に向かう分極反転処理を必要とするため、第２の方法が好適に用いられる。

なお、実質的に分極方向と同一方向にのみ電界を印加しており、電界を加えることにより圧電体１２は膜厚方向に伸長し、膜厚に対して直交する方向（面内方向）に収縮する。

図４に示すように上部電極１３の上には、第１絶縁層１４が形成されている。第１絶縁層１４には、２つのコンタクトホール（第１のコンタクトホール１５ａと、第２のコンタクトホール１５ｂ）が形成されている。第１のコンタクトホール１５ａは、ドーナッツ状の開口で、この第１のコンタクトホール１５ａを通して上部電極１３と共通電極８とが電気的に接続している。第２のコンタクトホール１５ｂは、流路基板２の圧力室１８の周壁部分と対応する位置に形成された円形の開口で、下部電極１１と個別電極７が電気的に接続している。

第１絶縁層１４は、一例としてＴＥＯＳ（ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ）−ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により二酸化シリコンを成膜して形成した。第１絶縁層１４の厚みは一例として０．５μｍとした。第１絶縁層１４は、圧電体１２の外周部において、共通電極８と下部電極１１が電気的に接触するのを防止している。

第１絶縁層１４の上には、個別電極７と、共通電極８と、実装パッド９とが形成されている。個別電極７は下部電極１１に、第２のコンタクトホール１５ｂを介して接続されている。共通電極８は上部電極１３に、第１のコンタクトホール１５ａを介して接続されている。個別電極７と共通電極８と実装パッド９とは、一例としてスパッタ法により金を成膜して形成した。厚みは、一例として０．１μｍないし０．５μｍである。

個別電極７と共通電極８、及び第１絶縁層１４の上には、保護層１６が形成されている。保護層１６には、圧力室１８と連通する円形のノズル１７が開口している。保護層１６の厚みは一例として４μｍ、ノズル１７の直径は一例として２０μｍである。保護層１６は、一例として感光性ポリイミド材料をスピンコート法により成膜した。ノズル１７は、一例として保護層１６となる感光性ポリイミド材料を露光現像することにより形成した。

第１配線パターン１９と第２配線パターン２０とは、振動板１０の上で互いに電気的に接続することなく離れている。

本実施形態では更に、第３配線パターン２１が形成されている。第３配線パターン２１は、共通電極８ａ上で交差して第２配線パターン２０と電気的に接続されている。第３配線パターン２１が第１配線パターン１９と電気的な短絡を防ぐため、第１配線パターン１９と第３配線パターン２１とが交差しているところで、一例として第２絶縁層２２を挟んでいる。

次に、上記構成の作用効果について説明する。ここでは、図３の複数のアクチュエータ６のうちの１つであるアクチュエータ６ａを例として説明する。アクチュエータ６ａは、電流経路が個別電極７と第２のコンタクトホール１５ｂから圧電体１２を通して、第１のコンタクトホール１５ａと共通電極８ａに流れている。第１のコンタクトホール１５ａからの電流は、可能な主経路が図３中でアクチュエータ６ａの上方向に延びる共通電極８ａ１と、下方向に延びる共通電極８ａ２の２つ（ＭとＮ）である。また、第２配線パターン２０と第３配線パターン２１との接続により、一方の主経路Ｍ側からはさらに３つ（Ｍ１とＭ２とＭ３）のサブ経路を持つ。他方の主経路Ｎからはさらに２つ（Ｎ１とＮ２）のサブ経路を持つ。これにより、１つであるアクチュエータ６ａからの電流経路は、合計５つのサブ経路を持つ。

したがって、本実施形態では、アクチュエータ６の上部電極１３は、グランドとして圧電体１２の外周部の間に跨る配線部を介して電気的に接続されている第２配線パターン２０の共通電極８ａと、第２配線パターン２０と電気的に繋がれている第３配線パターン２１の共通電極８に接続されている。第１配線パターン１９および第３配線パターン２１とは、第２絶縁層２２を挟んでいることにより、互いに電気的に接続しないで交差している。これにより、複数のアクチュエータ６は、いずれも共通電極８に各々複数の電流経路（サブ経路）が形成されているので、複数の電流経路（サブ経路）のいずれかの共通電極８が断線しても断線していない他の共通電極８を介して電気的接続を維持することができる。そのため、複数の電流経路（サブ経路）のいずれの経路で断線や電気的な破壊が発生しても、アクチュエータ６が共通電極８との接続を確保することが可能となる。

次に、図６を参照して第２の実施形態を説明する。本実施形態は、第１の実施形態の第３配線パターン２１を次の通り変形したものである。すなわち、図６中で、Ｘ方向に延設される第３配線パターン２１の数を第１の実施形態よりも減らし、Ｙ方向に隣接する２つのアクチュエータ６毎に１本の第３配線パターン２１の共通電極８を配置する構成にしたものである。この場合でも、第１の実施形態と同様に複数のアクチュエータ６は、いずれも共通電極８に各々複数の電流経路（サブ経路）を形成することができる。そのため、複数の電流経路（サブ経路）のいずれの経路で断線や電気的な破壊が発生しても、アクチュエータ６が共通電極８との接続を確保することが可能となる。

また、図７は、第３の実施形態における配線パターンの部分拡大図とアクチュエータの詳細を示す平面図である。本実施形態は、第１の実施形態と同じく、第１配線パターン１９は、複数の個別電極７で形成されている。

一方、第２配線パターン２０は、第１の実施形態と異なり、共通電極８ａ，８ｂの他、共通電極８ａから分岐し、振動板１０の上に延びている共通電極８ｃが形成されている。第２配線パターン２０は、複数の共通電極８ａ，８ｂおよび８ｃで形成され、第１配線パターン１９と電気的に接続することなく離れている。更に、共通電極８ｃによって第３配線パターン２１が形成され、共通電極８ｃ端を介して第２配線パターン２０と電気的に接続されている。

本実施形態では、第１の実施形態と同じく、各アクチュエータ６において、２つ以上の経路の電流経路を確保しており、いずれの経路で断線や電気的な破壊が発生しても、共通電極８との接続を確保できる。

さらに、本実施形態では、共通電極８ｃによって、第１実施形態における配線パターンの一部が第２配線パターン２０と一体化している。そのため、本実施形態では、第１実施形態のように第３配線パターン２１が共通電極８ａとは別体に形成されている場合に比べて第３配線パターン２１が共通電極８ａと第２絶縁層２２を乗り越える段差の数が半分となる。そのため、第３配線パターン２１と共通電極８との断線や高抵抗化のリスクを低減することができる。

次に、図８を参照して上述のインクジェットヘッド１を備えるインクジェット記録装置１００を説明する。図８は、インクジェット記録装置１００の一例を説明するための概略図である。インクジェット記録装置１００はインクジェットプリンタということもできる。なお、インクジェット記録装置１００は、複写機のような装置であってもよい。

インクジェット記録装置１００は、例えば、記録媒体である記録紙Ｐを搬送しながら画像形成等の各種処理を行う。インクジェット記録装置１００は、筐体１０１と、給紙カセット１０２と、排紙トレイ１０３と、保持ローラ（ドラム）１０４と、搬送装置１０５と、保持装置１０６と、画像形成装置１０７と、除電剥離装置１０８と、反転装置１０９と、クリーニング装置１１０とを備える。

筐体１０１は、インクジェット記録装置１００を構成する各部を収容する。
給紙カセット１０２は、複数の記録紙Ｐを収容して、筐体１０１内に配置される。
排紙トレイ１０３は、筐体１０１の上部にある。インクジェット記録装置１００によって画像形成がされた記録紙Ｐは、排紙トレイ１０３に排出される。

保持ローラ１０４は、導体によって形成された円筒状のフレームと、当該フレームの表面に形成された薄い絶縁層とを有する。前記フレームは接地（グランド接続）される。保持ローラ１０４は、その表面上に記録紙Ｐを保持した状態で回転することにより、記録紙Ｐを搬送する。

搬送装置１０５は、記録紙Ｐが搬送される経路に沿って配置された複数のガイドおよび複数の搬送ローラを有する。当該搬送ローラは、モータに駆動されて回転する。搬送装置１０５は、インクジェットヘッド１から吐出されるインクを付着させる記録紙Ｐを給紙カセット１０２から排紙トレイ１０３まで搬送する。

保持装置１０６は、搬送装置１０５によって給紙カセット１０２から搬出された記録紙Ｐを、保持ローラ１０４の表面（外周面）に吸着させて保持させる。保持装置１０６は、記録紙Ｐを保持ローラ１０４に対して押圧した後、帯電による静電気力で記録紙Ｐを保持ローラ１０４に吸着させる。

画像形成装置１０７は、保持装置１０６によって保持ローラ１０４の外面に保持された記録紙Ｐに、画像を形成する。画像形成装置１０７は、保持ローラ１０４の表面に面する複数のインクジェットヘッド１を有する。複数のインクジェットヘッド１は、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの四色のインクを、それぞれ記録紙Ｐに吐出することで、像を形成する。

除電剥離装置１０８は、画像が形成された記録紙Ｐを、除電することで、保持ローラ１０４から剥離する。除電剥離装置１０８は、電荷を供給して記録紙Ｐを除電し、記録紙Ｐと保持ローラ１０４との間に爪を挿入する。これにより、記録紙Ｐは保持ローラ１０４から剥離される。保持ローラ１０４から剥離された記録紙Ｐは、搬送装置１０５によって、排紙トレイ１０３または反転装置１０９に搬送される。

反転装置１０９は、保持ローラ１０４から剥離された記録紙Ｐの表裏面を反転させ、当該記録紙Ｐを再び保持ローラ１０４の表面上に供給する。反転装置１０９は、例えば記録紙Ｐを前後方向逆にスイッチバックさせる所定の反転経路に沿って記録紙Ｐを搬送することにより、記録紙Ｐを反転させる。

クリーニング装置１１０は、保持ローラ１０４を清浄する。クリーニング装置１１０は、保持ローラ１０４の回転方向において除電剥離装置１０８よりも下流にある。クリーニング装置１１０は、回転する保持ローラ１０４の表面にクリーニング部材１１０ａを当接させ、回転する保持ローラ１０４の表面を洗浄する。

これらの実施形態によれば、高密度化ノズルにおけるいずれの共通電極が断線しても電気的接続を確実に維持できるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…インクジェットヘッド、２…流路基板、３…インク供給部、４…フレキシブル配線板、５…駆動回路、６…アクチュエータ、６ａ…アクチュエータ、７…個別電極、８…共通電極、８ａ…共通電極、８ａ１…共通電極、８ａ２…共通電極、８ｂ…共通電極、８ｃ…共通電極、９…実装パッド、１０…振動板、１１…下部電極、１２…圧電体、１３…上部電極、１４…絶縁層、１５ａ…コンタクトホール、１５ｂ…コンタクトホール、１６…保護層、１７…ノズル、１８…圧力室、１９…第１配線パターン、２０…第２配線パターン、２１…第３配線パターン、２２…絶縁層、１００…インクジェット記録装置、１０１…筐体、１０２…給紙カセット、１０３…排紙トレイ、１０４…保持ローラ、１０５…搬送装置、１０６…保持装置、１０７…画像形成装置、１０８…除電剥離装置、１０９…反転装置、１１０…クリーニング装置、１１０ａ…クリーニング部材。

Claims (5)

1. 間隔を存して配列された複数のノズルと、
   前記ノズル毎に設けられ、インクを加圧して前記ノズルから吐出させる複数のアクチュエータと、を具備し、
   前記アクチュエータは、
   振動板の上に設けられた圧電体と、
   前記圧電体に電気的に接続された共通電極と、
   前記圧電体に電気的に接続されるとともに前記共通電極と協働して前記圧電体を挟み込んだ個別電極と、を含み、
   前記個別電極は、前記振動板に設けられた第１の配線パターンに個別に電気的に接続され、
   全ての前記アクチュエータの前記共通電極は、前記振動板の上に前記第１の配線パターンとは重ならない位置に設けられ、前記圧電体の外周部の間に跨る配線部を介して電気的に接続されている共通した第２の配線パターンと、前記第２の配線パターンと異なる方向に延設され、前記第２の配線パターンと電気的に繋がれている第３の配線パターンとに接続され、
   前記第１の配線パターンおよび前記第３の配線パターンは、互いに電気的に接続しない状態で交差しているインクジェットヘッド。
2. 前記共通電極は、前記第２の配線パターンと前記第３の配線パターンとによって少なくとも２つの電流経路を持つ請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記第１の配線パターンと前記第３の配線パターンとの交差部は、互いに重なり合う箇所に絶縁層が介設されている請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記個別電極は、アドレスとして前記第１の配線パターンに接続され、
   前記共通電極は、グランドとして前記第２の配線パターンと、前記第３の配線パターンに接続されている請求項１乃至３のいずれか１に記載のインクジェットヘッド。
5. 請求項１乃至４のいずれか１に記載のインクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置。