JP2014195912A - 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体が流れる流路を適切に構成する流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路ユニットは、複数の圧力室を有している。また、流路ユニットは、複数の圧力室に液体を供給する共通液室部材と接合面で接合する。そして、流路ユニットの圧力室を含む液体流路の内側の壁を被覆する被覆膜を有し、被覆膜は、圧力室から、接合面における液体流路の上流側開口の周辺の領域である第１領域まで延設されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、液体が流れる液体流路の一部を形成する流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置に関する。

従来、液体が流れる流路を有する装置が知られている。また、この流路の一部を構成する流路ユニットも知られている。流路ユニットは、液体が供給される流路と、液体を排出する側の流路とを繋いでいる。そのため、流路ユニットを製品に組み込む場合、流路ユニットに異なる流路部材を接合させて液体が流れる流路を完成させる。

また、流路の壁面を液体から保護するために、この流路を被覆膜で覆う構成が開示されている（例えば、特許文献１，２参照。）。被覆膜は、使用される液体の特性や、経年劣化による腐食から流路を保護するために用いられる。

特開２００５−１５３５１０号公報 特開平７−１０１０６８号公報

しかし、流路の外側に被覆膜がはみ出す場合がある。はみ出した被覆膜は、相手側の流路部材との接合面と干渉し、流路間の密閉性等を低下させる場合がある。

本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、流路を適切に構成することが可能な、流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明では、複数の圧力室を有し、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室を備える共通液室部材と接合面で接合する流路ユニットであって、前記圧力室を含む液体流路の内側の壁を被覆する被覆膜を有し、前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の上流側開口の周辺の領域である第１領域まで延設されている。

上記のように構成された発明では、液体流路の内側の壁は、被覆膜により被覆されている。そして、上流側開口側の内側の壁を被覆する被覆膜は、接合面の第１領域まで延設されている。
そのため、被覆膜を製膜する際の条件を強くする場合でも、寸法公差の管理が厳しい液体流路の下流側に比べて、共通の流路と繋がるため比較的寸法公差の管理が緩やかな上流側開口側に被覆膜をはみ出させている。そのため、液体流路からはみ出した被覆膜による相手側の部材の接合の際の影響を低減させることができる。なお、接合とは、直接又は接着剤等を挟んで間接に、くっついていることの両方を含む。

ここで、共通の流路とは、複数の個別の流路と繋がる流路である。そのため、個別の流路から液体が流れる場合は、流路間のつなぎ目で共通の流路により液体が合流する。また、共通の流路から液体が流れる場合は、流路間のつなぎ目で個別の流路により液体が分岐する。
また、圧力発生室は、液体に圧力を生じさせることで液体を流動させる空間であり、流れる液体に圧力が生じる限りにおいてどの様なものであってもよい。

そして、前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の下流側開口の周辺の領域である第２領域まで延設されており、前記第１領域は、前記第２領域と比べて大きい、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、下流側の個別の流路側に対するはみだした被覆膜の影響を、上流側の共通の流路側に対するはみ出した被覆膜の影響に比べて低減させることができる。

さらに、前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の下流側開口の周辺の領域である第２領域には形成されていない、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、下流側の個別の流路側に対する被覆膜の影響を低減させることができる。

また、流路ユニットは、前記第１領域の全てが共通液室部材の共通の流路に面している、構成としてもよい。
上記のように構成された発明では、第１領域のすべてが共通の流路に面するため、上流側開口の密閉性を高めることができる。

また、当該流路ユニットは、少なくとも一部がセラミックスにより構成されている、構成としてもよい。
セラミックスにより流路ユニットが構成される場合、焼成による収縮により寸法精度にばらつきが生じる場合がある。特に、個別の流路と繋がる下流側開口は、焼成に起因して寸法精度の管理がより一層厳しくなる。そのため、上記のように構成された発明では、セラミックスにより流路ユニットの一部が構成される場合でも、流路からはみ出す被覆膜の影響を低減することができる。

また、前記被覆膜は、樹脂により構成されていてもよい。
上記のように構成された発明では、液体流路の径が小さくなる場合でも、被覆膜の厚みをより均一にすることができる。

そして、本発明の流路ユニットを備える液体噴射ヘッドに対しても適用することができる。
さらに、このような構成を備える液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に対しても適用することができる。

流路ユニットの構成を説明する断面図である。 液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。 液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。 インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。 液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する工程図である。 液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する工程図である。 第２の実施形態に係る流路ユニット５０の構成を示す断面図である。

以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．第１の実施形態：
２．第２の実施形態：
３．その他の実施形態：

１．第１の実施形態：
以下、図を参照して、この発明に係る液体吐出ヘッドを具体化した第１の実施の形態について説明する。この第１の実施形態では、液体噴射ヘッド１は、印刷装置等の液体噴射装置の一部として用いられる。

図１は、流路ユニットの構成を説明する断面図である。また、図２は、液体噴射ヘッドの構成を説明する断面図である。そして、図３は、液体噴射ヘッドの構成を説明する斜視展開図である。ここで、図１（ａ）、図２（ａ）は、図３の第１方向Ｄ１に平行な面での断面図に対応している。図１（ｂ）は、図１（ａ）をＡ方向から見た図である。そして、図２（ｂ）は、図２（ａ）をＢ方向から見た図である。図中、第１方向Ｄ１は、圧力室２１の長手方向の辺が延設する方向である。また、第２方向Ｄ２は、圧力室２１が併設する方向である。そして、第３方向Ｄ３は、流路ユニットの高さ方向である。

図１に示すように、流路ユニット５０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、被覆膜３０と、圧電素子４０と、を備えている。流路ユニット５０は、液体噴射ヘッド１の内部に形成された液体流路の一部を構成する。
第１の実施形態では、流路ユニット５０は、振動板１０と圧電素子４０とを備える構成として説明を行うが、流路ユニット５０は、振動板１０と圧電素子４０とを含まないものであってもよい。

図２に示すように、液体噴射ヘッド１は、流路ユニット５０と、リザーバープレート（共通液室部材）６０と、コンプライアンスプレート７０と、ノズルプレート８０と、を備えている。液体噴射ヘッド１は、上記した、流路ユニット５０、リザーバープレート６０、コンプライアンスプレート７０、ノズルプレート８０が積層状に組み合わさることで、内部に流路が形成されている。そして、流路ユニット５０は、液体噴射ヘッド１における流路の一部を構成する。

流路形成基板２０は、板状部材で構成され、下面２０ｂでリザーバープレート６０の上面と接合される。即ち、この第１の実施形態では、下面２０ｂが接合面となる。
また、流路形成基板２０に形成された液体流路２５には、複数の圧力室（圧力発生室）２１が第２方向Ｄ２で併設するよう形成されている。また、液体流路２５は、圧力室２１を挟んで上流側に供給口（上流側開口）２２が位置している。また、圧力室２１と供給口２２との間には、流路の径が狭くなる狭窄部２４が位置している。供給口２２は、圧力室２１の共通の流路となる共通液室６１と繋がる側の部位である。そして、液体流路２５は圧力室２１を挟んで下流側に、連通孔側開口（下流側開口）２３が位置している。連通孔側開口２３は、各圧力室２１の個別の流路となる連通孔６２にそれぞれ繋がる側の部位である。この第１の実施形態では、連通孔６２の開口の径は、下方に移行するに従いスロープ状に径が大きくなっている。

流路形成基板２０は、例えば、セラミックスの薄板体や金属の薄板体を積層して構成される。また、セラミックスを材料として用いる場合、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いることができる。

流路形成基板２０の上面２０ａには、振動板１０が固定されている。そのため、各圧力室２１の上部は、振動板１０に面している。振動板１０は、例えば、セラミックスの薄板体により構成される。その材料としては、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニア、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を用いることができる。また、振動板１０の第３方向Ｄ３での厚みは、例えば、０．２マイクロメートル（μｍ）から５．４マイクロメートル（μｍ）とすることができる。

なお、流路ユニット５０が振動板１０を有さない場合、圧力室２１の上面は流路形成基板２０の上面２０ａと面することとなる。また、これ以外にも、圧力室２１の上面が圧電素子４０の底面と面するものであってもよい。

また、被覆膜３０は、液体流路２５の内側の壁面を被覆している。具体的には、被覆膜３０は、圧力室２１、供給口２２、及び連通孔側開口２３のそれぞれの内側の壁を覆うよう製膜されている。また、図１に示すように、被覆膜３０は、流路形成基板２０の下面２０ｂまで延設している。以下、流路形成基板２０の下面２０ｂにおける被覆膜３０が延設されている領域を第１領域ＡＲ１とも記載する。

被覆膜３０は、例えば、厚みを０．５マイクロメートルから２０マイクロメートルとする樹脂膜、金属膜、有機膜等により構成される。樹脂膜としては、公知の、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、パラキシレン系樹脂（パラキシレン系ポリマー）を適用することができる。パラキシレン系ポリマーの一例として、パリレン（登録商標）を用いても良い。
また、被覆膜３０には拡大して観察した場合に、被覆膜の機能を損なわない程度に隙間があいているものも含まれる。

振動板１０における流路形成基板２０が固定される側と反対側の面には、圧力発生素子としての圧電素子４０が形成されている。圧電素子４０は、圧力室２１の位置に応じて設けられている。圧電素子４０は、下電極４１と、上電極４２と、下電極４１と上電極４２との間に位置する圧電体４３とを備える。この第１の実施形態では、上電極４２及び圧電体４３が圧力室２１毎に個別に配置され、下電極４１が各圧力室２１に共通となるよう配置されている。
これ以外にも、圧電素子は、下電極４１及び圧電体４３が圧力室２１毎に個別に配置され、上電極４２が各圧力室２１に共通となるよう配置されていてもよい。また、圧電素子４０は、上電極が圧力室２１毎に個別に配置され、圧電体４３及び下電極４１が各圧力室に共通となるよう配置されてもよい。

下電極４１や上電極４２は、金、白金等の導電物質により構成される。また、圧電体４３は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった磁性体により構成される。

さらに、流路形成基板２０の下面２０ｂ側には、リザーバープレート６０が固定されている。リザーバープレート６０は、複数の連通孔６２と、共通液室６１とを有する薄板体である。連通孔６２は、第３方向Ｄ３でリザーバープレート６０を貫通し、流路形成基板２０の各連通孔側開口２３とそれぞれ連通している。

また、共通液室６１は、流路形成基板２０の全ての供給口２２と繋がることで、各圧力室２１に共通の流路となっている。例えば、図２に示すように、共通液室６１は、長手方向の辺Ｅ１が第２方向Ｄ２に伸び、短手方向の辺Ｅ２が第３方向Ｄ３で伸びることで、リザーバープレート６０を貫通する矩形のスリットにより構成されている。

リザーバープレート６０は、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。また、流路形成基板２０とリザーバープレート６０との間に、共通液室６１を封止するプレートが配置されていてもよい。
この第１の実施形態では、リザーバープレート６０は流路ユニット５０と異なる部材として説明を行っているが、流路ユニット５０にリザーバープレート６０が含まれるものであってもよい。

リザーバープレート６０の下方には、コンプライアンスプレート７０が位置している。コンプライアンスプレート７０は、共通液室６１に生じる圧力を吸収し、共通液室６１の圧力変化を一定にする。例えば、リザーバープレート６０は、金属部分と、共通液室６１に生じる圧力により変位するフィルム部分とで構成される。
なお、液体噴射ヘッド１がコンプライアンスプレート７０を有さないものであってもよい。

そして、コンプライアンスプレート７０の下方にはノズルプレート８０が固定されている。ノズルプレート８０は、ノズル孔８１が第２方向に沿って所定間隔で複数形成された薄板体である。各ノズル孔８１は、コンプライアンスプレート７０に固定された場合に、リザーバープレート６０の連通孔６２とそれぞれ連通して個別の流路を形成する。
ノズルプレート８０は、例えば、例えば、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスや、金属により構成される。

上記構成の液体噴射ヘッド１において、高解像度化するためにノズル孔８１の径を小さくすると、このノズル孔８１と繋がる流路（連通孔６２、連通孔側開口２３）を被膜する被覆膜３０の膜厚を均一にすることが難しくなる。これを解消するために、製膜条件を強くすることが考えられるが、製膜条件を強くすると流路の外側に被覆膜３０がはみ出た状態で形成されてしまう。被覆膜３０のはみ出しの影響を低減するために、リザーバープレート６０の連通孔６２の孔径を連通孔側開口２３と比べて大きくすることも考えられる。しかし、流路の径が小さくなると連通孔６２と連通孔側開口２３との寸法公差を厳格に管理する必要が生じ、連通孔６２の孔径を連通孔側開口２３と比べて大きくすることが難しくなる。特に、流路形成基板２０をセラミックスにより製造する場合、焼成時の寸法ばらつきも生じるため、上記した連通孔６２の管理がより難しくなる。

そこで、この第１の実施形態では、被覆膜３０は、共通の流路に接続される供給口２２が形成された流路部材の下面２０ｂではみ出る構成となっている。即ち、図１（ａ）（ｂ）に示すように、連通孔側開口２３が貫通する下面２０ｂの部位（以下、単に第２領域ＡＲ２とも記載する。）には、被覆膜３０が延設しておらず、下面２０ｂの供給口２２が貫通する部位（第１領域ＡＲ１）にのみ被覆膜３０が延設している。そのため径寸法の公差の管理が厳格でない供給口２２に被覆膜３０をはみ出させることで、はみ出した被覆膜３０による影響を低減させることができる。

さらに、図２（ｂ）に示すように、共通液室６１の辺Ｅ１及び辺Ｅ２で規定されるスリット開口の大きさは、流路形成基板２０の下面２０ｂの第１領域ＡＲ１と比べて大きくなるようその形が形成されている。そのため、はみ出した被覆膜３０がリザーバープレート６０の接合面（上面６０ａ）と干渉することがなく、流路の密閉性を高めることができる。

以下、液体噴射ヘッド１は、各基板が積層状に固定されることで、圧力室２１は連通孔側開口２３を通じてノズル孔８１と連通する。また、圧力室２１は、供給口２２を通じて共通液室６１に連通する。その結果、ノズル孔８１と共通液室６１とは、圧力室２１を通じて連通しており、流路を構成する。

そのため、液体貯留部から供給されるインクは、この流路内に充填される。この状態で、図示しない回路基板から駆動電圧が、ケーブル類を介して下電極４１や上電極４２に印加されると、圧電素子４０を変位させる。圧電素子４０の変位は、振動板１０を振動させて、圧力室２１に圧力変化を生じさせる。そして、圧力室２１内の圧力変化により、連通孔６２に充填されたインクをノズル孔８１から外部に噴射させる。

また、液体噴射ヘッド１は、液体貯留部と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。

図４は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。図４において、符号１は、液体噴射ヘッドをそのノズル孔面を外部に露出させつつ収めた筺体（ヘッドカバー）の一部を示している。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、液体貯留部としてのインクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。

装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１のノズル孔８１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。
なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。

図５、図６は、液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する工程図である。以下、図５、図６を用いて、液体噴射ヘッド１の製造方法を説明する。

まず、図５（ａ）に示すように、振動板１０と流路形成基板２０とを製造する。具体的には、振動板１０、流路形成基板２０に対応する焼成前のセラミックスシートを用意する。そして、流路形成基板２０に対応するセラミックスシートに対して、打ち抜き加工を施し、圧力室２１や、連通孔側開口２３、更には供給口２２に相当する貫通孔を形成する。そして、各セラミックスシートを積層し、１０００度から１４００度で加熱して、振動板１０、流路形成基板２０を一体焼成する。

次に、図５（ｂ）に示すように、流路形成基板２０の下面２０ｂ側にマスク膜２６を形成する。このマスク膜２６の、流路形成基板２０の連通孔側開口２３に対向する部位には、開口部２７が形成されている。開口部２７の大きさは、流路形成基板２０の第１領域ＡＲ１と同じ寸法である。
また、マスク膜２６は、例えば、フィルム状のものを用いることができる。

次に、マスク膜２６の開口部２７から図５（ｂ）に示すように、流路形成基板２０の内側部分に対して被覆膜３０を成膜する。被覆膜３０の材料としてパラキシレン系樹脂を使用する場合、例えば、周知のパリレン（登録商標）を用いることができる。パラキシレン系樹脂を材料に使用する場合、まず、パラキシレン系固体ダイマーを気化、熱分解し、パラキシレン系モノマーを発生させる。そして、チャンバー内に配置された振動板１０及び流路形成基板２０にパラキシレン系モノマーを反応させて成膜する。具体的には、被覆膜３０の成膜方法は、化学気相堆積（Chemical Vapor Deposition：ＣＶＤ）法を用いることができる。そのため、図５（ｃ）に示すように、圧力室２１、供給口２２、連通孔側開口２３の内側の壁に被覆膜３０が製膜される。被覆膜３０の成膜方法としてはこれ以外にも、スパッタリング法、真空蒸着法等を用いることもできる。

次に、図６（ａ）に示すように、振動板１０の上面側に、圧力室２１の位置に応じて、圧電素子４０を形成する。圧電素子４０の形成方法の一例として、振動板１０の上面側に電極膜を製膜し、この膜をパターニングして下電極４１を形成する。次に、下電極４１の上部に前駆体層を製膜する。そして、前駆体層をパターニングして、圧電体４３を形成する。最後に、この圧電体４３の上部に下電極４１と同様の方法により各圧力室２１に応じた上電極４２を形成する。
前駆体層の形成方法の一例としては、イオンビーム、スパッタリング、真空蒸着、ＰＶＤ、イオンプレーティング、ＣＶＤ、等の方法を挙げることができる。

次に、図６（ｂ）に示すように、流路形成基板２０にリザーバープレート６０を接着する。リザーバープレート６０は、例えば、フィルム型の接着剤を用いて流路形成基板２０に接着される。なお、リザーバープレート６０には、すでに、連通孔６２及び共通液室６１とが形成されているものとする。リザーバープレート６０を流路形成基板２０の下面２０ｂに接着する際、連通孔側開口２３の孔内に、連通孔６２の全てが位置するよう位置決めする。この状態においても、共通液室６１の開口は、第１領域ＡＲ１と比べて十分に大きいため、下面２０ｂの第１領域ＡＲ１の全てが共通液室６１に面している。
フィルム型の接着剤の一例として、エポキシ系の接着剤を用いることができる。

最後に、図６（ｃ）に示すように、コンプライアンスプレート７０、及びノズルプレート８０をそれぞれ接着する。コンプライアンスプレート７０とノズルプレート８０とは、例えば、接着剤を用いてリザーバープレート６０に接着される。上記同様、接着剤としては、フィルム型の接着剤を用いることができる。
以上の工程により、第１の実施形態に係る液体噴射ヘッド１が製造される。

以上説明したように、この第１の実施形態では、寸法公差の管理が厳しい連通孔側開口側に比べて、共通の流路と接続されるため比較的寸法公差の管理が緩やかな供給口側に被覆膜をはみ出させることで、はみ出した被覆膜の影響を低減させることができる。

２．第２の実施形態：
図７は、第２の実施形態に係る流路ユニット５０の構成を示す断面図である。
この第２の実施形態では、流路ユニット５０内に共通液室の一部が形成される構成が第１の実施形態と比べてことなる。

図７（ａ）に示す、流路ユニット５０は、振動板１０と、流路形成基板２０と、被覆膜３０と、圧電素子４０と、を備える。加えて、流路形成基板２０の下面２０ｂは、封止プレート９０の上面９０ａと固定されており、流路ユニット５０は、振動板１０、流路形成基板２０、封止プレート９０とが一体焼成されている。そのため、この流路ユニット５０の接合面は、封止プレート９０の下面９０ｂとなる。

封止プレート９０には、共通液室の上部９１が形成されている。この共通液室の上部９１は、供給口２２と繋がっている。また、連通孔側開口２３は、封止プレート９０まで延設している。そして、封止プレート９０の下面９０ｂには、供給口２２の内側の壁を被覆する被覆膜３０が延設する領域（第１領域ＡＲ１）が形成されている。

第２の実施形態の流路ユニット５０では、封止プレート９０の下方にはリザーバープレート６０が固定される。そのため、封止プレート９０の下面９０ｂの第１領域ＡＲ１は、その全てが、リザーバープレート６０の共通液室と面するよう配置される。

図７（ｂ）は、流路ユニット５０が共通液室の一部を有する場合の変形性を示す。図７（ｂ）に示す、流路ユニット５０では、振動板１０と、流路形成基板２０と、被覆膜３０と、圧電素子４０と、を備える。そして、この流路ユニット５０では、流路形成基板２０に共通液室の上部２８が形成されている。即ち、圧力室２１と、共通液室の上部２８とは流路形成基板２０内に併設するよう形成されている。そのため、流路ユニット５０の接合面は、流路形成基板２０の下面２０ｂとなる。

図７（ｂ）に示す流路ユニット５０では、封止プレート９０の下面２０ｂにはリザーバープレート６０又は封止プレート９０が固定される。そのため、流路形成基板２０の下面２０ｂの第１領域ＡＲ１は、共通液室と面するよう配置される。

３．その他の実施形態：
本発明は様々な実施形態が存在する。
接合面に位置する第２領域ＡＲ２は、被覆膜が完全に形成されていない場合の他、被覆膜は形成されているが、第１領域ＡＲ１と比べて少ない場合であってもよい。このような構成とすることで、個別の流路側に対するはみだした被覆膜の影響を、共通の流路側に対するはみ出した被覆膜の影響に比べて低減させることができる。

また、圧力発生素子として圧電素子を用いることは一例であり、例えば、液体を加熱して圧力を生じさせるいわゆるサーマル型に対応した発熱体を用いるものであってもよい。 そして、圧力発生室の実施形態となる圧力室は一例にすぎない。例えば、圧力発生素子が発熱体である場合、この発熱体の機能を効果的に発揮できる形状に応じて、圧力発生室の形状が適宜設定される。

また、本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。
即ち、上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。

１…液体噴射ヘッド、１０…振動板、２０…流路形成基板、２１…圧力室、２２…供給口、２３…連通孔側開口、２４…狭窄部、２５…液体流路、２６…マスク膜、２７…開口部、２８…共通液室の上部、３０…被覆膜、４０…圧電素子、４１…下電極、４２…上電極、４３…圧電体、５０…流路ユニット、６０…リザーバープレート、６１…共通液室、６２…連通孔、７０…コンプライアンスプレート、８０…ノズルプレート、８１…ノズル孔、９０…封止プレート、９１…共通液室の上部、２００…インクジェットプリンター、２０２…ヘッドユニット、２０２Ａ…インクカートリッジ、２０２Ｂ…インクカートリッジ、２０３…キャリッジ、２０４…装置本体、２０５…キャリッジ軸、２０６…駆動モーター、２０７…タイミングベルト、２０８…プラテン、ＡＲ１…第１領域、ＡＲ２…第２領域

Claims (8)

1. 複数の圧力室を有し、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室を備える共通液室部材と接合面で接合する流路ユニットであって、
   前記圧力室を含む液体流路の内側の壁を被覆する被覆膜を有し、
   前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の上流側開口の周辺の領域である第１領域まで延設されている、流路ユニット。
2. 前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の下流側開口の周辺の領域である第２領域まで延設されており、
   前記第１領域は、前記第２領域と比べて大きい、請求項１に記載の流路ユニット。
3. 前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の下流側開口の周辺の領域である第２領域には形成されていない、請求項１に記載の流路ユニット。
4. 複数の圧力室を有する流路部材と、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室を備える共通液室部材とを有し、前記流路部材と前記共通液室部材とが接合面で接合されている流路ユニットであって、
   前記流路部材は、
   前記圧力室を含む液体流路の内側の壁を被覆する被覆膜を有し、
   前記被覆膜は、前記圧力室から、前記接合面における前記液体流路の上流側開口の周辺の領域である第１領域まで延設されており、
   前記第１領域の全てが前記共通液室部材の前記共通の流路に面している、流路ユニット。
5. 当該流路ユニットは、少なくとも一部がセラミックスにより構成されている、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の流路ユニット。
6. 前記被覆膜は、樹脂により構成されている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流路ユニット。
7. 前記請求項１に記載された流路ユニットを有する液体噴射ヘッド。
8. 前記請求項７に記載の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置。

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