JP5402760B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及
び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド
、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド
、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
液体噴射ヘッドには、ノズル開口に連通する圧力発生室が隔壁により区画されて並設さ
れた流路形成基板の一方面側に振動板を介して第１電極、圧電体層及び第２電極を有する
圧電素子を設け、圧電素子の駆動によって圧力発生室内に圧力変化を生じさせて、ノズル
開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドがある。
れた流路形成基板の一方面側に振動板を介して第１電極、圧電体層及び第２電極を有する
圧電素子を設け、圧電素子の駆動によって圧力発生室内に圧力変化を生じさせて、ノズル
開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドがある。
このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、圧電素子の振動板側の第１電極を圧
力発生室毎に切り分けて個別電極とし、第２電極を複数の圧力発生室に亘って連続させる
ことで共通電極としたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
力発生室毎に切り分けて個別電極とし、第２電極を複数の圧力発生室に亘って連続させる
ことで共通電極としたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
また、インクジェット式記録ヘッドでは、各圧電素子の一方の電極が複数の圧電素子に
共通して設けられた共通電極となっているため、多数の圧電素子を同時に駆動して多数の
インク滴を一度に吐出させると、電圧降下が発生して圧電素子の変位量が不安定となり、
インク吐出特性が低下するという問題がある。また、外部配線が接続される端子部から遠
い位置に設けられた圧電素子ほど印加される電圧が低くなり易い。
共通して設けられた共通電極となっているため、多数の圧電素子を同時に駆動して多数の
インク滴を一度に吐出させると、電圧降下が発生して圧電素子の変位量が不安定となり、
インク吐出特性が低下するという問題がある。また、外部配線が接続される端子部から遠
い位置に設けられた圧電素子ほど印加される電圧が低くなり易い。
このような問題を解決するために、圧力発生室の並設方向に亘って配線電極を設け、第
１電極と配線電極とを、圧電素子が複数個に対して一本の割り合いで設けられた共通リー
ド電極で接続するようにしたインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特
許文献２参照）。
１電極と配線電極とを、圧電素子が複数個に対して一本の割り合いで設けられた共通リー
ド電極で接続するようにしたインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特
許文献２参照）。
しかしながら、特許文献１のように、第１電極を個別電極とし、第２電極を共通電極と
した場合、圧電体層や第２電極を複数の圧力発生室に亘って連続して設ける構成が考えら
れるが、隣り合う圧電素子間で連続する圧電体層や第２電極が圧電素子の変位を阻害し、
所望の変位特性を得ることができない、いわゆる圧電素子のクロストークが発生するとい
う問題がある。
した場合、圧電体層や第２電極を複数の圧力発生室に亘って連続して設ける構成が考えら
れるが、隣り合う圧電素子間で連続する圧電体層や第２電極が圧電素子の変位を阻害し、
所望の変位特性を得ることができない、いわゆる圧電素子のクロストークが発生するとい
う問題がある。
このため、圧力発生室を画成する隔壁上で圧電体層及び第２電極を除去した開口部を形
成すると、隔壁の剛性が低下する。特に、ノズル開口の高密度化によって隔壁の厚さが薄
くなると、隔壁の剛性が著しく低下し、圧力発生室の圧力変動によって隔壁が変形し、隣
り合う圧力発生室に圧力変動を伝えて、着弾位置ずれやインク吐出特性が低下する、いわ
ゆる隔壁のクロストークが発生してしまうという問題がある。
成すると、隔壁の剛性が低下する。特に、ノズル開口の高密度化によって隔壁の厚さが薄
くなると、隔壁の剛性が著しく低下し、圧力発生室の圧力変動によって隔壁が変形し、隣
り合う圧力発生室に圧力変動を伝えて、着弾位置ずれやインク吐出特性が低下する、いわ
ゆる隔壁のクロストークが発生してしまうという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑み、圧電素子及び隔壁のクロストークを抑制すると共に、
電圧降下を抑制して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質
を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提
供することを目的とする。
電圧降下を抑制して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質
を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提
供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通し、隔壁によっ
て区画された複数の圧力発生室が第１の方向に並設された流路形成基板と、該流路形成基
板の一方面側に振動板を介して設けられた第１電極、該第１電極上に設けられた圧電体層
及び該圧電体層上に設けられた第２電極を有する圧電素子と、を具備し、前記圧電素子の
前記第１電極が、前記圧力発生室毎に設けられた個別電極であると共に、前記第２電極が
複数の圧電素子に亘って連続して設けられた共通電極であり、前記第１電極及び第２電極
によって規定された前記圧電素子の実質的な駆動部である圧電体能動部が各圧力発生室に
相対向する領域に設けられており、前記圧電素子の前記隔壁に相対向する領域には、前記
第２電極及び前記圧電体層が除去された開口部が、前記圧電体能動部よりも前記第１の方
向と交差する第２の方向が短く、且つ前記隔壁の前記第１の方向の厚さよりも広い幅で設
けられており、並設された前記圧電体能動部の列の前記第２の方向の少なくとも一方には
、当該圧電体能動部の並設方向に沿って設けられた配線電極が設けられ、前記配線電極と
前記第２電極とが各圧電体能動部の間に設けられた共通リード電極で接続されていると共
に、該共通リード電極が、少なくとも前記開口部内の隔壁上に亘って設けられていること
を特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、共通リード電極を各圧電体能動部の間に設けることで、第２電極の実
質的な抵抗値を下げて、電圧降下による液体噴射特性の低下及びばらつきを抑制すること
ができる。また、共通リード電極を開口部の隔壁上に設けることで、隔壁の剛性を向上す
ることができ、隔壁のクロストークを抑制することができると共に、隔壁を薄くして圧力
発生室の高密度化を図ることができる。
て区画された複数の圧力発生室が第１の方向に並設された流路形成基板と、該流路形成基
板の一方面側に振動板を介して設けられた第１電極、該第１電極上に設けられた圧電体層
及び該圧電体層上に設けられた第２電極を有する圧電素子と、を具備し、前記圧電素子の
前記第１電極が、前記圧力発生室毎に設けられた個別電極であると共に、前記第２電極が
複数の圧電素子に亘って連続して設けられた共通電極であり、前記第１電極及び第２電極
によって規定された前記圧電素子の実質的な駆動部である圧電体能動部が各圧力発生室に
相対向する領域に設けられており、前記圧電素子の前記隔壁に相対向する領域には、前記
第２電極及び前記圧電体層が除去された開口部が、前記圧電体能動部よりも前記第１の方
向と交差する第２の方向が短く、且つ前記隔壁の前記第１の方向の厚さよりも広い幅で設
けられており、並設された前記圧電体能動部の列の前記第２の方向の少なくとも一方には
、当該圧電体能動部の並設方向に沿って設けられた配線電極が設けられ、前記配線電極と
前記第２電極とが各圧電体能動部の間に設けられた共通リード電極で接続されていると共
に、該共通リード電極が、少なくとも前記開口部内の隔壁上に亘って設けられていること
を特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、共通リード電極を各圧電体能動部の間に設けることで、第２電極の実
質的な抵抗値を下げて、電圧降下による液体噴射特性の低下及びばらつきを抑制すること
ができる。また、共通リード電極を開口部の隔壁上に設けることで、隔壁の剛性を向上す
ることができ、隔壁のクロストークを抑制することができると共に、隔壁を薄くして圧力
発生室の高密度化を図ることができる。
ここで、前記共通リード電極が、前記開口部に相対向する領域において、前記隔壁の厚
さよりも狭い幅で形成されていることが好ましい。これによれば、圧電体能動部の駆動に
よる振動板の変位を共通リード電極が阻害するのを抑制して、液体噴射特性の低下を抑制
することができる。
さよりも狭い幅で形成されていることが好ましい。これによれば、圧電体能動部の駆動に
よる振動板の変位を共通リード電極が阻害するのを抑制して、液体噴射特性の低下を抑制
することができる。
また、前記配線電極が、並設された前記圧電素子の列の前記第２の方向の両側に設けら
れており、前記第２電極が、前記圧電素子の前記第２の方向の両側の前記配線電極に前記
共通リード電極を介して電気的に接続されていることが好ましい。これによれば、配線電
極によって第２電極の実質的な抵抗値をさらに下げることができ、配線電極の幅を狭めて
ヘッドを小型化することができる。
れており、前記第２電極が、前記圧電素子の前記第２の方向の両側の前記配線電極に前記
共通リード電極を介して電気的に接続されていることが好ましい。これによれば、配線電
極によって第２電極の実質的な抵抗値をさらに下げることができ、配線電極の幅を狭めて
ヘッドを小型化することができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴と
する液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、圧電素子及び隔壁のクロストークを抑制すると共に、電圧降下を抑制
して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質を向上すること
ができる液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
する液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、圧電素子及び隔壁のクロストークを抑制すると共に、電圧降下を抑制
して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質を向上すること
ができる液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニット又は液体噴射ヘッドを
具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、圧電素子及び隔壁のクロストークを抑制すると共に、電圧降下を抑制
して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質を向上すること
ができる液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、圧電素子及び隔壁のクロストークを抑制すると共に、電圧降下を抑制
して、着弾位置ずれを抑制すると共に液体噴射特性を均一化して印刷品質を向上すること
ができる液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の要部
平面図及びその拡大図であり、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図、図４は図２のＢ−Ｂ′線
断面図、図５は図２のＣ−Ｃ′線断面図である。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の要部
平面図及びその拡大図であり、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図、図４は図２のＢ−Ｂ′線
断面図、図５は図２のＣ−Ｃ′線断面図である。
図１に示すように、インクジェット式記録ヘッドＩを構成する流路形成基板１０には、
隔壁１１によって区画される複数の圧力発生室１２がその幅方向（短手方向であり、本実
施形態の第１の方向）に並設されている。また流路形成基板１０には、圧力発生室１２の
長手方向一端部側に、隔壁１１によって区画され各圧力発生室１２に連通するインク供給
路１３と連通路１４とが設けられている。連通路１４の外側には、各連通路１４と連通す
る連通部１５が設けられている。
隔壁１１によって区画される複数の圧力発生室１２がその幅方向（短手方向であり、本実
施形態の第１の方向）に並設されている。また流路形成基板１０には、圧力発生室１２の
長手方向一端部側に、隔壁１１によって区画され各圧力発生室１２に連通するインク供給
路１３と連通路１４とが設けられている。連通路１４の外側には、各連通路１４と連通す
る連通部１５が設けられている。
連通部１５は、後述する保護基板３０のマニホールド部３２と連通して各圧力発生室１
２の共通のインク室（液体室）となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給
路１３は、圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されており、連通部１５か
ら圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。連通路１４は、圧
力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１を連通部１５側に延設してインク供給路１３と連通
部１５との間の空間を区画することで形成されている。
２の共通のインク室（液体室）となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給
路１３は、圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されており、連通部１５か
ら圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。連通路１４は、圧
力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１を連通部１５側に延設してインク供給路１３と連通
部１５との間の空間を区画することで形成されている。
流路形成基板１０の材料としては、例えば、シリコン単結晶基板が好適に用いられるが
、その他に、例えば、ガラスセラミックス、ステンレス鋼等を用いてもよい。
、その他に、例えば、ガラスセラミックス、ステンレス鋼等を用いてもよい。
流路形成基板１０の一方側の面には、ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０
が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ノズルプレート２０は、例えば
、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼などからなる。
が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ノズルプレート２０は、例えば
、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼などからなる。
流路形成基板１０の他方側の面には、例えば、流路形成基板１０を熱酸化することによ
って形成される弾性膜５１を含む振動板５０が形成されている。上述した圧力発生室１２
等の流路の一方面側は、この振動板（弾性膜５１）によって構成されている。
って形成される弾性膜５１を含む振動板５０が形成されている。上述した圧力発生室１２
等の流路の一方面側は、この振動板（弾性膜５１）によって構成されている。
本実施形態では、弾性膜５１上には弾性膜５１とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体
膜５２が形成され、これら弾性膜５１及び絶縁体膜５２によって振動板５０が構成されて
いる。この振動板５０上には、振動板５０上に形成された第１電極６０と、第１電極６０
上に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された第２電極８０とで構成され
る圧電素子３００が設けられている。
膜５２が形成され、これら弾性膜５１及び絶縁体膜５２によって振動板５０が構成されて
いる。この振動板５０上には、振動板５０上に形成された第１電極６０と、第１電極６０
上に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された第２電極８０とで構成され
る圧電素子３００が設けられている。
圧電素子３００は、一般的には、何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極をそれ
ぞれ独立する個別電極とする。本実施形態では、圧電素子３００の実質的な駆動部となる
各圧電体能動部３２０の個別電極として第１電極を設け、複数の圧電体能動部３２０に共
通する共通電極として第２電極８０を設けるようにした。
ぞれ独立する個別電極とする。本実施形態では、圧電素子３００の実質的な駆動部となる
各圧電体能動部３２０の個別電極として第１電極を設け、複数の圧電体能動部３２０に共
通する共通電極として第２電極８０を設けるようにした。
このような圧電素子３００と、圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板５０と
を合わせてアクチュエーター装置と称する。上述した例では、弾性膜５１、絶縁体膜５２
が振動板５０を構成するが、振動板５０の構成は特に限定されるものではない。例えば、
圧電素子３００の第１電極６０が振動板５０を兼ねるようにしてもよいし、圧電素子３０
０自体が振動板５０として機能するようにしてもよい。
を合わせてアクチュエーター装置と称する。上述した例では、弾性膜５１、絶縁体膜５２
が振動板５０を構成するが、振動板５０の構成は特に限定されるものではない。例えば、
圧電素子３００の第１電極６０が振動板５０を兼ねるようにしてもよいし、圧電素子３０
０自体が振動板５０として機能するようにしてもよい。
ここで、本実施形態に係る圧電素子３００の構造について詳しく説明する。図３〜図５
に示すように、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０が積層
されて両電極への電圧印加により圧電歪みが生じる圧電体能動部３２０と、圧電体能動部
３２０から連続する圧電体層７０と第１電極６０又は第２電極８０を有するが実質的に駆
動しない圧電体非能動部３３０とを備える。これら圧電体能動部３２０と圧電体非能動部
３３０との境界は、第１電極６０及び第２電極８０の端部で規定されている。本実施形態
では、各圧電体能動部３２０はそれぞれ圧力発生室１２に相対向して設けられ、圧電体非
能動部３３０は、圧電体能動部３２０の長手方向両外側に設けられて、圧力発生室１２の
長手方向（第１の方向と直交する第２の方向）の外側まで延設されている。また、圧電体
非能動部３３０は、互いに隣り合う圧電体能動部３２０の間に設けられ、圧力発生室１２
の幅方向（第１の方向）の外側まで延設されている。具体的には、図３に示すように、圧
力発生室１２の長手方向（並設方向と直交する方向）において、圧電体能動部３２０のイ
ンク供給路１３側の端部は、第１電極６０の長手方向の端部によって規定されており、圧
電体層７０及び第２電極８０は、この端部の外側まで延設されている。また、圧力発生室
１２の長手方向において、圧電体能動部３２０のインク供給路１３とは反対側（ノズル開
口２１側）の端部は、第２電極８０の端部によって規定されており、この端部の外側まで
第１電極６０及び圧電体層７０は延設されている。
に示すように、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０が積層
されて両電極への電圧印加により圧電歪みが生じる圧電体能動部３２０と、圧電体能動部
３２０から連続する圧電体層７０と第１電極６０又は第２電極８０を有するが実質的に駆
動しない圧電体非能動部３３０とを備える。これら圧電体能動部３２０と圧電体非能動部
３３０との境界は、第１電極６０及び第２電極８０の端部で規定されている。本実施形態
では、各圧電体能動部３２０はそれぞれ圧力発生室１２に相対向して設けられ、圧電体非
能動部３３０は、圧電体能動部３２０の長手方向両外側に設けられて、圧力発生室１２の
長手方向（第１の方向と直交する第２の方向）の外側まで延設されている。また、圧電体
非能動部３３０は、互いに隣り合う圧電体能動部３２０の間に設けられ、圧力発生室１２
の幅方向（第１の方向）の外側まで延設されている。具体的には、図３に示すように、圧
力発生室１２の長手方向（並設方向と直交する方向）において、圧電体能動部３２０のイ
ンク供給路１３側の端部は、第１電極６０の長手方向の端部によって規定されており、圧
電体層７０及び第２電極８０は、この端部の外側まで延設されている。また、圧力発生室
１２の長手方向において、圧電体能動部３２０のインク供給路１３とは反対側（ノズル開
口２１側）の端部は、第２電極８０の端部によって規定されており、この端部の外側まで
第１電極６０及び圧電体層７０は延設されている。
さらに、図５に示すように、第１電極６０は、各圧力発生室１２に対向する部分が圧力
発生室１２の幅（圧力発生室１２の並設方向である第１の方向の幅）よりも狭い幅で形成
されており、第１電極６０の幅方向の端部が、圧電体能動部３２０の幅方向の端部を規定
している。
発生室１２の幅（圧力発生室１２の並設方向である第１の方向の幅）よりも狭い幅で形成
されており、第１電極６０の幅方向の端部が、圧電体能動部３２０の幅方向の端部を規定
している。
また、図３に示すように、各第１電極６０には、圧力発生室１２の長手方向一端部（イ
ンク供給路１３とは反対側）よりも外側で、例えば、金（Ａｕ）等からなる個別リード電
極９０がそれぞれ接続され、各圧電素子３００には、個別リード電極９０を介して詳しく
は後述する駆動回路１２０がボンディングワイヤー等の接続配線１２１を介して接続され
ている。
ンク供給路１３とは反対側）よりも外側で、例えば、金（Ａｕ）等からなる個別リード電
極９０がそれぞれ接続され、各圧電素子３００には、個別リード電極９０を介して詳しく
は後述する駆動回路１２０がボンディングワイヤー等の接続配線１２１を介して接続され
ている。
圧電体層７０は、図５に示すように、その一部に後述する開口部３０１が存在するが、
複数の圧力発生室１２に対向する領域に亘って連続的に設けられている。すなわち、圧電
体層７０は、第１電極６０の幅方向端部の外側に延設されている。また、図３に示すよう
に、圧力発生室１２の並設方向（第１の方向）と直交する第２の方向において、圧電体層
７０は、圧力発生室１２の長手方向の端部の外側まで延設されている。
複数の圧力発生室１２に対向する領域に亘って連続的に設けられている。すなわち、圧電
体層７０は、第１電極６０の幅方向端部の外側に延設されている。また、図３に示すよう
に、圧力発生室１２の並設方向（第１の方向）と直交する第２の方向において、圧電体層
７０は、圧力発生室１２の長手方向の端部の外側まで延設されている。
第２電極８０は、図５に示すように、圧電体層７０上に、複数の圧力発生室１２に相対
向する領域と、隔壁１１に対向する領域とに亘って連続的に形成されている。また、上述
したように、図３に示すように、圧力発生室１２に相対向する領域（圧力発生室１２の長
手方向におけるノズル開口２１側の領域）では、第２電極８０の端部は、圧力発生室１２
上に位置している。この第２電極８０の端部によって圧電体能動部３２０と圧電体非能動
部３３０との長手方向の一方（ノズル開口２１側）の境界が規定されている。
向する領域と、隔壁１１に対向する領域とに亘って連続的に形成されている。また、上述
したように、図３に示すように、圧力発生室１２に相対向する領域（圧力発生室１２の長
手方向におけるノズル開口２１側の領域）では、第２電極８０の端部は、圧力発生室１２
上に位置している。この第２電極８０の端部によって圧電体能動部３２０と圧電体非能動
部３３０との長手方向の一方（ノズル開口２１側）の境界が規定されている。
また、図４及び図５に示すように、圧電体層７０及び第２電極８０には、開口部３０１
が設けられている。開口部３０１は、第２電極８０及び圧電体層７０を完全に除去するこ
とで形成されたものであり、各圧力発生室１２を区画する隔壁１１に相対向して設けられ
ている。開口部３０１は、図２（ｂ）に示すように、第２の方向の長さＬ１は、圧電体能
動部３２０の長手方向（第２の方向）の長さＬ２よりも短く、且つ、第１の方向の幅Ｗ１
は、隔壁１１の厚さＷ２よりも広くなるように設けられている。これにより、圧電体層７
０の大半は、圧力発生室１２の幅方向（第１の方向）において各圧力発生室１２に相対向
する領域内に形成されている。
が設けられている。開口部３０１は、第２電極８０及び圧電体層７０を完全に除去するこ
とで形成されたものであり、各圧力発生室１２を区画する隔壁１１に相対向して設けられ
ている。開口部３０１は、図２（ｂ）に示すように、第２の方向の長さＬ１は、圧電体能
動部３２０の長手方向（第２の方向）の長さＬ２よりも短く、且つ、第１の方向の幅Ｗ１
は、隔壁１１の厚さＷ２よりも広くなるように設けられている。これにより、圧電体層７
０の大半は、圧力発生室１２の幅方向（第１の方向）において各圧力発生室１２に相対向
する領域内に形成されている。
また、流路形成基板１０上（実際には振動板５０上）には、並設された圧電体能動部３
２０の第２の方向の両側に、圧電体能動部３２０の並設方向に亘って連続して設けられた
配線電極２００、２０１がそれぞれ設けられている。この２つの配線電極２００、２０１
は、圧電体能動部３２０の並設方向（第１の方向）の両端部側において連続することで互
いに導通すると共に、圧電体能動部３２０の並設方向の両端部において第２電極８０と導
通して設けられている。
２０の第２の方向の両側に、圧電体能動部３２０の並設方向に亘って連続して設けられた
配線電極２００、２０１がそれぞれ設けられている。この２つの配線電極２００、２０１
は、圧電体能動部３２０の並設方向（第１の方向）の両端部側において連続することで互
いに導通すると共に、圧電体能動部３２０の並設方向の両端部において第２電極８０と導
通して設けられている。
このような配線電極２００、２０１は、各圧電体能動部３２０の間に設けられた共通リ
ード電極９１を介して第２電極８０と導通されている。
ード電極９１を介して第２電極８０と導通されている。
共通リード電極９１は、隣り合う圧電体能動部３２０の間に、一方の配線電極２００か
ら他方の配線電極２０１に至るまで連続して設けられたものであり、図４に示すように、
振動板５０上、圧電体層７０上及び第２電極８０上に沿って連続して設けられている。
ら他方の配線電極２０１に至るまで連続して設けられたものであり、図４に示すように、
振動板５０上、圧電体層７０上及び第２電極８０上に沿って連続して設けられている。
このような共通リード電極９１は、図２（ｂ）に示すように、開口部３０１内の隔壁１
１上に設けられており、開口部３０１において隔壁１１の第１の方向の厚さＷ２よりも狭
い幅Ｗ０で形成されている。このように、開口部３０１内において、共通リード電極９１
を隔壁１１の厚さＷ２よりも狭い幅Ｗ０で形成することで、共通リード電極９１が、開口
部３０１の圧力発生室１２に相対向する領域の振動板５０上には存在しないようになって
いる。なお、このような共通リード電極９１としては、高い導電性を有する金属材料、例
えば、金（Ａｕ）を用いることができる。
１上に設けられており、開口部３０１において隔壁１１の第１の方向の厚さＷ２よりも狭
い幅Ｗ０で形成されている。このように、開口部３０１内において、共通リード電極９１
を隔壁１１の厚さＷ２よりも狭い幅Ｗ０で形成することで、共通リード電極９１が、開口
部３０１の圧力発生室１２に相対向する領域の振動板５０上には存在しないようになって
いる。なお、このような共通リード電極９１としては、高い導電性を有する金属材料、例
えば、金（Ａｕ）を用いることができる。
このように共通リード電極９１によって圧電素子３００の第２電極８０と配線電極２０
０、２０１とを導通することで、第２電極８０の抵抗値を実質的に低下させることができ
、常に安定したインク吐出特性を得ることができる。特に、本実施形態では、各圧電体能
動部３２０の間に共通リード電極９１を設けることで、配線電極２００、２０１の抵抗値
を下げることができるため、配線電極２００、２０１の幅（第２の方向）を狭くすること
ができ、インクジェット式記録ヘッドＩの小型化を図ることができる。
０、２０１とを導通することで、第２電極８０の抵抗値を実質的に低下させることができ
、常に安定したインク吐出特性を得ることができる。特に、本実施形態では、各圧電体能
動部３２０の間に共通リード電極９１を設けることで、配線電極２００、２０１の抵抗値
を下げることができるため、配線電極２００、２０１の幅（第２の方向）を狭くすること
ができ、インクジェット式記録ヘッドＩの小型化を図ることができる。
また、共通リード電極９１を開口部３０１内の隔壁１１上に設けることで、隔壁１１の
剛性を向上することができる。ちなみに、圧電素子３００を変位させた際に、隣り合う圧
電体能動部３２０の間の圧電体層７０や第２電極８０が開口部３０１によって除去されて
いることで、圧電体能動部３２０の変位がこれに連続する圧電体層７０や第２電極８０に
よって阻害される、いわゆる圧電素子３００のクロストークを抑制して、変位特性を向上
することができる。
剛性を向上することができる。ちなみに、圧電素子３００を変位させた際に、隣り合う圧
電体能動部３２０の間の圧電体層７０や第２電極８０が開口部３０１によって除去されて
いることで、圧電体能動部３２０の変位がこれに連続する圧電体層７０や第２電極８０に
よって阻害される、いわゆる圧電素子３００のクロストークを抑制して、変位特性を向上
することができる。
そして、開口部３０１によって剛性が低下した隔壁１１上に共通リード電極９１を設け
ることで、隔壁１１の剛性を向上することができ、圧電素子３００の変位によって圧力発
生室１２内に圧力変動を生じさせた際に、隔壁１１が変形するのを抑制して、隣接する圧
力発生室１２への圧力変動の影響（隔壁１１のクロストーク）を低減することができる。
したがって、隔壁１１の厚さを薄くして、圧力発生室１２の高密度化、すなわち、ノズル
開口２１の高密度化を図ることができる。
ることで、隔壁１１の剛性を向上することができ、圧電素子３００の変位によって圧力発
生室１２内に圧力変動を生じさせた際に、隔壁１１が変形するのを抑制して、隣接する圧
力発生室１２への圧力変動の影響（隔壁１１のクロストーク）を低減することができる。
したがって、隔壁１１の厚さを薄くして、圧力発生室１２の高密度化、すなわち、ノズル
開口２１の高密度化を図ることができる。
また、本実施形態では、共通リード電極９１を隔壁１１の厚さよりも狭い幅で設けるこ
とで、振動板５０の変位、特に、振動板５０の隔壁１１に対向する領域と圧力発生室１２
に対向する領域との境界部分の変位を共通リード電極９１が阻害するのを抑制して、共通
リード電極９１が圧電素子３００の変位を阻害するのを抑制することができる。ちなみに
、共通リード電極９１を隔壁１１の厚さＷ２よりも広い幅で設けると、上述した境界部分
上に共通リード電極９１が存在して、圧電素子３００（振動板５０）の変位を阻害して、
変位量が低下してしまう。
とで、振動板５０の変位、特に、振動板５０の隔壁１１に対向する領域と圧力発生室１２
に対向する領域との境界部分の変位を共通リード電極９１が阻害するのを抑制して、共通
リード電極９１が圧電素子３００の変位を阻害するのを抑制することができる。ちなみに
、共通リード電極９１を隔壁１１の厚さＷ２よりも広い幅で設けると、上述した境界部分
上に共通リード電極９１が存在して、圧電素子３００（振動板５０）の変位を阻害して、
変位量が低下してしまう。
さらに、本実施形態のように全ての圧電体能動部３２０の間に共通リード電極９１を設
けることで、各圧電体能動部３２０に対応する構造が均一化する。すなわち、各圧電体能
動部３２０が設けられた圧力発生室１２の両側の隔壁１１の構造が均一なため、全ての圧
電体能動部３２０を同じ条件で駆動することができ、インク吐出特性の安定化を図ること
ができる。
けることで、各圧電体能動部３２０に対応する構造が均一化する。すなわち、各圧電体能
動部３２０が設けられた圧力発生室１２の両側の隔壁１１の構造が均一なため、全ての圧
電体能動部３２０を同じ条件で駆動することができ、インク吐出特性の安定化を図ること
ができる。
なお、本実施形態の圧電素子３００では、第１電極６０を個別電極とすると共に第２電
極８０を共通電極とし、第１電極６０の圧力発生室１２の長手方向における一端部が、圧
電体層７０によって覆われるようにしたため、第１電極６０と第２電極８０との間で電流
がリークすることがなく、圧電素子３００の破壊を抑制することができる。ちなみに、第
１電極６０と第２電極８０とが近接した状態で露出されていると、圧電体層７０の表面を
電流がリークし、圧電体層７０が破壊されてしまう。なお、第１電極６０の圧力発生室１
２の長手方向の他端部は、圧電体層７０に覆われていないが、露出された第１電極６０と
第２電極８０との間に距離があるため特に問題がない。したがって圧電素子３００を酸化
アルミニウム等の保護膜で覆う必要がなく、保護膜を設けることによる圧電素子３００の
変位の阻害を抑制して、優れた変位量を得ることができる。
極８０を共通電極とし、第１電極６０の圧力発生室１２の長手方向における一端部が、圧
電体層７０によって覆われるようにしたため、第１電極６０と第２電極８０との間で電流
がリークすることがなく、圧電素子３００の破壊を抑制することができる。ちなみに、第
１電極６０と第２電極８０とが近接した状態で露出されていると、圧電体層７０の表面を
電流がリークし、圧電体層７０が破壊されてしまう。なお、第１電極６０の圧力発生室１
２の長手方向の他端部は、圧電体層７０に覆われていないが、露出された第１電極６０と
第２電極８０との間に距離があるため特に問題がない。したがって圧電素子３００を酸化
アルミニウム等の保護膜で覆う必要がなく、保護膜を設けることによる圧電素子３００の
変位の阻害を抑制して、優れた変位量を得ることができる。
図１に戻り、このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素
子３００を保護するための空間である圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤
３５によって接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成され
ているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。また、保護基板３０
には、流路形成基板１０の連通部１５に対応する領域にマニホールド部３２が設けられて
いる。マニホールド部３２は、上述したように流路形成基板１０の連通部１５と連通され
て各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。
子３００を保護するための空間である圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤
３５によって接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成され
ているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。また、保護基板３０
には、流路形成基板１０の連通部１５に対応する領域にマニホールド部３２が設けられて
いる。マニホールド部３２は、上述したように流路形成基板１０の連通部１５と連通され
て各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。
また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２
０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や 半導体集積回
路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、個別リード電極９０及び共通リード電極９
１は、圧電素子保持部３１の外側まで引き出されており、引き出された個別リード電極９
０及び共通リード電極９１と駆動回路１２０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイ
ヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や 半導体集積回
路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、個別リード電極９０及び共通リード電極９
１は、圧電素子保持部３１の外側まで引き出されており、引き出された個別リード電極９
０及び共通リード電極９１と駆動回路１２０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイ
ヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
保護基板３０上には、さらに、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス
基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、こ
の封止膜４１によってマニホールド１００の一方面が封止されている。固定板４２は、金
属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は
、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方
面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、こ
の封止膜４１によってマニホールド１００の一方面が封止されている。固定板４２は、金
属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は
、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方
面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩでは、図示しない外部インク供
給手段からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内
部をインクで満たした後、図示しない駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室
１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し圧電素子３００をたわみ変形さ
せて各圧力発生室１２内の圧力を高めることで、各ノズル開口２１からインク滴が噴射さ
れる。
給手段からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内
部をインクで満たした後、図示しない駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室
１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し圧電素子３００をたわみ変形さ
せて各圧力発生室１２内の圧力を高めることで、各ノズル開口２１からインク滴が噴射さ
れる。
（実施形態２）
図６は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの要部平面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付
して重複する説明は省略する。
図６は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドの要部平面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付
して重複する説明は省略する。
図６に示すように、本実施形態では、共通リード電極９１Ａは、開口部３０１内におい
て隔壁１１の厚さよりも狭い幅で設けられた幅狭部９２と、開口部３０１の外側で隔壁１
１の厚さよりも幅広の幅広部９３と、を具備する。
て隔壁１１の厚さよりも狭い幅で設けられた幅狭部９２と、開口部３０１の外側で隔壁１
１の厚さよりも幅広の幅広部９３と、を具備する。
このように、共通リード電極９１Ａに幅狭部９２を設けることで、圧電体能動部３２０
（振動板５０）の変位を共通リード電極９１Ａが阻害するのを抑制して、圧電素子３００
の変位量の低下を抑制することができる。また、共通リード電極９１Ａに幅広部９３を設
けることで、第２電極８０全体の抵抗値を下げて、電圧降下による変位特性のばらつき等
をさらに確実に抑制することができる。また、共通リード電極９１Ａに幅広部９３を設け
ることで、共通リード電極９１Ａの抵抗値をさらに下げることができるため、配線電極２
００、２０１の幅をさらに狭くすることもできる。
（振動板５０）の変位を共通リード電極９１Ａが阻害するのを抑制して、圧電素子３００
の変位量の低下を抑制することができる。また、共通リード電極９１Ａに幅広部９３を設
けることで、第２電極８０全体の抵抗値を下げて、電圧降下による変位特性のばらつき等
をさらに確実に抑制することができる。また、共通リード電極９１Ａに幅広部９３を設け
ることで、共通リード電極９１Ａの抵抗値をさらに下げることができるため、配線電極２
００、２０１の幅をさらに狭くすることもできる。
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに
限定されるものではない。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに
限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、配線電極２００、２０１を並設された圧電素子３０
０の列の両側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、配線電極２００、２０１は
、圧電素子３００の列の一方側のみに設けていてもよい。
０の列の両側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、配線電極２００、２０１は
、圧電素子３００の列の一方側のみに設けていてもよい。
また、上述した各実施形態では、共通リード電極９１、９１Ａを、一方の配線電極２０
０から他方の配線電極２０１に亘って隔壁１１上に連続して設けるようにしたが、特にこ
れに限定されず、共通リード電極９１、９１Ａは、開口部３０１によって剛性の低下した
隔壁１１の剛性を向上すればよいため、少なくとも開口部３０１内の隔壁１１上に亘って
設けられていれば、第２電極８０上で不連続となるように設けられていてもよい。ただし
、第２電極８０上以外で不連続となると、第２電極８０と配線電極２００、２０１とを導
通することができない。
０から他方の配線電極２０１に亘って隔壁１１上に連続して設けるようにしたが、特にこ
れに限定されず、共通リード電極９１、９１Ａは、開口部３０１によって剛性の低下した
隔壁１１の剛性を向上すればよいため、少なくとも開口部３０１内の隔壁１１上に亘って
設けられていれば、第２電極８０上で不連続となるように設けられていてもよい。ただし
、第２電極８０上以外で不連続となると、第２電極８０と配線電極２００、２０１とを導
通することができない。
なお、上述したインクジェット式記録ヘッドＩは、インクカートリッジ等と連通するイ
ンク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェ
ット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略
図である。
ンク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェ
ット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略
図である。
図７に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩは、複数のインクジェット式記録ヘ
ッドＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニット１とも言
う）を具備する。ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び
２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体
４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニ
ット１は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとして
いる。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト
７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッ
ジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿っ
てプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記
録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
ッドＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニット１とも言
う）を具備する。ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び
２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体
４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニ
ット１は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとして
いる。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト
７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッ
ジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿っ
てプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記
録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
なお、上述した例では、複数のインクジェット式記録ヘッドＩを具備するヘッドユニッ
ト１をインクジェット式記録装置ＩＩに設けるようにしたが、１つのインクジェット式記
録ヘッドＩを具備するヘッドユニット１をインクジェット式記録装置ＩＩに搭載してもよ
く、また、インクジェット式記録装置ＩＩに搭載するヘッドユニット１を２以上としても
よい。さらに、インクジェット式記録装置ＩＩに直接インクジェット式記録ヘッドＩを搭
載するようにしてもよい。
ト１をインクジェット式記録装置ＩＩに設けるようにしたが、１つのインクジェット式記
録ヘッドＩを具備するヘッドユニット１をインクジェット式記録装置ＩＩに搭載してもよ
く、また、インクジェット式記録装置ＩＩに搭載するヘッドユニット１を２以上としても
よい。さらに、インクジェット式記録装置ＩＩに直接インクジェット式記録ヘッドＩを搭
載するようにしてもよい。
また上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェッ
ト式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定される
ものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以
外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとして
は、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプ
レイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、
ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオ
ｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
ト式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定される
ものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以
外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとして
は、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプ
レイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、
ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオ
ｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
Ｉ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ＩＩ インクジェット式記録
装置（液体噴射装置）、 １ インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユ
ニット）、 １０ 流路形成基板、 １１ 隔壁、 １２ 圧力発生室、 ２０ ノズル
プレート、 ３０ 保護基板、 ４０ コンプライアンス基板、 ５０ 振動板、 ５１
弾性膜、 ５２ 絶縁体膜、 ６０ 第１電極、 ７０ 圧電体層、 ８０ 第２電極
、 ９０ 個別リード電極、 ９１、９１Ａ 共通リード電極、 １００ マニホールド
、 ２００、２０１ 配線電極、 ３００ 圧電素子、 ３０１ 開口部、 ３２０ 圧
電体能動部、 ３３０ 圧電体非能動部
装置（液体噴射装置）、 １ インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユ
ニット）、 １０ 流路形成基板、 １１ 隔壁、 １２ 圧力発生室、 ２０ ノズル
プレート、 ３０ 保護基板、 ４０ コンプライアンス基板、 ５０ 振動板、 ５１
弾性膜、 ５２ 絶縁体膜、 ６０ 第１電極、 ７０ 圧電体層、 ８０ 第２電極
、 ９０ 個別リード電極、 ９１、９１Ａ 共通リード電極、 １００ マニホールド
、 ２００、２０１ 配線電極、 ３００ 圧電素子、 ３０１ 開口部、 ３２０ 圧
電体能動部、 ３３０ 圧電体非能動部
Claims (6)
- 液体を噴射するノズル開口に連通し、隔壁によって区画された複数の圧力発生室が第１
の方向に並設された流路形成基板と、
該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた第１電極、該第１電極上に設け
られた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第２電極を有する圧電素子と、を具備し、
前記圧電素子の前記第１電極が、前記圧力発生室毎に設けられた個別電極であると共に
、前記第２電極が複数の圧電素子に亘って連続して設けられた共通電極であり、前記第１
電極及び第２電極によって規定された前記圧電素子の実質的な駆動部である圧電体能動部
が各圧力発生室に相対向する領域に設けられており、
前記圧電素子の前記隔壁に相対向する領域には、前記第２電極及び前記圧電体層が除去
された開口部が、前記圧電体能動部よりも前記第１の方向と交差する第２の方向が短く、
且つ前記隔壁の前記第１の方向の厚さよりも広い幅で設けられており、
並設された前記圧電体能動部の列の前記第２の方向の少なくとも一方には、当該圧電体
能動部の並設方向に沿って設けられた配線電極が設けられ、前記配線電極と前記第２電極
とが各圧電体能動部の間に設けられた共通リード電極で接続されていると共に、該共通リ
ード電極が、少なくとも前記開口部内の隔壁上に亘って設けられていることを特徴とする
液体噴射ヘッド。 - 前記共通リード電極が、前記開口部に相対向する領域において、前記隔壁の厚さよりも
狭い幅で形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。 - 前記配線電極が、並設された前記圧電素子の列の前記第２の方向の両側に設けられてお
り、前記第２電極が、前記圧電素子の前記第２の方向の両側の前記配線電極に前記共通リ
ード電極を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴
射ヘッド。 - 請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液
体噴射ヘッドユニット。 - 請求項４記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴
射装置。
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