JP4900218B2 - 液体移送装置及び圧電アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、液体を移送する液体移送装置及び圧電アクチュエータに関する。

特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいては、圧電層上面のインク室（圧力室）に対向する部分に配置された個別電極の端部に接続電極（接続端子）が接続されている。接続電極は、濡れ性の劣る金属材料からなる個別電極に接続された下地層と、下地層の上面の周縁部を除いた領域に形成された電極取出層とを有している。そして、電極取出層と給電端子とをハンダにより接続したときに、ハンダが濡れ性の低い下地層で止まり、個別電極の表面にハンダが流れ込むのが防止されている。これにより、個別電極の表面にハンダが流れ込み、流れ込んだハンダによって圧電層の変形が阻害されてしまうのが防止される。

特開２００３−３１１９８３号公報

しかしながら、特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドでは、ハンダにより接続端子と給電端子との接続が行われる圧電層の上面において、個別電極と接続電極とが接続されている。また、電極取出層が下地層の上面の略中央部に形成されていることから、電極取出層の面積は接続電極に対して小さくなっている。したがって、電極取出層が下地層よりも濡れ性の高い材質により構成されているとしても、電極取出層と給電端子とを接続する際のハンダの量が多い場合には、ハンダが電極取出層を越えて下地層に流れ込む虞がある。その結果、ハンダが、さらに個別電極と接続電極との接続部分を介して個別電極の表面に流れ込んでしまい、個別電極の表面に流れ込んだハンダによって圧電層の変形が阻害されてしまう虞がある。

本発明の目的は、ハンダなどが接続端子から駆動電極の表面に流れ込むのを確実に防止することが可能な液体移送装置及び圧電アクチュエータを提供することである。

本発明の液体移送装置は、圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えている。前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆う振動板と、前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層と、前記圧電層の前記振動板と反対側の面である表面に前記圧力室と対向するように配置された駆動電極と、前記圧電層の前記表面に前記駆動電極から離隔して配置されており、外部の配線と接続される接続端子と、前記圧電層内の、前記振動板と前記圧電層との積層方向における前記表面とは異なる位置に配置された、前記駆動電極と前記接続端子とを接続させるための接続部と、前記圧電層内に形成された、前記駆動電極と前記接続部とを連通させるための第１連通路と、前記圧電層内に形成された、前記接続端子と前記接続部とを連通させるための第２連通路とを備えている。前記第１連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記駆動電極と前記接続部とが接続されており、前記第２連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記接続部と前記接続端子とが接続されている（請求項１）。

駆動電極及び接続端子が配置されている面において駆動電極と接続端子とが接続されている場合には、接続端子と外部の配線とをハンダなどによって接続させると、ハンダなどが接続端子から駆動電極の表面に流れ込んでしまい、その結果、駆動電極に駆動電位を付与したときの圧電層及び振動板の変形が阻害されてしまう虞がある。

しかしながら、本発明では、駆動電極と接続端子とが互いに離隔して配置されており、駆動電極と接続端子とが、圧電層内のこれらが配置されている面とは異なる位置に配置された接続部を介して接続されているため、接続端子の表面から駆動電極の表面にハンダなどが流れ込んでしまうことがない。

また、本発明の液体移送装置においては、前記積層方向における前記表面とは異なる位置に配置されており、所定の基準電極に保持された基準電極をさらに備えており、前記基準電極は、前記積層方向において前記接続端子と重複しないように配置されていることが好ましい（請求項２）。

これによると、基準電極と接続端子とが積層方向において重複しないため、基準電極と接続端子との間に浮遊容量が発生してしまうのを防止することができる。

また、本発明の液体移送装置においては、前記圧電層は、複数の薄層が互いに積層されて構成されており、前記接続部及び前記基準電極は、複数の薄層の互いに異なる面に設けられていることが好ましい（請求項３）。

これによると、基準電極と接続部とが薄層の互いに異なる面に形成されているので、基準電極と接続部とが短絡したり、基準電極と接続部との間に浮遊容量が発生したりするのを防止することができる。

このとき、前記接続部と前記基準電極とが、前記積層方向において重複しないように配置されていることが好ましい（請求項４）。

これによると、基準電極と接続部とが積層方向において重複しないため、基準電極と接続部との間に浮遊容量が発生してしまうのを防止することができる。

また、本発明の液体移送装置においては、前記接続端子が、前記圧力室と対向しないように配置されていることが好ましい（請求項５）。

これによると、接続端子が圧力室と対向していないので、接続端子と外部の配線とを接合したときに接続端子に付着したハンダなどにより、圧電層及び振動板の変形が阻害されてしまうのを確実に防止することができる。

本発明の圧電アクチュエータは、振動板と、前記振動板の一方側に配置された圧電層と、前記圧電層の前記振動板と反対側の面である表面に設けられた駆動電極と、前記圧電層の前記表面に前記駆動電極から離隔して配置されており、外部の配線と接続される接続端子と、前記圧電層内の、前記振動板と前記圧電層との積層方向における前記表面とは異なる位置に配置された、前記駆動電極と前記接続端子とを接続させるための接続部と、前記圧電層内に形成された、前記駆動電極と前記接続部とを連通させるための第１連通路と、前記圧電層内に形成された、前記接続端子と前記接続部とを連通させるための第２連通路とを備えている。前記第１連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記駆動電極と前記接続部とが接続されており、前記第２連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記接続部と前記接続端子とが接続されている（請求項６）。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置）、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、図１の左右方向（走査方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、後述するノズル１５（図２参照）からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを図１の手前方向（紙送り方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５（図２参照）からインクを吐出することによって記録用紙Ｐに印刷を行う。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の平面図である。図３は図２の部分拡大図である。図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。図５は図３のＶ−Ｖ線断面図である。

図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド３は、圧力室１０などのインク流路が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に配置された圧電アクチュエータ３２とを有している。

流路ユニット３１は、上から順にキャビティプレート２１、ベースプレート２２、マニホールドプレート２３及びノズルプレート２４の４枚のプレートが互いに積層されることによって構成されている。これら４枚のプレート２１〜２４のうち、ノズルプレート２４を除く３枚のプレート２１〜２３は、ステンレスなどの金属材料からなり、ノズルプレート２４は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。あるいは、ノズルプレート２４も他の３枚のプレート２１〜２３と同様、金属材料によって構成されていてもよい。

ノズルプレート２４には、複数のノズル１５が形成されている。複数のノズル１５は、紙送り方向（図２の上下方向）に沿って配列されてノズル列８を構成しており、このようなノズル列８が走査方向（図３の左右方向）に４列に配置されている。これら４つのノズル列８を構成するノズル１５からは、図２の左側のノズル列８を構成しているものから順に、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。

キャビティプレート２１には、複数のノズル１５に対応して複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有しており、平面視で圧力室１０の左端部がノズル１５と重なるように配置されている。ベースプレート２２には、平面視で圧力室１０の長手方向の両端部に重なる位置に、それぞれ貫通孔１２、１３が形成されている。

マニホールドプレート２３には、４つのノズル列８に対応して紙送り方向に延びた４つのマニホールド流路１１が形成されている。各マニホールド流路１１は、平面視で、対応する圧力室１０の略右半分と重なっている。各マニホールド流路１１の図２の下端部にはそれぞれインク供給口９が設けられており、インク供給口９からマニホールド流路１１にインク供給される。また、マニホールドプレート２３には、平面視で貫通孔１３とノズル１５とに重なる位置に、貫通孔１４が形成されている。

そして、流路ユニット３１においては、マニホールド流路１１が貫通孔１２を介して圧力室１０に連通し、圧力室１０はさらに貫通孔１３、１４を介してノズル１５に連通する。このように流路ユニット３１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路が形成されている。なお、これら複数の個別インク流路とマニホールド流路１１を合わせたインク流路が本発明に係る液体移送流路に相当する。

圧電アクチュエータ３１は、振動板４０、圧電薄層４１、４２、個別電極４３（駆動電極）、共通電極４４（基準電極）、接続端子４５、接続部４６を有している。振動板４０は合成樹脂などの絶縁性材料からなり、複数の圧力室１０を覆うようにキャビティプレート２１の上面に接合されている。

圧電薄層４１、４２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、互いに積層されて、振動板４０の上面（振動板４０の圧力室１０と反対側、振動板４０の一方側）に複数の圧力室１０にまたがって連続的に配置されている。また、圧電薄層４１、４２は予めその厚み方向に分極されている。なお、圧電薄層４１と圧電薄層４２との積層体が本発明に係る圧電層に相当する。

複数の個別電極４３は、圧電薄層４２の上面（圧電層の振動板４０と反対側の面である表面）に複数の圧力室１０に対応して設けられている。個別電極４３は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、平面視で、圧力室１０の略中央部に対向する位置に配置されている。また、個別電極４３の図３の右端部は、紙送り方向に関する略中央部が右方に突出した、後述するように接続部４６と接続するための突出部４３ａとなっている。

共通電極４４は、圧電薄層４１の下面（積層方向における圧電層の表面とは異なる位置）に、各ノズル列８に対応する複数の個別電極４３にまたがって、紙送り方向（図２の上下方向）に４列延びて、対応する複数の個別電極４３と対向している。共通電極４４は常にグランド電位（所定の基準電位）に保持されている。また、共通電極４４は、走査方向に関して、個別電極４３の突出部４３ａを除いた部分よりも外側までは延びていない。

接続端子４５は、圧電薄層４２の上面の、図３における各個別電極４３の右側の圧力室１０と対向しない位置に、個別電極４３から離隔して配置されている。接続端子４５は、、紙送り方向を長手方向とする略長方形の平面形状を有している。ここで、共通電極４４は、前述したように、走査方向に関して個別電極４３の突出部４３ａを除いた部分よりも外側までは延びていないので、平面視で共通電極４４と接続端子４５とが重ならない（振動板４０と圧電薄層４１、４２との積層方向において共通電極４４と接続端子４５とが重複しない）。これにより、共通電極４４と接続端子４５との間に浮遊容量が発生してしまうのが防止されている。

接続端子４５にはハンダ５２を介して圧電薄層４２の上方に配置されたフレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）５１の配線５１ａ（外部の配線）に接続されている。ＦＰＣ５１（配線５１ａ）は図示しないドライバＩＣに接続されている。このとき、接続端子４５と個別電極４３とは互いに離隔して配置されているため、ハンダ５２が接続端子４５の表面から個別電極４３の表面に流れ込んでしまうことがない。なお、本実施の形態においては、接続端子４５は、接続端子４５とＦＰＣ５１の配線５１ａを接続するハンダ５２の量が製造ばらつきの範囲で最大限多くなった場合にも、ハンダ５２が接続端子４５の外側に流れ出さない程度の面積を有している。

接続部４６は、個別電極４３と接続端子４５とを接続させるためのものであり、圧電薄層４１と圧電薄層４２の間（圧電層内の振動板４０と圧電層の積層方向における接続端子４５が配置されているのとは異なる位置）に、平面視で個別電極４３の突出部４３ａと重なる位置から接続端子４５の図３の左端部と重なる位置まで走査方向に延びている。

ここで、前述した圧電薄層４２には、圧電薄層４２内を突出部４３ａから接続部４６まで延びて、突出部４３ａ（個別電極４３）と接続部４６とを連通させる連通路４２ａ（第１連通路）、及び、圧電薄層４２内を接続端子４５から接続部４６まで延びて、接続端子４５と接続部４６とを連通させる連通路４２ｂ（第２連通路）が形成されている。連通路４２ａ、４２ｂには、それぞれ、導電性材料５３、５４が充填されており、個別電極４３（突出部４３ａ）と接続部４６とが導電性材料５３を介して接続されており、接続端子４５と接続部４６とが導電性材料５４を介して接続されている。これにより、個別電極４３と接続端子４５とが、接続部４６及び導電性材料５３、５４を介して接続され、図示しないドライバＩＣからＦＰＣ５１、接続端子４５、導電性材料５４、接続部４６及び導電性材料５３を介して個別電極４３に駆動電位が付与される。

また、前述したように、圧電アクチュエータ３２においては、共通電極４４が圧電薄層４１の下面に配置されており、接続部４６が圧電薄層４１と圧電薄層４２との間に配置されている。すなわち、共通電極４４と接続部４６とが圧電層の異なる位置に配置されている。これにより、共通電極４４と接続部４６とが短絡してしまったり、共通電極４４と接続部４６との間に浮遊容量が発生したりするのが防止されている。

さらに、前述したように、共通電極４４は、走査方向に関して個別電極４３の接続部４３ａを除いた部分よりも外側までは延びていないので、平面視で共通電極４４と接続部４６とが対向していない（積層方向において共通電極４４と接続部４６とが重複しない）。これによっても、共通電極４４と接続部４６との間に浮遊容量が発生してしまうのが防止されている。

以上に説明したような圧電アクチュエータ３２は、例えば、印刷等によって個別電極４３、共通電極４４、接続端子４５及び接続部４６を形成した、圧電材料のグリーンシートを焼成することによって製造される。この場合には、圧電材料のグリーンシートを焼成する前に、圧電薄層４２となるグリーンシートに連通路４２ａ、４２ｂとなる貫通孔を形成して、これらの貫通孔に導電性材料５３、５４を充填しておく。

また、圧電アクチュエータ３２は、基材の表面に圧電材料の粒子を衝突させることによって圧電材料の粒子を堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて圧電薄層４１、４２を形成し、形成した圧電薄層４１、４２の面に個別電極４３、共通電極４４、接続端子４５及び接続部４６を形成することによって製造することも可能である。この場合には、ＡＤ法によって圧電薄層４２を形成する際に、連通路４２ａ、４２ｂとなる部分を除いた部分にのみ圧電材料の粒子を堆積させることにより、圧電薄層４２に連通路４２ａ、４２ｂを形成する。

ここで、圧電アクチュエータ３２の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ３２においては、複数の個別電極４３の電位は、図示しないドライバＩＣにより予めグランド電位に保持されている。そして、ドライバＩＣにより複数の個別電極４３のいずれかに駆動電位が付与されると、駆動電位が付与された個別電極４３とグランド電位に保持された共通電極４４との間に電位差が発生し、圧電薄層４１、４２のこの個別電極４３と共通電極４４とに挟まれた部分に厚み方向の電界が発生する。この電界の向きは圧電薄層４１、４２の分極方向と平行であるため、圧電薄層４１、４２のこの部分は分極方向と直交する水平方向に収縮する。これに伴って、振動板４０及び圧電薄層４１、４２の駆動電位が付与された個別電極４３に対応する圧力室１０に対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、この圧力室１０内の容積が減少する。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

このとき、個別電極４３の表面にハンダ５２が流れ込んでいると、振動板４０及び圧電薄層４１、４２の変形がハンダ５２によって阻害され、圧力室１０の容積変化が小さくなり、圧力室１０内のインクに付与される圧力が小さくなってしまう虞がある。

しかしながら、本実施の形態では、個別電極４３と接続端子４５とが圧電薄層４２の上面に互いに離隔して配置されており、個別電極４３と接続端子４５とが、圧電薄層４２の上面とは異なる、圧電薄層４１と圧電薄層４２との間に配置された接続部４６、及び、圧電薄層４２内に形成された連通路４２ａ、４２ｂに充填された充填材料５３、５４を介して互いに接続されているので、接続端子４５とＦＰＣ５１の配線５１ａとをハンダ５２によって接続したときに、ハンダ５２が接続端子４５の表面から個別電極４３の表面に流れ込んでしまうことがなく、ハンダ５２により振動板４０及び圧電薄層４１、４２の変形が阻害されてしまうことがない。

さらに、接続端子４５が圧力室１０と対向しないように配置されているので、接続端子４５上のハンダ５２によって圧電薄層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分の変形が阻害されてしまうのを防止することができる。

以上に説明した実施の形態によると、個別電極４３と接続端子４５とが圧電薄層４２の上面に互いに離隔して配置されており、個別電極４３と接続端子４５とが、これらが配置されているのとは異なる、圧電薄層４１と圧電薄層４２との間に配置された接続部４６、及び、圧電薄層４２内に形成された連通路４２ａ、４２ｂに充填された充填材料５３、５４を介して接続されているため、接続端子４５をハンダ５２によってＦＰＣ５１の配線５１ａに接続したときに、接続端子４５の表面から個別電極４３の表面にハンダ５２が流れ込んでしまうことがない。これにより、ハンダ５２によって圧電薄層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０に対向する部分の変形が阻害されてしまうのが防止される。

また、共通電極４４と接続端子４５とが平面視で互いに重ならないように配置されているため、共通電極４４と接続端子４５との間に浮遊容量が発生してしまうのを防止することができる。

また、共通電極４４が圧電薄層４１の下面に配置されているとともに接続部４６が圧電薄層４１と圧電薄層４２との間に配置されており、すなわち、共通電極４４と接続部４６とが互いに異なる面に配置されており、さらに、共通電極４４と接続部４６とが平面視で互いに重ならないように配置されているため、共通電極４４と接続部４６とが短絡してしまったり、共通電極４４と接続部４６との間に浮遊容量が発生してしまったりするのを防止することができる。

また、接続端子４５が圧力室１０と対向しないように配置されているので、接続端子４５上のハンダ５２によって圧電薄層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分の変形が阻害されてしまうのが防止される。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。

一変形例では、図６に示すように、圧電薄層４１の下面のほぼ全域にわたって共通電極６４が配置されており、共通電極６４と接続端子４５及び接続部４６とが、それぞれ平面視で互いに重なっている（変形例１）。

この場合には、平面視で、共通電極６４と接続端子４５及び接続部４６とがそれぞれ重なるため、共通電極６４と接続端子４５及び接続部４６との間に、それぞれ、浮遊容量が発生してしまう虞があるものの、圧電薄層４１の下面の全域に共通電極６４を形成すればよいので、共通電極６４を容易に形成することができる。なお、変形例１では、共通電極６４が、圧電薄層４１の下面のほぼ全域にわたって形成されて、平面視で接続端子４５及び接続部４６の両方に重なっていたが、共通電極が接続端子４５及び接続部４６のいずれか一方にのみ重なるように配置されていてもよい。

また、本実施の形態では、振動板４０の上面に圧電薄層４１と圧電薄層４２とが互いに積層されて配置されていたが、これには限られない。別の一変形例では、図７に示すように、振動板４０の上面に１層の圧電層７０が形成されており、圧電層７０の上面に個別電極４３及び接続端子４５が配置されている。また、圧電層７０の下面には、共通電極４４と接続部７６とが配置されている。接続部７６は、平面視で個別電極４３の突出部４３ａ及び接続端子４５と対向するとともに共通電極４４から離隔した位置に配置されている。さらに、圧電層７０の、平面視で突出部４３ａ及び接続部７６の両方と重なる部分、及び、平面視で接続端子４５及び接続部７６の両方と重なる部分には、それぞれ、突出部４３ａ（個別電極４３）と接続部４６とを連通させる連通路７０ａ（第１連通路）、及び、接続端子４５と接続部４６とを連通させる連通孔７０ｂが形成されている。連通路７０ａ、７０ｂには、それぞれ、導電性材料７３、７４が充填されており、個別電極４３と接続部７６とが導電性部材７３を介して接続されており、接続部７６と接続端子４５とが導電性材料７４を介して接続されている（変形例２）。

このように、共通電極４４と接続部７６とが同一面上に配置されていてもよい。この場合でも、共通電極４４と接続部７６とを十分に離隔させておけば、共通電極４４と接続部７６とが短絡してしまうのを防止することができる。

また、圧電薄層４１と圧電薄層４２とが積層されている場合にも共通電極と接続部との位置関係は実施の形態のものには限られない。別の一変形例では、図８に示すように、圧電薄層４１と圧電薄層４２との間に共通電極８１が配置されており、圧電薄層４１の下面に接続部８２が形成されている。すなわち、共通電極８１と接続部８２とが、圧電薄層４１、４２の互いに異なる面に配置されている。圧電薄層４１、４２の内部には、圧電薄層４１、４２にまたがって延びて、突出部４３ａと接続部８２、及び、接続部８２と接続端子４５とをそれぞれ連通させる連通路８３ａ（第１連通路）及び連通路８３ｂ（第２連通路）が形成されており、連通路８３ａ、８３ｂには、それぞれ、金属などの導電性材料８４、８５が充填されている。そして、導電性材料８４を介して個別電極４３（突出部４３ａ）と接続部８２とが接続されており、導電性材料８５を介して接続部８２と接続端子４５とが接続されている（変形例３）。

また、本実施の形態では、振動板４０が絶縁性材料によって構成されていたが、これには限られない。別の一変形例では、図９に示すように、振動板８０が金属などの導電性材料からなり、振動板９０と圧電薄層４１との間に圧電薄層９１が配置されている。（変形例４）。なお、この場合には、互いに積層された３枚の圧電薄層４１、４２、８１が本発明に係る圧電層に相当する。このように、圧電層の振動板に接合される面（変形例４の場合には圧電薄層９１の下面）に共通電極及び接続部が配置されていない場合には、振動板が導電性材料によって構成されていてもよい。

さらに、圧電薄層の枚数は、実施の形態の場合のような２枚、及び、変形例４のような３枚には限られず、４枚以上の圧電薄層が積層されており、これらのうち最も上方（振動板と反対側の端）に位置する圧電薄層の上面（圧電層の振動板と反対側の面である表面）に個別電極４３及び接続端子４５が形成されており、圧電薄層の個別電極４３及び接続端子４５が形成されているのと異なる面に共通電極、接続部が形成されていてもよい。

また、本実施の形態では、平面視で接続端子４５と圧力室１０とが対向しないように配置されていたが、これには限られない。別の一変形例では、図１０に示すように、接続端子１０５の図中左端部が、平面視で圧力室１０の図中右端部と対向している（変形例５）。

この場合には、接続端子１０５に付着した、ＦＰＣ５１の配線５１ａとを接続するためのハンダ５２によって、振動板４０及び圧電薄層４１、４２の接続端子１０５と対向する部分の変形が阻害されてしまうことになるが、振動板４０及び圧電薄層４１、４２は、圧力室１０の略中央部と対向する部分が最も大きく変形するため、圧力室１０の一端部と対向する部分に配置されたハンダ５２によって振動板４０及び圧電薄層４１、４２の変形が大きく阻害されることはない。

また、本実施の形態では、接続端子４５とＦＰＣ５１の配線５１ａとがハンダ５２によって接続されていたが、例えば金属を含む熱硬化性接着など、液状で塗布された後に硬化するものを介して接続されていてもよい。この場合でも、個別電極４３と接続端子４５とが圧電薄層４２の上面において接続されていないので、接続端子４５の表面から個別電極４３の表面に熱硬化性接着剤などが流れ込んでしまうことがない。

また、本実施の形態では、振動板４０の上面に圧電層４１が配置されていたが、振動板４０の上面に圧電層以外の中間層が配置されており、中間層の上面（振動板４０の圧力室１０と反対側）に圧電層４１が配置されていてもよい。なお、この場合には、中間層と圧電層４１との間に共通電極４４が配置される。

また、以上では、ノズルに連通する圧力室内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ及びこのような圧電アクチュエータを含むインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、ノズルからインク以外の液体を吐出する、あるいは、圧力室内の液体に圧力を付与することによって圧力室に連通する液体流路内の液体を移送する液体移送装置に本発明を適用することも可能であり、圧力室以外の所定の被駆動部を駆動させるための圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。

本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の部分拡大図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 図３のＶ−Ｖ線断面図である。 変形例１の図４相当の図である。 変形例２の図４相当の図である。 変形例３の図４相当の図である。 変形例４の図４相当の図である。 変形例５の図３相当の図である。

符号の説明

３ インクジェットヘッド
１０ 圧力室
３１ 流路ユニット
３２ 圧電アクチュエータ
４０ 振動板
４１、４２ 圧電薄層
４２ａ、４２ｂ 貫通孔
４３ 個別電極
４４ 共通電極
４５ 接続端子
４６ 接続部
５３、５４ 導電性材料
７０ 圧電層
７０ａ、７０ｂ 貫通孔
７３、７４ 導電性部材
８１ 共通電極
８２ 接続部
８３ａ、８３ｂ 連通路
８４、８５ 導電性材料
９０ 振動板
９１ 圧電薄層
１０５ 接続端子

Claims (6)

1. 圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、
   前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、
   前記圧電アクチュエータは、
   前記圧力室を覆う振動板と、
   前記振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層と、
   前記圧電層の前記振動板と反対側の面である表面に前記圧力室と対向するように配置された駆動電極と、
   前記圧電層の前記表面に前記駆動電極から離隔して配置されており、外部の配線と接続される接続端子と、
   前記圧電層内の、前記振動板と前記圧電層との積層方向における前記表面とは異なる位置に配置された、前記駆動電極と前記接続端子とを接続させるための接続部と、
   前記圧電層内に形成された、前記駆動電極と前記接続部とを連通させるための第１連通路と、
   前記圧電層内に形成された、前記接続端子と前記接続部とを連通させるための第２連通路とを備えており、
   前記第１連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記駆動電極と前記接続部とが接続されており、
   前記第２連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記接続部と前記接続端子とが接続されていることを特徴とする液体移送装置。
2. 前記積層方向における前記表面とは異なる位置に配置されており、所定の基準電位に保持された基準電極をさらに備えており、
   前記基準電極は、前記積層方向において前記接続端子と重複しないように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
3. 前記圧電層は、複数の薄層が互いに積層されて構成されており、
   前記接続部及び前記基準電極は、複数の薄層の互いに異なる面に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
4. 前記接続部と前記基準電極とが、前記積層方向において重複しないように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の液体移送装置。
5. 前記接続端子が、前記圧力室と対向しないように配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体移送装置。
6. 振動板と、
   前記振動板の一方側に配置された圧電層と、
   前記圧電層の前記振動板と反対側の面である表面に設けられた駆動電極と、
   前記圧電層の前記表面に前記駆動電極から離隔して配置されており、外部の配線と接続される接続端子と、
   前記圧電層内の、前記振動板と前記圧電層との積層方向における前記表面とは異なる位置に配置された、前記駆動電極と前記接続端子とを接続させるための接続部と、
   前記圧電層内に形成された、前記駆動電極と前記接続部とを連通させるための第１連通路と、
   前記圧電層内に形成された、前記接続端子と前記接続部とを連通させるための第２連通路とを備えており、
   前記第１連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記駆動電極と前記接続部とが接続されており、
   前記第２連通路には導電性材料が充填されており、当該導電性材料を介して前記接続部と前記接続端子とが接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

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