TWI790323B - 微機電泵模組 - Google Patents

Abstract

一種微機電泵模組，包含：一微處理器，輸出一定電壓及一變電壓；一微機電晶片，電連接該微處理器，該微機電晶片包含有：一晶片本體；複數個微機電泵，設置於該晶片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；以及至少一共電極，設置於該晶片本體且電連接該些微機電泵的該第二電極；其中，該微處理器分別電連接該些微機電泵的該第一電極及該至少一共電極，以傳輸該定電壓至該至少一共電極以及傳輸該變電壓至該些微機電泵之該第一電極。

Description

微機電泵模組

本案係關於一種微機電泵模組，尤指一種利用共電極的設置來減少微處理器的接點，進而簡化微機電泵接點與佈線之微機電泵模組。

隨著科技的日新月異，流體輸送裝置的應用亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統的泵浦已漸漸有朝向裝置微小化的趨勢，但傳統的泵浦難以將尺寸縮小至公釐等級，故目前的微型流體輸送裝置僅能使用壓電泵結構來作為微型流體傳輸裝置。

而微機電泵浦雖可將泵浦的體積微小化至微米等級，但微米等級的微機電泵浦會因為過小的體積而限制流體傳輸量，故需要多個微機電泵浦搭配使用，請參考第1圖所示，目前的微機電泵模組皆是透過一個高階微處理器1做個別控制，但高階微處理器1本身成本高，且每個微機電泵2都必須要兩個微處理器接腳11連接，增加了高階微處理器1的成本，導致微機電泵模組成本居高不下，難以普及，因此，如何降低微機電泵模組的驅動端的成本為目前微機電泵首要克服的難關。

本案之主要目的在於提供一種微機電泵模組，透過共電極來減少微處理器的接點，減少微機電泵模組的接點及佈線，進一步簡化微機電泵模組。

為達上述目的，本案之較廣義實施態樣為提供一種微機電泵模組，包含：一微處理器，輸出一定電壓及一變電壓；一微機電晶片，電連接該微處理器，該微機電晶片包含：一晶片本體；複數個微機電泵，設置於該晶片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；以及至少一共電極，設置於該晶片本體且電連接該些微機電泵的該第二電極；其中，該微處理器分別電連接該些微機電泵的該第一電極及該至少一共電極，以傳輸該定電壓至該至少一共電極以及傳輸該變電壓至該些微機電泵之該第一電極。

100:微機電泵模組

1:高階微處理器

11:微處理器接腳

2:微機電泵

3:微處理器

4:微機電晶片

41:晶片本體

42:微機電泵

42a:第一電極

42b:第二電極

42c:壓電件

421:第一微機電泵群組

422:第二微機電泵群組

423:第三微機電泵群組

424:第四微機電泵群組

43:共電極

43a:第一共電極

43b:第二共電極

43c:第三共電極

43d:第四共電極

第1圖為先前技術中微機電泵模組的示意圖。

第2圖為本案微機電泵模組的示意圖。

第3圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第二實施例示意圖。

第4圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第三實施例示意圖。

第5圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第四實施例示意圖。

第6圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第五實施例示意圖。

第7圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第六實施例示意圖。

第8A圖為本案微機電泵的電連接示意圖。

第8B圖為本案微處理器輸出之控制訊號的第一實施例示意圖。

第8C圖為本案微處理器輸出之控制訊號的第二實施例示意圖。

第8D圖為本案微處理器輸出之控制訊號的第三實施例示意圖。

體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參考第2圖，第2圖為本案微機電泵模組的示意圖。微機電泵模組100包含：一微處理器3、一微機電晶片4，微機電晶片4電連接微處理器3，且微機電晶片4包含有一晶片本體41、複數個微機電泵42以及至少一共電極43，微機電泵42皆設置晶片本體41上，且每個微機電泵42分別具有一第一電極42a及一第二電極42b，而至少一共電極43亦設置於晶片本體41並且電連接所有微機電泵42的第二電極42b，其中，所有微機電泵42的第一電極42a與晶片本體41上的至少一共電極43電連接至微處理器3，來接收微處理器3所發出的控制訊號，且該第一電極、該第二電極、以及該共電極的線路並未彼此重疊或交叉。此外，第2圖同樣為本案的第一實施例示意圖，至少一共電極43的數量包含一第一共電極43a，本實施例的共電極43數量為一個，所有的微機電泵42的第二電極42b皆電連接至第一共電極43a。

請參考第3圖所示，第3圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第二實施例示意圖，至少一共電極43包含有第一共電極43a及一第二共電極43b，前述的複數個微機電泵42依位置區分為一第一微機電泵群組421及一第二微機電泵群組422，其中位於第一微機電泵群組421內的微機電泵42其第二電極42b皆電連接至第一共電極43a，而位於第二微機電泵群組422內的微機電泵42其第二電極42b皆電連接至第二共電極43b，藉以達到分區控制的效果，本實施例之共電極43的數量為兩個。

請參考第4圖所示，第4圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第三實施例示意圖，第三實施例與第二實施例相同共電極43皆為兩個，故共電極43具有第一共電極43a與第二共電極43b，第一共電極43a與第二共電極43b分開設置於晶片本體41的兩側，且第一共電極43a與第二共電極43b電連接，且前述之複數個微機電泵42的第二電極42b同時電連接位於兩側的第一共電極43a與第二共電極43b，第三實施例可降低微機電泵42的第二電極42b與共電極43之間的阻抗，降低距離共電極43較遠的第二電極42b的電力損耗。

請參考第5圖所示，第5圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第四實施例示意圖，至少一共電極43包含有第一共電極43a、第二共電極43b、一第三共電極43c及一第四共電極43d，第一共電極43a與第三共電極43c間隔設置於晶片本體41的一側，第二共電極43b與第四共電極43d間隔設置於晶片本體41的另一側，而本實施例中，前述之複數個微機電泵42依位置區域區分為第一微機電泵群組421、第二微機電泵群組422、一第三微機電泵群組423及一第四微機電泵群組424，第一微機電泵群組421為鄰近第一共電極43a的微機電泵42所組成，第一共電極43a供位於第一微機電泵群組421內所有的微機電泵42的第二電極42b電連接；第二微機電泵群組422為鄰近第二共電極43b的微機電泵42所組成，第二共電極43b供位於第二微機電泵群組422內所有的微機電泵42的第二電極42b電連接；第三微機電泵群組423為鄰近第三共電極43c的微機電泵42所組成，第三共電極43c供位於第三微機電泵群組423內所有的微機電泵42的第二電極42b電連接；第四微機電泵群組424為鄰近第四共電極43d的微機電泵42所組成，第四共電極43d供位於第四微機電泵群組424 內所有的微機電泵42其第二電極42b電連接，藉以達到分區控制的效果。

請參考第6圖所示，第6圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第五實施例示意圖，本實施例與第四實施例中相同具有第一共電極43a、第二共電極43b、第三共電極43c及第四共電極43d，且其設置位置也相同，差異點為本實施例中第一共電極43a電連接第二共電極43b，第三共電極43c電連接第四共電極43d，並將前述之複數個微機電泵42區分為第一微機電泵群組421及第二微機電泵群組422，第一微機電泵群組421為鄰近第一共電極43a或鄰近第二共電極43b的微機電泵42所組成，第二微機電泵群組422為鄰近第三共電極43c或鄰近第四共電極43d的微機電泵42所組成，藉此來達到分區控制的功效，且減少共電極43與第二電極42b之間的距離，降低電力傳輸的損耗。

請參考第7圖所示，第7圖為本案微機電泵模組之微機電晶片的第六實施例示意圖，本實施例與第四實施例中具有相同具有第一共電極43a、第二共電極43b、第三共電極43c及第四共電極43d，且其設置位置也相同，差異點為本實施例中，第一共電極43a、第二共電極43b、第三共電極43c與第四共電極43d皆相互電連接，使的前述之複數個微機電泵42的第二電極42b得以電連接距離其較近的共電極43，如鄰近第一共電極43a的微機電泵42的第二電極42b便電連接至第一共電極43a，鄰近第二共電極43b的微機電泵42的第二電極42b便電連接至第二共電極43b，以此類推，共電極43供給位置相近的微機電泵42，可降低各微機電泵42於傳輸電力的損耗。

請同時參考第8A圖及第8B圖所示，第8A圖為本案微機電泵的電連接示意圖，第8B圖為本案微處理器輸出之控制訊號第一實施例示意圖；微 機電泵42更包含有一壓電件42c，第一電極42a及第二電極42b將電壓傳遞至壓電件42c，供壓電件42c因壓電效應產生形變，進而改變微機電泵42的內部壓力，以用來輸送流體，微機電泵42的第一電極42a電連接至微處理器3(如第二圖所示)，第二電極42b通過共電極43電連接至微處理器3(如第二圖所示)，其中，微處理器3所輸出的控制訊號包含有一定電壓及一變電壓，於本實施例中，變電壓可為在一第一電壓及一第二電壓間切換之電壓，且該定電壓的電壓值介於第一電壓的電壓值與第二電壓的電壓值之間，而定電壓的電壓值亦可為第一電壓的電壓值及第二電壓的電壓值其中間值±10%，舉例來說，當第一電壓為1.5V，第二電壓為-1.5V時，定電壓為0V，第一電壓為3V，第二電壓為0V時，定電壓為1.5V，使得微機電泵42的第二電極42b接受固定電壓，第一電極42a接受持續變化的第一電壓與第二電壓，令壓電件42c會因第一電極42a與第二電極42b之間持續改變的電壓差產生形變，用以傳輸流體。此外，請繼續參考第8C圖及第8D圖，第8C圖為本案微處理器輸出之控制訊號第二實施例示意圖，第8D圖為本案微處理器輸出之控制訊號第三實施例示意圖，變電壓亦可以是介於第一電壓與第二電壓之間連續變化之電壓，控制訊號除了第一實施例的方波外，亦可使用三角波(圖8C)及正弦波(圖8D)。

綜上所述，本案提供一種微機電泵模組，讓微處理器經由共電極將定電壓傳遞至微機電泵的第二電極，再傳輸變電壓至微機電泵的第一電極，僅需調變第一電極上的電壓，便可改變第一電極與第二電極之間的電壓差，成功驅動微機電泵的壓電件，使其作動來傳輸流體，透過共電極的設置可大幅減少微處理器的接腳，降低微處理器的成本的情況下，仍可有效地控制複數個微機電泵。

本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

100:微機電泵模組

3:微處理器

4:微機電晶片

41:晶片本體

42:微機電泵

42a:第一電極

42b:第二電極

43:共電極

43a:第一共電極

Claims (13)

1. 一種微機電泵模組，包含：一微處理器，輸出一定電壓及一變電壓；一微機電晶片，電連接該微處理器，該微機電晶片包含：一晶片本體；複數個微機電泵，設置於該晶片本體，且分別具有一第一電極及一第二電極；以及至少一共電極，設置於該晶片本體且電連接該些微機電泵的該第二電極；其中，該第一電極、該第二電極、以及該共電極的線路並未彼此重疊或交叉，該微處理器分別電連接該些微機電泵的該第一電極及該至少一共電極，以傳輸該定電壓至該至少一共電極以及傳輸該變電壓至該些微機電泵之該第一電極。
2. 如申請專利範圍第1項所述之微機電泵模組，其中該至少一共電極包含一第一共電極。
3. 如申請專利範圍第2項所述之微機電泵模組，其中該些微機電泵的第二電極電連接該第一共電極。
4. 如申請專利範圍第2項所述之微機電泵模組，其中該至少一共電極更包含一第二共電極。
5. 如申請專利範圍第4項所述之微機電泵模組，其中該些微機電泵可區分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該些第二電極電連接該第一共電極，該第二微機電泵群組的該些第二電極電連接該第二共電極。
6. 如申請專利範圍第4項所述之微機電泵模組，其中該些微機電泵的第二電極電連接該第一共電極與該第二共電極。
7. 如申請專利範圍第4項所述之微機電泵模組，其中該至少一共電極更包含一第三共電極及一第四共電極。
8. 如申請專利範圍第7項所述之微機電泵模組，其中該些微機電泵可區分為一第一微機電泵群組、一第二微機電泵群組、一第三微機電泵群組及一第四微機電泵群組，該第一微機電泵群組之該些第二電極電連接該第一共電極，該第二微機電泵群組之該些第二電極電連接該第二共電極，該第三微機電泵群組之該些第二電極電連接該第三共電極，該第四微機電泵群組之該些第二電極電連接該第四共電極。
9. 如申請專利範圍第7項所述之微機電泵模組，其中該些微機電泵可區分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該些第二電極電連接該第一共電極與該第二共電極，該第二微機電泵群組的該些第二電極電連接該第三共電極與該第四共電極。
10. 如申請專利範圍第7項所述之微機電泵模組，其中該些微機電泵的該第二電極電連接該第一共電極、該第二共電極、該第三共電極及該第四共電極。
11. 如申請專利範圍第1項所述之微機電泵模組，其中該變電壓包含有一第一電壓及一第二電壓，該定電壓的電壓值介於該第一電壓及該第二電壓之間。
12. 如申請專利範圍第11項所述之微機電泵模組，其中該定電壓的電壓值為該第一電壓的電壓值及該第二電壓的電壓值其中間值±10%。
13. 如申請專利範圍第11項所述之微機電泵模組，其中該定電壓的電壓值為該第一電壓的電壓值及該第二電壓的電壓值其中間值。

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