JP2023132489A - 圧電デバイス、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエーターの焼損や活性部の駆動不良を抑制した圧電デバイス、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。【解決手段】複数の凹部１２を有する基板１０と、前記基板１０の一方面側に設けられる振動板５０と、前記振動板５０側から第１電極６０、圧電体層７０および第２電極８０が積層される圧電アクチュエーター３００と、を具備し、前記圧電アクチュエーター３００は、前記第１電極６０と前記第２電極８０とで前記圧電体層７０が挟まれる活性部３１０を複数有し、前記第１電極６０は前記活性部３１０の各々に独立する個別電極を構成し、前記第２電極８０は複数の前記活性部３１０に共通する共通電極を構成し、前記第２電極８０は、基準となる第１端部８３と、前記活性部３１０の端部から前記第１電極６０と電気的に接続する接続電極８２に向かって前記第１端部８３よりも突出する凸部８４と、を有する。【選択図】図５

Description

本発明は、基板と振動板と圧電アクチュエーターとを有する圧電デバイス、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。

電子デバイスの一つである液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドは、ノズルに連通する圧力室が複数設けられた基板と、基板上に設けられた振動板と、振動板上に設けられた第１電極、圧電体層および第２電極を有する圧電アクチュエーターと、を具備する。このようなインクジェット式記録ヘッドの圧電アクチュエーターは、第１電極と第２電極とで圧電体層を挟んだ活性部を複数有し、第１電極を活性部の各々に独立した個別電極とし、第２電極を複数の活性部に共通した共通電極としたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１５－１６６１６０号公報

しかしながら、活性部を繰り返し駆動することで、活性部の端部に応力集中が生じ、応力集中によって圧電体層にクラックが生じ、クラックに沿って電流のリークが生じることで焼損や活性部の駆動不良が生じ易いという問題がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドだけではなく、圧電デバイスにおいても同様に存在する。

上記課題を解決する本発明の態様は、複数の凹部を有する基板と、前記基板の一方面側に設けられる振動板と、前記振動板側から第１電極、圧電体層および第２電極が積層される圧電アクチュエーターと、を具備し、前記圧電アクチュエーターは、前記第１電極と前記第２電極とで前記圧電体層が挟まれる活性部を複数有し、前記第１電極は前記活性部の各々に独立する個別電極を構成し、前記第２電極は複数の前記活性部に共通する共通電極を構成し、前記第２電極は、基準となる第１端部と、前記活性部の端部から前記第１電極と電気的に接続する接続電極に向かって前記第１端部よりも突出する凸部と、を有することを特徴とする圧電デバイスにある。

また、本発明の他の態様は、液体を噴射するノズルに連通する圧力室が複数形成される基板と、前記基板の一方面側に設けられる振動板と、前記振動板側から第１電極、圧電体層および第２電極が積層される圧電アクチュエーターと、を具備し、前記圧電アクチュエーターは、前記第１電極と前記第２電極とで前記圧電体層が挟まれる活性部を複数有し、前記第１電極は前記活性部の各々に独立する個別電極を構成し、前記第２電極は複数の前記活性部に共通する共通電極を構成し、前記第２電極は、基準となる第１端部と、前記活性部の端部から前記第１電極と電気的に接続する接続電極に向かって前記第１端部よりも突出する凸部と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの流路形成基板の平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図および要部断面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの要部平面図および要部断面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの変形例の要部平面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの変形例の要部平面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの変形例の要部平面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。また、正方向および負方向を限定しない３つのＸ、Ｙ、Ｚの空間軸については、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として説明する。

（実施形態１）
図１は、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１の分解斜視図である。図２は、記録ヘッド１の流路形成基板１０の平面図である。図３は、図２のＡ－Ａ′線に準じた記録ヘッド１の断面図である。図４は、図２のＢ－Ｂ′線に準じた記録ヘッド１の断面図である。図５は、図２の要部を拡大した平面図およびその断面図である。

図示するように、本実施形態の記録ヘッド１は、「基板」の一例として流路形成基板１０を具備する。流路形成基板１０は、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板からなる。

流路形成基板１０には、複数の圧力室１２が第１方向である＋Ｘ方向に沿って並んで配置された列が、＋Ｙ方向に２列設けられている。圧力室１２の列を構成する複数の圧力室１２は、＋Ｙ方向の位置が同じ位置となるように、＋Ｘ方向に沿った直線上に配置されている。また、＋Ｘ方向で互いに隣り合う圧力室１２は、隔壁１１によって区画されている。もちろん、圧力室１２の配置は特にこれに限定されず、例えば、＋Ｘ方向に並んで配置された圧力室１２において、１つ置きに＋Ｙ方向にずれた位置に配置した、所謂、千鳥配置としてもよい。

また、本実施形態の圧力室１２は、＋Ｚ方向に見て矩形状を有する。もちろん、圧力室１２を＋Ｚ方向に見た形状は、矩形状に限定されず、平行四辺形状、長方形状を基本として長手方向の両端部を半円形状とした、いわゆる、角丸長方形状や楕円形状や卵形状などのオーバル形状や、円形状、多角形状等であってもよい。この圧力室１２が、「基板」に設けられた「凹部」に相当する。

流路形成基板１０の＋Ｚ方向側には、連通板１５とノズルプレート２０とが順次積層されている。

連通板１５は、板状部材からなり、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が＋Ｚ方向に貫通して設けられている。

また、連通板１５には、複数の圧力室１２が共通して連通する共通液室となるマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８とが設けられている。第１マニホールド部１７は、連通板１５を＋Ｚ方向に貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を＋Ｚ方向に貫通することなく、＋Ｚ方向側の面に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力室１２のＹ軸の端部に連通する供給連通路１９が圧力室１２の各々に独立して設けられている。供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力室１２とを連通して、マニホールド１００内のインクを圧力室１２に供給する。

このような連通板１５としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、ステンレス基板等の金属基板などを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このように流路形成基板１０と連通板１５とを熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱により反りが発生するのを低減することができる。

ノズルプレート２０は、板状部材からなり、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ方向側の面に設けられている。

ノズルプレート２０には、各圧力室１２にノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。本実施形態では、複数のノズル２１は、＋Ｘ方向に沿って一列となるように並んで配置されたノズル列が＋Ｙ方向に離れて２列設けられている。すなわち、各列の複数のノズル２１は、＋Ｙ方向の位置が同じ位置となるように配置されている。もちろん、ノズル２１の配置は特にこれに限定されず、例えば、＋Ｘ方向に並んで配置されたノズル２１において、１つ置きに＋Ｙ方向にずれた位置に配置した、所謂、千鳥配置としてもよい。このようなノズルプレート２０としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、ステンレス基板等の金属基板、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることができる。なお、ノズルプレート２０は、連通板１５の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このようにノズルプレート２０と連通板１５とは、熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱により反りが発生するのを低減することができる。

流路形成基板１０の－Ｚ方向側には、振動板５０と圧電アクチュエーター３００とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０、振動板５０および圧電アクチュエーター３００とは、この順に－Ｚ方向に積層されている。

振動板５０は、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を有する。なお、流路形成基板１０に設けられた圧力室１２等の流路は、流路形成基板１０を＋Ｚ方向側の面から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室１２の－Ｚ方向の面は、弾性膜５１によって画成されている。また、振動板５０は、上述したものに限定されず、例えば、弾性膜５１のみで構成されていてもよく、絶縁体膜５２のみで構成されていてもよい。また、振動板５０は、弾性膜５１および絶縁体膜５２に加えて他の膜を有するものであってもよい。また、振動板５０の材料は上述したものに限定されるものではない。

圧電アクチュエーター３００は、振動板５０の－Ｚ方向側に設けられたものであり、振動板５０側から－Ｚ方向に向かって順次積層された第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを具備する。圧電アクチュエーター３００が、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。このような圧電アクチュエーター３００は、圧電素子とも言い、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを含む部分を言う。また、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を活性部３１０と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部と称する。すなわち、活性部３１０は、圧電体層７０が第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた部分を言う。本実施形態では、凹部である圧力室１２毎に活性部３１０が形成されている。つまり、圧電アクチュエーター３００には複数の活性部３１０が形成されていることになる。また、本実施形態では、圧力室１２に合わせて活性部３１０が＋Ｘ方向に並設された列が、＋Ｙ方向に２列設けられている。そして、本実施形態では、第１電極６０は活性部３１０毎に独立する個別電極を構成し、第２電極８０は複数の活性部３１０に共通する共通電極として構成している。また、圧電アクチュエーター３００のうち、圧力室１２にＺ軸に沿った方向で対向する部分が可撓部となり、圧力室１２にＺ軸に沿った方向で対向しない外側の部分が非可撓部となる。

第１電極６０は、図２および図４に示すように、圧力室１２毎に切り分けられて活性部３１０毎に独立する個別電極を構成する。第１電極６０は、＋Ｘ方向において、圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、＋Ｘ方向において、第１電極６０の端部は、圧力室１２に対向する領域の内側に位置している。また、図３に示すように、Ｙ軸において第１電極６０のノズル２１側の一端部は、圧力室１２よりも外側に配置されている。この第１電極６０のＹ軸において圧力室１２よりも外側に配置された端部に、引き出し配線である個別リード電極９１が接続されている。

圧電体層７０は、図２、図３および図４に示すように、＋Ｙ方向の幅が所定の幅で、＋Ｘ方向に亘って連続して設けられている。圧電体層７０の＋Ｙ方向の幅は、圧力室１２の長手方向である＋Ｙ方向の長さよりも長い。このため、圧力室１２の＋Ｙ方向および－Ｙ方向の両側では、圧電体層７０は、圧力室１２に対向する領域の外側まで延設されている。このような圧電体層７０のＹ軸においてノズル２１とは反対側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０のノズル２１とは反対側の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側に位置しており、第１電極６０のノズル２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。なお、第１電極６０の圧電体層７０に覆われていないノズル２１側の端部には、上述したように金（Ａｕ）等からなる個別リード電極９１が接続されている。

また、圧電体層７０には、各隔壁１１に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の＋Ｘ方向の幅は、隔壁１１の幅と同一、もしくは、それより広くなっている。本実施形態では、凹部７１の＋Ｘ方向の幅は、隔壁１１の幅よりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力室１２の＋Ｘ方向および－Ｘ方向の両端部に対向する部分、所謂、振動板５０の腕部の剛性が抑えられるため、圧電アクチュエーター３００の変位効率を向上することができる。なお、凹部７１は、圧電体層７０を厚さ方向である＋Ｚ方向に貫通して設けられていてもよく、また、圧電体層７０を＋Ｚ方向に貫通することなく、圧電体層７０の厚さ方向の途中まで設けられていてもよい。すなわち、凹部７１の＋Ｚ方向の底面には、圧電体層７０が完全に除去されていてもよく、圧電体層７０の一部が残留していてもよい。

このような圧電体層７０は、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト構造の複合酸化物からなる圧電材料を用いて構成されている。本実施形態では、圧電材料としてチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ；Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）を用いている。ＰＺＴを圧電材料に用いることで、圧電定数ｄ３１が比較的大きな圧電体層７０が得られる。なお、圧電体層７０に用いる圧電材料は、Ｐｂの含有量を抑えた材料、いわゆる低鉛系材料、またはＰｂを使用しない材料、いわゆる非鉛系材料であってもよい。圧電材料として低鉛系材料を使用すればＰｂの使用量を低減することができる。また、圧電材料として非鉛系材料を使用すれば、Ｐｂを使用せずに済む。よって、圧電材料として低鉛系材料や非鉛系材料の使用により、環境負荷を低減することができる。

第２電極８０は、図２～図５に示すように、圧電体層７０の第１電極６０とは反対側である－Ｚ方向側に設けられており、複数の活性部３１０に共通する共通電極を構成する。第２電極８０は、圧電体層７０の－Ｚ方向側のＸ軸とＹ軸とで規定されるＸＹ平面に沿った面と、圧電体層７０の側面上、つまり、前述のＸＹ平面に交差する面上と、圧電体層７０によって覆われていない第１電極６０上と、に亘って設けられている。また、第２電極８０は、圧電体層７０上で第２電極８０を厚さ方向であるＺ軸に亘って貫通する除去部８１を有する。除去部８１は、圧電体層７０上のノズル２１側に、Ｘ軸に亘って連続して設けられており、第２電極８０のＹ軸において第１電極６０上に設けられた部分と、これとは反対側の部分とを電気的に切断する。以降、除去部８１によって第１電極６０上に設けられた部分とは切断された部分を第２電極８０と称する。また、この第２電極８０と同一層からなるが、圧電体層７０に覆われていない第１電極６０上から圧電体層７０の－Ｚ方向の面上まで設けられて、除去部８１によって第２電極８０とは電気的に切断された部分を第３電極８２と称する。本実施形態では、この第３電極８２が第１電極６０に電気的に接続された「接続電極」に相当する。なお、本実施形態では、第２電極８０と第３電極８２とを同一層で形成するようにしたが、特にこれに限定されず、第２電極８０と第３電極８２とは、異なる層であってもよい。ここで、第２電極８０と第３電極８２とが異なる層であるとは、両者が同じ材料で異なるタイミングで形成された層であることも、また、異なる材料で異なるタイミングで形成された層であることも含む。

また、第１電極６０と接続された第３電極８２は、図５に示すように、第１電極６０のそれぞれに対応して切り分けられて設けられている。つまり、第３電極８２は、＋Ｘ方向に亘って連続して設けられておらず、＋Ｘ方向に沿って一定の間隔で複数並設されている。これにより、複数の第１電極６０同士が第３電極８２を介して電気的に導通しないようになっている。具体的には、本実施形態の除去部８１は、第１除去部８１ａと第２除去部８１ｂとを有する。第１除去部８１ａは、圧電体層７０の－Ｚ方向の面上において、＋Ｘ方向に亘って連続して設けられている。また、第１除去部８１ａは、Ｙ軸において圧電体層７０のノズル２１側の端部側に、当該端部とは若干離れた位置に配置されている。この第１除去部８１ａによって第１電極６０上の第３電極８２と第２電極８０とが分断され、第１電極６０と第２電極８０とが互いに電気的に導通しないようになっている。

第２除去部８１ｂは、圧電体層７０の－Ｚ方向の面上において、＋Ｘ方向において互いに隣り合う第１電極６０の間に配置され、一端が第１除去部８１ａに接続されると共に他端部が圧電体層７０のＹ軸に沿った方向の端部に至るまでＹ軸に沿って設けられている。この第２除去部８１ｂは、＋Ｘ方向に沿って一定の間隔で複数配置されている。この第２除去部８１ｂによって第３電極８２を第１電極６０毎に分割することで、複数の第１電極６０同士が互いに電気的に導通しないようになっている。つまり、除去部８１は、第１除去部８１ａと第２除去部８１ｂとによって＋Ｚ方向に見て略櫛歯状となるように設けられている。

活性部３１０のＹ軸におけるノズル２１側の端部は、第２電極８０の第１除去部８１ａによって形成された端部によって規定されている。つまり、第１電極６０は、第２電極８０の除去部８１側の端部を跨がってＹ軸に沿って設けられており、活性部３１０のノズル２１側の端部は、第２電極８０の第１除去部８１ａ側の端部によって規定されている。

ここで、第２電極８０は、第１除去部８１ａによって形成された基準となる第１端部８３と、第１端部８３よりも第３電極８２に向かって突出する凸部８４と、を有する。

第１端部８３は、Ｘ軸に沿った直線状に形成されている。また、第１端部８３は、主に非能動部の端部となっている。

凸部８４は、活性部３１０の端部から第３電極８２に向かって第１端部８３よりも突出して設けられている。凸部８４が活性部３１０の端部から突出して設けられているとは、Ｚ軸に沿った＋Ｚ方向に見て、凸部８４の根元が、第１電極６０に重なる位置に配置されていることを言う。なお、凸部８４の根元とは、Ｙ軸に沿った方向の位置が第１端部８３と同じ部分のことを言う。つまり、凸部８４の根元が、＋Ｚ方向に見て第１電極６０に重なる位置に配置されているとは、凸部８４と第１端部８３との接続部分が、＋Ｚ方向に見て第１電極６０に重なっていることを言う。なお、本実施形態では、Ｘ軸に沿った方向において、凸部８４の根元の幅は、第１電極６０よりも小さい。

また、活性部３１０の端部と、第３電極８２とは、圧力室１２の長手方向であるＹ軸に沿った方向において対向する位置に配置されている。つまり、活性部３１０の端部と、第３電極８２とは、Ｘ軸に沿った方向に同じ位置に配置されている。このため、凸部８４が第３電極８２に向かって突出する方向は、Ｙ軸に沿った方向と一致する。

このような凸部８４は、突出する方向と直交する方向であるＸ軸に沿った方向の幅が第３電極８２に向かって徐々に細くなっている。つまり、凸部８４は、Ｙ軸に沿った方向の単位長さ当たりの面積が先端に近づくにつれて減少する、所謂、テーパー形状となっている。なお、凸部８４は、これに限定されず、第３電極８２に向かってＸ軸に沿った方向の幅が同じとなるように設けられた直線形状を有する直線部と、Ｘ軸に沿った方向の幅が徐々に細くなるテーパー形状を有するテーパー部と、を具備するものであってもよい。凸部８４を直線部とテーパー部とで構成する場合には、直線部が第１端部８３側に設けられ、テーパー部が第３電極８２側に設けられている構成であっても、その逆の構成であってもよい。

また、本実施形態の凸部８４は、先端も＋Ｚ方向に見て第１電極６０と重なる位置に配置されている。つまり、凸部８４は、その全てが＋Ｚ方向に見て第１電極６０と重なる位置に配置されている。

このように第２電極８０に凸部８４を設けることで、凸部８４の先端に向かって徐々に電気抵抗値を大きくすることができる。つまり、図５に示す第２電極８０の第１端部８３よりも内側、すなわち、圧力室１２側を第１領域Ｐ１とし、第１除去部８１ａを第６領域Ｐ６とした場合、凸部８４の電気抵抗値は、Ｙ軸に沿って第１領域Ｐ１から第６領域Ｐ６に向かって徐々に大きくなる。本実施形態では、凸部８４のＸ軸に沿った方向の幅が、第２電極８０の第１端部８３側の幅よりも狭いため、凸部８４の電気抵抗値は、第３電極８２に向かって徐々に大きくなる。また、凸部８４のＸ軸に沿った方向の幅が、第３電極８２に向かって徐々に細くなることで、凸部８４の突出方向を横断する断面積が第３電極８２に向かって徐々に減少する。これによっても、凸部８４の電気抵抗値は、第３電極８２に向かって徐々に大きくなる。つまり、凸部８４をＹ軸に沿って４つの領域である第２領域Ｐ２、第３領域Ｐ３、第４領域Ｐ４および第５領域Ｐ５に分割した場合、第２領域Ｐ２の電気抵抗値は、第１領域Ｐ１よりも大きく、第３領域Ｐ３の電気抵抗値は第２領域Ｐ２よりも大きい。また、第４領域Ｐ４の電気抵抗値は第３領域Ｐ３よりも大きい。また、第５領域Ｐ５の電気抵抗値は第４領域Ｐ４よりも大きい。このため、凸部８４に印加される電圧は、第１領域Ｐ１に印加される電圧に比べて、第２領域Ｐ２から第５領域Ｐ５に向かって徐々に低下する。したがって、活性部３１０に印加される電界を、第１領域Ｐ１に比べて、凸部８４の第２領域Ｐ２から第５領域Ｐ５に向かって徐々に低下させることができる。このため、活性部３１０を駆動させた際に変形しようとして圧電体層７０に印加される応力は、第１領域Ｐ１から凸部８４の先端である第５領域Ｐ５に向かって徐々に低下し、圧電体層７０への応力集中を低減することができる。また、第５領域Ｐ５では、活性部３１０に印加される電界が第１領域Ｐ１に比べて十分に低下していることから、活性部３１０を駆動した際に第５領域Ｐ５と第６領域Ｐ６との境界部分への応力集中を抑制することができる。したがって、活性部３１０と非活性部、つまり、第６領域Ｐ６との境界部分の応力集中を抑制して、圧電体層７０にクラック等の破壊が生じるのを抑制し、第１電極６０と第２電極８０との間でクラックに沿ったリーク電流が生じるのを抑制することができる。したがって、圧電体層７０の破壊による活性部３１０の駆動不良が生じるのを抑制することができる。

なお、活性部３１０のＹ軸におけるノズル２１とは反対側の端部は、第１電極６０の端部によって規定されている。つまり、第２電極８０は、第１電極６０のノズル２１とは反対側の端部を跨がってＹ軸に沿って設けられており、活性部３１０のノズル２１とは反対側の端部は、第１電極６０の端部によって規定されている。この活性部３１０のＹ軸に沿ったノズル２１とは反対側の端部を規定する第１電極６０は、振動板５０および圧電素子３００の中立軸に近い位置に存在すると共に－Ｚ方向に圧電体層７０、第２電極８０等が形成されているため、応力集中が生じ難く、圧電体層７０の破壊が生じ難い。

また、本実施形態の第２電極８０は、圧電体層７０の凹部７１の側面上および凹部７１の底面である振動板５０上にも設けられている。もちろん、第２電極８０は、凹部７１の内面の一部のみに設けるようにしてもよく、凹部７１の内面の全面に亘って設けないようにしてもよい。

また、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０と第２電極８０とのそれぞれには、本実施形態の引き出し配線である個別リード電極９１と、共通リード電極９２と、が接続されている。個別リード電極９１及び共通リード電極９２（以降、両者を合わせてリード電極９０と称する）は、本実施形態では、同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。このようなリード電極９０は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）等を用いることができる。また、リード電極９０は、第１電極６０および第２電極８０や振動板５０との密着性を向上する密着層を有してもよい。本実施形態では、リード電極９０として金（Ａｕ）を用いた。つまり、リード電極９０の最上層は、金（Ａｕ）を含む。

個別リード電極９１は、圧電体層７０の外側に設けられた第１電極６０上から振動板５０上までＹ軸に沿って引き出されている。つまり、個別リード電極９１は、Ｙ軸において第１電極６０のノズル２１側の端部から振動板５０上に向かって延設されている。なお、図２では、個別リード電極９１の一部を屈曲しているが、もちろん、これに限定されず、Ｙ軸に沿って直線状に設けるようにしてもよい。また、個別リード電極９１は、Ｙ軸において第１電極６０上から第３電極８２上まで延設されている。個別リード電極９１は、第３電極８２上の除去部８１側の端部を覆うことなく第３電極８２上のみに設けられている。第３電極８２上に延設された個別リード電極９１は、流路形成基板１０の－Ｚ方向側に保護基板３０を接合する際に、個別リード電極９１によって接着剤１３０が接着される接着面の高さを後述する延設部９３と揃えて、接着剤１３０の厚さにばらつきが生じるのを抑制する。

共通リード電極９２は、第２電極８０のＸ軸に沿った両端部、つまり、＋Ｘ方向の端部および－Ｘ方向の端部のそれぞれにおいて、第２電極８０上から振動板５０上までＹ軸に沿って引き出されている。

また、共通リード電極９２は、Ｙ軸において圧力室１２の壁面上に、可撓部と非可撓部との境界部分に跨って設けられた延設部９３を有する。延設部９３は、第２電極８０上で複数の活性部３１０に対して＋Ｘ方向に亘って連続して設けられており、Ｘ軸の両端部で共通リード電極９２に連続する。すなわち、延設部９３を有する共通リード電極９２は、保護基板３０側から平面視した際に、活性部３１０の周囲を囲むように連続して配置されている。つまり、延設部９３は、共通リード電極９２のうち、Ｘ軸に沿って設けられた２つの部分を言う。また、延設部９３は、第２電極８０の除去部８１側の端部を覆うことなく、Ｙ軸において第２電極８０の除去部８１側の端部よりも圧力室１２側に設けられている。

このように共通リード電極９２に延設部９３を設けることで、第２電極８０のＸ軸に沿った方向における電圧降下を抑制して、各ノズル２１から噴射されるインクの噴射特性の低下およびばらつきを抑制することができる。特に、本実施形態では、活性部３１０のＹ軸に沿った方向の両端部のそれぞれに延設部９３を設けることで、延設部９３のＹ軸およびＺ軸で規定されるＹＺ平面に沿った断面積を増大させて、電気抵抗値を比較的小さくすることができ、電圧降下を効果的に抑制することができる。また、延設部９３を＋Ｚ方向に見て可撓部と非可撓部との境界に重なる位置に設けることで、可撓部と非可撓部との境界の剛性を向上して、可撓部と非可撓部との境界の応力集中における圧電体層７０の破壊を抑制することができる。また、Ｙ軸に沿った方向において延設部９３を活性部３１０の変形量の比較的小さい両端部側に設け、変形量の比較的大きい中央部に設けないようにすることで、延設部９３が活性部３１０の変形を阻害するのを抑制して、圧電アクチュエーター３００の変形量が著しく低下するのを抑制することができる。さらに、延設部９３は、－Ｚ方向側に保護基板３０を接着する際の高さ調整を行うことができる。

なお、個別リード電極９１および共通リード電極９２の圧電アクチュエーター３００に接続された端部とは反対側の端部には、上述のように可撓性を有する配線基板１２１が接続されている。配線基板１２１は、圧電アクチュエーター３００を駆動するためのスイッチング素子を有する駆動回路１２０が実装されている。

このような圧電アクチュエーター３００が設けられた流路形成基板１０の一方面側である－Ｚ方向側には、図３に示すように、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接着剤１３０によって接着されている。本実施形態では、保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００と接着剤１３０によって接着されている。接着剤１３０は、圧電アクチュエーター３００の延設部９３、除去部８１等に接着するように設けられている。

また、保護基板３０は、図３に示すように、＋Ｚ方向に見て、２列の圧電アクチュエーター３００の列の間に重なる位置に、＋Ｚ方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出された個別リード電極９１および共通リード電極９２の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、個別リード電極９１および共通リード電極９２と配線基板１２１とは、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、保護基板３０の－Ｚ方向側には、複数の圧力室１２に連通するマニホールド１００を形成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。

このようなケース部材４０は、＋Ｚ方向側の面に開口して流路形成基板１０および保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０および保護基板３０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。また、ケース部材４０には、凹部４１のＹ軸に沿った方向の両方の外側、すなわち＋Ｙ方向および－Ｙ方向のそれぞれに、＋Ｚ方向に開口する溝である第３マニホールド部４２が設けられている。第３マニホールド部４２は、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７の－Ｚ方向側の開口と略同じ開口面積を有し、ケース部材４０が連通板１５と接合されることで、第３マニホールド部４２と第１マニホールド部１７とは連通する。このケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８と、によって、本実施形態のマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、圧力室１２が並んで配置される＋Ｘ方向に亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールド１００とを連通する供給連通路１９は、＋Ｘ方向に並んで配置されている。

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４が第３マニホールド部４２の－Ｚ方向側に設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８が開口する＋Ｚ方向側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の＋Ｚ方向側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。

このような本実施形態の記録ヘッド１では、図示しない外部インク供給手段と接続した導入口４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加する。これにより圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０がたわみ変形して各圧力室１２内の圧力が高まり、各ノズル２１からインクが噴射される。

以上説明したように、本願発明の圧電デバイスの一例である記録ヘッド１は、複数の凹部である圧力室１２を有する基板である流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられる振動板５０と、振動板５０側から第１電極６０、圧電体層７０および第２電極８０が積層される圧電アクチュエーター３００と、を具備する。また、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０とで圧電体層７０が挟まれる活性部３１０を複数有し、第１電極６０は活性部３１０の各々に独立する個別電極を構成し、第２電極８０は複数の活性部に共通する共通電極を構成する。そして、第２電極８０は、基準となる第１端部８３と、活性部３１０の端部から第１電極６０と電気的に接続する接続電極である第３電極８２に向かって第１端部８３よりも突出する凸部８４と、を有する。

このように第２電極８０に凸部８４を設けることで、第１端部８３側の電気抵抗値よりも凸部８４の電気抵抗値を先端に向かって徐々に高くすることができる。したがって、凸部８４に印加される電圧を先端に向かって徐々に降下させることができ、活性部３１０の端部に印加される電界強度を凸部８４の先端に向かって徐々に低下させることができる。この結果、活性部３１０の端部に印加される応力を分散させることができ、応力集中による圧電体層７０にクラック等の破壊が生じることや、クラックに沿って第１電極６０と第２電極８０との間にリーク電流が生じることによる活性部３１０の駆動不良が生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、凸部８４は、突出方向と直交する方向であるＸ軸に沿った方向の幅が接続電極である第３電極８２に向かって徐々に細くなっていることが好ましい。これによれば、凸部８４の電気抵抗値を、第３電極８２に向かってさらに徐々に増大させることができるため、活性部３１０の端部への応力集中を効果的に抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、圧電アクチュエーター３００と基板である流路形成基板１０との積層方向である＋Ｚ方向に見て、凸部８４の根元は、第１電極６０と重なっていることが好ましい。これによれば、活性部３１０の端部から凸部８４を突出させることができ、凸部８４によって活性部３１０の端部への応力集中を抑制することができる。

なお、本実施形態では、凸部８４の全体が、＋Ｚ方向に見て第１電極６０と重なる位置に配置されるようにしたが、特にこれに限定されない。凸部８４は、＋Ｚ方向に見て少なくとも根元が第１電極６０と重なる位置に配置されていれば、先端が第１電極６０に重ならない位置に配置されていてもよい。これは、凸部８４の先端が、＋Ｚ方向に見て第１電極６０と重ならない位置に配置されていても、凸部８４は先端に向かって電気抵抗値が徐々に高くなるため、凸部８４が＋Ｚ方向に見て第１電極６０に重なる領域内においても第３電極８２に向かって電気抵抗値が徐々に高くなるためである。

（実施形態２）
図６は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１の流路形成基板１０の要部を拡大した平面図およびその断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

第２電極８０の凸部８４は、第１凸部８４ａと平行部８４ｂとを有する。

第１凸部８４ａは、上述した実施形態１の凸部８４と同様の形状を有する。つまり、第１凸部８４ａは、活性部３１０の端部から第３電極８２に向かって第１端部８３よりも突出して設けられている。また、凸部８４は、突出する方向と直交する方向であるＸ軸に沿った方向の幅が第３電極８２に向かって徐々に細くなるテーパー形状を有する。さらに、本実施形態の凸部８４は、先端も＋Ｚ方向に見て第１電極６０と重なる位置に配置されている。つまり、凸部８４は、その全てが＋Ｚ方向に見て第１電極６０と重なる位置に配置されている。

平行部８４ｂは、第１凸部８４ａの先端に連続して設けられたものであり、第３電極８２の第２電極８０側の端面と平行に設けられている。つまり、平行部８４ｂが第３電極８２と並行であるとは、凸部８４の突出方向であるＹ軸に沿った方向において、平行部８４ｂと第３電極８２との間隔がＸ軸に沿って同じ間隔で設けられていることを言う。本実施形態では、第３電極８２のＹ軸に沿った第２電極８０側の端面は、Ｘ軸に沿って直線状に設けられているため、平行部８４ｂの第３電極８２側の端面は、Ｘ軸に沿った直線状に設けられている。また、平行部８４ｂのＹ軸に沿った方向の幅は、Ｘ軸に亘って同じ幅で設けられている。つまり、本実施形態の平行部８４ｂは、Ｘ軸に沿った直線上に沿って、Ｘ軸に亘って同じ幅で設けられている。

また、平行部８４ｂのＸ軸に沿った幅Ｗ１は、第３電極８２の幅Ｗ２以上であることが好ましい。つまり、平行部８４ｂの幅Ｗ１と第３電極８２の幅Ｗ２とは、Ｗ１≧Ｗ２の関係を満たすことが好ましい。平行部８４ｂの幅Ｗ１は、第１凸部８４ａのＸ軸に沿った幅よりも大きい。つまり、凸部８４は、先端部である平行部８４ｂが最も太くなっている。

以上説明したように、本実施形態の圧電デバイスの一例である記録ヘッド１では、凸部８４は、先端部に接続電極である第３電極８２と平行な平行部８４ｂを有する。このように、凸部８４に第３電極８２と平行な平行部８４ｂを設けることで、第３電極８２と凸部８４との間の電界が平行部８４ｂのＸ軸に亘って印加される。したがって、凸部８４と第３電極８２との間の電界が、凸部８４の一箇所に集中して印加されるのを抑制することができるため、第３電極８２と凸部８４との間で短絡が生じるのを抑制することができる。また、凸部８４は、第１凸部８４ａによって先端側に向かって電気抵抗値を増大させることができるため、平行部８４ｂの電気抵抗値が第１凸部８４ａよりも大きくなっても、第１凸部８４ａによって先端側に向かって印加される電圧を降下させることができるため、平行部８４ｂに印加される電圧を十分に降下させることができる。つまり、第２電極８０の第１端部８３よりも内側、すなわち、圧力室１２側を第１領域Ｐ１とし、第１除去部８１ａを第６領域Ｐ６とし、凸部８４の第１凸部８４ａを第１領域Ｐ１側から第２領域Ｐ２、第３領域Ｐ３、第４領域Ｐ４とし、平行部８４ｂが設けられた領域を第５領域Ｐ５とする。このとき、凸部８４の平行部８４ｂが設けられた第５領域Ｐ５の電気抵抗値は、第２領域Ｐ２、第３領域Ｐ３および第４領域Ｐ４のそれぞれよりも高くなるが、第４領域Ｐ４では電圧が十分に低下しているため、第５領域Ｐ５の平行部８４ｂに印加される電圧は、第４領域Ｐ４と同じか、それよりも低くなる。したがって、平行部８４ｂを設けても、凸部８４によって活性部３１０の端部に印加される電界を凸部８４の先端に向かって徐々に減少させることができるため、活性部３１０の端部に応力集中が生じるのを抑制し、圧電体層７０にクラック等の破壊が発生することや、クラックに沿ったリーク電流によって活性部３１０の駆動不良が発生するのを抑制することができる。なお、本実施形態では、凸部８４に第１凸部８４ａと平行部８４ｂとを設けるようにしたが、第１凸部８４ａの平行部８４ｂ側のＸ軸に沿った方向の幅が、平行部８４ｂと同じ幅であってもよい。つまり、凸部８４の全体を、Ｘ軸に沿った方向の幅が徐々に広くなるテーパー形状で形成することで、平行部が形成されていてもよい。もちろん、凸部８４の一部にＸ軸に沿った方向の幅が同じ幅で形成された直線形状の直線部を有する形状であってもよい。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、凸部８４の突出する方向と直交する方向であるＸ軸に沿った方向において、平行部８４ｂの幅Ｗ１は、接続電極である第３電極８２の幅Ｗ２以上であることが好ましい。このように、平行部８４ｂの幅Ｗ１を第３電極８２の幅Ｗ２以上とすることで、平行部８４ｂのＸ軸に亘って印加される電界を分散させることができるため、第３電極８２と凸部８４との間で短絡が生じるのをさらに抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、凸部８４の突出方向と直交する方向であるＸ軸に沿った方向の幅は、先端部が最も太いことが好ましい。つまり、凸部８４を平行部８４ｂのみで構成する場合に比べて、凸部８４を第１凸部８４ａとこれよりも太い平行部８４ｂとで構成することで、第１凸部８４ａによって先端に向かって電圧降下を生じさせることができると共に、凸部８４の先端部である平行部８４ｂに電界集中が発生するのを抑制することができる。

なお、本実施形態の第１凸部８４ａは、先端に向かってＸ軸の両側の幅を絞ったテーパー形状としたが、特にこれに限定されない。ここで、凸部８４の変形例を図７～図９に示す。なお、図７～図９は、凸部８４の変形例を説明する流路形成基板１０の要部平面図である。

図７に示すように、凸部８４は、第１凸部８４ａと平行部８４ｂとを具備し、第１凸部８４ａは、先端に向かってＸ軸の片側の幅を絞ったテーパー形状、すなわち、第１凸部８４ａの＋Ｘ方向の側面はＹ軸に沿って設け、－Ｘ方向の側面をＹ軸に対して傾斜させることで先端に向かって幅が徐々に細くなるテーパー形状となっている。このように第１凸部８４ａは、Ｘ軸の片側から幅を絞った形状であっても、上述したものと同様の効果を奏することができる。

また、図８に示すように、凸部８４は、第１凸部８４ａと平行部８４ｂとを具備する。第１凸部８４ａは、Ｘ軸に沿った幅が、先端に向かって徐々に細くなり、途中から徐々に太くなる形状を有する。第１凸部８４ａがこのように途中から太くなる形状であっても、上述したものと同様の効果を奏することができる。

また、図９に示すように、凸部８４は、第１凸部８４ａと平行部８４ｂとを具備する。第１凸部８４ａは、Ｘ軸に沿った幅がＹ軸に亘って同じ幅で形成されている。第１凸部８４ａがこのような形状であっても、図６に示す第１凸部８４ａに比べて先端に向かって電気抵抗値が大きくなる割合は低くなるが、図６と同様の効果を奏することができる。つまり、第１凸部８４ａは、Ｙ軸に沿って同じ幅で形成されていても、先端に行くほど第１端部８３に比べて電気抵抗値が大きくなり、先端側ほど電圧降下が生じる。このため、Ｙ軸に沿って同じ幅の第１凸部８４ａであっても活性部３１０の端部において印加される電界強度を徐々に低下させることができる。したがって、活性部３１０の端部に応力集中が生じるのを抑制して、圧電体層７０の破壊によるリーク電流や焼損を抑制することができる。

もちろん、図７～図９に示す第１凸部８４ａは、上述した実施形態１の凸部８４に適用することも可能である。

（他の実施形態）
以上本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した各実施形態では、凸部８４は、第２電極８０の一部で形成するようにしたが、特にこれに限定されず、第２電極８０と異なる層、例えば、共通リード電極９２やその他の層で形成されていてもよい。つまり、凸部８４が第２電極８０と電気的に接続されていれば、実質的に凸部８４は第２電極８０の一部となる。

また、例えば、上述した実施形態１の凸部８４および実施形態２の図６～図８に示す第１凸部８４ａは、Ｘ軸に沿った方向の幅が先端に向かって徐々に細くなるテーパー形状としたが、特にこれに限定されず、凸部８４は、Ｘ軸に沿った幅が、先端に向かって段階的に細くなる、所謂、階段形状としてもよい。

また、これら実施形態１の記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図１０は、インクジェット式記録装置Ｉの一例を示す概略図である。

図１０に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド１は、液体供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

さらに、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

なお、上記実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに限定されず、超音波デバイス、モーター、圧力センサー、焦電素子、強誘電体素子などの圧電デバイスにも適用することができる。また、これらの圧電デバイスを利用した完成体、たとえば、上記液体等噴射ヘッドを利用した液体等噴射装置、上記超音波デバイスを利用した超音波センサー、上記モーターを駆動源として利用したロボット、上記焦電素子を利用したＩＲセンサー、強誘電体素子を利用した強誘電体メモリーなども、圧電デバイスに含まれる。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…カートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１２…圧力室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…凹部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…導入口、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…凹部、８０…第２電極、８１…除去部、８１ａ…第１除去部、８１ｂ…第２除去部、８２…第３電極、８３…第１端部、８４…凸部、８４ａ…第１凸部、８４ｂ…平行部、９０…リード電極、９１…個別リード電極、９２…共通リード電極、９３…延設部、１００…マニホールド、１２０…駆動回路、１２１…配線基板、１３０…接着剤、３００…圧電アクチュエーター（圧電素子）、３１０…活性部

Claims (8)

1. 複数の凹部を有する基板と、
   前記基板の一方面側に設けられる振動板と、
   前記振動板側から第１電極、圧電体層および第２電極が積層される圧電アクチュエーターと、
   を具備し、
   前記圧電アクチュエーターは、前記第１電極と前記第２電極とで前記圧電体層が挟まれる活性部を複数有し、
   前記第１電極は前記活性部の各々に独立する個別電極を構成し、
   前記第２電極は複数の前記活性部に共通する共通電極を構成し、
   前記第２電極は、基準となる第１端部と、前記活性部の端部から前記第１電極と電気的に接続する接続電極に向かって前記第１端部よりも突出する凸部と、を有することを特徴とする圧電デバイス。
2. 前記凸部は、突出方向と直交する方向の幅が前記接続電極に向かって徐々に細くなっていることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
3. 前記凸部は、先端部に前記接続電極と平行な平行部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の圧電デバイス。
4. 前記凸部の突出する方向と直交する方向において、前記平行部の幅は、前記接続電極の幅以上であることを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイス。
5. 前記圧電アクチュエーターと前記基板との積層方向に見て、前記凸部の根元は、前記第１電極と重なっていることを特徴とする請求項１～４の何れか一項に記載の圧電デバイス。
6. 前記凸部の突出方向と直交する方向の幅は、先端部が最も太いことを特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載の圧電デバイス。
7. 液体を噴射するノズルに連通する圧力室が複数形成される基板と、
   前記基板の一方面側に設けられる振動板と、
   前記振動板側から第１電極、圧電体層および第２電極が積層される圧電アクチュエーターと、
   を具備し、
   前記圧電アクチュエーターは、前記第１電極と前記第２電極とで前記圧電体層が挟まれる活性部を複数有し、
   前記第１電極は前記活性部の各々に独立する個別電極を構成し、
   前記第２電極は複数の前記活性部に共通する共通電極を構成し、
   前記第２電極は、基準となる第１端部と、前記活性部の端部から前記第１電極と電気的に接続する接続電極に向かって前記第１端部よりも突出する凸部と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
8. 請求項７に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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