JP2013077793A - 電気機械変換素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複合酸化物膜12が形成されている共通電極11上の複合酸化物膜12が形成されていない領域に自己組織化単分子膜13を形成して疎水化し、共通電極11上の自己組織化単分子膜13が形成されていない領域にゾルゲル液14を塗布、仮焼して複合酸化物膜14'を形成し、複合酸化物膜の積層体15を形成し、複合酸化物膜の積層体15が形成された共通電極11を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体15が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極11上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極11を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。
【選択図】図1
Description
ABO3
(式中、Aは、Pb、Ba及びSrからなる群より選択される一種以上であり、Bは、Ti、Zr、Sn、Ni、Zn、Mg及びNbからなる群より選択される一種以上である。)
で表される化合物が挙げられる。中でも、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が好ましい。
厚さが725μmのシリコンウェハ上に、厚さが1μmの熱酸化膜(振動板33)を形成した後、スパッタ法を用いて、厚さが50nmのチタン膜(密着層35)を形成した。次に、スパッタ法を用いて、厚さが200nmの白金膜(共通電極11)を形成した後、ゾルゲル法を用いて、厚さが100nmのPZT膜を形成した。さらに、共通電極11上に、厚さが1.2μmのフォトレジストTSMR8800(東京応化社製)のパターンを形成した後、アルゴンプラズマ処理により、不要なPZT膜をエッチングしてPZT膜(複合酸化物膜12)を形成し、フォトレジストを除去した。
pHが3.3の酢酸水溶液の代わりに、pHが3.8の酢酸水溶液を用いた以外は、実施例1と同様にして、電気機械変換素子を得た。複合酸化物膜の積層体は、比誘電率が983、誘電損失が0.02であった。
pHが3.3の酢酸水溶液の代わりに、pHが3.3の塩酸を用いた以外は、実施例1と同様にして、電気機械変換素子を得た。複合酸化物膜の積層体は、比誘電率が1220、誘電損失が0.03であった。
酸洗浄しなかった以外は、実施例1と同様にして、電気機械変換素子を得た。複合酸化物膜の積層体は、形状精度が低下していたが、比誘電率が1320、誘電損失が0.02であった。
12 複合酸化物膜
13 自己組織化単分子膜
14 ゾルゲル液
14' 複合酸化物膜
15 複合酸化物膜の積層体
30,30' インクジェットヘッド
Claims (11)
- 所定の領域に複合酸化物膜が形成されている電極上の該複合酸化物膜が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させる第一の工程と、
該電極上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域に該複合酸化物を生成することが可能なゾルゲル液を塗布する第二の工程と、
該ゾルゲル液が塗布された電極を仮焼して該複合酸化物を生成させる第三の工程と、
該複合酸化物が生成した電極を酸洗浄する第四の工程と、
該酸洗浄された電極上の該複合酸化物膜が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させる第五の工程と、
該電極上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域に該複合酸化物を生成することが可能なゾルゲル液を塗布する第六の工程と、
該ゾルゲル液が塗布された電極を仮焼して該複合酸化物を生成させる第七の工程を有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 前記第七の工程の後に、前記第四の工程、前記第五の工程、前記第六の工程及び前記第七の工程を繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第四の工程は、ノズルから前記複合酸化物が生成した電極に、酸又は酸の水溶液を噴射する工程を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記酸の水溶液は、25℃におけるpHが2以上5以下であることを特徴とする請求項3に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第一の工程は、ノズルから所定の領域に複合酸化物膜が形成されている電極に、チオール又はチオールの溶液を噴射する工程を含み、
前記第五の工程は、ノズルから前記複合酸化物が生成した電極に、チオール又はチオールの溶液を噴射する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。 - 前記第一の工程及び前記第五の工程は、それぞれ、ノズルから前記チオール又はチオールの溶液が噴射された電極に、超音波が印加されている洗浄液を噴射する工程をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記電極が白金電極であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記複合酸化物がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法により製造されていることを特徴とする電気機械変換素子。
- 請求項9に記載の電気機械変換素子を有することを特徴とする吐出ヘッド。
- 請求項10に記載の吐出ヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
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