JP2023137369A - 圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエーターの活性部の端部近傍において、非活性部との歪み差異に起因する圧電体層のクラックや焼損等が発生する。
【解決手段】基板１０の一方面側に設けられる振動板５０と、振動板５０の基板１０とは反対面側に積層される第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を有する圧電アクチュエーター３００と、を備える圧電デバイスであって、圧電アクチュエーター３００は、圧電体層７０が第１電極６０と第２電極８０とで挟まれる活性部３１０を備え、活性部３１０の端部における第１電極６０の圧電体層７０側の表面に、複数の凸部６１と凸部６１の間に形成される凹部６２とで構成される凹凸部６３を有する構成とする。
【選択図】図７

Description

本発明は、振動板と、第１電極、圧電体層及び第２電極を有する圧電アクチュエーターとを有する圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

圧電デバイスの一つである液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズルに連通する圧力室が形成された流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた圧電アクチュエーターと、を具備し、圧電アクチュエーターによって圧力室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を噴射するものが知られている。

また圧電アクチュエーターとしては、振動板上に形成された第１電極と、第１電極上に電気機械変換特性を有する圧電材料で形成された圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２電極と、を具備するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１には、圧電アクチュエーターとしての複数の圧電素子を備え、これら複数の圧電素子が一列に並設された構成が開示されている。そして各圧電素子は、圧電体層が第１電極と第２電極とで挟まれる能動部（活性部ともいう）を具備し、圧電素子の並設方向とは直交する方向において、能動部の端部が第２電極の端部によって規定されている。

特開２０１５－１６６１６０号公報

このように圧電アクチュエーターの活性部の端部が第２電極の端部で規定されている構成では、活性部の端部近傍において、非活性部との歪み差異に起因する圧電体層のクラックや焼損等が発生する虞がある。具体的には、圧電アクチュエーターの撓み変形により圧電体層に微小なクラックが発生し、この圧電体層の微小クラックに起因するリーク電流値に伴う焼損が発生する虞がある。

なお、このような問題は、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに限定されず、その他の圧電デバイスにおいても同様に存在する。

上記課題を解決する本発明の一つの態様は、基板の一方面側に設けられる振動板と、前記振動板の前記基板とは反対面側に積層される第１電極、圧電体層及び第２電極を有する圧電アクチュエーターと、を備える圧電デバイスであって、前記圧電アクチュエーターは、前記圧電体層が前記第１電極と前記第２電極とで挟まれる活性部を備え、前記活性部の端部における前記第１電極の前記圧電体層側の表面に、複数の凸部と前記凸部の間に形成される凹部とで構成される凹凸部を有することを特徴とする圧電デバイスにある。

また本発明の他の態様は、上記態様の圧電デバイスを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドが搭載されることを特徴とする液体噴射装置にある。

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る圧電アクチュエーターの断面図である。 実施形態１に係る圧電アクチュエーターの断面図である。 実施形態１に係る圧電アクチュエーターの要部を示す平面図である。 実施形態１に係る圧電アクチュエーターの要部を示す断面図である。 実施形態１に係る圧電アクチュエーターの変形例を示す断面図である。 実施形態２に係る圧電アクチュエーターの要部を示す断面図である。 実施形態３に係る圧電アクチュエーターの要部を示す断面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。

以下、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様についての説明であり、本発明の構成は、発明の範囲内で任意に変更可能である。

また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。またＺ方向は、鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きを示す。さらに、正方向及び負方向を限定しない３つのＸ、Ｙ、Ｚの空間軸については、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。図２は、記録ヘッドの平面図であり、図３は、図２のＡ－Ａ線断面図である。図４は、圧電アクチュエーター部分を拡大した断面図であり、図５は、図４のＢ－Ｂ線断面図である。また図６は、圧電アクチュエーターの端部付近を拡大した平面図であり、図７は、図６のＣ－Ｃ線に対応する断面図である。

図１～図３に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドとも言う）１は、第１方向であるＺ軸方向、より具体的は＋Ｚ方向にインク滴を噴射するものである。

インクジェット式記録ヘッド１は、基板の一例として流路形成基板１０を具備する。流路形成基板１０は、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板等からなる。なお、流路形成基板１０は、（１００）面優先配向した基板であっても、（１１０）面優先配向した基板であってもよい。

流路形成基板１０には、複数の圧力室１２が、第１方向であるＺ軸方向とは交差する第２方向であるＸ軸方向に２列配置されている。すなわち各列を構成する複数の圧力室１２は、Ｘ軸方向とは交差する第３方向であるＹ軸方向に沿って配置されている。

各列を構成する複数の圧力室１２は、Ｘ軸方向の位置が同じ位置となるように、Ｙ軸方向に沿った直線上に配置されている。Ｙ軸方向で互いに隣り合う圧力室１２は、隔壁１１によって区画されている。もちろん、圧力室１２の配置は特に限定されるものではない。例えば、Ｙ軸方向に並ぶ複数の圧力室１２の配置は、各圧力室１２を１つ置きにＸ軸方向にずれた位置とする、いわゆる千鳥配置となっていてもよい。

また本実施形態の圧力室１２は、＋Ｚ方向からの平面視においてＸ軸方向の長さがＹ軸方向の長さよりも長い、例えば、長方形に形成されている。もちろん、＋Ｚ方向からの平面視における圧力室１２の形状は、特に限定されず、平行四辺形状、多角形状、円形状、オーバル形状等であってもよい。なお、ここでいうオーバル形状とは、長方形状を基本として長手方向の両端部を半円状とした形状をいい、角丸長方形状、楕円形状、卵形状などが含まれるものとする。

流路形成基板１０の＋Ｚ方向側には、連通板１５とノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４５とが順次積層されている。

連通板１５には、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。また連通板１５には、複数の圧力室１２が連通する共通液室となるマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が設けられている。第１マニホールド部１７は、連通板１５をＺ軸方向に貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５をＺ軸方向に貫通することなく、＋Ｚ方向側の面に開口して設けられている。

さらに連通板１５には、圧力室１２のＸ軸方向の一方の端部に連通する供給連通路１９が圧力室１２の各々に独立して設けられている。供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と各圧力室１２とを連通して、マニホールド１００内のインクを各圧力室１２に供給する。

連通板１５としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板等を用いることができる。金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。なお連通板１５は、熱膨張率が流路形成基板１０と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、流路形成基板１０及び連通板１５の温度が変化した際、熱膨張率の違いに起因する流路形成基板１０及び連通板１５の反りを抑制することができる。

ノズルプレート２０は、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ方向側の面に設けられている。ノズルプレート２０には、各圧力室１２にノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。

本実施形態では、複数のノズル２１は、Ｙ軸方向に沿って一列となるように並んで配置されている。そしてノズルプレート２０には、これら複数のノズル２１が列設されたノズル列がＸ軸方向に２列設けられている。すなわち、各列の複数のノズル２１は、Ｘ軸方向の位置が同じ位置となるように配置されている。なおノズル２１の配置は特に限定されるものではない。例えば、Ｙ軸方向に並んで配置されるノズル２１は、１つ置きにＸ軸方向にずれた位置に配置されていてもよい。

ノズルプレート２０の材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板を用いることができる。金属板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。さらにノズルプレート２０の材料としては、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることもできる。ただし、ノズルプレート２０は、連通板１５の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、ノズルプレート２０及び連通板１５の温度が変化した際、熱膨張率の違いに起因するノズルプレート２０及び連通板１５の反りを抑制することができる。

コンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０と共に、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ方向側の面に設けられている。このコンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０の周囲に設けられ、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口を封止する。コンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっている。このため、マニホールド１００の一方面は、可撓性を有する封止膜４６のみで封止されたコンプライアンス部４９となっている。

一方、流路形成基板１０のノズルプレート２０等とは反対側、すなわち－Ｚ方向側の面には、詳しくは後述するが、振動板５０と、この振動板５０を撓み変形させて圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター３００とが設けられている。なお図３は記録ヘッド１の全体構成を説明するための図であり、圧電アクチュエーター３００については簡略化して示している。

流路形成基板１０の－Ｚ方向側の面には、さらに、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接着剤等によって接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護する空間である保持部３１を有する。保持部３１は、Ｙ軸方向に並んで配置された圧電アクチュエーター３００の列毎に独立して設けられたものであり、Ｘ軸方向に２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、Ｘ軸方向に並んで配置された２つの保持部３１の間にＺ軸方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。

また、保護基板３０上には、複数の圧力室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。

このようなケース部材４０は、流路形成基板１０及び保護基板３０を収容可能な深さの空間である収容部４１を保護基板３０側に有する。この収容部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、収容部４１に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容された状態で収容部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。

またケース部材４０には、Ｘ軸方向における収容部４１の両外側に、第３マニホールド部４２がそれぞれ画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、Ｙ軸方向に亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールド１００とを連通する供給連通路１９は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４が設けられている。さらにケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２０が挿通される接続口４３が設けられている。

このような本実施形態の記録ヘッド１では、図示しない外部インク供給手段と接続した導入口４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２１からの記録信号に従い、圧力室１２に対応するそれぞれの圧電アクチュエーター３００に電圧を印加する。これにより圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０がたわみ変形して各圧力室１２内の圧力が高まり、各ノズル２１からインク滴が噴射される。

以下、本実施形態に係る圧電アクチュエーター３００の構成について説明する。上述のように圧電アクチュエーター３００は、流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面に振動板５０を介して設けられている。

図４及び図５に示すように、振動板５０は、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウム膜からなる絶縁体膜５２と、で構成されている。圧力室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を＋Ｚ方向側の面から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室１２等の液体流路の－Ｚ方向側の面は、弾性膜５１で構成されている。

なお振動板５０の構成は特に限定されるものではない。振動板５０は、例えば、弾性膜５１と絶縁体膜５２との何れか一方で構成されていてもよく、さらには、弾性膜５１及び絶縁体膜５２以外のその他の膜が含まれていてもよい。その他の膜の材料としては、例えば、シリコン、窒化ケイ素等が挙げられる。

圧電アクチュエーター３００は、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段であり圧電素子とも称される。この圧電アクチュエーター３００は、振動板５０側である＋Ｚ方向側から－Ｚ方向側に向かって順次積層された第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とを具備する。

圧電アクチュエーター３００のうち、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を活性部３１０と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部３２０と称する。すなわち、圧電アクチュエーター３００のうち、圧電体層７０が第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた部分が活性部３１０となり、圧電体層７０が第１電極６０と第２電極８０とで挟まれていない部分が非活性部３２０となる。

また圧電アクチュエーター３００を駆動させた際、実際にＺ軸方向に変位する部分を可撓部と称し、Ｚ軸方向に変位しない部分を非可撓部と称する。すなわち、圧電アクチュエーター３００の活性部３１０のうち、Ｚ軸方向で圧力室１２に対向する部分が可撓部となり、圧力室１２の外側部分が非可撓部となる。

一般的には、活性部３１０の何れか一方の電極を圧電アクチュエーター３００毎に独立する個別電極とし、他方の電極を複数の圧電アクチュエーター３００に共通する共通電極として構成する。本実施形態では、第１電極６０が個別電極を構成し、第２電極８０が共通電極を構成している。

具体的には、第１電極６０は、圧力室１２毎に切り分けられて活性部３１０毎に独立する個別電極を構成する。第１電極６０は、Ｙ軸方向において、圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、第１電極６０の端部は、Ｙ軸方向において、圧力室１２に対向する領域の内側に位置している。

また第１電極６０は、Ｘ軸方向においては、圧力室１２に対向する領域から圧力室１２の外側まで延設されており、図４における第１電極６０の＋Ｘ方向の端部６０ａ及び－Ｘ方向の端部６０ｂは、それぞれ圧力室１２の外側に配置されている。また第１電極６０の＋Ｘ方向の端部６０ａは、圧力室１２の＋Ｘ方向の端部１２ａよりも＋Ｘ方向となる位置に配置され、第１電極６０の－Ｘ方向の端部６０ｂは、圧力室１２の－Ｘ方向の端部１２ｂよりも－Ｘ方向となる位置に配置されている。

第１電極６０の材料は、特に限定されないが、例えば、イリジウムや白金といった金属、ＩＴＯと略される酸化インジウムスズといった導電性金属酸化物等の導電材料が用いられる。

圧電体層７０は、Ｘ軸方向の長さを所定長さとして、Ｙ軸方向に沿って連続して設けられている。すなわち圧電体層７０は、所定の厚さで圧力室１２の並設方向に沿って連続して設けられている。圧電体層７０の厚さは特に限定されないが、１～４μｍ程度の厚さで形成される。

また圧電体層７０のＸ軸方向の長さは、圧力室１２の長手方向であるＸ軸方向の長さよりも長く、圧電体層７０は、Ｘ軸方向において圧力室１２の両外側まで延在している。また図４における圧電体層７０の＋Ｘ方向の端部７０ａは、第１電極６０の＋Ｘ方向の端部６０ａよりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部６０ａは圧電体層７０によって覆われている。一方、圧電体層７０の－Ｘ方向の端部７０ｂは、第１電極６０の－Ｘ方向の端部６０ｂよりも内側に位置しており、第１電極６０の端部６０ｂは、圧電体層７０では覆われていない。

なお圧電体層７０には、図５に示すように、他の領域よりも厚さが薄い部分である溝部７１が各隔壁１１に対応する位置に形成されている。本実施形態の溝部７１は、圧電体層７０をＺ軸方向に完全に除去することで形成されている。すなわち、圧電体層７０が他の領域よりも厚さの薄い部分を有するとは、圧電体層７０がＺ軸方向に完全に除去されたものも含む。もちろん、溝部７１の底面には、圧電体層７０が他の部分よりも薄く残っていてもよい。

圧電体層７０に溝部７１を設けることにより、振動板５０の圧力室１２のＹ軸方向の端部に対向する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が抑えられるため、圧電アクチュエーター３００をより良好に変位させることができる。

圧電体層７０としては、第１電極６０上に形成される電気機械変換作用を示す強誘電性セラミックス材料からなるペロブスカイト構造の結晶膜（ペロブスカイト型結晶）が挙げられる。圧電体層７０の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等を用いることができる。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ_３）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ_３）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ_３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ_３）等を用いることができる。本実施形態では、圧電体層７０として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた。

また、圧電体層７０の材料としては、鉛を含む鉛系の圧電材料に限定されず、鉛を含まない非鉛系の圧電材料を用いることもできる。非鉛系の圧電材料としては、例えば、鉄酸ビスマス（（ＢｉＦｅＯ_３）、略「ＢＦＯ」）、チタン酸バリウム（（ＢａＴｉＯ_３）、略「ＢＴ」）、ニオブ酸カリウムナトリウム（（Ｋ，Ｎａ）（ＮｂＯ_３）、略「ＫＮＮ」）、ニオブ酸カリウムナトリウムリチウム（（Ｋ，Ｎａ，Ｌｉ）（ＮｂＯ_３））、ニオブ酸タンタル酸カリウムナトリウムリチウム（（Ｋ，Ｎａ，Ｌｉ）（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ_３）、チタン酸ビスマスカリウム（（Ｂｉ_１／２Ｋ_１／２）ＴｉＯ_３、略「ＢＫＴ」）、チタン酸ビスマスナトリウム（（Ｂｉ_１／２Ｎａ_１／２）ＴｉＯ_３、略「ＢＮＴ」）、マンガン酸ビスマス（ＢｉＭｎＯ_３、略「ＢＭ」）、ビスマス、カリウム、チタン及び鉄を含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物（ｘ［（Ｂｉ_ｘＫ_１－ｘ）ＴｉＯ_３］－（１－ｘ）［ＢｉＦｅＯ_３］、略「ＢＫＴ－ＢＦ」）、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物（（１－ｘ）［ＢｉＦｅＯ_３］－ｘ［ＢａＴｉＯ_３］、略「ＢＦＯ－ＢＴ」）や、これにマンガン、コバルト、クロムなどの金属を添加したもの（（１－ｘ）［Ｂｉ（Ｆｅ_１－ｙＭ_ｙ）Ｏ_３］－ｘ［ＢａＴｉＯ_３］（Ｍは、Ｍｎ、ＣｏまたはＣｒ））等が挙げられる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対側である－Ｚ方向側に設けられ、複数の活性部３１０に共通する共通電極を構成する。第２電極８０は、Ｘ軸方向の長さを所定長さとして、Ｙ軸方向に亘って連続して設けられている。この第２電極８０は、溝部７１の内面、すなわち圧電体層７０の溝部７１の側面上及び溝部７１の底面である絶縁体膜５２上にも設けられている。なお溝部７１内においては、第２電極８０は、溝部７１の内面の一部のみに設けられていてもよく、溝部７１の内面の全面に亘って設けられていなくてもよい。

また図４において、第２電極８０の＋Ｘ方向の端部８０ａは、圧電体層７０で覆われた第１電極６０の端部６０ａよりも外側となるように配置されている。すなわち第２電極８０の端部８０ａは、圧力室１２の＋Ｘ方向の端部１２ａよりも外側で、第１電極６０の端部６０ａよりも外側に位置している。このため、活性部３１０の＋Ｘ方向側の端部、すなわち活性部３１０と非活性部３２０との境界は、第１電極６０の端部６０ａによって規定されている。

一方、図４において、第２電極８０の－Ｘ方向の端部８０ｂは、圧力室１２の－Ｘ方向の端部１２ｂよりも外側に配置されているが、圧電体層７０の－Ｘ方向側の端部７０ｂよりも内側に配置されている。上述のように圧電体層７０の端部７０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも内側に位置している。したがって第２電極８０の端部８０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも内側の圧電体層７０上に位置している。このため、第２電極８０の端部８０ｂの外側には、圧電体層７０の表面が露出された部分が存在する。

このように第２電極８０の端部８０ｂは、圧電体層７０及び第１電極６０の－Ｘ方向の端部６０ｂ，７０ｂよりも＋Ｘ方向に配置されているため、活性部３１０の－Ｘ方向の端部、すなわち活性部３１０と非活性部３２０との境界は、第２電極８０の端部８０ｂによって規定される。

第２電極８０の材料は、特に限定されないが、第１電極６０と同様に、例えば、イリジウムや白金といった金属、酸化インジウムスズといった導電性金属酸化物などの導電材料が好適に用いられる。

また、第２電極８０の端部８０ｂの外側、すなわち第２電極８０の端部８０ｂのさらに－Ｘ方向には、第２電極８０と同一層からなるが第２電極８０とは電気的に不連続となる配線部８５が設けられている。配線部８５は、第２電極８０の端部８０ｂと接触しないように間隔を空けた状態で、圧電体層７０上から圧電体層７０よりも－Ｘ方向に延設された第１電極６０上に亘って形成されている。配線部８５は、活性部３１０毎に独立して設けられている。すなわち配線部８５は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔で複数配置されている。なお配線部８５は、第２電極８０とは別の層で形成されていてもよいが、第２電極８０と同一層で形成することが好ましい。これにより、配線部８５の製造工程を簡略化してコストの低減を図ることができる。

また図２及び図３に示すように、圧電アクチュエーター３００を構成する第１電極６０と第２電極８０とには、個別リード電極９１と駆動用共通電極である共通リード電極９２とがそれぞれ接続されている。個別リード電極９１及び共通リード電極９２の圧電アクチュエーター３００に接続された端部とは反対側の端部には、可撓性を有する配線基板１２０が接続されている。本実施形態では、個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、保護基板３０に形成された貫通孔３２内に露出するように延設され、この貫通孔３２内で配線基板１２０と電気的に接続されている。配線基板１２０には、圧電アクチュエーター３００を駆動するためのスイッチング素子を有する駆動回路１２１が実装されている。

個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、本実施形態では、同一層からなるが、電気的に不連続となるように形成されている。これにより、個別リード電極９１と共通リード電極９２とをそれぞれ個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、個別リード電極９１と共通リード電極９２とを異なる層で形成するようにしてもよい。

個別リード電極９１及び共通リード電極９２の材料は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）等を用いることができる。本実施形態では、個別リード電極９１及び共通リード電極９２として金（Ａｕ）を用いた。また個別リード電極９１及び共通リード電極９２は、第１電極６０及び第２電極８０や振動板５０との密着性を向上するためのニッケルクロム（ＮｉＣｒ）等からなる密着層を有していてもよい。

個別リード電極９１は、活性部３１０毎、すなわち、第１電極６０毎に設けられたものである。個別リード電極９１は、圧電体層７０の外側に設けられた第１電極６０の－Ｘ方向の端部６０ｂ付近に配線部８５を介して接続され、流路形成基板１０上、実際には振動板５０上までＸ軸方向に引き出されている。

一方、共通リード電極９２は、Ｙ軸方向の両端部において、圧電体層７０上の共通電極を構成する第２電極８０上から振動板５０上にまでＸ軸方向に引き出されている。また共通リード電極９２は、圧力室１２のＸ軸方向の一端部に対応する領域にＹ軸方向に沿って延設される延設部９３を有する。さらに共通リード電極９２は、圧力室１２のＸ軸方向の他端部に対応する領域にＹ軸方向に沿って延設される延設部９４を具備する。これら延設部９３，９４は、複数の活性部３１０に対してＹ軸方向に沿って連続して設けられている。

また延設部９３，９４は、Ｘ軸方向において、圧力室１２の内側から圧力室１２の外側まで延設されている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００の活性部３１０は、圧力室１２のＸ軸方向の両端部において圧力室１２の外側まで延設されており、延設部９３，９４は、この活性部３１０上を圧力室１２の内側から外側まで延設されている（図４参照）。

ところで、このような圧電アクチュエーター３００の活性部３１０のＸ軸方向の端部において、第１電極６０の圧電体層７０側の表面には、図６及び図７に示すように、複数の凸部６１とこれら凸部６１の間に形成される凹部６２とで構成される凹凸部６３が設けられている。本実施形態では、第１電極６０の表面には、Ｙ軸方向で並設される２つの凸部６１と、これら２つの凸部６１の間に形成される１つの凹部６２とで構成される凹凸部６３が設けられている。各凸部６１は、第１電極６０の引き出し方向であるＸ軸方向に沿って連続する線状に形成されている。その結果、凹部６２も第１電極６０の引き出し方向であるＸ軸方向に沿って連続する線状に形成されている。

なお凹凸部６３を構成する凸部６１及び凹部６２の数は特に限定されず、例えば、凹凸部６３は、３つ以上の凸部６１を含んで構成されていてもよい。例えば、凹凸部６３は、５つの凸部６１とこれら５つの凸部６１の間に形成される４つの凹部６２とで構成されていてもよい。

また凹凸部６３は、第１電極６０と同一の金属材料で形成されている。本実施形態では、凹凸部６３は、第１電極６０自体に形成されている。第１電極６０は、絶縁体膜５２上に流路形成基板１０の全面に成膜した後、所定形状にパターニングすることで形成されるが、その際、第１電極６０の表面に、例えば、レーザー加工やイオンミリング等のドライエッチング加工を行うことで凹凸部６３を形成する。勿論、第１電極６０の表面に凹凸部６３を形成する方法は、特に限定されるものではない。

また凹凸部６３を構成する各凸部６１は、山型に形成されており、図７に示すように、その断面は略三角形となっている。したがって、各凸部６１の表面は、流路形成基板１０の表面１０ａに対して傾斜する傾斜面となっている。これら凸部６１間に形成される凹部６２は、第１電極６０の厚さと同程度の深さで形成されているが、第１電極６０を厚さ方向であるＺ軸方向に貫通することなく形成されている。このため、凹部６２の表面（内面）も傾斜面となっている。つまり第１電極６０は、Ｙ軸方向においても連続的に設けられている。

圧電体層７０は、このような凹凸部６３を含む第１電極６０上に略一定の厚さで形成されている。このため、凹凸部６３に対応する部分の圧電体層７０の表面は、凹凸部６３の表面形状に沿った凹凸形状となっている。同様に、凹凸部６３に対応する部分の第２電極８０の表面も、凹凸部６３の表面に沿った凹凸形状となっている。

ここで、第１電極６０の凹凸部６３に形成された圧電体層７０は、第１電極６０の凹凸部６３以外の部分に形成された圧電体層７０よりも配向率が低くなる。凹凸部６３を構成する凸部６１及び凹部６２の表面は、上述のように傾斜面となっている。このような第１電極６０の傾斜面上に形成された圧電体層７０は、傾斜面である下地の影響等により、流路形成基板１０の表面１０ａに対して平行な第１電極６０の平坦面に形成された圧電体層７０よりも配向率が低くなる。つまり第１電極６０の凹凸部６３に形成された圧電体層７０は、第１電極６０の凹凸部６３以外の部分に形成された圧電体層７０よりも配向率が低くなる。

本実施形態では、第１電極６０上に形成される圧電体層７０は、基本的に（１００）面優先配向をしているが、凹凸部６３に形成される圧電体層７０の（１００）面配向率は、凹凸部６３以外の部分に形成される圧電体層７０の（１００）面配向率よりも低くなっている。

すなわち、第１電極６０上に形成される圧電体層７０は、基本的には（１００）面優先配向をしているが、活性部３１０の端部に対応する部分は、凹凸部６３が形成されていることで（１００）面配向率が他の部分よりも低い低配向部７５となっている。

なお「優先配向をする」とは、５０％以上、好ましくは８０％以上の結晶が、所定の結晶面に配向することを示すものとする。例えば「（１００）面優先配向をしている」とは、全ての結晶が（１００）面配向をしている場合だけでなく、半分以上の結晶（換言すると５０％以上、好ましくは８０％以上）が（１００）面配向をしている場合、を含む。また圧電体層７０の低配向部７５は、（１００）面配向率が他の部分よりも低ければよく、もちろん（１００）面配向をしていてもよいが、（１００）面配向をしていなくてもよい。

第１電極６０の凹凸部６３に形成された圧電体層７０、つまり（１００）面配向率が他の部分よりも低い低配向部７５は、圧電アクチュエーター３００に電圧を印加した際の圧電歪みが、活性部３１０の他の部分よりも適度に小さくなる。このため、第１電極６０に凹凸部６３が設けられた活性部３１０の端部では、圧電アクチュエーター３００の変形が他の部分よりも適度に小さく抑えられる。

これにより、活性部３１０の端部、つまり活性部３１０と非活性部３２０との境界部分において、圧電アクチュエーター３００の撓み変形による圧電体層７０への微小クラックの発生を抑制できる。したがって、圧電体層７０の微小クラックに起因するリーク電流に伴う焼損の発生を抑制することができる。つまり活性部３１０の端部において、非活性部３２０との歪み差異に起因する圧電体層７０のクラックや焼損等の発生を抑制できる。

以上説明したように、本発明に係る圧電デバイスは、基板の一方面側に設けられる振動板と、振動板の基板とは反対面側に積層される第１電極、圧電体層及び第２電極を有する圧電アクチュエーターと、を備え、圧電アクチュエーターは、圧電体層が第１電極と第２電極とで挟まれる活性部を備え、活性部の端部における第１電極の圧電体層側の表面は、複数の凸部と凸部の間に形成される凹部とで構成される凹凸部となっていることを特徴とする。

これにより、活性部３１０の端部、つまり活性部３１０と非活性部３２０との境界部分において、圧電アクチュエーター３００の撓み変形による圧電体層７０への微小クラックの発生を抑制できる。したがって、圧電体層７０の微小クラックに起因するリーク電流に伴う焼損の発生を抑制することができる。

ここで、凹凸部６３は、圧電アクチュエーター３００の活性部３１０のうち非可撓部となる部分、すなわち圧力室１２の外側に延在する部分に、極力広い範囲で形成されていることが好ましい。言い換えれば、圧電体層７０の低配向部７５は、圧電アクチュエーター３００の活性部３１０のうち非可撓部となる部分に、極力広い範囲で形成されていることが好ましい。これにより、圧電体層７０に対するクラックや焼損の発生をさらに抑制し易くなる。

また凹凸部６３を構成する凸部６１及び凹部６２は、第１電極６０の引き出し方向に沿って線状に形成されていることが好ましい。凸部６１及び凹部６２をこのような形状とすることで、第１電極６０の表面をパターニングすることで凹凸部６３を比較的容易に形成できる。また第１電極６０自体に凹凸部６３を形成する場合でも、第１電極６０は凹凸部６３を介して電気的に連続するため、第１電極６０としての機能も確保し易くなる。

また凹凸部６３は、第１電極６０と同一の金属材料で形成されていることが好ましい。本実施形態では、凹凸部６３が第１電極６０自体に形成されている。これにより第１電極６０を成膜した後に、パターニングにより凹凸部６３を比較的容易に形成できる。なお凹凸部６３は、第１電極６０とは別の層に形成されていてもよい。例えば、第１電極６０の圧電体層７０側に第１電極６０と同一の金属材料からなる追加層を形成し、この追加層をパターニングすることで凹凸部６３を形成するようにしてもよい。

また凹凸部６３は、本実施形態のように、圧電アクチュエーター３００の活性部３１０から非活性部３２０まで連続して設けられていることが好ましい。例えば、図４において、凹凸部６３の－Ｘ方向側の端部６３ａは、第２電極８０の－Ｘ方向側の端部８０ｂよりも外側に位置していることが好ましい。すなわち図４において、圧電体層７０の低配向部７５の－Ｘ方向側の端部７５ａは、第２電極８０の端部８０ｂよりも外側に位置していることが好ましい。

第２電極８０の端部８０ｂは、電圧印加時に圧電歪みが生じる活性部３１０と圧電歪みが生じない非活性部３２０との境界を規定している。このため、第２電極８０の端部８０ｂ近傍においては、電圧印加時に圧電体層７０に微小クラックが生じやすい。

しかしながら、凹凸部６３が活性部３１０から非活性部３２０まで連続して設けられていることで、つまり凹凸部６３が第２電極８０の端部８０ｂよりも外側まで延設されていることで、活性部３１０の非活性部３２０との境界における圧電歪みが適度に小さく抑えられる。したがって、活性部３１０の端部近傍における圧電体層７０のクラックの発生をさらに抑制し易くなる。

また凹凸部６３の形状は、特に限定されるものではない。本実施形態では、Ｙ軸方向に沿って凸部６１が連続的に形成されているが、例えば、図８に示すように、各凸部６１は、隙間を空けて設けられていてもよい。言い換えれば、各凹部６２は、第１電極６０を厚さ方向に貫通して設けられていてもよい。各凹部６２の表面は、流路形成基板１０の表面１０ａに対して傾斜する傾斜面であり第１電極６０で構成される側面部６２ａと、絶縁体膜５２で構成される底面部６２ｂとで形成されていてもよい。

なお図８の例では、凹部６２の底面部６２ｂは、流路形成基板１０の表面１０ａと略平行な平坦面となる。ただし、この底面部６２ｂは、上述のように絶縁体膜５２で構成されている。このため、底面部６２ｂに形成される圧電体層７０の配向率は、側面部６２ａに形成される圧電体層７０の配向率と同様に、凹凸部６３以外の部分に形成される圧電体層７０の配向率よりも低くなる。つまり、この構成においても凹凸部６３に形成される圧電体層７０は、他の部分よりも配向率が低い低配向部７５となる。

したがって、このような構成においても、活性部３１０の端部において、圧電アクチュエーター３００の撓み変形による圧電体層７０への微小クラックの発生を抑制できる。したがって、圧電体層７０の微小クラックに起因するリーク電流に伴う焼損の発生を抑制することができる。

さらに凹部６２が第１電極６０を貫通して設けられていることで、凹凸部６３を形成した際の製品検査が容易となる。すなわち凹部６２内に絶縁体膜５２が露出されていることで、製品検査において、凹部６２が適切に形成されたか否かの判定が容易となる。

（実施形態２）
図９は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図６のＣ－Ｃ線に対応する断面図である。なお、実施形態１と同一の部材には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

本実施形態は、第１電極６０の表面に形成される凹凸部６３の変形例であり、それ以外の構成は実施形態１と同様である。

本実施形態では、第１電極の下地となる下地層の表面にも、複数の凸部と凸部の間に形成される凹部とで構成される凹凸部が設けられている例である。具体的には、図９に示すように、第１電極６０の下地層である絶縁体膜５２の表面には、第１電極６０の凹凸部６３に対応する部分に、２つの凸部５３とこれら２つの凸部５３の間に形成される１つの凹部５４とで構成される凹凸部５５が設けられている。

第１電極６０は、このように凹凸部５５が設けられた絶縁体膜５２上に略一定の厚さで形成されており、その結果、第１電極６０の圧電体層７０側に２つの凸部６１と１つの凹部６２とで構成される凹凸部６３が形成されている。

このように本実施形態では、活性部の端部における第１電極の下地となる下地層の表面にも、複数の凸部と凸部の間に形成される凹部とで構成される凹凸部が設けられている。このような構成においても、凹凸部６３に形成された圧電体層７０は、第１電極６０の凹凸部６３以外の部分に形成された圧電体層７０よりも配向率が低くなる。したがって、活性部３１０の端部において、圧電アクチュエーター３００の撓み変形による圧電体層７０への微小クラックの発生を抑制できる。したがって、圧電体層７０の微小クラックに起因するリーク電流に伴う焼損の発生を抑制することができる。さらに第１電極６０は凹凸部６３においても略一定の厚さであるため、第１電極６０としての機能も確保し易くなる。

なお本実施形態では、第１電極６０の下地層として、絶縁体膜５２に凹凸部５５を設けるようにしたが、凹凸部５５は、必ずしも絶縁体膜５２に設けなくてもよい。凹凸部５５は、例えば、弾性膜５１に設けてもよく、また振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２以外のその他の膜が含まれている場合には、その他の膜に設けてもよい。

（実施形態３）
図１０は、実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図であり、図６のＣ－Ｃ線に対応する断面図である。なお同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

本実施形態は、第１電極６０の表面に形成される凹凸部６３の変形例であり、それ以外の構成は実施形態１と同様である。

具体的には、図１０に示すように、本実施形態では、凹凸部６３Ａを構成する凸部６１Ａが、第１電極６０とは異なる材料で形成されている。すなわち凸部６１Ａは、第１電極６０の圧電体層７０側に形成された第１電極６０とは異なる材料からなる追加層６５によって構成されている。

この凸部６１Ａは、例えば、断面が略台形状に形成されており、上述の実施形態と同様に第１電極６０の引き出し方向に沿って線状に形成されている。また凹凸部６３Ａを構成する各凹部６２Ａは、追加層６５の厚さと同程度の深さで形成されているが、追加層６５をＺ軸方向に貫通することなく形成されている。つまり追加層６５は、Ｙ軸方向においても連続的に設けられている。したがって、第１電極６０は、凹凸部６３内において表面が露出されることなく追加層６５によって覆われている。

このように凹凸部６３Ａを構成する凸部６１Ａが第１電極６０とは異なる材料で形成されていることで、凸部６１Ａ上に形成される圧電体層７０の配向性は阻害され易くなる。このため、実施形態１の場合と同様に、第１電極６０の凹凸部６３Ａに形成された圧電体層７０は、第１電極６０の凹凸部６３Ａ以外の部分に形成された圧電体層７０よりも配向率が低くなる。したがって本実施形態においても、活性部３１０の端部での撓み変形による圧電体層７０への微小クラックの発生を抑制できる。したがって、圧電体層７０の微小クラックに起因するリーク電流に伴う焼損の発生を抑制することができる。

なお凸部６１Ａの材料は、第１電極６０とは異なる材料であればよいが、圧電体層７０の配向性への寄与が少ない材料、つまり圧電体層７０の配向性を阻害し易い材料で形成されていることが好ましい。言い換えれば、追加層６５は、圧電体層７０の配向を阻害する配向阻害層として機能するものであることが好ましい。さらには、凸部６１Ａの材料としては、圧電体層７０の配向性を阻害する絶縁材料、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）等を用いることが好ましい。これにより、活性部３１０の端部における圧電歪みを適度に小さく抑えることができ、圧電体層７０のクラック等の発生をさらに抑制し易くなる。

なお凹凸部６３Ａの形成方法は、特に限定されないが、第１電極６０に追加層６５を全面に形成した後、追加層６５をパターニングすることによって形成することができる。例えば、レーザー加工により、追加層６５の凹部６２Ａに対応する部分を除去することで、凸部６１Ａ及び凹部６２Ａで構成される凹凸部６３Ａを比較的容易に形成できる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述の実施形態では、各凸部６１が傾斜面のみで形成された構成を例示したが、各凸部６１は、流路形成基板１０の表面１０ａに略平行な平坦面を若干含んで構成されていてもよい。このような構成では、上述のように凸部６１が傾斜面のみで形成されたものと比べると影響は小さいかもしれないが、従来の構成と比べて圧電体層７０の微小クラックに起因するリーク電流に伴う焼損の発生を抑制することができるという効果は見込める。

例えば、上述した各実施形態では、第１電極６０が活性部３１０毎の個別電極を構成し、第２電極８０が複数の活性部３１０の共通電極を構成するようにしたが、第１電極６０が複数の活性部３１０の共通電極を構成し、第２電極８０が活性部３１０毎の個別電極を構成するようにしてもよい。この場合であっても、上述の実施形態と同様の効果が得られる。

また、これら各実施形態の記録ヘッド１は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。図１１は、一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１１に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、キャリッジ３に搭載されている。この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５の軸方向に移動自在に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１に対して記録シートＳをＸ軸方向に搬送しながら、キャリッジ３を記録シートＳに対してＹ軸方向に往復移動させ、その間に、記録ヘッド１からインク滴を噴射することで、記録シートＳの略全面に亘ってインク滴を着弾させる、いわゆる印刷が実行される。

また上述の実施形態では、インクジェット式記録装置Ｉとして、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向であるＸ軸方向に往復移動するものを例示したが、インクジェット式記録ヘッドＩの構成は、これに限定されない。インクジェット式記録装置Ｉは、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向であるＹ軸方向に移動させるだけで印刷を行う、いわゆるライン式記録装置であってもよい。

なお、上記実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドのみならず、超音波発信機等の超音波デバイス、超音波モーター、圧力センサー、焦電センサー等他の圧電デバイスにも適用することができる。

Ｉ…インクジェット式記録装置、 １…インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）、 ２…カートリッジ、 ３…キャリッジ、 ４…装置本体、 ５…キャリッジ軸、 ６…駆動モーター、 ７…タイミングベルト、 ８…搬送ローラー、 １０…流路形成基板、 １１…隔壁、 １２…圧力室、 １５…連通板、 １６…ノズル連通路、 １７…第１マニホールド部、 １８…第２マニホールド部、 １９…供給連通路、 ２０…ノズルプレート、 ２１…ノズル、 ３０…保護基板、 ３１…保持部、 ３２…貫通孔、 ４０…ケース部材、 ４１…収容部、 ４２…第３マニホールド部、 ４３…接続口、 ４４…導入口、 ４５…コンプライアンス基板、 ４６…封止膜、 ４７…固定基板、 ４８…開口部、 ４９…コンプライアンス部、 ５０…振動板、 ５１…弾性膜、 ５２…絶縁体膜、 ５３…凸部、 ５４…凹部、 ５５…凹凸部、 ６０…第１電極、 ６１…凸部、 ６２…凹部、 ６３…凹凸部、 ６５…追加層、 ７０…圧電体層、 ７１…溝部、 ７５…低配向部、 ８０…第２電極、 ８５…配線部、 ９１…個別リード電極、 ９２…共通リード電極、 ９３，９４…延設部、 １００…マニホールド、 １２０…配線基板、 １２１…駆動回路、 ３００…圧電アクチュエーター、 ３１０…活性部、 ３２０…非活性部、 Ｓ…記録シート

Claims (10)

1. 基板の一方面側に設けられる振動板と、
   前記振動板の前記基板とは反対面側に積層される第１電極、圧電体層及び第２電極を有する圧電アクチュエーターと、を備える圧電デバイスであって、
   前記圧電アクチュエーターは、前記圧電体層が前記第１電極と前記第２電極とで挟まれる活性部を備え、
   前記活性部の端部における前記第１電極の前記圧電体層側の表面に、複数の凸部と前記凸部の間に形成される凹部とで構成される凹凸部を有する
   ことを特徴とする圧電デバイス。
2. 請求項１に記載の圧電デバイスであって、
   前記凸部及び前記凹部は、前記第１電極の引き出し方向に沿って線状に設けられる
   ことを特徴とする圧電デバイス。
3. 請求項１又は２に記載の圧電デバイスであって、
   前記凹凸部は、前記第１電極と同一の金属材料で形成される
   ことを特徴とする圧電デバイス。
4. 請求項３に記載の圧電デバイスであって、
   前記凹部が、前記第１電極を厚さ方向に貫通して設けられる
   ことを特徴とする圧電デバイス。
5. 請求項１又は２に記載の圧電デバイスであって、
   前記凹凸部が、前記第１電極とは異なる材料で形成される
   ことを特徴とする圧電デバイス。
6. 請求項１～５の何れか一項に記載の圧電デバイスであって、
   前記凹凸部が、前記活性部から非活性部まで連続して設けられる
   ことを特徴とする圧電デバイス。
7. 請求項１～６の何れか一項に記載の圧電デバイスであって、
   前記活性部の端部における前記第１電極の下地となる下地層の表面にも、複数の凸部と前記凸部の間に形成される凹部とで構成される凹凸部が設けられる
   ことを特徴とする圧電デバイス。
8. 請求項１～７の何れか一項に記載の圧電デバイスであって、
   前記第１電極が、前記圧電アクチュエーター毎に独立する個別電極であり、前記第２電極が複数の前記圧電アクチュエーターに共通する共通電極である
   ことを特徴とする圧電デバイス。
9. 請求項１～８の何れか一項に記載の圧電デバイスを備える
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体噴射ヘッドが搭載される
    ことを特徴とする液体噴射装置。

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