JP5598645B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 - Google Patents
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本発明の他の態様は、ノズルに連通する圧力発生室と、該圧力発生室の一方面を構成する振動板上に設けられる圧電素子とを具備し、該圧電素子は、複数層の圧電体層とこれらの圧電体層の間に交互に配される第1の内部電極及び第2の内部電極とを有すると共に、前記第1の内部電極と同一平面に設けられる第3の内部電極を有し、前記圧電素子の一方面には、前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極に接続される第2の外部電極とが設けられ、前記圧電素子の前記一方面側最外層の圧電体層は、前記第1の外部電極と前記第1の内部電極とで挟まれた不活性層となっていると共に、前記第1の外部電極は前記第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、前記第3の内部電極は、前記圧電体層の間に配された全ての層が前記圧電体層の積層方向で前記第1の外部電極と重ならないように構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
具体的には、例えば、前記第3の内部電極の端部が、前記第1の外部電極の端部よりも前記第2の外部電極側に位置している構成とする。
かかる本発明では、いわゆるイオンマイグレーション等に起因する第1の外部電極と第3の内部電極との短絡が抑制される。これにより圧電素子の耐久性が向上し、長期に亘って液滴を良好に噴射させることができるようになる。
またこのような構成とする場合、前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との間に、これら第1及び第3の内部電極とは独立するダミーの内部電極がさらに設けられていることが好ましい。これにより、圧電素子を形成する際に生じる圧電素子の変形(撓みや反り)を抑制することができる。
また本発明の他の態様は、このような構成の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にある。かかる本発明では、耐久性に優れた液体噴射装置を実現することができる。
さらに本発明の他の態様は、複数層の圧電体層とこれらの圧電体層の間に交互に配される第1の内部電極及び第2の内部電極とを有すると共に、前記第1の内部電極と同一平面に設けられる第3の内部電極を有し、前記圧電体層の積層方向の一方面には、前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極に接続される第2の外部電極とが設けられ、前記一方面側最外層の圧電体層は、前記第1の外部電極と前記第1の内部電極とで挟まれた不活性層となっていると共に、前記第1の外部電極は前記第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、前記第3の内部電極は、前記圧電体層の間に配された全ての層が前記圧電体層の積層方向で前記第1の外部電極と重ならないように構成されていることを特徴とする圧電素子にある。
かかる本発明では、いわゆるイオンマイグレーション等に起因する第1の外部電極と第3の内部電極との短絡が抑制される。これにより圧電素子の耐久性が向上する。
図1に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例となるインクジェット式記録ヘッドは、複数の圧力発生室11が設けられた流路形成基板12と、各圧力発生室11に連通する複数のノズル13が穿設されたノズルプレート14と、流路形成基板12のノズルプレート14とは反対側の面に設けられる振動板15と、振動板15上の各圧力発生室11に対応する領域に設けられる圧力発生手段としての圧電素子16とを有する。
Claims (3)
- ノズルに連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力を加える圧電素子とを具備し、
該圧電素子は、
複数層の圧電体層とこれらの圧電体層の間に交互に配される第1の内部電極及び第2の内部電極とを有すると共に、前記第1の内部電極と同一平面に設けられる第3の内部電極を有し、
前記圧電素子の一方面には、前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極に接続される第2の外部電極とが設けられ、
前記圧電素子の前記一方面側最外層の圧電体層は、前記第1の外部電極と前記第1の内部電極とで挟まれた不活性層となっていると共に、前記第1の外部電極は前記第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、
前記第3の内部電極は、前記圧電体層の間に配された全ての層が前記圧電体層の積層方向で前記第1の外部電極と重ならないように構成され、
前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との間に、これら第1及び第3の内部電極とは独立するダミーの内部電極がさらに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 複数層の圧電体層とこれらの圧電体層の間に交互に配される第1の内部電極及び第2の内部電極とを有すると共に、前記第1の内部電極と同一平面に設けられる第3の内部電極を有し、
前記圧電体層の積層方向の一方面には、前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極に接続される第2の外部電極とが設けられ、
前記一方面側最外層の圧電体層は、前記第1の外部電極と前記第1の内部電極とで挟まれた不活性層となっていると共に、前記第1の外部電極は前記第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、
前記第3の内部電極は、前記圧電体層の間に配された全ての層が前記圧電体層の積層方向で前記第1の外部電極と重ならないように構成され、
前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との間に、これら第1及び第3の内部電極とは独立するダミーの内部電極がさらに設けられていることを特徴とする圧電素子。
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