CN102211454B

CN102211454B - 液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置

Info

Publication number: CN102211454B
Application number: CN201110071553.2A
Authority: CN
Inventors: 高岳
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-03-23
Filing date: 2011-03-21
Publication date: 2014-04-09
Anticipated expiration: 2031-03-21
Also published as: CN102211454A; JP5402760B2; JP2011194783A; US20110234707A1

Abstract

本发明提供液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置，能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、抑制电压下降、抑制着墨位置的偏移、并且使液体喷射特性均一化而提高打印质量。具备具有经由振动板设置在流路形成基板的一面侧的作为单独电极的第一电极、压电体层、以及作为共通电极的第二电极的压电元件，由第一电极和第二电极规定的压电元件的实质性的驱动部亦即压电体能动部设置在与各压力产生室对置的区域，在与压电元件的间隔壁对置的区域中设置有第二电极和压电体层被除去的开口部，设置在流路形成基板上的配线电极和第二电极通过设置在各压电体能动部之间的共通引线电极连接，该共通引线电极至少跨越开口部内的间隔壁上设置。

Description

液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及从喷嘴开口喷射液体的液体喷射头、液体喷射头单元、以及液体喷射装置，特别地，涉及作为液体喷出墨水的喷墨式记录头、喷墨式记录头单元、以及喷墨式记录装置。

背景技术

在液体喷射头中，存在如下的喷墨式记录头：在流路形成基板的一面侧经由振动板设置有压电元件，在上述流路形成基板排列设置有由间隔壁划分的压力产生室，该压力产生室与喷嘴开口连通，利用压电元件的驱动使压力产生室内产生压力变化，从而从喷嘴开口喷出墨水滴。

作为这种喷墨式记录头，提出有如下的喷墨式记录头：针对每个压力产生室将压电元件的位于振动板侧的第一电极分开而形成单独电极，使第二电极跨越多个压力产生室连续而形成共通电极(例如参照专利文献1)。

并且，在喷墨式记录头中，由于各个压电元件的一方的电极形成为针对各个压电元件共通设置的共通电极，因此，当同时驱动多个压电元件而一次喷出多个墨水滴时，存在发生电压下降而压电元件的变位量变得不稳定，墨水喷出特性下降的问题。并且，越是设置在离外部配线所连接的端子部远的位置的压电元件，对该压电元件施加的电压越容易降低。

为了解决这种问题，提出有如下的喷墨式记录头：跨越压力产生室的排列设置方向设置配线电极，并利用共通引线电极连接第一电极和配线电极，上述共通引线电极是以相对于多个压电元件设置一条的比例设置的(例如参照专利文献2)。

[专利文献1]日本特开2009-172878号公报(参照图2和图4)

[专利文献2]日本特开2007-118265号公报

但是，在像专利文献1那样将第一电极形成为单独电极、将第二电极形成为共通电极的情况下，考虑跨越多个压力产生室连续地设置压电体层和第二电极的结构，但是，存在如下的问题：在相邻的压电元件之间连续的压电体层和第二电极会阻碍压电元件的变位，从而无法获得期望的变位特性，即产生所谓的压电元件的串扰(cross talk)。

因此，当在形成压力产生室的间隔壁上形成将压电体层和第二电极除去后的开口部时，间隔壁的刚性下降。特别地，当由于喷嘴开口的高密度化导致间隔壁的厚度变薄时，存在如下的问题：间隔壁的刚性显著下降，由于压力产生室的压力变动导致间隔壁变形，从而压力变动传递至相邻的压力产生室，从而产生着墨位置偏移或墨水喷出特性下降的所谓的间隔壁的串扰。

发明内容

鉴于这种情形，本发明的目的在于，提供一种能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、能够抑制电压下降、能够抑制着墨位置偏移、并且能够使液体喷射特性均一化从而能够提高打印质量的液体喷射头、液体喷射头单元、以及液体喷射装置。

用于解决上述课题的本发明的一个方面提供一种液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具备：流路形成基板，在该流路形成基板沿着第一方向并列设置有由间隔壁划分的多个压力产生室，上述压力产生室与喷射液体的喷嘴开口连通；以及压电元件，该压电元件具有第一电极、压电体层、以及第二电极，上述第一电极经由振动板设置在该流路形成基板的一面侧，上述压电体层设置在该第一电极上，上述第二电极设置在该压电体层上，上述压电元件的上述第一电极是针对各个上述压力产生室设置的单独电极，并且，上述第二电极是跨越多个压电元件连续设置的共通电极，由上述第一电极和第二电极规定的上述压电元件的实质性的驱动部亦即压电体能动部设置在与各个压力产生室相对置的区域，在上述压电元件的与上述间隔壁相对置的区域中，上述第二电极和上述压电体层被除去而形成的开口部设置成：上述开口部在与上述第一方向交叉的第二方向比上述压电体能动部短，并且，上述开口部的宽度比上述间隔壁的上述第一方向的厚度宽，在并列设置的上述压电体能动部的列的上述第二方向的至少一方设置有配线电极，该配线电极沿着该压电体能动部的并列设置方向设置，上述配线电极和上述第二电极借助设置在各个压电体能动部之间的共通引线电极连接，并且，该共通引线电极至少跨越上述开口部内的间隔壁上而设置。

在上述方面中，通过将共通引线电极设置在各个压电体能动部之间，能够降低第二电极的实质性的电阻值，从而能够抑制由电压下降导致的液体喷射特性的下降和偏差。并且，通过将共通引线电极设置在开口部的间隔壁上，能够提高间隔壁的刚性，能够抑制间隔壁的串扰，并且，能够减薄间隔壁，从而能够实现压力产生室的高密度化。

此处，优选上述共通引线电极以比上述间隔壁的厚度窄的宽度形成在与上述开口部相对置的区域中。由此，能够抑制共通引线电极阻碍由压电体能动部的驱动导致的振动板的变位的情况，从而能够抑制液体喷射特性的下降。

并且，优选上述配线电极设置在并列设置的上述压电元件的列的上述第二方向的两侧，上述第二电极经由上述共通引线电极与上述压电元件的上述第二方向的两侧的上述配线电极电连接。由此，能够利用配线电极进一步降低第二电极的实质性的电阻值，能够缩窄配线电极的宽度，从而能够使喷头小型化。

进一步，本发明的其他方面提供一种液体喷射头单元，其特征在于，该液体喷射头单元具备多个上述方面的液体喷射头。

在上述方面中，能够实现如下的液体喷射头单元：能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、能够抑制电压下降、能够抑制着墨位置的偏移、并且能够使液体喷射特性均一化从而能够提高打印质量。

并且，本发明的其他的方面提供一种液体喷射装置，其特征在于，该液体喷射装置具备上述的方面的液体喷射头单元或者是液体喷射头。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。

图2是实施方式1所涉及的记录头的主要部分俯视图及其放大图。

图3是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。

图4是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。

图5是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。

图6是将实施方式2所涉及的记录头的主要部分放大后的俯视图。

图7是一个实施方式所涉及的记录装置的概要图。

标号说明

I...喷墨式记录头(液体喷射头)；II...喷墨式记录装置(液体喷射装置)；1...喷墨式记录头单元(液体喷射头单元)；10...流路形成基板；11...间隔壁；12...压力产生室；20...喷嘴板；30...保护基板；40...柔性基板；50...振动板；51...弹性膜；52...绝缘体膜；60...第一电极；70...压电体层；80...第二电极；90...单独引线电极；91、91A...共通引线电极；100...歧管；200、201...配线电极；300...压电元件；301...开口部；320...压电体能动部；330...压电体非能动部。

具体实施方式

以下，根据实施方式对本发明进行详细说明。

(实施方式1)

图1是本发明的实施方式1所涉及的作为液体喷射头的一例的喷墨式记录头的分解立体图，图2是喷墨式记录头的流路形成基板的主要部分俯视图及其放大图，图3是沿着图2的A-A’线的剖视图，图4是沿着图2的B-B’线的剖视图，图5是沿着图2的C-C’线的剖视图。

如图1所示，由间隔壁11划分的多个压力产生室12沿着宽度方向(短边方向、本实施方式的第一方向)排列设置于构成喷墨式记录头I的流路形成基板10。并且，在流路形成基板10、在压力产生室12的长度方向一端部侧设置有与各个压力产生室12连通的墨水供给路13和连通路14。在连通路14的外侧设置有与各个连通路14连通的连通部15。

连通部15与后述的保护基板30的歧管部32连通而构成作为各个压力室12的共通的墨水室(液体室)的歧管100的一部分。墨水供给路13形成为截面积比压力产生室12的截面积窄，从而将从连通路15流入压力产生室12的墨水的流路阻力保持为一定的流路阻力。连通路14通过使压力产生室12的宽度方向两侧的间隔壁11朝连通部15侧延伸设置而划分墨水供给路13与连通部15之间的空间而形成。

作为流路形成基板10的材料例如优选使用单晶硅基板，此外，例如也可以使用玻璃陶瓷、不锈钢等。

在流路形成基板10的一方侧的面利用粘接剂或热熔薄膜等固定有喷嘴板20，在该喷嘴板20穿设有喷嘴开口21。喷嘴板20例如由玻璃陶瓷、单晶硅基板、不锈钢等构成。

在流路形成基板10的另一方侧的面例如形成有振动板50，该振动板50包括通过对流路形成基板10进行热氧化而形成的弹性膜51。上述的压力产生室12等的流路的一面侧由该振动板(弹性膜51)构成。

在本实施方式中，在弹性膜51上形成有由与弹性膜51不同的材料的氧化膜形成的绝缘体膜52，利用这些弹性膜51和绝缘体膜52构成振动板50。在该振动板50上设置有压电元件300，该压电元件300由第一电极60、压电体层70、以及第二电极80构成，上述第一电极60形成在振动板50上，上述压电体层70形成在第一电极60上，上述第二电极80形成在压电体层70上。

压电元件300一般将任一方的电极形成为共通电极，并将另一方的电极形成为分别独立的单独电极。在本实施方式中，作为各个压电体能动部320的单独电极设置第一电极，作为多个压电体能动部320共通的共通电极设置第二电极80，上述各个压电体能动部320形成压电元件300的实质性的驱动部。

将这种压电元件300和通过压电元件300的驱动产生变位的振动板50统称为致动装置。在上述的例子中，弹性膜51、绝缘体膜52构成振动板50，但是，振动板50的结构并无特殊限定。例如，压电元件300的第一电极60也可以兼用作振动板50，也可以是压电元件300自身作为振动板50发挥功能。

此处，对本实施方式所涉及的压电元件300的构造进行详细说明。如图3～图5所示，压电元件300具备：压电体能动部320，该压电体能动部320通过层叠第一电极60、压电体层70、以及第二电极80构成，通过对两个电极施加电压而产生压电变形；以及压电体非能动部330，该压电体非能动部330具有从压电体能动部320连续的压电体层70和第一电极60或者第二电极80，但是实质上不进行驱动。上述压电体能动部320和压电体非能动部330的边界由第一电极60和第二电极80的端部规定。在本实施方式中，各个压电体能动部320分别与压力产生室12相对置地设置，压电体非能动部330设置在压电体能动部320的长度方向两外侧，且延伸设置到压力产生室12的长度方向(与第一方向正交的第二方向)的外侧。并且，压电体非能动部330设置在相互相邻的压电体能动部320之间，且延伸到压力产生室12的宽度方向(第一方向)的外侧。具体地说，如图3所示，在压力产生室12的长度方向(与排列设置方向正交的方向)，压电体能动部320的位于墨水供给路13侧的端部由第一电极60的长度方向的端部规定，压电体层70和第二电极80延伸设置到该端部的外侧。并且，在压力产生室12的长度方向，压电体能动部320的位于与墨水供给路13相反侧(喷嘴开口21侧)的端部由第二电极80的端部规定，第一电极60和压电体层70延伸设置到该端部的外侧。

进一步，如图5所示，第一电极60的与各个压力产生室12对置的部分形成为比压力产生室12的宽度(压力产生室12的排列设置方向亦即第一方向的宽度)窄的宽度，第一电极60的宽度方向的端部规定压电体能动部320的宽度方向的端部。

并且，如图3所示，在各个第一电极60、在比压力产生室12的长度方向一端部(与墨水供给路13相反侧)更靠外侧的位置例如分别连接有由金(Au)等形成的单独引线电极90，在各个压电元件300经由单独引线电极90、详细地说经由接合线等连接配线121连接有后述的驱动电路120。

如图5所示，压电体层70虽然在其一部分存在后述的开口部301，但是，该压电体层跨越与多个压力产生室12对置的区域连续设置。即，压电体层70延伸设置到第一电极60的宽度方向端部的外侧。并且，如图3所示，在与压力产生室12的排列设置方向(第一方向)正交的第二方向，压电体层70延伸设置到压力产生室12的长度方向的端部的外侧。

如图5所示，第二电极80在压电体层70上跨越与多个压力产生室12相对置的区域和与间隔壁11对置的区域连续地形成。并且，如上所述，如图3所示，在与压力产生室12相对置的区域(压力产生室12的长度方向的位于喷嘴开口21侧的区域)中，第二电极80的端部位于压力产生室12上。利用该第二电极80的端部规定压电体能动部320与压电体非能动部330之间的长度方向的一方(喷嘴开口21侧)的边界。

并且，如图4和图5所示，在压电体层70和第二电极80设置有开口部301。开口部301是通过将第二电极80和压电体层70完全除去而形成的，且与划分各个压力产生室12的间隔壁11相对置地设置。如图2(b)所示，开口部301设置成：该开口部301的第二方向的长度L₁比压电体能动部320的长度方向(第二方向)的长度L₂短、且第一方向的宽度W₁比间隔壁11的厚度W₂宽。由此，压电体层70的大部分都在压力产生室12的宽度方向(第一方向)形成在与各个压力产生室12相对置的区域内。

并且，在流路形成基板10上(实际上是在振动板50上)、在排列设置的压电体能动部320的第二方向的两侧分别设置有配线电极200、201，配线电极200、201跨越压电体能动部320的排列设置方向连续设置。该第二配线电极200、201在压电体能动部320的排列设置方向(第一方向)的两端部侧连续而相互导通，并且，在压电体能动部320的排列设置方向的两端部以与第二电极80导通的方式设置。

这种配线电极200、201经由设置在各个压电体能动部320之间的共通引线电极91与第二电极80导通。

共通引线电极91在相邻的压电体能动部320之间从一方的配线电极200直到另一方的配线电极201连续设置，如图4所示，在振动板50上沿着压电体层70上和第二电极80上连续设置。

如图2(b)所示，这种共通引线电极91设置在开口部301内的间隔壁11上，且在开口部301中形成为比间隔壁11的第一方向的厚度W₂窄的宽度W₀。这样，在开口部301内，通过将共通引线电极91形成为比间隔壁11的第一方向的厚度W₂窄的宽度W₀，共通引线电极91不会存在于开口部301的与压力产生室12相对置的区域的振动板50上。另外，作为这种共通引线电极91，能够使用具有高导电性的金属材料、例如金(Au)。

通过以这种方式利用共通引线电极91使压电元件300的第二电极80和配线电极200、201导通，能够使第二电极80的电阻值实质性地下降，始终能够获得稳定的墨水喷出特性。特别地，在本实施方式中，通过在各个压电体能动部320之间设置共通引线电极91，能够降低配线电极200、201的电阻值，因此，能够缩窄配线电极200、201的宽度(第二方向)，能够实现喷墨式记录头I的小型化。

并且，通过将共通引线电极91设置在开口部301内的间隔壁11上，能够提高间隔壁11的刚性。附带地说，当使压电元件300变位时，相邻的压电体能动部320之间的压电体层70和第二电极80由开口部301除去，由此，能够抑制压电体能动部320的变位被与该压电体能动部320连续的压电体层70和第二电极80阻碍的所谓的压电元件300的串扰，能够提高变位特性。

进而，通过将共通引线电极91设置在因设置开口部301而刚性下降了的间隔壁11上，能够提高间隔壁11的刚性，当由于压电元件300的变位使压力产生室12内产生压力变动时，能够抑制间隔壁11变形的情况，能够降低对邻接的压力产生室12的压力变动的影响(间隔壁11的串扰)。因此，能够减薄间隔壁11的厚度，能够实现压力产生室12的高密度化、即能够实现喷嘴开口21的高密度化。

并且，在本实施方式中，通过将共通引线电极91设置成比间隔壁11的厚度窄的宽度，能够抑制共通引线电极91阻碍振动板50的变位、特别是振动板50的与间隔壁11对置的区域和与压力产生室12对置的区域之间的边界部分的变位的情况，能够抑制共通引线电极91阻碍压电元件300的变位的情况。附带地说，当将共通引线电极91设置成比间隔壁11的厚度W₂宽的宽度时，在上述的边界部分上存在共通引线电极91，阻碍压电元件300(振动板50)的变位，从而变位量下降。

进一步，通过像本实施方式这样在所有的压电体能动部320之间设置共通引线电极91，能够使与各个压电体能动部320对应的构造均一化。即，设置有各个压电体能动部320的压力产生室12的两侧的间隔壁11的构造变得均一，因此能够以相同的条件驱动所有的压电体能动部320，能够实现墨水喷出特性的稳定化。

另外，在本实施方式的压电元件300中，将第一电极60形成为单独电极、并将第二电极80形成为共通电极，第一电极60的位于压力产生室12的长度方向的一端部由压电体层70覆盖，因此，电流不会在第一电极60与第二电极80之间泄漏，能够抑制压电元件300的破坏。附带地说，如果第一电极60和第二电极80以接近的状态露出，则电流会在压电体层70的表面泄漏，从而压电体层70被破坏。另外，虽然第一电极60的位于压力产生室12的长度方向的另一端部未被压电体层70覆盖，但是，由于在露出的第一电极60与第二电极80之间存在距离，因此也不存在特别的问题。因此，无需利用氧化铝等保护膜覆盖压电元件300，能够抑制通过设置保护膜导致的对压电元件300的变位的阻碍，能够获得优异的变位量。

返回图1，在形成有这种压电元件300的流路形成基板10上，利用粘接剂35接合有保护基板30，该保护基板30具有作为用于保护压电元件300的空间的压电元件保持部31。压电元件300形成在该压电元件保持部31内，因此，能够保护该压电元件300而使其成为几乎不会受到外部环境的影响的状态。并且，在保护基板30、在与流路形成基板10的连通部15对应的区域设置有歧管部32。如上所述，歧管部32与流路形成基板10的连通部15连通，从而构成形成各个压力产生室12的共通的墨水室的歧管100。

并且，在保护基板30上固定有用于驱动排列设置的压电元件300的驱动电路120。作为该驱动电路120例如能够使用电路基板或半导体集成电路(IC)等。进而，单独引线电极90和共通引线电极91都被引出至压电元件保持部31的外侧，引出后的单独引线电极90和共通引线电极91与驱动电路120经由连接配线121电连接，该连接配线121由接合线等导电性线构成。

在保护基板30上还接合有由密封膜41和固定板42构成的柔性基板40。密封膜41由刚性低且具有可挠性的材料形成，歧管100的一方的面由该密封膜41密封。固定板42由金属等硬质的材料形成。该固定板42的与歧管100对置的区域形成为在厚度方向被完全除去的开口部43，因此，歧管100的一方的面仅由具有可挠性的密封膜41密封。

在这种本实施方式的喷墨式记录头I中，从未图示的外部墨水供给构件取入墨水，在从歧管100到喷嘴开口21为止的流路内部充满墨水之后，根据未图示的来自驱动电路120的记录信号对与压力产生室12对应的各个压电元件300施加电压，从而使压电元件300弯曲变形，从而提高各个压力产生室12内的压力，由此，从各个喷嘴开口21喷射墨水滴。

(实施方式2)

图6是本发明的实施方式2所涉及的作为液体喷射头的一例的喷墨式记录头的主要部分俯视图。另外，对与上述的实施方式1同样的部件标注相同的标号并省略重复的说明。

如图6所示，在本实施方式中，共通引线电极91A具备窄幅部92和宽幅部93，窄幅部92在开口部301内以比间隔壁11的厚度窄的宽度设置，宽幅部93在开口部301的外侧以比间隔壁11的厚度宽的宽度设置。

这样，通过在共通引线电极91A设置窄幅部92，能够抑制共通引线电极91A阻碍压电体能动部320(振动板50)的变位的情况，能够抑制压电元件300的变位量的下降。并且，通过在共通引线电极91A设置宽幅部93，能够使第二电极80整体的电阻值下降，从而能够进一步可靠地抑制由电压下降导致的变位特性的偏差等。并且，通过在共通引线电极91A设置宽幅部93，能够进一步降低共通引线电极91A的电阻值，因此，能够进一步缩窄配线电极200、201的宽度。

(其他实施方式)

以上对本发明的各个实施方式进行了说明，但是，本发明的基本结构并不限定于上述的结构。

例如，在上述的各个实施方式中，将配线电极200、201设置在排列设置的压电元件300的列的两侧，但是，并不特别限定于此，配线电极200、201也可以仅设置在压电元件300的列的一方侧。

并且，在上述的各个实施方式中，将共通引线电极91、91A形成为跨越从一方的配线电极200到另一方的配线电极201的多个电极在间隔壁11上连续设置，但是，并不特别限定于此，对于共通引线电极91、91A，只要能够提高因设置开口部301而刚性下降了的间隔壁11的刚性即可，因此，只要至少跨越开口部301内的间隔壁11上设置即可，能够以在第二电极80上不连续的方式设置。但是，如果在第二电极80上以外不连续的话，则无法使第二电极80和配线电极200、201导通。

另外，上述的喷墨式记录头I构成具备与墨盒等连通的墨水流路的喷墨式记录头单元的一部分而搭载于喷墨式记录装置。图7是示出该喷墨式记录装置的一例的概要图。

如图7所示，喷墨式记录装置II具备喷墨式记录头单元1(以下也称为头单元1)，该喷墨式记录头单元1具有多个喷墨式记录头I。头单元1以能够装卸的方式设置于构成墨水供给构件的墨盒2A和2B，搭载该头单元1的滑架3设置成沿着安装于装置主体4的滑架轴5在轴向移动自如。该头单元1例如喷出黑色墨水组成物和彩色墨水组成物。进而，驱动电动机6的驱动力经由未图示的多个齿轮和同步带7传递至滑架3，由此，搭载记录头单元1的滑架3沿着滑架轴5移动。另一方面，在装置主体4沿着滑架轴5设置有压板8，由未图示的供纸辊等供纸的纸等作为记录介质的记录片S在压板8上被输送。

另外，在上述的例子中，在喷墨式记录装置II设置有具备多个喷墨式记录头I的头单元1，但是，可以在喷墨式记录装置II搭载有1个具备喷墨式记录头I的头单元1，也可以在喷墨式记录装置II搭载有2个以上的头单元1。进一步，也可以直接将喷墨式记录头I搭载于喷墨式记录装置II。

并且，在上述的实施方式中，作为本发明的液体喷射头的一例对喷墨式记录头进行了说明，但是，液体喷射头的基本结构并不限定于上述的结构。本发明大体上以全部的液体喷射头作为对象，当然也能够应用于喷射墨水以外的液体的装置。作为其他的液体喷射头例如能够举出在打印机等图像记录装置中使用的各种记录头，在液晶显示器等彩色滤光器的制造中使用的颜色材料喷射头，在有机EL显示器、FED(场致发射显示器)等的电极形成中使用的电极材料喷射头，以及在生物芯片制造中使用的生物体有机物喷射头等。

Claims

1.一种液体喷射头，其特征在于，

所述液体喷射头具备：

流路形成基板，在该流路形成基板沿着第一方向并列设置有由间隔壁划分的多个压力产生室，所述压力产生室与喷射液体的喷嘴开口连通；以及

压电元件，该压电元件具有第一电极、压电体层、以及第二电极，所述第一电极经由振动板设置在该流路形成基板的一面侧，所述压电体层设置在该第一电极上，所述第二电极设置在该压电体层上，

所述压电元件的所述第一电极是针对各个所述压力产生室设置的单独电极，并且，所述第二电极是跨越多个压电元件连续设置的共通电极，由所述第一电极和第二电极规定的所述压电元件的实质性的驱动部亦即压电体能动部设置在与各个压力产生室相对置的区域，

在所述压电元件的与所述间隔壁相对置的区域中，所述第二电极和所述压电体层被除去而形成的开口部设置成：所述开口部在与所述第一方向交叉的第二方向比所述压电体能动部短，并且，所述开口部的宽度比所述间隔壁的所述第一方向的厚度宽，

在并列设置的所述压电体能动部的列的所述第二方向的至少一方设置有配线电极，该配线电极被沿着该压电体能动部的并列设置方向设置，所述配线电极和所述第二电极借助设置在各个压电体能动部之间的共通引线电极连接，并且，该共通引线电极至少跨越所述开口部内的间隔壁上而设置。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述共通引线电极以比所述间隔壁的厚度窄的宽度形成在与所述开口部相对置的区域中。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

所述配线电极设置在并列设置的所述压电元件的列的所述第二方向的两侧，所述第二电极经由所述共通引线电极而与所述压电元件的所述第二方向的两侧的所述配线电极电连接。

4.一种液体喷射头单元，其特征在于，

所述液体喷射头单元具备多个权利要求1～3中任一项所述的液体喷射头。

5.一种液体喷射装置，其特征在于，

所述液体喷射装置具备权利要求4所述的液体喷射头单元。

6.一种液体喷射装置，其特征在于，

所述液体喷射装置具备权利要求1～3中任一项所述的液体喷射头。