JP5790919B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる態様では、活性部と非活性部の境界が、比較的薄い段差部に対向して設けられて適度に固定されることになるので、応力集中による膜剥がれや極端な変形によるクラックの発生が防止される。すなわち、流路形成基板によって完全に固定されて境界部に応力が集中して膜剥がれが生じて焼損することなく、また、完全にフリー状態で過度に変形してクラックが発生することもない。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2(a)は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図2(b)は、図2(a)のX−X′線拡大断面図である。
図3に示すように、圧電素子300を構成する第1電極60は、各圧力発生室12に対応して独立して設けられている。ここで、第1電極60が各圧力発生室12に対応して独立して設けられているとは、第1電極60が圧力発生室12の並設方向において不連続となるように切り分けられていることを言う。本実施形態では、第1電極60を圧力発生室12の並設方向の幅よりも幅狭に設けることで、第1電極60を各圧力発生室12に対応して独立して設けるようにした。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、第1電極60を個別電極、第2電極80を共通電極とする場合を説明したが、逆にしても同様な効果が得られる。
Claims (5)
- ノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられ、圧電体層と、該圧電体層を挟んで該圧電体層に電圧を印加する第1電極および第2電極と、を有する圧電素子と、を具備し、
前記圧力発生室を形成する前記流路形成基板は、前記圧力発生室の端部において、前記流路形成基板の厚さより薄い厚さを有する段差部を前記一方面側に具備し、前記圧電体層の前記第1及び第2電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部と前記第1及び第2電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部との境界が、平面視において、前記段差部とオーバーラップする位置に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧力発生室は前記流路形成基板に複数並設され、前記第1電極が、前記圧力発生室に対応して独立して設けられている個別電極で、前記第2電極が、前記圧力発生室の並設方向に亘って連続して設けられている共通電極であることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1電極が前記圧力発生室の並設方向に交差する方向の平面視における前記圧力発生室を超えて延設され、
前記段差部が、前記圧力発生室の前記第1電極が延設される方向に設けられていることを特徴とする請求項2記載の液体噴射ヘッド。 - 前記段差部の端面が、前記ノズルが設けられたノズルプレートに向かって拡開する傾斜面となっており、前記境界が、平面視において、前記傾斜面を含まない前記段差部にオーバーラップする位置に設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体射装置。
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