JP6903865B2 - 電気機械変換素子及びその製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係る電気機械変換素子を例示する断面図である。図1を参照するに、基板10上に振動板20が形成され、振動板20上に密着層25を介して電気機械変換素子30が形成されている。電気機械変換素子30は、下部電極31と、電気機械変換膜32と、上部電極33とを有し、下部電極31の一方の面に電気機械変換膜32及び上部電極33が順次積層されている。なお、下部電極31は本発明に係る第1の電極の代表的な一例であり、上部電極33は本発明に係る第2の電極の代表的な一例である。
(電気機械変換素子30の作製)
図3〜図7に示した工程に基づいて電気機械変換素子30を作製した。具体的には、まず、図3(a)に示す工程では、基板10上に、振動板20、密着層25、及び下部電極31を順次積層した。基板10としてシリコン基板を用い、密着層25にはTiO2、下部電極31にはPtを用いた。
作製した電気機械変換素子30について、電気機械変換膜32及び上部電極33の表面を表面粗さ計で測定した。但し、電気機械変換膜32及び上部電極33の表面の形状は、走査型白色干渉顕微鏡等の非接触式の三次元形状測定装置で行ってもよい。
実施例1と同様にして電気機械変換素子30を作製し、電気特性の評価を行った。電気特性を評価した結果、電気機械変換膜32(PZT膜)の比誘電率は1220、誘電損失は0.02、残留分極は19.3μC/cm2、抗電界は36.5kV/cmであり、通常のセラミック焼結体と同等の特性であった。評価の際に得られたP−Eヒステリシス曲線を図13に示す。
基板10としてシリコン基板に代えて厚さ50μmのステンレス基板を用いた以外は実施例1と同様にして電気機械変換素子30を作製し、電気特性の評価を行った。シリコン基板の場合には基板の大きさに制約を受けるが、ステンレス基板の場合は大きさの制約はあまり受けないので、下部電極31となる白金のスパッタが可能な装置があれば1辺が1メートル程度の四角い基板を用いることができる。ステンレス基板を用いた電気機械変換素子30において、電気特性を評価した結果、シリコン基板と同等の性能が得られた。
(電気機械変換素子30の作製)
図3〜図7に示した工程に基づいて電気機械変換素子30を作製した。具体的には、まず、実施例1と同様にして、図3(a)〜図4(b)に示す工程を実施した。但し、図4(b)に示す工程で用いたPZT前駆体溶液のPZT濃度は、約0.5モル(mol)/リットルにした。
作製した各電気機械変換素子30において、電気機械変換膜32の幅Wpと断面形状イメージとの関係を図14に示した。図14に示すように、電気機械変換膜32の最大高さTpを5μm以上とした場合、幅Wpが20μm以上500μm以下のときに成膜良否判定がOKとなり、膜厚分布形状が上部電極33側に凸形状である理想的な断面形状となった。
第2の実施の形態では、電気機械変換素子30を用いた液体吐出ヘッドの例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第3の実施の形態では、液体吐出ヘッド2(図16参照)を備えた液体を吐出する装置の例を示す。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するもの等を意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布等の被記録媒体、電子基板、圧電素子等の電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セル等の媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
10 基板
20 振動板
25 密着層
30 電気機械変換素子
31 下部電極
32 電気機械変換膜
33 上部電極
35 吐出駆動手段
41 絶縁膜
42 配線
50 ノズル板
51 ノズル
90、95 SAM膜
91、92 フォトレジスト層
320 PZT塗布膜
320A PZT膜
330 上部電極塗布膜
401 ガイド部材
403 キャリッジ
405 主走査モータ
406 駆動プーリ
407 従動プーリ
408 タイミングベルト
410 用紙
412 搬送ベルト
413 搬送ローラ
414 テンションローラ
416 副走査モータ
417 タイミングベルト
418 タイミングプーリ
420 維持回復機構
421 キャップ部材
422 ワイパ部材
440 液体吐出ユニット
441 ヘッドタンク
442 カバー
443 コネクタ
444 流路部品
450 液体カートリッジ
451 カートリッジホルダ
452 送液ユニット
456 チューブ
491A、491B 側板
491C 背板
493 主走査移動機構
494 供給機構
495 搬送機構
Claims (9)
- 第1の電極の一方の面に電気機械変換膜及び第2の電極が順次積層され、前記第2の電極上に配線が形成される電気機械変換素子であって、
少なくとも1つの断面において、前記電気機械変換膜の前記第2の電極側の辺及び前記第2の電極の前記電気機械変換膜側とは反対側の辺は凸型の曲線形状であり、
前記電気機械変換膜及び前記第2の電極は、最大高さ部から端部に向けて徐々に膜厚が薄くなり、
前記断面において、前記電気機械変換膜の前記第2の電極側の辺が式1:y=−ax2+bで近似され、
前記aは、前記断面における前記電気機械変換膜の端部からの前記電気機械変換膜の最大高さをTpとすると、0.8×{(4Tp)/Wp2}<a<1.2×{(4Tp)/Wp2}の関係を満たし、
前記bは、前記断面における前記電気機械変換膜の端部からの前記電気機械変換膜の最大高さをTpとすると、0.8Tp<b<1.2Tpの関係を満たし、
前記断面において、前記第2の電極の前記電気機械変換膜側とは反対側の辺が式2:y=−cx 2 +dで近似され、
前記cは、前記断面における前記第2の電極の幅をWe、前記断面における前記第2の電極の端部からの前記第2の電極の最大高さをTe、とすると、0.8×{(4Te)/We 2 }<c<1.2×{(4Te)/We 2 }の関係を満たし、
前記dは、前記断面における前記第2の電極の幅をWe、前記電気機械変換膜の端部からの前記第2の電極の最大高さをTmとすると、0.8{Tm−(4Tp 2 /We 2 )×We 2 +Tp}<d<1.2{Tm−(4Tp 2 /We 2 )×We 2 +Tp}の関係を満たすことを特徴とする電気機械変換素子。
但し、前記式1において、xは前記断面における前記電気機械変換膜の幅Wpの中央を0としたときの前記膜厚方向に垂直な方向の座標位置を表し、
前記式1において、yは、xにおける前記電気機械変換膜の端部からの高さを表す。
また、前記式2において、xは前記断面における前記電気機械変換膜の幅Wpの中央を0としたときの前記膜厚方向に垂直な方向の座標位置を表し、
前記式2において、yは、xにおける前記第2の電極の端部からの高さを表す。 - 前記断面における前記電気機械変換膜の端部からの前記電気機械変換膜の最大高さTpが5μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換素子。
- 前記幅Wpが20μm以上500μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換素子。
- 前記第2の電極は、前記電気機械変換膜の外周部を除く領域に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の電気機械変換素子。
- 液体を吐出するノズルと、前記ノズルが連通する圧力室と、前記圧力室内の液体を昇圧させる吐出駆動手段と、を備え、
前記吐出駆動手段は、前記圧力室の壁の一部を構成する振動板と、前記振動板上に形成された請求項1乃至4の何れか一項に記載の電気機械変換素子と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 請求項5に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
- 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくとも何れか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化したことを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ユニット。
- 請求項5に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項6若しくは7に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
- 第1の電極の一方の面に電気機械変換膜及び第2の電極が順次積層され、前記第2の電極上に配線が形成される電気機械変換素子の製造方法であって、
前記第1の電極の一方の面にインクジェット法により第1の液体を塗布して第1の塗布膜を形成する工程、及び前記第1の塗布膜を加熱する工程、を繰り返し、前記第1の塗布膜が結晶化した前記電気機械変換膜を形成する工程と、
前記電気機械変換膜の一方の面にインクジェット法により第2の液体を塗布して第2の塗布膜を形成する工程と、
前記第2の塗布膜を加熱して前記第2の電極を形成する工程と、を有し、
少なくとも1つの断面において、前記電気機械変換膜の前記第2の電極側の辺及び前記第2の電極の前記電気機械変換膜側とは反対側の辺は凸型の曲線形状となり、
前記電気機械変換膜及び前記第2の電極は、最大高さ部から端部に向けて徐々に膜厚が薄くなり、
前記第2の塗布膜を形成する工程では、前記電気機械変換膜の一方の面の外周部を除く領域に前記第2の塗布膜を形成し、
前記第2の塗布膜を形成する工程よりも前に、
前記電気機械変換膜の一方の面にSAM膜を形成する工程と、
前記電気機械変換膜の一方の面の外周部に前記SAM膜を残存させ、前記電気機械変換膜の一方の面の外周部を除く領域の前記SAM膜を除去する工程と、を有し、
前記断面において、前記電気機械変換膜の前記第2の電極側の辺が式1:y=−ax2+bで近似され、
前記aは、前記断面における前記電気機械変換膜の端部からの前記電気機械変換膜の最大高さをTpとすると、0.8×{(4Tp)/Wp2}<a<1.2×{(4Tp)/Wp2}の関係を満たし、
前記bは、前記断面における前記電気機械変換膜の端部からの前記電気機械変換膜の最大高さをTpとすると、0.8Tp<b<1.2Tpの関係を満たし、
前記断面において、前記第2の電極の前記電気機械変換膜側とは反対側の辺が式2:y=−cx 2 +dで近似され、
前記cは、前記断面における前記第2の電極の幅をWe、前記断面における前記第2の電極の端部からの前記第2の電極の最大高さをTe、とすると、0.8×{(4Te)/We 2 }<c<1.2×{(4Te)/We 2 }の関係を満たし、
前記dは、前記断面における前記第2の電極の幅をWe、前記電気機械変換膜の端部からの前記第2の電極の最大高さをTmとすると、0.8{Tm−(4Tp 2 /We 2 )×We 2 +Tp}<d<1.2{Tm−(4Tp 2 /We 2 )×We 2 +Tp}の関係を満たすことを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。
但し、前記式1において、xは前記断面における前記電気機械変換膜の幅Wpの中央を0としたときの前記膜厚方向に垂直な方向の座標位置を表し、
前記式1において、yは、xにおける前記電気機械変換膜の端部からの高さを表す。
また、前記式2において、xは前記断面における前記電気機械変換膜の幅Wpの中央を0としたときの前記膜厚方向に垂直な方向の座標位置を表し、
前記式2において、yは、xにおける前記第2の電極の端部からの高さを表す。
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