JP4973646B2 - 液体移送装置の製造方法及び圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents

液体移送装置の製造方法及び圧電アクチュエータの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、圧力室内の液体に圧力を付与することによって液体を移送する液体移送装置の製造方法、及び、このような液体移送装置に用いられる圧電アクチュエータの製造方法に関する。
特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、圧力室を覆う圧電層の下面のほぼ全域に共通電極が配置されており、圧電層の上面には、圧力室の略中央部と対向するように個別電極が配置されているとともに、圧力室の個別電極と対向している部分よりも外側の部分と対向するように補助個別電極が配置されている。そして、個別電極と共通電極
との間に電圧を印加して、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分に電界を発生させることにより、圧電層のこの部分収縮させると、圧電層の個別電極と対向する部分の上面に配置された拘束板が変形する。さらに、これと同時に、補助個別電極と共通電極との間にも電圧を印加して、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分に上述したのと反対方向の電界を発生させることにより、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分を伸長させると、圧電層の個別電極と共通電極との間に挟まれた部分が収縮しやすくなり、拘束板の変形量が大きくなる。
特許文献２に記載のインクジェットヘッド式記録ヘッドにおいては、圧力室を覆う弾性膜の上面に下から順に下電極膜、圧電層及び上電極膜が互いに積層されて配置されている。圧電層及び上電極膜は、それぞれ、圧力室の略中央部に対向する部分と、圧力室の端部及び隣接する圧力室の間に対向する部分とに分割されており、圧電層、上電極膜及び下電極膜の圧力室の略中央部と対向している部分が第１の圧電振動子となっており、圧電層、上電極膜及び下電極膜の圧力室の端部と対向している部分が第２の圧電振動子となっている。そして、第２圧電振動子に電圧を印加して圧電層の第２圧電振動子を構成する部分を収縮させることによって弾性膜の圧力室と対向する部分を上方に引き上げ、その後、第２圧電振動子への電圧の印加を解除するとともに、第１圧電振動子に電圧を印加して圧電層の第１圧電振動子を構成する部分を収縮させることによって弾性膜の圧力室と対向する部分を圧力室側に凸となるように変形させ、ノズルからインクを吐出させている。このように、弾性膜を一旦上方に引き上げた後、圧力室側に凸となるように変形させることにより、弾性膜の変形量を大きくすることができる。
また、特許文献３に記載のインクジェットヘッドおいては、圧電層に、その面方向に沿って複数の電極が埋め込まれており、圧電層の複数の電極に挟まれた複数の部分のうち、互いに隣接する部分同士が反対方向に分極されている。
また、特許文献４に記載のインクジェットヘッドにおいては、圧電層における所定の一方向に関する圧力室の両側の壁と対向する部分にそれぞれ第１の電極が配置されているとともに、圧電層における圧力室の略中央部と対向する部分に第２の電極が配置されており、圧電層は、第２の電極と圧力室の一方の壁と対向する部分に配置された第１の電極との間の部分、及び、第２電極と圧力室の他方の壁と対向する部分に配置された第１電極との間の部分が、それぞれ、第２の電極から第１の電極に向かって、圧電層の厚み方向に対して、圧電層の面方向に関して互いに反対側に傾斜した方向に分極されている。
特許第３３９６１９６号公報 特開２０００−６３９６号公報 特開２００４−１３６４６１号公報 特開２００２−２９２８６５号公報
ここで、本発明の発明者は、特許文献１〜４の記載から、特許文献１、２に記載されているような、圧電層の互いに隣接する部分をそれぞれ挟むように電極が配置された圧電アクチュエータにおいて、圧電層の上記隣接する２つの部分を互いに反対方向に分極させれば、圧電アクチュエータの設計において有利な場合があることに気づいた。
しかしながら、圧電層の隣接する上記２つの部分を互いに反対方向に分極させる場合、これら２つの部分の一方を分極させるために電界を発生させると、この電界によって他方の分極が弱まってしまい、これにより、圧電層の変形量が低下してしまう虞がある。
本発明の目的は、圧電層の変形量が小さくなってしまうのを極力抑えつつ、圧電層の互いに隣接した部分を、互いに反対方向に分極させることが可能な液体移送装置の製造方法、及び、このような液体移送装置に用いられる圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。
本発明の液体移送装置の製造方法は、圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータは、その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、前記第１電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものである。そして、前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えている。さらに、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置している。前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されている。前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなる。前記第２活性部分極工程において、前記上部電極と前記中間電極とを同電位にした状態で、前記下部電極を前記上部電極よりも低い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位にすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加する(請求項１)。
第１活性部を分極させた後、第２活性部を分極させた場合、あるいは、第１活性部と第２活性部とを同時に分極させた場合には、第２活性部を分極させるための電界により、第１活性部の第２活性部に隣接する部分の分極が弱まってしまう。そして、第１電極対の間に駆動電圧を印加することによる圧力室の容積変化量が、第２電極対の間に駆動電圧を印加することによる圧力室の容積変化量よりも大きい場合には、第１活性部分極が弱まってしまうと、圧電アクチュエータを駆動したときの圧力室の容積変化量が大幅に小さくなり、その結果、液体の移送効率が大きく低下してしまう。
しかしながら、本発明では、第２活性部分極工程の後に第１活性部分極工程を行っているので、第１活性部分極工程において、圧力室の容積変化に与える影響の小さい第２活性部の第１活性部に隣接する部分の分極が弱まってしまうものの、圧力室の容積変化に与える影響の大きい第１活性部の分極が弱まってしまうことはなく、液体の移送効率が低下してしまうのを極力抑えることができる。なお、電極対の間に電圧（駆動電圧、分極電圧）を印加するというのは、電極対の間に電界を印加することと同じ意味である。
圧電アクチュエータが、圧力室を覆う振動板を備え、振動板の圧力室と反対側に圧電層が配置されており、第１活性部が圧力室の一部分に、第２活性部が圧力室の上記一部分と隣接する部分にそれぞれ対向している場合には、第１電極対及び第２電極対に駆動電圧を印加すると、圧電層及び振動板の圧力室と対向する部分が変形して、圧力室の容積が変化するが、このような圧電アクチュエータにおいても、第１電極対に駆動電圧を印加したときの圧力室の容積変化量を、第２電極対に駆動電圧を印加したときよりも大きくすることが可能である。そして、このような場合でも、第２活性部分極工程の後に第１活性部分極工程を行うことにより、第１活性部分極工程において、圧力室の容積変化に与える影響の小さい第２活性部の第１活性部近傍部分の分極が弱まってしまうものの、圧力室の容積変化に与える影響の大きい第１活性部の分極が弱まってしまうことはないため、液体の移送効率が低下してしまうのを極力抑えることができる。
第１活性部及び第２活性部の一方が、圧電層における圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、圧力室の上記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されている場合には、第１電極対の間に駆動電圧を印加したときの圧力室の容積変化量を、第２電極対の間に駆動電圧を印加したときの圧力室の容積変化量よりも大きくすることが可能である。そして、このような場合でも、第２活性部を分極させた後、第１活性部を分極させることにより、圧力室の容積変化に与える影響の大きい第１活性部の分極が弱まってしまうことはなく、液体の移送効率が低下してしまうのを極力抑えることができる。
圧電層が下部圧電層と上部圧電層とが積層されて構成されており、第１活性部が上部圧電層の圧力室の略中央部と対向する部分に、第２活性部が上部圧電層及び下部圧電層の圧力室の第１活性部と対向している部分よりも外側の部分と対向する部分にそれぞれ設けられており、第１電極対が上部電極と中間電極、第２電極対が上記上部電極と下部電極とによって構成されている場合には、第１電極対の間に駆動電圧を印加することによる圧力室の容積変化量が、第２電極対の間に駆動電圧を印加することによる圧力室の容積変化量よりも大きくすることが可能である。
したがって、このような液体移送装置において、第２活性部を分極させた後、第１活性部を分極させることにより、圧力室の容積変化に与える影響の大きい第１活性部の分極が弱まってしまうことはなく、液体の移送効率が低下してしまうのを極力抑えることができる。
さらに、このような液体移送装置においては、第１活性部と第２活性部とを同時に分極させるためには、上部電極の電位を中間電極の電位よりも低くし、下部電極の電位を上部電極の電位よりも低くする必要があり、これにより、下部圧電層の中間電極と下部電極とに挟まれた部分に大きな電界が発生してしまい、その結果、下部圧電層のこの部分にクラックが発生してしまう虞がある。しかしながら、本発明では、第２活性部を分極させた後、第１活性部を分極させているので、第１活性部及び第２活性部を分極させる際に、それぞれ、分極とは直接関係ない電極の電位を下部圧電層の中間電極と下部電極とに挟まれた部分に大きな電界が発生しないような電位とすることができる。
第１活性部及び第２活性部を分極させる過程で、第１活性部及び第２活性部に分極方向の反転が生じると、圧電特性が低下してしまうことが知られているが、本発明によると、第１、２活性部分極工程において第１活性部及び第２活性部に分極方向の反転を生じさせることなく、第１活性部及び第２活性部の分極を行うことができる。
また、本発明の液体移送装置の製造方法は、圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータは、その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、前記第１電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものである。そして、前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えている。さらに、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置している。前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されている。前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなる。前記第２活性部分極工程において、前記中間電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記上部電極を前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位にすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加する（請求項２）。
これによると、第１活性部及び第２活性部でない、下部圧電層の中間電極と下部電極とに挟まれた部分に大きな電界を発生させることなく、第１活性部及び第２活性部の分極を行うことができ、下部圧電層の中間電極と下部電極との間に挟まれた部分にクラックが発生してしまうのを防止することができる。
本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置に用いられる前記圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電アクチュエータは、その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、前記第１電極対の間に駆動電圧印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものである。そして、前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えている。さらに、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置している。前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されている。前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなる。前記第２活性部分極工程において、前記上部電極と前記中間電極とを同電位にした状態で、前記下部電極を前記上部電極よりも低い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位にすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加する（請求項３）。
また、本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置に用いられる前記圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電アクチュエータは、その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、前記第１電極対の間に駆動電圧印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものである。そして、前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えている。さらに、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置している。前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されている。前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなる。前記第２活性部分極工程において、前記中間電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記上部電極を前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位にすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加する（請求項４）。
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、搬送ローラ４などを備えている。
キャリッジ２は走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、その下面に形成されたノズル１５（図３参照）からインクを吐出する。搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５から、記録用紙Ｐにインクが吐出されることにより、記録用紙Ｐに印刷が行われる。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、搬送ローラ４によって紙送り方向に排出される。
次にインクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２は、図１のインクジェットヘッド３の分解斜視図である。図３は、図２のインクジェットヘッド３の平面図である。図４（ａ）は図３の部分拡大図である。図４（ｂ）〜（ｄ）は、それぞれ、図４（ａ）における、後述する振動板４０、圧電層４１及び圧電層４２の上面を示した図である。図５は、図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。図６は、図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
なお、図面を分かりやすくするため、図３、図４においては、後述する流路ユニット３１の圧力室１０及びノズル１５除くインク流路の図示を省略し、図３においては、圧電アクチュエータ３２の下部電極４３及び中間電極４４の図示を省略している。また、図４（ａ）においては、ともに点線で図示すべき下部電極４３及び中間電極４４を、それぞれ二点鎖線及び一点鎖線で図示している。さらに、図４（ｂ）〜（ｄ）においては、それぞれ、後述する下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５にハッチングを付している。また、図６においては、流路ユニット３１の圧力室１０よりも下の部分の図示を省略している。
図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド３は、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを備えている。流路ユニット３１は、複数のプレート２１〜２７が互いに積層されることによって、インク供給口９からインクが供給されるマニホールド流路１１、及び、マニホールド流路１１の出口からアパーチャ流路１２を経て圧力室１０に至り、さらに、圧力室１０からディセンダ流路１４を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路を有するインク流路（液体移送流路）が形成されている。そして、後述するように、圧電アクチュエータ３２により、圧力室１０内のインクに圧力が付与されると、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
複数の圧力室１０は、走査方向（図３の左右方向）を長手方向とする略楕円形の平面形状を有しており、紙送り方向（図３の上下方向）に沿って配列されて１つの圧力室列８を構成しており、このような圧力室列８が、走査方向に２列に配列されることによって１つの圧力室群７を構成している。さらに、このような圧力室群７が走査方向に沿って５つ配列されている。ここで、１つの圧力室列群７に含まれる２列の圧力室列８を構成する圧力室１０同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、複数のノズル１５も、複数の圧力室１０と同様に配置されている。
そして、これら５つの圧力室群７のうち、図３の右側の２つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からはブラックのインクが吐出され、図３の左側の３つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からは、図３の右側に配列されているものから順に、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。なお、インク流路の他の部分の構成については、従来のものと同様であるので、ここでは、その詳細な説明を省略する。
圧電アクチュエータ３２は、振動板４０及び下部圧電層４１、上部圧電層４２、下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５を備えている。振動板４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット３１の上面に配置されている。また、振動板４０の厚みは２０μｍ程度となっている。この振動板４０は必ずしも圧電材料からなる必要はない。
下部圧電層４１及び上部圧電層４２は、振動板４０と同様の圧電材料からなり、互いに積層されて振動板４０の上面に配置されている。また、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の厚みは、それぞれ２０μｍ程度となっている。なお、下部圧電層４１と上部圧電層４２とが互いに積層されたものが本発明に係る圧電層に相当する。
下部電極４３は、振動板４０と下部圧電層４１との間（圧電層の振動板４０側の面）に配置されており、各圧力室群７に対応して、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８に沿って紙送り方向に延びており、これら２列の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と対向している。また、図示しないが、上記紙送り方向に延びた部分同士は互いに接続されている。また、下部電極４３は、圧電アクチュエータ３２の上方に配置されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、ドライバＩＣ５１により常にグランド電位に保持されている。
中間電極４４は、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に配置されており、圧力室群７毎に、それぞれ、複数の対向部４４ａ及び接続部４４ｂ、４４ｃを有している。複数の対向部４４ａは、紙送り方向に関する長さが圧力室１０よりも短い略矩形の平面形状を有しており、複数の圧力室１０の紙送り方向に関する略中央部と対向するように配置されている。
接続部４４ｂは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の右側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４右側の端同士を接続している。接続部４４ｃは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の左側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４左側の端同士を接続している。また、中間電極４４は、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、ドライバＩＣ５１により、常に所定の電位（例えば、２０Ｖ程度）に保持されている。
複数の上部電極４５は、上部圧電層４２の上面（下部圧電層４１と反対側の面）に、
複数の圧力室１０に対応して、複数の圧力室１０のほぼ全域と対向するように配置されており、紙送り方向に関する長さが中間電極４４の対向部４４ａよりも長い、略矩形の平面形状を有している。また、上部電極４５は、走査方向に関するノズル１５と反対側の端における一部分が、走査方向に圧力室１０と対向しない部分まで延びており、この部分がＦＰＣ５０に接続される接続端子４５ａとなっている。また、上部電極４５は、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、グランド電位と上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）との間でその電位が切り替えられる。
そして、このように下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５が配置されることにより、上部圧電層４２の圧力室１０の略中央部と対向する部分（第１活性部Ｒ１）が上部電極４５と中間電極４４とに挟まれることとなる。この第１活性部Ｒ１は、中間電極４４から上部電極４５に向かって上向き（上部圧電層４２の厚み方向と平行な所定の一方向）に分極されている。
さらに、上部圧電層４２及び下部圧電層４１の圧力室１０と対向する部分が、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれることとなる。そして、この部分のうち、中間電極４４と対向する部分の除いた部分（第２活性部Ｒ２）が、上部電極４５から下部電極４３に向かって下向き（所定の一方向と反対方向）に分極されている。
すなわち、上部電極４５は上部圧電層４２の上面における第１活性部Ｒ１と対向する部分及び第２活性部Ｒ２と対向する部分にまたがって配置されており、中間電極４４は上部圧電層４２と下部圧電層４１との間における第１活性部Ｒ１と対向する部分に配置されており、下部電極４３は、下部圧電層４１の下面における第１活性部Ｒ１と対向する部分及び第２活性部Ｒ２と対向する部分にまたがって配置されている。そして、上記第１活性部Ｒ１を挟む上部電極４５及び中間電極４４が、本発明に係る第１電極対を構成しており、上記第２活性部Ｒ２を挟む上部電極４５及び下部電極４３が、本発明に係る第２電極対を構成している。
なお、下部圧電層４１のうち、中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分は、中間電極４４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。
ここで、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。まず、圧電アクチュエータ３２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、下部電極４３及び中間電極４４が、それぞれ、常にグランド電位及び上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持されているとともに、上部電極４５の電位が予めグランド電位に保持されている。この状態では、上部電極４５が中間電極４４よりも低電位になっているとともに、下部電極４３と同電位となっている。
これにより、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差が生じ（第１電極対の間に駆動電圧（電界）が印加され、）、第１活性部Ｒ１にはその分極方向と同じ上向きの電界が発生する。これにより、第１活性部Ｒ１がこの電界と直交する水平方向に収縮する。これにより所謂ユニモルフ変形が生じ、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。
そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、一旦、上記所定の電位に切り替えた後、グランド電位に戻す。上部電極４５の電位を上記所定の電位に切り替えると、上部電極４５が中間電極４４と同電位となるとともに、下部電極４３よりも高電位となる。これにより、第１活性部Ｒ１の上記収縮が元に戻る。そしてこれと同時に、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（第２電極対の間に駆動電圧（電界）が印加され）、第２活性部にはその分極方向と同じ下向きの電界が発生し、第２活性部Ｒ２が水平方向に収縮する。これにより、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が全体として、圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。
ただし、圧電アクチュエータ３２においては、上部電極４５を所定の電位にしたときの上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分の変形量（圧力室１０の容積の変化量）が、上部電極４５がグランド電位に保持されているときの変形量よりも小さくなっている。
この後、上部電極４５の電位をグランド電位に戻すと、前述したのと同様、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズルからインクが吐出される。
また、上述したようにして圧電アクチュエータ３２を駆動させる場合、上部電極４５の電位をグランド電位から所定の電位に切り替えたときには、第１活性部Ｒ１が収縮した状態から収縮前の状態に伸長すると同時に、第２活性部Ｒ２が収縮するため、第１活性部Ｒ１の伸長が第２活性部Ｒ２の収縮に一部吸収される。一方、上部電極４５の電位を所定の電位からグランド電位に戻したときには、第１活性部Ｒ１が収縮するとともに、第２活性部Ｒ２が収縮前の状態まで伸長するため、第１活性部Ｒ１の収縮が第２活性部Ｒ２の伸長によって一部吸収される。
以上のことから、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の圧力室１０と対向する部分の変形が、他の圧力室１０と対向する部分に伝達して当該他の圧力室１０に連通するノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう、いわゆるクロストークが抑制される。
なお、上述した待機状態及び圧電アクチュエータ３２が駆動されている間においては、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３との間の部分には常に電位差が生じており、下部圧電層４１のこの部分には、その分極方向と同じ方向の電界が発生している。これにより、下部圧電層４３のこの部分は常に収縮した状態となっている。
次に、インクジェットヘッド３（圧電アクチュエータ３２）の製造方法、より詳細には、上部圧電層４２及び下部圧電層４１（第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２）の分極方法について説明する。図７は、上記分極の工程を示す工程図である。
第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる際には、まず、図７（ａ）に示すように、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２が分極されていない状態の圧電アクチュエータ３２において、上部電極４５と中間電極４４とを同電位（例えば、３０Ｖ程度）とするとともに、下部電極４３をこれよりも低電位（例えば、−３０Ｖ程度）にする（第２活性部分極工程）。すると、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（第２電極対の間に分極電圧（電界）が印加され）、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた第２活性部Ｒ２に、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生し、これにより、第２活性部Ｒ２が下向きに分極される。
このとき、中間電極４４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に３．０ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分も下向きに分極されることになる。
次に、図７（ｂ）に示すように、上部電極４５及び下部電極４３を同電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にするとともに、中間電極４４の電位をこれよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にする（第１活性部分極工程）。すると、上部電極４５と中間電極４４との間に電位差が生じ（第１電極対の間に分極電圧（電界）が印加され）、上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた第１活性部Ｒ１に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の上向きの電界が発生し、これにより、第１活性部Ｒ１が上向きに分極される。
このとき、中間電極４４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生する。この電界の電界強度は、第２活性部Ｒ２を分極させる際に、下部圧電層４１のこの部分に発生する電界の電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度）よりも小さくその向きも同じであるため、下部圧電層４１のこの部分は、３．０ｋＶ／ｍｍ程度の電界によって分極された状態が保持される。
ここで、本実施の形態とは逆に、第１活性部Ｒ１を分極させた後、第２活性部Ｒ２を分極させた場合には、第２活性部Ｒ２を分極させるための電界により、第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２に隣接する部分の分極が弱まってしまう。
一方、前述したように、最終的に製造された圧電アクチュエータ３２を駆動するときに、第１活性部Ｒ１に電界を発生させたときの、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の変形量が、第２活性部Ｒ２に電界を発生させたときの上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の変形量よりも大きくなるように、諸条件（上部電極４５と中間電極４４に印加される駆動電圧や、上部電極４５と中間電極４４の面積など）が設定されている。すなわち、第１活性部Ｒ１の分極が弱まってしまうことにより圧力室１０の容積変化量に与える影響が、第２活性部Ｒ２の分極が弱まってしまうことにより圧力室１０の容積変化量に与える影響よりも大きなものとなる。
したがって、この場合には、圧力室１０の容積変化量に与える影響の大きい第１活性部Ｒ１の分極が弱まってしまうことにより、ノズル１５からのインクの吐出特性（液体の移送効率）が大きく低下してしまう虞がある。
また、本実施の形態の圧電アクチュエータ３２において第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させるために、例えば、図８に示すように、上部電極４５をグランド電位（０Ｖ）、中間電極４４を上部電極４５よりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）、下部電極４３を上部電極４５及び中間電極４４よりも低電位（例えば、−６０Ｖ程度）にするなどして、第１活性部Ｒ１と第２活性部Ｒ２とを同時に分極させることも考えられる。
しかしながら、この場合には、第１活性部Ｒ１を分極させるための電界により第２活性部Ｒ２の第１活性部Ｒ１と隣接する部分の分極が弱まってしまうとともに、第２活性部Ｒ２を分極させるための電界により第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２と隣接する部分の分極が弱まってしまい、上述したのと同様、ノズル１５からインクの吐出特性が大きく低下してしまう虞がある。
さらに、この場合には、図８に示すように、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に４．５ｋＶ／ｍｍ程度の大きな電界が発生することとなり、この電界によって、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分にクラックが発生してしまう虞がある。クラックがあるとそこから徐々に大きな亀裂が生じる場合があるので、耐久性の面で好ましくない。
これに対して、本実施の形態では、第２活性部Ｒ２を分極させた後、第１活性部Ｒ１を分極させているため、第１活性部Ｒ１を分極させるための電界により、圧力室１０の容積変化量に与える影響が小さい第２活性部Ｒ２の第１活性部Ｒ１に隣接する部分における分極が弱まってしまうものの、第２活性部Ｒ２を分極させるための電界により、圧力室１０の容積変化量に与える影響が大きい第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２に隣接する部分における分極が弱まってしまうことがない。
したがって、圧電アクチュエータ３２を駆動させたときの圧力室１０の容積変化量が大幅に低下してしまうことがなく、その結果、ノズル１５からのインクの吐出特性が低下してしまうのを極力抑えることができる。
また、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に発生する電界は、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を同時に分極させる場合と比較して小さくなっているため、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分にクラックが発生しにくい。言い換えれば、本実施の形態においては、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分にクラックが発生してしまうような大きな電界が発生しないようにするため、第２活性部Ｒ２を分極させる際に、第２活性部Ｒ２の分極には直接関係のない中間電極４４の電位を上部電極４５と同電位とし、第１活性部Ｒ１を分極させる際に、第１活性部Ｒ１の分極とは直接関係ない下部電極４３の電位を上部電極４５と同電位にしている。
さらに、圧電層を分極させる過程で、圧電層の分極方向が反転する場合には、圧電層の圧電特性が低下してしまうことが一般に知られているが、本実施の形態においては、第１活性部Ｒ１は分極されていない状態から上向きに分極され、第２活性部Ｒ２は分極されていない状態から下向きに分極されるだけである。すなわち、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる過程で、分極方向の反転が生じることがない。したがって、第１活性部Ｒ１及び第２活性部の圧電特性が低下してしまうことがない。
以上に説明した実施の形態によると、圧電アクチュエータ３２は、上部電極４５と中間電極４４との間に駆動電圧（電界）を印加して第１活性部Ｒ１に電界を発生させることにより上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０を変形させたときの圧力室１０の容積変化量が、上部電極４５と下部電極４３との間に駆動電圧（電界）を印加して第２活性部Ｒ２に電界を発生させることにより上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０を変形させたときの圧力室１０の容積変化量よりも大きい。したがって、第２活性部分極工程の後に第１活性部分極工程を行うことにより、圧力室１０の容積変化量に与える影響の小さい第２活性部Ｒ２における第１活性部Ｒ１に隣接する部分における分極が弱まってしまうものの、圧力室１０の容積変化量に与える影響の大きい第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２に隣接する部分における分極が弱まってしまうことはなく、インクの吐出特性が低下してしまうのを極力抑えることができる。
また、上部電極４５及び中間電極４４を同電位（例えば、３０Ｖ）にするとともに、下部電極４３をそれよりも低電位（例えば、−３０Ｖ）にすることにより、第２活性部Ｒ２を分極されていない状態から下向きに分極させた後、上部電極４５及び下部電極４３を同電位（０Ｖ）にするとともに、中間電極４４をそれよりも高電位（例えば、３０Ｖ）にすることにより、第１活性部Ｒ１を分極されていない状態から上向きに分極させている。すなわち、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる過程で、これらの分極方向が反転すること（一旦ある方向に分極し、その後にそれと逆方向に分極すること）がない。したがって、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の圧電特性が低下してしまうことがない。
また、第２活性部Ｒ２を分極させる際に、第２活性部Ｒ２の分極には直接関係のない中間電極４４の電位を上部電極４５と同電位にし、第１活性部Ｒ１を分極させる際に、第１活性部Ｒ１の分極には直接関係ない下部電極の電位を上部電極４５と同電位にすることにより、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に生じる電界が、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を同時に分極させた場合と比較して小さくなる。これにより、下部圧電層４１のこの部分にクラックが発生してしまうのを防止することができる。
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本発明と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる工程は、上記実施の形態のものには限られない。一変形例では、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる際に、まず、図９（ａ）に示すように、中間電極４４及び下部電極４３を同電位（例えば、−３０Ｖ程度）にするとともに、上部電極４５をこれらよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にして第２活性部Ｒ２を分極させた（第２活性部分極工程）後、図９（ｂ）に示すように、上部電極４５と下部電極４３とを同電位であるグランド電位（０Ｖ）にするとともに、中間電極４４の電位をそれよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にして第１活性部Ｒ１を分極させる（第１活性部分極工程）（変形例１）。
より詳細に説明すると、図９（ａ）に示すように各電極の電位を変化させると、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（第２電極対の間に分極電圧（電界）が印加され）、上部圧電層４２及び下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分のうち、中間電極４４と対向する部分を除いた第２活性部Ｒ２に、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生する。これにより、第２活性部Ｒ２が下向きに分極される。
このとき、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差により上部圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分に３．０ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生しており、上部圧電層４２のこの部分が下向きに分極される。なお、このときに、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分には電界が発生しない。
続いて、図９（ｂ）に示すように各電極の電位を変化させると、上部電極４５と中間電極４４との間に電位差が生じ（第１電極対の間に分極電圧（電界）が印加され）、上部圧電層４２のこれらの電極に挟まれた第１活性部Ｒ１に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の上向きの電界が発生する。この電界の電界強度は、第２活性部分極工程において上部圧電層４２のこの部分に発生していた電界の電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度）よりも小さいが、この電界とは方向が反対であるため、第１活性部Ｒ１は、この１．５ｋＶ／ｍｍ程度の電界によって上向きに分極される。
このとき、中間電極４４と下部電極４３との間の電位差により、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生し、これにより、下部圧電層４１のこの部分が下向きに分極される。
以上のようにして第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極を行うと、第１活性部Ｒ１を分極させる過程で、第１活性部Ｒ１の分極方向が反転され、前述したように、第１活性部Ｒ１の圧電特性が多少低下してしまう。しかしながら、第２活性部Ｒ２を分極させた後、第１活性部Ｒ１を分極させているため、実施の形態の場合と同様、第２活性部Ｒ２の第１活性部Ｒ１と隣接する部分における分極が弱まってしまうものの、第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２に隣接する部分における分極が弱まってしまうことがないため、圧電アクチュエータ３２を駆動したときの圧力室１０の容積変化量が大幅に低下してしまうことがなく、ノズル１５からのインクの吐出特性が低下してしまうのを極力抑えることができる。
さらに、変形例１の場合には、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度が最大１．５ｋＶ／ｍｍ程度となっており、この電界強度は、上記実施の形態において、下部圧電層４１のこの部分に発生する電界の最大の電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度）よりも小さくなっており、下部圧電層４１のこの部分にクラックがさらに発生しにくく、圧電アクチュエータ３２の耐久性が向上する。
別の一変形例では、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる際に、まず、図１０（ａ）に示すように、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（例えば、上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３の電位を−３０Ｖ程度）とするとともに、中間電極４４の電位を、下部電極４３と上部電極４５との間の電位（例えば、０Ｖ程度）とすることによって第２活性部Ｒ２を分極させた（第２活性部分極工程）後、変形例１と同様、図１０（ｂ）に示すように、上部電極４５と下部電極４３とを同電位であるグランド電位（０Ｖ）にするとともに、中間電極４４の電位をそれよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にして第１活性部Ｒ１を分極させる（第１活性部分極工程）（変形例１）。
より詳細に説明すると、図１０（ａ）に示すように各電極の電位を変化させると、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（第２電極対の間に分極電圧（電界）が印加され）、上部圧電層４２及び下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分のうち、中間電極４４と対向する部分を除いた第２活性部Ｒ２に、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生する。これにより、第２活性部Ｒ２が下向きに分極される。
このとき、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差により上部圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生しており、上部圧電層４２のこの部分が下向きに分極される。また、中間電極４４と下部電極４３との間の電位差により、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生しており、下部圧電層４１のこの部分が下向きに分極される。
続いて、図１０（ｂ）に示すように各電極の電位を変化させると、上部電極４５と中間電極４４との間に電位差が生じ（第１電極対の間に分極電圧（電界）が印加され）、上部圧電層４２のこれらの電極に挟まれた第１活性部Ｒ１に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の上向きの電界が発生する。この電界の向きは、第２活性部分極工程において上部圧電層４２のこの部分に発生していた電界の向きと反対であるため、第１活性部Ｒ１は、この上向きの電界によって分極の方向が反転され、上向きに分極される。
このとき、中間電極４４と下部電極４３との間の電位差により、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生し、これにより、下部圧電層４１のこの部分が下向きに分極される。
以上のようにして第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極を行うと、第１活性部Ｒ１を分極させる過程で、第１活性部Ｒ１の分極方向が反転され、前述したように、第１活性部Ｒ１の圧電特性が多少低下してしまう。しかしながら、第２活性部Ｒ２を分極させた後、第１活性部Ｒ１を分極させているため、実施の形態の場合と同様、第２活性部Ｒ２の第１活性部Ｒ１と隣接する部分における分極が弱まってしまうものの、第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２に隣接する部分における分極が弱まってしまうことがないため、圧電アクチュエータ３２を駆動したときの圧力室１０の容積変化量が大幅に低下してしまうことがなく、ノズル１５からのインクの吐出特性が低下してしまうのを極力抑えることができる。
また、変形例２の場合にも、変形例１の場合と同様、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度が最大１．５ｋＶ／ｍｍ程度となっており、この電界強度は、上記実施の形態において、下部圧電層４１のこの部分に発生する電界の最大の電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度）よりも小さくなっており、下部圧電層４１のこの部分にクラックがさらに発生しにくく、圧電アクチュエータ３２の耐久性が向上する。
さらに、変形例２の場合には、第１活性部Ｒ１に発生する電界が最大１．５ｋＶ／ｍｍ程度となっており、この電界強度は、上記実施の形態及び変形例１において、第１活性部Ｒ１に発生する最大の電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度）よりも小さくなっており、第１活性部Ｒ１にクラックがさらに発生しにくく、圧電アクチュエータ３２の耐久性が向上する。
また、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる際に、圧電層の各電極４３、４４、４５に付与する電位は、各電極４３、４４、４５の間に、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２に分極されるのに必要な電界が発生する程度の電位差が生じるようなものであれば、以上に説明したものには限られない。
また、圧電アクチュエータの構成は、実施の形態のものには限られない。別の一変形例では、図１１（ａ）〜（ｄ）に示すように、上記実施の形態の下部電極４３及び中間電極４４（図４参照）の代わりに、下部電極１４３及び中間電極１４４が配置されている（変形例３）。
下部電極１４３は、各圧力室列８に沿って紙送り方向（図１１の上下方向）に延びており、圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と対向している。また、図示しないが、これら紙送り方向に延びた部分同士が互いに接続されている。
中間電極１４４は、対向部４４ａ（図４参照）と同様、複数の圧力室１０と対向するように配置された複数の対向部１４４ａと、各圧力室列８の間と対向する部分において紙送り方向に延びて、隣接する圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部１４４ａの端部同士を接続させる接続部１４４ｂとを有している。
このような圧電アクチュエータにおいても、図６相当の断面は、圧電アクチュエータ３２と同様のもの（図６において、４３の符号を１４３の符号に、４４ａの符号を１４４ａの符号にそれぞれ置き換えたもの）となり、上記実施の形態と同様、第２活性部Ｒ２を分極させた後、第１活性部Ｒ１を分極させることにより、第１活性部Ｒ１の第２活性部Ｒ２と隣接する部分の分極が弱まってしまうことがない。これにより、上記実施の形態と同様、圧電アクチュエータを駆動したときのノズル１５からのインクの吐出特性が低下してしまうのを極力抑えることができる。
また、上記実施の形態では、下部圧電層４１と上部圧電層４２とが互いに積層されることによって本発明に係る圧電層が形成されていたが、これには限られない。別の一変形例では、図１２に示すように、振動板４０の上面に１つの圧電層１５１が配置されており、圧電層１５１の上面には、圧力室１０の略中央部と対向する部分に、電極１５３が配置されているとともに、圧力室１０の電極１５３と対向している部分よりも外側の圧力室１０の両端部と対向する部分に電極１５４が配置されている。
さらに、圧電層１５１のうち、下部電極４３と電極１５３とに挟まれた部分が下部電極４３から電極１５３に向かって上向きに分極されており、下部電極４３と電極１５４とに挟まれた部分が、電極１５４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている（変形例４）。
このような圧電アクチュエータにおいては、電極１５３と下部電極４３との間に駆動電圧（電界）を印加して第１活性部Ｒ３を水平方向に収縮させると、圧電層１５１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が圧力室１０側に凸となるように変形し、電極１５４と下部電極４３との間に駆動電圧（電界）を印加して第１活性部Ｒ４を水平方向に収縮させると、圧電層１５１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が圧力室１０と反対側に凸となるように変形する。
そして、電極１５３及び電極１５４の幅などを適宜設定することにより、電極１５３と下部電極４３との間に駆動電圧（電界）を印加したときの圧電層１５１及び振動板４０の変形量、すなわち、圧力室１０の容積変化量を、電極１５４と下部電極との間に駆動電圧（電界）を印加したときよりも大きくすること及び小さくすることが可能である。
そして、電極１５３と下部電極４３との間に駆動電圧（電界）を印加したときの圧力室１０の容積変化量が、電極１５４と下部電極との間に駆動電圧（電界）を印加したときよりも大きくなるようにした場合には、圧電層１５１の電極１５３と下部電極４３とに挟まれた部分が本発明に係る第１活性部となり、第１活性部を挟む電極１５３と下部電極４３とにより本発明に係る第１電極対が構成されている。また、圧電層１５１の電極１５４と下部電極４３とに挟まれた、第１活性部と隣接する部分が本発明に係る第２活性部となり、第２活性部を挟む電極１５４と下部電極４３とにより本発明に係る第２電極対が構成されている。
また、この場合には、電極１５４と下部電極４３との間（第２電極対の間）に分極電圧（電界）を印加して、圧電層１５１のこれらの電極に挟まれた部分（第２活性部）を下向きに分極させた後、電極１５３と下部電極４３との間（第１電極対の間）に分極電圧（電界）を印加して、圧電層１５１のこれらの電極に挟まれた部分（第１活性部）を上向きに分極させる。
一方、これとは逆に、電極１５３と下部電極４３との間に駆動電圧（電界）を印加したときの圧力室１０の容積変化量が、電極１５４と下部電極との間に駆動電圧（電界）を印加したときよりも小さくなるようにした場合には、圧電層１５１の電極１５４と下部電極４３とに挟まれた部分が本発明に係る第１活性部となり、第１活性部を挟む電極１５４と下部電極４３とにより本発明に係る第１電極対が構成されている。また、圧電層１５１の電極１５３と下部電極４３とに挟まれた、第１活性部と隣接する部分が本発明に係る第２活性部となり、第２活性部を挟む電極１５３と下部電極４３とにより本発明に係る第２電極対が構成されている。
また、この場合には、電極１５３と下部電極４３との間（第２電極対の間）に分極電圧（電界）を印加して、圧電層１５１のこれらの電極に挟まれた部分（第２活性部）を上向きに分極させた後、電極１５４と下部電極４３との間（第１電極対の間）に分極電圧（電界）を印加して、圧電層１５１のこれらの電極に挟まれた部分（第１活性部）を下向きに分極させる。
これらの場合においても、第２活性部を分極させた後、第１活性部を分極させているため、第１活性部の第２活性部と隣接する部分における分極が弱まってしまうことがなく、上記実施の形態と同様、ノズル１５からのインクの吐出特性が低下してしまうのを極力抑えることができる。
以上の説明では、第１活性部及び第２活性部のうち、圧力室１０の略中央部と対向している一方が上向きに分極されており、他方が下向きに分極されていたが、これとは逆に、第１活性部及び第２活性部のうち、圧力室１０の略中央部と対向している一方が下向きに分極されており、他方が上向きに分極されていてもよい。この場合には、圧電アクチュエータを駆動する際、並びに、第１活性部及び第２活性部を分極させる際に、以上に説明したのと反対方向の電界が発生するように各電極の間に駆動電圧（電界）を印加すればよい。
また、以上の説明では、圧力室１０を覆う振動板４０の上面に圧電層が配置されていたが、例えば、振動板４０が金属などの導電性材料によって構成されている場合には、振動板４０の上面に絶縁層が配置されており、絶縁層の上面に（振動板４０の圧力室１０と反対側）に圧電層が配置されていてもよい。
また、以上の説明では、圧電アクチュエータにおいて、圧電層の圧力室１０の略中央部と対向する部分、及び、圧電層の圧力室１０のそれよりも外側の部分が、互いに反対方向に分極されていたが、これには限られず、圧電層における、以上に説明したのとは異なる互いに隣接する部分が、互いに反対方向に配置されていてもよい。
また、以上の説明では、圧電アクチュエータが、圧電層を収縮させることにより、圧電層及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分を変形させる、いわゆるユニモルフ型の圧電アクチュエータであったが、圧電層の互いに隣接する部分が、互いに反対方向に分極されているものであれば、ユニモルフ型以外の圧電アクチュエータであってもよい。
また、以上では、圧力室１０の容積を変化させることによって圧力室１０内のインクに圧力を付与することによってノズル１５からインクを吐出するインクジェットヘッドの製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、ノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッド、圧力室内の液体に圧力を付与することによって圧力室を含む液体流路内の液体を移送する液体移送装置の製造に本発明を適用することも可能である。
さらには、圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータの製造には限られず、所定の動部を駆動させるための圧電アクチュエータの製造に本発明を適用することも可能である。
本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの分解斜視図である。 図２のインクジェットヘッドの平面図である。 （ａ）が図３の部分拡大図、（ｂ）〜（ｄ）が（ａ）の各プレートの表面の図である。 図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。 図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。 本実施の形態におけるインクジェットヘッド（圧電アクチュエータ）の製造工程を示す工程図である。 第１活性部及び第２活性部を同時に分極させる場合の、圧電アクチュエータの各電極の電位を示す図である。 変形例１の図７相当の図である。 変形例２の図７相当の図である。 変形例３の図４相当の図である。 変形例４の図６相当の図である。
符号の説明
１０ 圧力室
３１ 流路ユニット
３２ 圧電アクチュエータ
４０ 振動板
４１ 下部圧電層
４２ 上部圧電層
４３ 下部電極
４４ 中間電極
４５ 上部電極
１５１ 圧電層
１５３ 電極
１５４ 電極

Claims (4)

  1. 圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
    前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置の製造方法であって、
    前記圧電アクチュエータは、
    その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、
    前記第１電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものであって、
    前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、
    前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えており、
    前記圧電アクチュエータは、
    前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、
    前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、
    前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置しており、
    前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されており、
    前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、
    前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、
    前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、
    前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、
    前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなり、
    前記第２活性部分極工程において、前記上部電極と前記中間電極とを同電位にした状態で、前記下部電極を前記上部電極よりも低い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
    前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位にすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加することを特徴とする液体移送装置の製造方法。
  2. 圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
    前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置の製造方法であって、
    前記圧電アクチュエータは、
    その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、
    前記第１電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものであって、
    前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、
    前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えており、
    さらに、前記圧電アクチュエータは、
    前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、
    前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、
    前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置しており、
    前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されており、
    前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、
    前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、
    前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、
    前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、
    前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなり、
    前記第２活性部分極工程において、前記中間電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記上部電極を前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
    前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加することを特徴とする液体移送装置の製造方法。
  3. 圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
    前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置に用いられる前記圧電アクチュエータの製造方法であって、
    前記圧電アクチュエータは、
    その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、
    前記第１電極対の間に駆動電圧印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものであって、
    前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、
    前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えており、
    さらに、前記圧電アクチュエータは、
    前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、
    前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、
    前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置しており、
    前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されており、
    前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、
    前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、
    前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、
    前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、
    前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなり、
    前記第２活性部分極工程において、前記中間電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記上部電極を前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
    前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  4. 圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
    前記圧力室の容積を変化させることによって前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置に用いられる前記圧電アクチュエータの製造方法であって、
    前記圧電アクチュエータは、
    その厚み方向に平行な所定の一方向に分極された第１活性部と、その第１活性部と隣接し、前記所定の一方向とは反対方向に分極された第２活性部とを有する圧電層と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第１活性部を挟むように配置された第１電極対と、
    前記圧電層の厚み方向に前記第２活性部を挟むように配置された第２電極対とを備えており、
    前記第１電極対の間に駆動電圧印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量が、前記第２電極対の間に駆動電圧を印加して前記圧電層を変形させることによる前記圧力室の容積変化量よりも大きくなるものであって、
    前記第２電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第２活性部を前記所定の一方向と反対方向に分極させる第２活性部分極工程と、
    前記第２活性部分極工程の後、前記第１電極対の間に分極電圧を印加することによって、前記第１活性部を前記所定の一方向に分極させる第１活性部分極工程とを備えており、
    さらに、前記圧電アクチュエータは、
    前記圧力室を覆うように配置された振動板を更に備え、その振動板の前記圧力室と反対側に前記圧電層が配置されており、
    前記第１活性部は前記圧力室の一部分と対向して位置しており、
    前記第２活性部は前記圧力室の前記一部分と隣接する部分に対向して位置しており、
    前記第１活性部及び前記第２活性部の一方が、前記圧電層における前記圧力室の中央部と対向するように配置されているとともに、他方が、前記圧電層における前記圧力室の前記一方と対向している部分よりも外側の部分と対向するように配置されており、
    前記圧電層が、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層とを有しており、
    前記第１活性部が、前記上部圧電層における、前記圧力室の中央部と対向する部分に設けられており、
    前記第２活性部が、前記下部圧電層及び前記上部圧電層における、前記圧力室の前記第１活性部に対向している部分よりも外側の部分と対向する部分に設けられており、
    前記第１電極対が、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された上部電極と、前記上部圧電層と前記下部圧電層との間の前記第１活性部と対向する部分に配置された中間電極とからなり、
    前記第２電極対が、前記上部電極と、前記下部圧電層の前記振動板側の面における前記第１活性部と対向する部分及び前記第２活性部と対向する部分にまたがって配置された下部電極とからなり、
    前記第２活性部分極工程において、前記中間電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記上部電極を前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
    前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に分極電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
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