JP6024171B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター - Google Patents
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Description
かかる本発明では、第3電極を接続することで共通電極となる第1又は第2電極の抵抗値が実質的に低下する。これにより、複数の圧電素子を同時に駆動した際の電圧降下の発生を抑制することができる。したがって、複数のノズル間における噴射特性の均一化を図ることができる。また第3電極が所定幅で延設された部分と圧電素子との間に空間が形成されていることで、第3電極による圧電素子の変位量の低下も防止できる。さらに第3電極によって圧電素子の駆動に伴う応力集中を抑制し、この応力集中に起因する圧電体層の破壊を効果的に抑制することもできる。
かかる本発明では、第3電極を接続することで共通電極となる第1又は第2電極の抵抗値が実質的に低下する。これにより、複数の圧電素子を同時に駆動した際の電圧降下の発生を抑制することができる。したがって、複数のノズル間における噴射特性の均一化を図ることができる。また第3電極が所定幅で延設された部分と圧電素子との間に空間が形成されていることで、第3電極による圧電素子の変位量の低下も防止できる。さらに第3電極によって圧電素子の駆動に伴う応力集中を抑制し、この応力集中に起因する圧電体層の破壊を効果的に抑制することもできる。
図1及び図2に示すように、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドIが備える流路形成基板10には、複数の隔壁11によって区画された圧力発生室12がその幅方向(短手方向)に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向の一端部側には、インク供給路13と連通路14とが隔壁11によって区画されている。連通路14の外側には、各圧力発生室12の共通のインク室(液体室)となるマニホールド100の一部を構成する連通部15が形成されている。すなわち、流路形成基板10には、圧力発生室12、インク供給路13、連通路14及び連通部15からなる液体流路が設けられている。
Claims (6)
- ノズルに連通する圧力発生室と、
第1電極と、該第1電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第2電極と、を有する圧電素子と、
前記第2電極上に設けられた第3電極と、
前記圧電素子を収容する保護基板と、
を備え、
前記第3電極は、前記圧電素子の長手方向端部に対向する領域を覆い、かつ、前記圧力発生室に対向する部分において前記圧力発生室の短手方向に沿って延設され、
前記第3電極の前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記第2電極との間に空間を有し、かつ前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記保護基板との間に空間を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第3電極は、前記圧力発生室に対向する部分を、前記圧力発生室の長手方向に沿って所定間隔で複数備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜2の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第3電極は、密着層を介して前記第2電極上に固定されており、前記第3電極の前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記第2電極との間に空間には、前記密着層がないことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項3に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第3電極がAuからなり、前記密着層がNiCrからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
- 圧力発生室と、
第1電極と、該第1電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第2電極と、を有する圧電素子と、
前前記第2電極上に設けられた第3電極と、
前記圧電素子を収容する保護基板と、
を備え、
前記第3電極は、前記圧電素子の長手方向端部に対向する領域を覆い、かつ、前記圧力発生室に対向する部分において前記圧力発生室の短手方向に沿って延設され、
前記第3電極の前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記第2電極との間に、空間を有し、かつ前記延設された部分の少なくとも一部と前記保護基板との間に空間を有することを特徴とするアクチュエーター。
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JP2012091653A JP6024171B2 (ja) | 2012-04-13 | 2012-04-13 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター |
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JP2013222743A JP2013222743A (ja) | 2013-10-28 |
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- 2012-04-13 JP JP2012091653A patent/JP6024171B2/ja active Active
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