JP6107248B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置に関する。

従来、流路内部の圧力変化に応じて液体を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。液体噴射ヘッドは、液体流路の一部となる圧力室を備える流路部材と、圧力室の位置に応じて流路部材に配置された圧電素子や発熱素子などの圧力発生素子と、を有する。このような液体噴射ヘッドは、圧力発生素子が駆動することで圧力室に圧力変化を生じさせ、液体を噴射する（例えば、特許文献１参照）。

また、通常、圧力発生素子は、この圧力発生素子を駆動させる電極を有する。電極は、圧力発生素子の能動部毎に共通の電位を生じさせる共通電極と、圧力発生素子の能動部毎に個別の電位（信号）を発生させる個別電極とで構成される。

特許公報 第３３７９１０６号

液体噴射ヘッドでは、液体を吐出する密度が高密度化するに従い、圧力室のサイズや、電極のサイズが小さくなる。電極のサイズを小さくすると配線抵抗が高くなるため、供給される電位が適切な値にならず液体の吐出性能を劣化させる場合があった。

本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、最適な吐出性能を維持する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明では、液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、前記液体が流れる複数の圧力室を備える流路部材と、前記圧力室に応じた位置に配置されている能動部と、前記各圧力室に共通した電位を生じさせる共通電極とを備える圧力発生素子と、前記流路部材の前記圧力発生素子が固定される側で前記共通電極と電気的に接続し、前記共通電極の抵抗を降下させる導電性の部材と、を有する。

上記のように構成された発明では、圧力発生素子の共通電極は、流路部材における同じ側に位置する導電性の部材に電気的に接続されている。
そのため、共通電極と導電性の部材とが電気的に一体となることで当該共通電極の配線抵抗を低くすることができる。その結果、圧力発生素子間のエレキクロストークや、圧力発生素子を駆動する駆動信号の鈍りを改善することができる。また、共通電極の配線領域を小さくすることができるため、液体噴射ヘッドを小型化することができる。

ここで、圧力発生素子は、液体を気化させて圧力を発生させる発熱素子や、機械的歪みにより圧力を発生させる圧電素子が含まれる。圧力発生素子が発熱素子である場合、能動部はヒーター等の発熱体により構成される。また、圧力発生素子が圧電素子である場合、能動部は電極に挟まれた圧電体により構成される。
また、導電性の部材は、新規な部材を適用するものであってもよいし、圧電素子を収容する既存のヘッド部材等を流用するものであってもよい。また、導電性部材の材質は、導電性を有するものであればどのようなものであってもよく、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等を適用することができる。

また、前記導電性の部材は、前記圧力室と連通する前記液体が流れる液体の流路の壁の一部を形成する構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、導電性の部材が液体の流路の一部を構成することで、液体噴射ヘッドの大きさをコンパクトにすることができる。

そして、前記導電性の部材と前記液体は電気的に接続している、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、導電性の部材を通じて流れる液体の電位を共通電極に生じる電位と同じにすることで、共通電極に生じる電位をより安定化させることができる。

さらに、前記導電性の部材は、前記複数の圧力室と繋がり、前記各圧力室が共有する共通液室としてもよい。
上記のように構成された発明では、共通液室を流路部材の外部に設けることで、流路部材に形成された流路形状を簡素化することができる。その結果、液体噴射ヘッドの大きさをコンパクトにすることができる。

また、前記共通電極は、前記圧力室毎に配置された個別の電極を有し、前記個別の電極は、前記導電性の部材を通じて互いに導通している、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、共通電極を個別の電極を組み合わせて構成することができるため、共通電極を作りやすくすることができる。

さらに、このような液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に対しても本発明を適用することができる。

液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。 液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。 圧力室とリザーバー室との位置関係を説明する図である。 各電極の位置関係を説明する図である。 インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。 第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明する断面図である。 第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明する図である。

以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．第１の実施形態：
２．第２の実施形態：
３．その他の実施形態：

１．第１の実施形態：
以下、図を参照して、この発明に係る液体吐出ヘッドを具体化した第１の実施の形態について説明する。図１は、液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。また、図２は、液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。ここで、図１は、図２のＡ−Ａ’線での断面図である。また、図３は、圧力室とリザーバー室との位置関係を説明する図である。そして、図４は、各電極の位置関係を説明する図である。

液体噴射ヘッド１は、印刷装置等の液体噴射装置の一部として用いられる。図１、図２に示すように、液体噴射ヘッド１は、流路ユニット４０と、ノズルプレート６０と、ヘッド部材５０と、を備えている。また、液体噴射ヘッド１は、上記した、流路ユニット４０、ノズルプレート６０と、が積層状に組み合わさることで、内部に液体流路７０が構成されている。

流路ユニット４０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、圧電素子（圧力発生素子）３０と、を備えている。流路形成基板２０と振動板１０とは、本発明の流路部材を構成する。なお、本実施形態では、流路ユニット４０には圧電素子３０が含まれるものとして説明を行うが、圧電素子３０を含まないものであってもよい。

流路形成基板２０には、複数の圧力室２１と、共通液室２４と、が形成されている。圧力室２１は、液体流路７０において圧力変化を生じさせる部位である。また、共通液室２４は、例えば、同じ色のインクが流れる圧力室２１毎に共通の流路となる空間である。本実施形態では、流路形成基板２０は薄板体の第１基板２６と第２基板２７とを積層して構成されるが、流路形成基板２０の構成は、これに限定されない。

図３に示すように、第１基板２６には、複数の圧力室２１が第２方向Ｄ２に併設するよう形成されている。各圧力室２１は、内幅が狭くなる狭窄部２２を介して供給口２３と繋がっている。そして、各供給口２３は、第２基板２７に形成された共通液室２４と連通している（図１）。さらに、各圧力室２１の狭窄部２２と反対側の下側は、第２基板２７に形成された連通口２５と連通している。なお、連通口２５は、後述するようにノズルプレート６０のノズル孔６１と連通する開口である。

また、第１基板２６の圧力室２１の近傍には、共通液室２４が形成されている。共通液室２４と圧力室２１とは、壁部を介して第１基板２６内に区画されている。また、共通液室２４は第１基板２６と第２基板２７のそれぞれ形成された空間を組み合わせることで構成される。図３に示すように、共通液室２４と圧力室２１とは、第１基板２６の上面２６ａ側（第１方向）に開口部２１ａ、２４ａを有する。ここで、共通液室２４は、第１基板２６において、第２方向Ｄ２の両端に位置する圧力室２１で規定される幅と略同寸の幅を有する開口部２４ａを形成している。そして、第２基板２７の共通液室２４は第１基板２６に形成された供給口２３と連通している。

ここで、流路形成基板２０の材料としては、部分安定化ジルコニア（Ｚｒ）や安定化ジルコニアを用いることができる。それ以外にも、流路形成基板２０の材質としては、金属等を用いてもよい。

また、流路形成基板２０の第１基板２６の上面２６ａには、振動板１０が積み重ねられている。図１に示すように、振動板１０は、流路形成基板２０の圧力室２１を覆うよう、流路形成基板２０に固定されている。
振動板１０は、例えば、セラミックスの薄板体により構成される。その材料としては、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニア、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を用いることができる。また、振動板１０の第３方向Ｄ３での厚みは、例えば、２．２マイクロメートル（μｍ）から６．０マイクロメートル（μｍ）とすることができる。また、振動板１０の流路形成基板２０とは反対側の上面に液体透過性を抑制することを目的として絶縁性の膜を成膜するものであってもよい。

また、振動板１０の流路形成基板２０と固定されない側には、圧電素子３０が位置している。圧電素子３０は、下電極３１と、上電極３３と、下電極３１と上電極３３との間に位置する圧電体（能動部）３２とを備える。第１の実施形態では、上電極３３は、圧電体３２毎に設けられた個別電極として機能する。一方、下電極３１は、各圧電体３２に共通の電位を供給する共通電極として機能する。

図４に示すように、下電極３１は、圧力室２１毎に配置された枝部３１１と、図示しない回路基板と接続された信号入力部３１２とを有する。枝部３１１は、振動板１０の圧力室２１の上方（能動部領域ともいう。）から能動部領域外まで連続してそれぞれ配置されている。一方、信号入力部３１２は、振動板１０の能動部領域以外の位置に、各枝部３１１と併設するよう形成されている。信号入力部３１２は、一端側（図４では右端）が他と比べて太く形成されており、この太くなっている部分で回路基板からの配線と接続される。

下電極３１や上電極３３は、例えば、層状の金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）等の金属といった導電物質により構成される。そして、下電極３１の厚みは、１マイクロメートル（μｍ）から２マイクロメートル（μｍ）とすることができる。また、圧電体３２は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった誘電体により構成される。

また、流路形成基板２０の圧電素子３０が形成される側には、ヘッド部材５０が固定されている。ヘッド部材５０は、例えば、箱状であって、図示しない回路基板等やケーブルが位置決めされるスリット５１と、ヘッド部材５０の振動板１０に固定される側に開口する凹部５２と、を有する。スリット５１に挿入される回路基板等は、圧電素子３０の上電極３３又は下電極３１と電気的に接続されている。また、凹部５２には、後述するインクカートリッジから供給されるインク（液体）が流れる導入路７１を備える。

導入路７１は、ヘッド部材５０の内壁により形成された第１導入口５３と、共通液室２４の開口周辺に位置する導電性の導入路形成部（導電性の部材）５４とで構成されている。この導入路形成部５４は、第１導入口５３と連通するスリット状の第２導入口５５を有する。

また、導入路形成部５４の下面（流路形成基板２０と面する側の面）は、下電極３１と電気的に接続されている。即ち、図４に示すように、導入路形成部５４は、下電極３１を構成する枝部３１１及び信号入力部３１２とそれぞれ導通可能に接続されている。そのため、信号入力部３１２と各枝部３１１とは導入路形成部５４を通じて導通している。

この第１の実施形態では、導入路形成部５４と、下電極３１とは、電気的に接続を可能にする接着層８０を介して接続されている。接着層８０を構成する接着剤の一例として、異方性導電性接着剤(ＡＣＦ）や、導電性接着剤を用いることができる。また、導入路形成部５４と下電極３１とを接続する方法は接着層８０を用いるものに限定されず、両者をろうづけや直接熱溶着するなど他の方法で接続するものであってもよい。
また、導入路形成部５４の材質は導電性を有するものであれどのようなものであってもよく、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等を用いることができる。

ここで、この第１の実施形態では、液体流路７０に流れるインクの電位と下電極３１に流れる共通電圧の電位は、同じ電位（例えば、０ボルト）となっている。ここで、下電極３１とインクとは導入路形成部５４を通じて電気的に接続されている。そのため、導入路形成部５４を通じて流れるインク（液体）の電位を下電極３１に生じる電位と同じにすることで、下電極３１に生じる電位をより安定化させることができる。

さらに、流路形成基板２０の第２基板２７側には、ノズルプレート６０が固定されている。そのため、ノズルプレート６０は、流路形成基板２０の下側を封止している。ノズルプレート６０は、薄板体であり、ノズル孔６１が第２方向Ｄ２に沿って所定間隔で複数形成されている。また、各ノズル孔６１は、流路形成基板２０の連通口２５とそれぞれ連通するよう形成されている。
ノズルプレート６０は、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。

ノズルプレート６０は、複数のノズル孔６１が第２方向Ｄ２に沿って形成された複数のノズル列を第１方向Ｄ１に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とを第２方向Ｄ２においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
また、流路形成基板２０とノズルプレート６０との間に、連通口基板等の他の基板が存在していてもよい。

上記構成の液体噴射ヘッド１では、各基板が積層状に積み重ねられることで、圧力室２１は連通口２５を通じてノズル孔６１と連通する。また、圧力室２１は、供給口２３を通じて共通液室２４に連通する。そして、ヘッド部材５０の導入路７１は、共通液室２４の開口に連通している。その結果、導入路７１と液体流路７０とは、連通することとなる。

ヘッド部材５０の導入路７１を通じて供給されたインクは共通液室２４を通じて液体流路７０内に充填される。この状態で、図示しない回路基板から駆動電圧が下電極３１や上電極３３に印加されると、圧電素子３０を駆動させる。圧電素子３０の駆動により振動板１０を振動させて、圧力室２１に圧力変化を生じさせる。そして、圧力室２１内の圧力変化は、連通口２５に充填されたインクをノズル孔６１から外部に噴射させる。

また、液体噴射ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。

図５は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。図５において、符号１は、液体噴射ヘッド１をそのノズル孔面を外部に露出させつつ収めた筺体（ヘッドカバー）の一部を示している。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。

装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１のノズル孔６１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。

次に、このような液体噴射ヘッドの製造方法を説明する。

まず、振動板１０、第１基板２６、第２基板２７のそれぞれに対応する焼成前のセラミックスシートを用意する。そして、第１基板２６及び第２基板２７の元となるセラミックスシートに対して、打ち抜き加工を施し、圧力室２１、共通液室２４、連通口２５、更には供給口２３に相当する貫通孔を形成する。そして、振動板１０、第１基板２６、第２基板２７のそれぞれに対応するセラミックスシートを積層し、一体焼成する。

次に、振動板１０の上に下電極３１を形成する。下電極３１は、例えば、スパッタ法等により振動板１０の上面に下電極３１の元となる金属溶液を塗布する。そして、金属溶液を焼成し、金属膜を形成する。そして、金属膜をパターニングして枝部３１１、信号入力部３１２をそれぞれ独立するように形成する。

次に、下電極３１の各枝部３１１の上に圧電体３２を形成する。例えば、圧電体３２は、スピンコート法等により前駆体を下電極３１に塗布した後、焼成する。そして、焼成後の層をパターニングして圧力室２１毎の圧電体３２を形成する。そして、この圧電体３２の上部に上電極３３を形成する。

次に、流路形成基板２０にノズルプレート６０を接着する。ノズルプレート６０は、例えば、接着剤を用いて流路形成基板２０に接着される。接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることができる。ここで、ノズルプレート６０は、材料となるセラミックスシートをもとに、焼成することで形成することができる。

最後に、振動板１０にヘッド部材５０を接着する。このヘッド部材５０には導入路形成部５４が固定されており、下電極３１の枝部３１１及び信号入力部３１２に該導入路形成部５４が通電するように接着される。
以上の工程により、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１が製造される。

以上説明したように、この第１の実施形態では、圧電素子３０の下電極３１（共通電極）は、同じ側に位置する導入路形成部５４（導電性の部材）に電気的に接続されている。そのため、下電極３１と導入路形成部５４とが導通することで当該下電極３１の配線抵抗を低くすることができる。その結果、圧電素子間のエレキクロストークや、圧電素子３０を駆動する駆動信号の鈍りを改善し、液体噴射ヘッド１を適切に駆動させることができる。また、下電極３１の配線領域を小さくすることができるため、液体噴射ヘッドを小型化することができる。

２．第２の実施形態：
図６は、第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明する断面図である。また、図７は、は第２の実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明する図である。
第２の実施形態では、液体噴射ヘッド２は、流路形成基板１２０の外部に共通液室１３１を有するリザーバー部材１３０を備える構成において第１の実施形態と異なる。また、このリザーバー部材１３０は導電性の部材により構成されており、下電極３１に接続されている。また、第２の実施形態では、下電極３１と信号入力部３１２とが連続するように配線されている。この場合であっても下電極３１の配線抵抗を低くすることができる。

液体噴射ヘッド２は、第１の実施形態同様、流路ユニット４０と、ノズルプレート６０と、ヘッド部材５０と、を備えている。また、流路ユニット４０は、振動板１０と、流路形成基板１２０と、圧電素子３０と、リザーバー部材１３０と、を備えている。

第１の実施形態同様、第１基板１２６には複数の圧力室１２１が第２方向Ｄ２に併設するよう形成されている。各圧力室１２１は、内幅が狭くなる狭窄部１２２を介して供給口１２３と連通している。供給口１２３は、第１基板１２６と第２基板１２７とのそれぞれに形成されている。そして、供給口１２３は、流路形成基板１２０内部で圧力室１２１毎の個別の流路として形成されている。そのため、この第２の実施形態では、流路形成基板１２０内部に共通液室を有さない。また、圧力室１２１の狭窄部１２２と連通しない側の下側は、第２基板１２７に形成された連通口１２５と連通している。

一方、流路形成基板１２０の供給口１２３側は、リザーバー部材１３０に接続されている。このリザーバー部材１３０は、その内部に共通液室１３１を備えている。リザーバー部材１３０は、上面側でヘッド部材５０の導入路７１と連通し、下面側で流路形成基板１２０の供給口１２３と連通している。ここで、共通液室１３１は、複数の供給口１２３毎に共通の流路となる。そのため、ヘッド部材５０の導入路７１と、流路形成基板１２０の供給口１２３との間には共通液室１３１が位置することとなる。

そして、図７に示すように、リザーバー部材１３０の下面は、下電極３１と電気的に接続されている。即ち、リザーバー部材１３０は、その下面側で下電極３１を構成する枝部３１１、信号入力部３１２とそれぞれ導通可能に接続されている。そのため、信号入力部３１２と各枝部３１１とはリザーバー部材１３０を通じて導通している。

この第２の実施形態でも、リザーバー部材１３０と下電極３１とは電気的に接続を可能にする接着層を介して接続されてもよいが、これに限定されず、両者を熱溶着するものであってもよい。また、リザーバー部材１３０の材質は導電性を有するものであれどのようなものであってもよく、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等を用いることができる。

以上、説明したようにこの第２の実施形態では、第１の実施形態で示す液体噴射ヘッドと同様の効果を奏する。加えて、共通液室１３１を流路形成基板１２０の外部に位置させることで、流路形成基板１２０の構成を簡素化することができる。その結果、例えば、液体噴射ヘッドをコンパクト化することができる。

３．その他の実施形態：
第１の実施形態と第２の実施形態とを組み合わせたり、以下の変形例を組み合わせたりしてもよい。
例えば、第１の実施形態でも、下電極３１と信号入力部３１２とが連続するように配線されていてもよい。逆に、第２の実施形態でも、下電極３１と信号入力部３１２とは独立していて、連続していなくてもよい。
これらの実施形態で示す液体噴射ヘッドにおいて、上電極を共通電極とし、下電極を個別電極としてもよい。
また、液体流路に流れる液体の電位と共通電極の電位とを一致させない場合に、例えば、導電性の部材の内側の流路壁に絶縁性の膜や絶縁性の部材を形成し、液体と下電極とを絶縁するものであってもよい。
また、１つの圧電素子が１つの圧力室毎に設けられる以外にも、１つの圧電素子が複数の圧力室に圧力を生じさせるよう設けられるものであってもよい。この場合、圧電体が複数の能動部領域間で連続して設けられていてもよい。

実施形態で示す液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、発熱素子などの圧電素子以外の圧力発生素子を用いたものに適用してもよいし、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。
即ち、上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。

１、２…液体噴射ヘッド、１０…振動板、２０…流路形成基板、２１…圧力室、２２…狭窄部、２３…供給口、２４…共通液室、２５…連通口、２６…第１基板、２７…第２基板、３０…圧電素子、３１…下電極、３２…圧電体、３３…上電極、４０…流路ユニット、５０…ヘッド部材、５４…導入路形成部、６０…ノズルプレート、６１…ノズル孔、７０…液体流路、１２０…流路形成基板、１２１…圧力室、１２２…狭窄部、１２３…供給口、１２５…連通口、１２６…第１基板、１２７…第２基板、１３０…リザーバー部材、１３１…共通液室、２００…インクジェットプリンター、３１１…枝部、３１２…信号入力部

Claims (5)

1. 液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
   前記液体が流れる複数の圧力室を備える流路部材と、
   前記圧力室に応じた位置に配置されている能動部と、前記各圧力室に共通した電位を生じさせる共通電極とを備える圧力発生素子と、
   前記流路部材の前記圧力発生素子が固定される側で前記共通電極と電気的に接続し、前記共通電極の抵抗を降下させる導電性の部材と、を有し、
   前記導電性の部材は、前記圧力室と連通する前記液体の流路の壁の一部を形成している、液体噴射ヘッド。
2. 前記導電性の部材と前記液体は電気的に接続している、請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記導電性の部材は、前記複数の圧力室と繋がり、前記各圧力室が共有する共通液室を構成する、請求項１又は請求項２のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記共通電極は、前記圧力室毎に配置された個別の電極を有し、
   前記個別の電極は、前記導電性の部材を通じて互いに導通している、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記請求項１に記載の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置。

Images