JP5974485B2 - 電気機械変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
ABO3
(式中、Aは、Pb、Ba及びSrからなる群より選択される一種以上であり、Bは、Ti、Zr、Sn、Ni、Zn、Mg及びNbからなる群より選択される一種以上である。)
で表される化合物が挙げられる。中でも、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)が好ましい。
厚さが725μmのシリコンウェハ上に、厚さが1μmの熱酸化膜(振動板33)を形成した後、スパッタ法を用いて、厚さが50nmのチタン膜(密着層35)を形成した。次に、スパッタ法を用いて、厚さが200nmの白金膜(共通電極11)を形成した後、ゾルゲル法を用いて、厚さが100nmのPZT膜を形成した。さらに、共通電極11上に、厚さが1.2μmのフォトレジストTSMR8800(東京応化社製)のパターンを形成した後、アルゴンプラズマ処理により、不要なPZT膜をエッチングしてPZT膜(複合酸化物膜12)を形成し、フォトレジストを除去した。
pHが3.3の酢酸水溶液の代わりに、pHが3.8の酢酸水溶液を用いた以外は、実施例1と同様にして、電気機械変換素子を得た。複合酸化物膜の積層体は、比誘電率が983、誘電損失が0.02であった。
pHが3.3の酢酸水溶液の代わりに、pHが3.3の塩酸を用いた以外は、実施例1と同様にして、電気機械変換素子を得た。複合酸化物膜の積層体は、比誘電率が1220、誘電損失が0.03であった。
酸洗浄しなかった以外は、実施例1と同様にして、電気機械変換素子を得た。複合酸化物膜の積層体は、形状精度が低下していたが、比誘電率が1320、誘電損失が0.02であった。
12 複合酸化物膜
13 自己組織化単分子膜
14 ゾルゲル液
14' 複合酸化物膜
15 複合酸化物膜の積層体
30,30' インクジェットヘッド
Claims (9)
- 電極上の所定の領域に複合酸化物膜を形成する複合酸化物膜形成工程と、
該電極上の前記複合酸化物膜形成工程による該複合酸化物膜が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させる疎水化工程と、
該電極上の前記疎水化工程による該自己組織化単分子膜が形成されていない領域に該複合酸化物を生成することが可能なゾルゲル液を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程により該ゾルゲル液が塗布された該電極を仮焼して該複合酸化物を生成させる仮焼工程と、
前記仮焼工程により該複合酸化物が生成した該電極を酸又は酸の水溶液で洗浄する酸洗浄工程と、
前記酸洗浄工程により該酸又は酸の水溶液で洗浄された該電極上の該複合酸化物膜が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させる酸洗浄後疎水化工程と、
該電極上の前記酸洗浄後疎水化工程による該自己組織化単分子膜が形成されていない領域に、該複合酸化物を生成することが可能なゾルゲル液を塗布する酸洗浄後塗布工程と、
前記酸洗浄後塗布工程により該ゾルゲル液が塗布された該電極を仮焼して該複合酸化物を生成させる酸洗浄後仮焼工程を有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 前記酸洗浄後仮焼工程の後に、前記酸洗浄工程、前記酸洗浄後疎水化工程、前記酸洗浄後塗布工程及び前記酸洗浄後仮焼工程を繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記酸洗浄工程は、ノズルから前記複合酸化物が生成した電極に、酸又は酸の水溶液を噴射する工程を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記酸の水溶液は、25℃におけるpHが2以上5以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記疎水化工程は、ノズルから所定の領域に複合酸化物膜が形成されている電極に、チオール又はチオールの溶液を噴射する工程を含み、
前記酸洗浄後疎水化工程は、ノズルから前記複合酸化物が生成した電極に、チオール又はチオールの溶液を噴射する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。 - 前記疎水化工程及び前記酸洗浄後疎水化工程は、それぞれ、ノズルから前記チオール又はチオールの溶液が噴射された電極に、超音波が印加されている洗浄液を噴射する工程をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記電極が白金電極であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記複合酸化物がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電気機械変換素子の製造方法により製造されている電気機械変換素子を用いて吐出ヘッドを製造することを特徴とする吐出ヘッドの製造方法。
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