JP2010179498A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の内部電極22と同一平面に設けられる第3の内部電極39を有し、圧電素子16の一方面には、第1の内部電極22に接続される第1の外部電極40と、第2の内部電極22及び第3の内部電極39に接続される第2の外部電極41とが設けられ、圧電素子16の一方面側最外層の圧電体層22aは、第1の外部電極40と第1の内部電極22とで挟まれた不活性層となっていると共に、第1の外部電極40は第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、第3の内部電極39が、圧電体層21の間に配された全ての層が圧電体層21の積層方向で第1の外部電極40と重ならない構成とする。
【選択図】図2
Description
図1に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例となるインクジェット式記録ヘッドは、複数の圧力発生室11が設けられた流路形成基板12と、各圧力発生室11に連通する複数のノズル13が穿設されたノズルプレート14と、流路形成基板12のノズルプレート14とは反対側の面に設けられる振動板15と、振動板15上の各圧力発生室11に対応する領域に設けられる圧力発生手段としての圧電素子16とを有する。
Claims (5)
- ノズルに連通する圧力発生室と、該圧力発生室の一方面を構成する振動板上に設けられる圧電素子とを具備し、
該圧電素子は、複数層の圧電体層とこれらの圧電体層の間に交互に配される第1の内部電極及び第2の内部電極とを有すると共に、前記第1の内部電極と同一平面に設けられる第3の内部電極を有し、
前記圧電素子の一方面には、前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極に接続される第2の外部電極とが設けられ、
前記圧電素子の前記一方面側最外層の圧電体層は、前記第1の外部電極と前記第1の内部電極とで挟まれた不活性層となっていると共に、前記第1の外部電極は前記第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、
前記第3の内部電極は、前記圧電体層の間に配された全ての層が前記圧電体層の積層方向で前記第1の外部電極と重ならないように構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記第3の内部電極の端部が、前記第1の外部電極の端部よりも第2の外部電極側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との間に、これら第1及び第3の電極とは独立するダミーの内部電極がさらに設けられていることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
- 複数層の圧電体層とこれらの圧電体層の間に交互に配される第1の内部電極及び第2の内部電極とを有すると共に、前記第1の内部電極と同一平面に設けられる第3の内部電極を有し、
前記圧電体層の積層方向の一方面には、前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極に接続される第2の外部電極とが設けられ、
前記一方面側最外層の圧電体層は、前記第1の外部電極と前記第1の内部電極とで挟まれた不活性層となっていると共に、前記第1の外部電極は前記第1の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、
前記第3の内部電極は、前記圧電体層の間に配された全ての層が前記圧電体層の積層方向で前記第1の外部電極と重ならないように構成されていることを特徴とする圧電素子。
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JPH06312505A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-11-08 | Seiko Epson Corp | 積層型圧電変位素子及びそれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JPH08222777A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Star Micronics Co Ltd | 圧電素子およびその製造方法 |
JP2000168073A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-20 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法及びインクジェットヘッド |
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- 2009-02-03 JP JP2009023147A patent/JP5598645B2/ja active Active
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