JP5382324B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
前記圧電素子は、前記流路形成基板側から第1共通電極、第1圧電体層、個別電極、第2圧電体層、及び第2共通電極が順に積層されてなり、前記第1圧電体層及び前記第2圧電体層の厚さは、いずれも1μm以下であり、前記個別電極は、圧力発生室に対応するように設けられ且つ前記第2圧電体層により覆われており、前記第2共通電極は、前記第2圧電体層を覆うと共に、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第1の態様では、圧電体層が、第1圧電体層及び第2圧電体層の二層で構成されていることにより、変位特性が向上する。さらに、薄膜プロセスにより圧電体層を形成することで、圧電素子の変位特性がさらに向上したものとなる。また、第2共通電極が、圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていることにより、変位特性を低下させることなく、圧電体層(第1圧電体層及び第2圧電体層)を保護することができ、大気中の水分に起因する圧電素子の破壊を抑制することができる。
また、前記第1共通電極は、前記圧力発生室の短手方向の幅よりも狭い幅で設けられているのが好ましい。これによれば、幅方向両側の腕部の第1共通電極が除去されているので、変位特性がさらに向上する。
前記第1共通電極と前記第2共通電極は、前記圧力発生室の長手方向端部よりも外側で接続されているのが好ましい。これによれば、第1共通電極と第2共通電極との接触面積を十分に確保することができるため圧電体層への電圧印加のばらつきが低減する。
前記第2圧電体層は、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていてもよい。これによれば、個別電極及び第1圧電体層が第2圧電体層により保護されて圧電素子の破壊を抑制することができる。
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
また、上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が並設された流路形成基板と、前記流路形成基板の上方に設けられた圧電素子とを備え、圧電素子の変形によってノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記流路形成基板側から第1共通電極、第1圧電体層、個別電極、第2圧電体層、及び第2共通電極が順に積層されてなり、前記個別電極は、圧力発生室に対応するように設けられ、且つ前記第2圧電体層により覆われており、前記第2共通電極は、前記第2圧電体層を覆うと共に前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図3は、インクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
第1共通電極60は、圧力発生室の短手方向の幅よりも狭い幅で設けられており、圧力発生室12の長手方向一端部(インク供給路14とは反対側)は、圧力発生室12の外側まで延設され、他端部は、圧力発生室12よりも内側に設けられている。また、本実施形態では、第1共通電極60が圧力発生室12の短手方向の幅よりも狭い幅で設けられている、すなわち、圧力発生室12の幅方向両側の腕部の第1共通電極60が除去されているので、振動板が振動しやすく、変位特性が向上する。なお、ここでいう振動板の腕部とは、圧電素子300の端部と、隔壁との間のことを指す。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。
Claims (5)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が並設された流路形成基板と、前記流路形成基板の上方に設けられた圧電素子とを備え、圧電素子の変形によってノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、前記流路形成基板側から第1共通電極、第1圧電体層、個別電極、第2圧電体層、及び第2共通電極が順に積層されてなり、
前記第1圧電体層及び前記第2圧電体層の厚さは、いずれも1μm以下であり、
前記個別電極は、圧力発生室に対応するように設けられ且つ前記第2圧電体層により覆われており、
前記第2共通電極は、前記第2圧電体層を覆うと共に、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記第1共通電極は、前記圧力発生室の短手方向の幅よりも狭い幅で設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1共通電極と前記第2共通電極は、前記圧力発生室の長手方向端部よりも外側で接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第2圧電体層は、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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