JP5682187B2 - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
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ディッピング法を用いて、白金製の下部電極11上に、エタンチオールを塗布してSAM21を形成した(図2(a)参照)。このとき、下部電極11は、スパッタ法により、チタン密着層が形成されているシリコン熱酸化膜付きシリコンウェハの表面に形成されている。
上部電極13を形成する前に、図3(a)、(b)及び(c)のプロセスを6回繰り返して、PZT膜12b上にPZT膜をさらに6層形成し、PZT膜の積層体12を形成した後、急速熱処理装置(IRTA)を用いて、700℃で焼成する操作をさらに4回繰り返した以外は、実施例1と同様にして、圧電素子10を得た。このとき、PZT膜の積層体12の上部電極13の幅方向の端部及び中央部における膜厚T1及びT2は、それぞれ1.08μm及び5.4μmであり、クラック等の欠陥は発生しなかった。
11 下部電極
12 PZT膜の積層体
12a、12b PZT膜
13 上部電極
21 SAM
22 レジスト
23 PZTの前駆体ゾル
31 レジスト
32 電極ペースト
Claims (3)
- 第一の電極上に、チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜の積層体及び第二の電極が順次積層されている圧電素子を製造する方法であって、
第一の電極上にチオールを含む液を塗布して自己組織化膜を形成する工程と、
該自己組織化膜が形成された第一の電極上に、フォトリソグラフィーを用いて、パターン化されているレジストを形成する工程と、
該レジストが形成されていない領域に形成された自己組織化膜を除去して、パターン化されている自己組織化膜を形成する工程と、
前記レジストを除去する工程と、
前記パターン化されている自己組織化膜が形成されていない第一の電極上に、ゾルゲル法を用いて、チタン酸ジルコン酸鉛の前駆体ゾルを塗布した後、焼成して、前記パターン化されている自己組織化膜を除去すると共に、チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜を形成する工程と、
該チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜が形成されていない第一の電極上にチオールを含む液を塗布してパターン化されている自己組織化膜を形成する工程と、
前記チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜上に、ゾルゲル法を用いて、チタン酸ジルコン酸鉛の前駆体ゾルを塗布した後、焼成して、該パターン化されている自己組織化膜を除去すると共に、前記チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜上に、チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜を形成する工程と、
前記チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜の積層体上に前記第二の電極を形成する工程を有し、
前記チタン酸ジルコン酸鉛の前駆体ゾルを塗布する際に、インクジェット法を用いることを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記チタン酸ジルコン酸鉛を含む膜の積層体上に前記第二の電極を形成する際に、インクジェット法を用いて、電極ペーストを塗布することを特徴とする請求項1に記載の圧電素子の製造方法。
- 前記第一の電極及び前記第二の電極は、白金族元素を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電素子の製造方法。
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