JP6187104B2 - 液体吐出装置 - Google Patents
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本実施形態では、複数の高電位電極26と複数の低電位電極45とが、共に、圧電層31と圧電層32との間に配置されている。すなわち、複数の高電位電極26と複数の低電位電極45とは、1枚の圧電層31のみを挟んで複数の個別電極47とそれぞれ対向している。従って、特許文献1に記載の従来構成と比べて、高電位電極26と低電位電極45とが、個別電極17に近づいた構成となっている。これにより、個別電極17と高電位電極26との間の第1活性部R1と、個別電極17と低電位電極45との間の第2活性部R2とを、それぞれ薄くすることができる。これにより、第1活性部R1および第2活性部R2に高い電界を作用させることができるため、各活性部の変形効率を向上させることができる。
4 インクジェットヘッド
16 圧力室
17 個別電極
19 バンプ
20 流路ユニット
26 高電位電極
27 導通部
27a 高電位電極導通部
27b 接続部
30 圧電アクチュエータ
31〜33 圧電体
45 低電位電極
46 スルーホール
47 導通用電極
47a 第1部分
47b 第2部分
47b1 第1部分導通部
47b2 接続部
52 COF
Claims (8)
- 複数のノズル及びこれらのノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路構造体と、前記複数の圧力室を覆うように流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
互いに積層された第1圧電層および第2圧電層と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する位置に配置された領域を有する複数の第1電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記複数の第1電極それぞれの一部分と対向する領域を有する複数の第2電極と、
同じく前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の前記一部分とは異なる部分と対向する領域を有する第3電極と、
前記第2圧電層の前記第2電極および前記第3電極と反対側の面に配置された第4電極と、
を有し、
前記複数の第1電極は、配線部材が接続される接続部をそれぞれ有し、
前記圧電層の積層方向から見て、前記接続部は、前記第2電極と重ならず、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第4電極とが一部分で重なっており、
前記第2圧電層は、当該第2圧電層に形成された複数のスルーホール内に充填された導電部を有し、
前記第4電極と前記第2電極とが前記導電部を介して接続され、
前記第4電極は、前記複数の第2電極とそれぞれ対向する複数の第1部分と、
前記複数の第1部分を互いに導通させる第2部分と、を有し、
前記積層方向から見て、前記第2部分が、前記接続部と重なっていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記流路構造体には、複数の前記ノズルと、これら複数のノズルにそれぞれ連通する複数の前記圧力室が配列され、
前記圧力室の配列方向において、前記第1電極は、その両端部が前記第2電極と対向し、前記両端部の間の領域が前記第3電極と対向し、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第3電極との間には、前記圧力室の配列方向において、隙間が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 - 前記流路構造体には、複数の前記ノズルと、これら複数のノズルにそれぞれ連通する複数の前記圧力室が配列され、
前記圧力室の配列方向において、前記第1電極は、その両端部が前記第3電極と対向し、前記両端部の間の領域が前記第2電極と対向し、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第3電極との間には、前記圧力室の配列方向において、隙間が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 - ノズル及びこのノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された流路構造体と、前記圧力室を覆うように流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
互いに積層された第1圧電層および第2圧電層と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面の前記圧力室と対向する位置に配置された領域を有する第1電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の一部分と対向する領域を有する第2電極と、
同じく前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の前記一部分とは異なる部分と対向する領域を有する第3電極と、
前記第2圧電層の前記第2電極および前記第3電極と反対側の面に配置された第4電極と、
を有し、
前記第1電極は、配線部材が接続される接続部を有し、
前記圧電層の積層方向から見て、前記接続部は、前記第2電極と重ならず、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第4電極とが一部分で重なっており、
前記第2圧電層は、当該第2圧電層に形成されたスルーホール内に充填された導電部を有し、
前記第4電極と前記第2電極とが前記導電部を介して接続され、
前記流路構造体には、複数の前記ノズルと、これら複数のノズルにそれぞれ連通する複数の前記圧力室が配列され、
前記圧力室の配列方向において、前記第1電極は、その両端部が前記第2電極と前記第3電極の一方と対向し、前記両端部の間の領域が前記第2電極と前記第3電極の他方と対向し、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第3電極との間には、前記圧力室の配列方向において、隙間が設けられ、
前記積層方向から見て、前記第4電極は、前記隙間の領域において前記第1電極の少なくとも一部分と重なっていることを特徴とする液体吐出装置。 - 互いに積層された第1圧電層および第2圧電層と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面に配置された第1電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の一部分と対向する領域を有する第2電極と、
同じく前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の前記一部分とは異なる部分と対向する領域を有する第3電極と、
前記第2圧電層の前記第2電極および前記第3電極と反対側の面に配置された第4電極と、
を有し、
前記第1電極は、配線部材が接続される接続部を有し、
前記圧電層の積層方向から見て、前記接続部は、前記第2電極と重ならず、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第4電極とが一部分で重なっており、
前記第2圧電層は、当該第2圧電層に形成されたスルーホール内に充填された導電部を有し、
前記第4電極と前記第2電極とが前記導電部を介して接続され、
前記積層方向から見て、前記接続部は、前記前記第3電極と重ならないことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第2電極と前記第3電極は、同一平面内に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
- 互いに積層された第1圧電層および第2圧電層と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面に配置された複数の第1電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記複数の第1電極それぞれの一部分と対向する領域を有する複数の第2電極と、
同じく前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の前記一部分とは異なる部分と対向する領域を有する第3電極と、
前記第2圧電層の前記第2電極および前記第3電極と反対側の面に配置された第4電極と、
を有し、
前記複数の第1電極は、配線部材が接続される接続部をそれぞれ有し、
前記圧電層の積層方向から見て、前記接続部は、前記第2電極と重ならず、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第4電極とが一部分で重なっており、
前記第2圧電層は、当該第2圧電層に形成された複数のスルーホール内に充填された導電部を有し、
前記第4電極と前記第2電極とが前記導電部を介して接続され、
前記第4電極は、前記複数の第2電極とそれぞれ対向する複数の第1部分を有し、
前記複数のスルーホールは、前記積層方向から見て、前記複数の第1部分とそれぞれ重なっていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 複数のノズル及びこれらのノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路構造体と、前記複数の圧力室を覆うように流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
互いに積層された第1圧電層および第2圧電層と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する位置に配置された領域を有する複数の第1電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記複数の第1電極それぞれの一部分と対向する領域を有する複数の第2電極と、
同じく前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、前記第1圧電層を挟んで前記第1電極の前記一部分とは異なる部分と対向する領域を有する第3電極と、
前記第2圧電層の前記第2電極および前記第3電極と反対側の面に配置された第4電極と、
を有し、
前記複数の第1電極は、配線部材が接続される接続部をそれぞれ有し、
前記圧電層の積層方向から見て、前記接続部は、前記第2電極と重ならず、
前記積層方向から見て、前記第2電極と前記第4電極とが一部分で重なっており、
前記第2圧電層は、当該第2圧電層に形成された複数のスルーホール内に充填された導電部を有し、
前記第4電極と前記第2電極とが前記導電部を介して接続され、
前記複数のスルーホールは、前記圧力室ごとに形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
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JP2013204719A JP6187104B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 液体吐出装置 |
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JP2013204719A JP6187104B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 液体吐出装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013204719A Active JP6187104B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 液体吐出装置 |
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