JP5637286B2 - アクチュエーター装置 - Google Patents
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Description
かかる態様では、圧電素子の活性部と非活性部との境界に亘って開口部群を設けることで、境界における圧電体層の単位面積当たりの第1電極の電界を印加する面積を減少させることができ、活性部と非活性部との境界への応力集中を低減して、圧電素子の破壊を抑制することができる。
かかる態様では、信頼性及び耐久性を向上した液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2(a)は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図2(b)は、図2(a)のX−X′線断面図である。
図3及び図4に示すように、圧電素子300を構成する第1電極60は、各圧力発生室12に対応して独立して設けられている。ここで、第1電極60が各圧力発生室12に対応して独立して設けられているとは、第1電極60が圧力発生室12の並設方向において不連続となるように切り分けられていることを言う。本実施形態では、第1電極60を圧力発生室12の短手方向の幅(圧力発生室12の並設方向における幅)よりも幅狭に設けることで、第1電極60を各圧力発生室12に対応して独立して設けるようにした。
図5は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図7は、本発明の実施形態3に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図8は、本発明の実施形態4に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1〜4では、第1電極60〜60Cの連通部13とは反対側の活性部320の端部にも、開口部群62〜62Cを設けるようにしたが、この部分は、第1電極60〜60Cの延設部65が圧力発生室12の外側に至るまで設けられているため、圧力発生室12に相対向する領域内での第1電極60〜60Cの存在の有無による剛性の変化が少ない。したがって、開口部群62〜62Cは、少なくとも延設部65とは反対側の端部に設けていればよく、延設部65側に開口部群62〜62Cを設けないようにしてもよい。勿論、延設部65側の開口部群62〜62Cは、それとは反対側であるインク供給路14側の開口部群62〜62Cとは異なる組み合わせとしてもよい。
Claims (7)
- 第1電極と、前記第1電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第2電極と、を有する圧電素子を具備するアクチュエーター装置であって、
前記第1電極は、所定幅で長手方向に形成され、
前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極とで挟持された活性部と、前記第1電極と前記第2電極の少なくとも一方が設けられていない非活性部とを備え、
前記活性部は、前記長手方向において2つの前記非活性部の間に位置し、
前記第1電極には、少なくとも1つの開口部で構成される開口部群が設けられ、
前記開口部群は、前記活性部と前記非活性部との境界の少なくとも一方に、前記活性部と前記非活性部とに亘って設けられていることを特徴とするアクチュエーター装置。 - 前記開口部群は、前記第1電極の表面の単位面積に対する開口率が、前記活性部から前記非活性部側に向かって徐々に大きくなるように設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエーター装置。
- 前記開口部群は、複数の開口部によって構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエーター装置。
- 前記長手方向において、前記第1電極が延設された延設部が設けられており、前記開口部群は、前記活性部と前記非活性部との境界の少なくとも前記延設部とは反対側に設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のアクチュエーター装置。
- 前記開口部は、前記活性部と非活性部との境界の前記延設部側に設けられていることを特徴とする請求項4に記載のアクチュエーター装置。
- 前記開口部は、前記活性部となる領域において、長手方向に対称となるように設けられていることを特徴とする請求項5に記載のアクチュエーター装置。
- 前記延設部の前記開口部によって、前記第1電極の中央側よりも幅が狭くなった領域は、前記中央側に比べて厚さが厚いことを特徴とする請求項4〜6の何れか一項に記載のアクチュエーター装置。
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