JP7367396B2 - 圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの平面図である。図2は、図1のA-A′線断面図である。図3は、圧電アクチュエーターの要部を拡大した平面図である。図4は、図3のB-B′線断面図である。
第2部分912は、1つの個別リード電極91に対して2つ設けられたものであり、一端部が第1部分911の他端部に接続されている。また、2つの第2部分912の他端部のそれぞれは、保護膜200に設けられたコンタクトホール201を介して第2電極80と接続されている。すなわち、本実施形態の個別リード電極91は、1本の配線が途中で2本に分岐されることで、配線基板が接続される1つの端部と、第2電極80に接続される2つの端部と、を具備する。本実施形態では、個別リード電極91と第2電極80とが接続された部分を接続部912aと称する。つまり、本実施形態では、1つの能動部310の個別電極である第2電極80に対して2つの接続部912aが設けられている。なお、接続部912aが2つ設けられているとは、各接続部912aが互いに連続することなく独立して、つまり一定の距離を離間して設けられていることを言う。
図5は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧電アクチュエーターの上面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図6は、本発明の実施形態3に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧電アクチュエーターの上面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
また、本実施形態の圧電アクチュエーター300では、第1電極60と圧電体層70と第2電極80との積層方向であるZ方向からの平面視において、1つの個別電極である第2電極80と複数の引き出し配線である個別リード電極91とを接続する複数の接続部912aは、中央部A上の点Dを点対称とする位置に配置されていることが好ましい。複数の接続部912aを点対象となる遠い位置に配置することで、遠い位置で発生し易い電圧降下を抑制して、電界強度の分布に偏りが生じるのを抑制して、焼損やクラックの発生を抑制することができる。
図7は、本発明の実施形態4に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧電アクチュエーターの上面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (15)
- 振動板と、前記振動板上に設けられた第1電極と、前記第1電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2電極と、を具備し、
前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極とで挟まれた能動部を複数有し、
前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方は、前記能動部毎に設けられた個別電極を構成し、
前記第1電極及び前記第2電極の何れか他方は、複数の前記能動部に亘って共通する共通電極を構成し、
1つの前記個別電極に引き出し配線が複数接続されており、
前記引き出し配線は、第1部分と、前記第1部分に接続されるとともに前記第1部分から分岐する複数の第2部分と、を具備し、
前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極との積層方向からの平面視において、1つの前記個別電極と前記引き出し配線の前記複数の第2部分のそれぞれとが接続された複数の接続部は、前記振動板のうち前記能動部に囲まれた中央部を挟んだ位置に配置されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 前記中央部には、前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方又は両方が設けられていないことを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエーター。
- 前記中央部には、前記圧電体層が設けられていないことを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエーター。
- 前記平面視において、前記複数の接続部は、前記能動部の長手方向にずれて設けられていることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記平面視において、前記複数の接続部は、前記能動部の短手方向にずれて設けられていることを特徴とする請求項1~4の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記平面視において、前記複数の接続部は、前記中央部上の点を点対称とする位置に配置されていることを特徴とする請求項1~5の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記複数の接続部は、前記能動部の長手方向の一方のみに設けられていることを特徴とする請求項1~3、及び、請求項4を引用しない請求項5の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記複数の第2部分は、同じ長さを有することを特徴とする請求項1~3、請求項4を引用しない請求項5、及び、請求項7の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記個別電極の膜厚が100nm以下であることを特徴とする請求項1~8の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記個別電極の材料が、Pt、Ir及びAuからなる群から選択される少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1~9の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記引き出し配線の材料が、Pt、Ir、Au、ITO、Cu、Al、Al-Cu、Al-Ndからなる群から選択される少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1~10の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。
- 請求項1~11の何れか一項に記載の圧電アクチュエーターを具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 複数の圧力室が設けられた流路形成基板と、
振動板と、前記振動板上に設けられた第1電極と、前記第1電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2電極と、を具備する圧電アクチュエーターと、
を具備し、
前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極とで挟まれた能動部を複数有し、
前記第1電極及び前記第2電極の何れか一方は、前記能動部毎に設けられた個別電極を構成し、
前記第1電極及び前記第2電極の何れか他方は、複数の前記能動部に亘って共通する共通電極を構成し、
1つの前記個別電極に引き出し配線が複数接続され、
前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極との積層方向からの平面視において、前記振動板のうち前記圧力室に対向する可動領域の中央部には、前記能動部が設けられておらず、
前記中央部には、前記圧電体層が設けられていないことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記平面視において、1つの前記個別電極と前記引き出し配線とを接続する複数の接続部は、前記中央部を挟んだ位置に配置されていることを特徴とする請求項13に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項12~14の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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