JP5900294B2 - 液体吐出装置及び圧電アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出装置及び圧電アクチュエータに関する。

従来から、液体吐出装置において、液体に噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータを有するものが知られている。例えば、特許文献１には、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路形成基板と、この流路形成基板に設けられた圧電アクチュエータとを有する、インクジェットヘッドが開示されている。

圧電アクチュエータは、流路形成基板の複数の圧力室を覆う弾性膜の表面に、複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子を有する。また、流路形成基板には、複数の圧電素子を覆うように封止基板が設けられ、複数の圧電素子は封止基板によって密封されている。

流路形成基板には、複数の圧電素子から封止基板の外側までそれぞれ引き出された複数のリード電極が形成されている。また、封止基板上には複数の圧電素子を駆動するための駆動ＩＣが実装されている。さらに、駆動ＩＣと複数のリード電極とが、ワイヤによって個別に接続されている（ワイヤボンディング）。

特開２００６−２４０３１２号公報

前記特許文献１のインクジェットヘッドでは、圧電素子を覆う封止基板に実装された駆動ＩＣと、複数の圧電素子から引き出された複数のリード電極とが、ワイヤボンディングで接続されているが、ワイヤボンディングによる接続は、実際にはかなりの手間を必要とする。特に、インクジェットヘッドのノズルの高密度配置に伴い、多数の圧電素子からそれぞれ引き出されたリード電極が密集して配置されている場合には、これらのリード電極にワイヤを１本ずつ接合することは容易ではなく、導通の信頼性も低下する。

本発明の目的は、圧電素子が密封された圧電アクチュエータにおいて、圧電素子と圧電素子を駆動する駆動装置との電気的接続を、容易且つ確実に行える構成を提供することにある。

第１の発明の液体吐出装置は、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、前記流路構造体の一表面に、前記圧力室と対向して配置された圧電素子と、前記圧電素子に設けられた電極と、前記電極と電気的に接続されて、前記圧電素子を駆動する駆動装置と、前記圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面に接合されたカバー部材と、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記電極に接続された第１配線部が形成され、前記カバー部材は、前記圧電素子を覆うカバー本体部と、前記第１配線部の少なくとも一部と対向しつつ前記カバー本体部から前記流路構造体の前記一表面に沿って延在する配線接続部を有し、前記カバー部材には、前記駆動装置に接続され、且つ、前記カバー本体部から前記配線接続部の前記第１配線部との対向面まで延びる第２配線部が形成され、前記配線接続部は、前記第２配線部が前記第１配線部と導通した状態で、前記流路構造体の前記一表面に接合され、前記配線接続部の延在方向と直交する方向の厚みが、前記カバー本体部の表面と直交する方向の厚みよりも薄いことを特徴とするものである。

本発明では、圧電素子がカバー部材のカバー本体部によって覆われることによって、圧電素子が密封されている。これにより、外部の水分（湿気）が圧電素子に入り込んで短絡やマイグレーションを引き起こすことが防止される。但し、圧電素子の電極を、カバー部材の外側に配置された駆動装置と電気的に接続する必要がある。本発明では、圧電素子が配置されている流路構造体の一表面に、圧電素子の電極に接続された第１配線部が配置される一方で、圧電素子を覆うカバー部材に、駆動装置に接続された第２配線部が形成されている。また、カバー部材は、流路構造体の一表面に沿って延在する配線接続部を有し、前記第２配線部は、配線接続部の第１配線部との対向面まで延びている。そして、カバー部材を流路構造体に接合したときに、前記配線接続部が、流路構造体の一表面に押し付けられて接合されるとともに、この配線接続部側の第２配線部が流路構造体側の第１配線部と導通する。このように、第２配線部が形成されたカバー部材を、流路構造体の一表面に接合することで、圧電素子と駆動装置との電気的接続を簡単に行える。

また、カバー部材のカバー本体部は、外部の水分（湿気）の透過を抑制する観点から、一定以上の厚みを有することが好ましい。一方で、配線接続部は、第１配線部と第２配線部の導通信頼性を高めるために、薄く形成されて、接合時に流路構造体の表面形状にならって変形可能であることが好ましい。そこで、本発明では、配線接続部は、カバー本体部よりも厚みが薄く形成されている。これにより、第１配線部と第２配線部とを確実に導通させることができる。

第２の発明の液体吐出装置は、前記第１の発明において、前記配線接続部が、前記流路構造体の前記一表面に、異方性導電性接着剤で接合されていることを特徴とするものである。

本発明では、流路構造体の一表面とカバー部材の配線接続部とが異方性導電性接着剤で接合される。カバー部材と流路構造体との間に異方性導電性接着剤を介在させ、カバー部材を流路構造体の一表面に押しつける。すると、異方性導電性接着剤の、第１配線部と第２配線部との間で圧縮された部分が導電性を発現し、第１配線部と第２配線部とが導通した状態で、カバー部材が流路構造体に接合される。ここで、配線接続部が薄く形成されており、配線接続部が流路構造体の一表面にならって変形するため、異方性導電性接着剤が均一に押し付けられやすくなり、第１配線部と第２配線部との間で確実に導電性を発現する。また、流路構造体と配線接続部との間に接着剤中の樹脂材料が行き渡るため隙間が生じにくく、カバー部材による圧電素子の密閉性が高まる。

第３の発明の液体吐出装置は、前記第１又は第２の発明において、前記第２配線部は、前記配線接続部の前記第１配線部との対向面から、前記カバー本体部の内面を引き回され、さらに、前記カバー本体部に形成された貫通孔を通って前記カバー本体部の外面に引き出されていることを特徴とするものである。

本発明によれば、第２配線部は、カバー本体部の貫通孔から外に出た部分のみが露出し、それ以外の大部分はカバー部材の内面側にあって露出しないため、配線間の短絡や配線の損傷等を防止できる。

第４の発明の液体吐出装置は、前記第３の発明において、前記カバー本体部は、前記圧電素子を挟んで前記流路構造体の前記一表面と対向する天井部と、前記天井部と前記流路構造体の前記一表面とを繋ぎ、且つ、前記配線接続部と連結された側壁部とを有し、前記貫通孔は、前記カバー本体部の前記天井部に形成され、前記カバー本体部の前記天井部の外面に、前記駆動装置が設置されていることを特徴とするものである。

カバー本体部の内面を引き回された第２配線部は、駆動装置が配置された天井部において外部に露出して駆動装置に接続される。従って、第２配線部の、カバー本体部の外面に形成されて露出する部分が少なくなる。

第５の発明の液体吐出装置は、前記第３又は第４の発明において、前記カバー部材の前記カバー本体部は、前記圧電素子との間に隙間を空けて前記圧電素子を覆っていることを特徴とするものである。

圧電素子とカバー本体部の間に隙間があるため、圧電素子の変形がカバー本体部によって阻害されない。また、圧電素子の駆動時に、カバー本体部の内面に形成されている第２配線部に圧電素子が接触することもなく、第２配線部の断線、損傷等が生じることがない。

第６の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第５の何れかの発明において、前記カバー本体部には凹部が形成され、前記駆動装置は、前記凹部に収容された状態で前記カバー本体部に設置されていることを特徴とするものである。

カバー本体部に形成された凹部に駆動装置が収容されていることから、駆動装置がカバー本体部から突出しない。

第７の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記流路構造体には、複数の前記ノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通し、且つ、前記流路構造体の前記一表面に平行な所定方向に沿って配列された複数の前記圧力室が形成され、前記複数の圧力室にそれぞれ対応した複数の前記圧電素子が、前記所定方向に沿って配列され、前記カバー部材の前記カバー本体部は、１列の圧電素子列に属する複数の前記圧電素子を共通に覆っており、前記カバー本体部によって覆われた前記複数の圧電素子の前記電極にそれぞれ接続された複数の前記第１配線部と、前記カバー本体部に形成された複数の前記第２配線部とが、前記配線接続部において導通していることを特徴とするものである。

複数の圧電素子からそれぞれ引き出された複数の第１配線部が、配線接続部において、カバー部材に設けられた複数の第２配線部とそれぞれ導通する。ここで、配線接続部の厚みは薄く、接合時には流路構造体の表面形状にならって変形可能である。そのため、複数の第１配線部のそれぞれに、カバー本体部の複数の第２配線部が確実に押し付けられることになり、複数の第１配線部と複数の第２配線部とが、それぞれ確実に導通する。

第８の発明の液体吐出装置は、前記第７の発明において、前記流路構造体は、液体供給源に接続される液体供給部と、前記液体供給部から前記所定方向に沿って延び、且つ、前記所定方向に配列された複数の前記圧力室と連通する共通液室と、を有し、前記カバー本体部は、前記圧電素子を挟んで前記流路構造体の前記一表面と対向する天井部と、前記天井部と前記流路構造体の前記一表面とを繋ぎ、且つ、前記配線接続部と連結された側壁部とを有し、前記カバー本体部の前記天井部に前記駆動装置が設置され、前記カバー本体部の前記側壁部は、前記所定方向において前記液体供給部から離れた部分ほど、その熱抵抗が大きくなっていることを特徴とするものである。

複数の圧電素子を駆動する駆動装置においては、その駆動の際に多くの熱が発生する。駆動装置で発生した熱の一部は、駆動装置が設置されているカバー部材を介して流路構造体に伝わるため、流路構造体内を流れる液体の温度が上昇する。一方で、温度による吐出特性のばらつきが生じることを防止するためには、複数のノズルに供給される液体の温度をできるだけ均一に保ちたい。本発明では、カバー本体部の天井部に駆動装置が配置された上で、この天井部と流路構造体とを繋ぐ側壁部は、液体供給部から離れた部分ほど、その熱抵抗が大きくなっている。共通液室のうちの、液体供給部に近い場所では、駆動装置からの熱が伝わっていないため液体温度がまだ低いが、カバー本体部の側壁部の熱抵抗が小さいために駆動装置で発生した熱が伝わりやすくなっている。一方、液体供給部から離れた場所では、ここに至るまでに駆動装置からの熱を受けて既に液体温度が上昇しているが、側壁部の熱抵抗が大きいために熱が伝わりにくく、それ以上液体が熱を受けてさらに温度が上昇するのが抑制される。このように、共通液室内の、液体温度の低い位置では多くの熱が伝わるようにし、液体温度の高い位置にはあまり熱を伝えないようにすることで、共通液室内での液体の温度差が小さくなる。つまり、複数のノズルの間で、共通液室から供給される液体の温度差を小さく抑えることができる。

第９の発明の液体吐出装置は、前記第７又は第８の発明において、複数の前記圧力室が前記所定方向に沿って２列に配列されるとともに、これら複数の圧力室に対応する複数の前記圧電素子も前記所定方向に２列に配列され、２列に配列された前記複数の圧電素子にそれぞれ対応する複数の前記電極から、複数の前記第１配線部が、２列の圧電素子列の内側に向けてそれぞれ引き出され、前記カバー部材は、２列の圧電素子列をそれぞれ覆う２つの前記カバー本体部と、前記２つのカバー本体部を繋ぐように配置された前記配線接続部を有し、２列の圧電素子列から引き出された前記複数の第１配線部と、前記２つのカバー本体部に形成された複数の前記第２配線部とが、前記配線接続部において導通していることを特徴とするものである。

本発明においては、２列の圧電素子列をそれぞれ覆う２つのカバー本体部が、それらの間に配置された１つの配線接続部で繋がっている。この構成では、１つの配線接続部で、２列の圧電素子列から引き出された複数の第１配線部を、第２配線部に接続することができる。また、配線接続部を接着剤等で流路構造体に接合する際には、ヒータを配線接続部に上から押し当てる必要があり、そのために配線接続部の幅をヒータの幅よりも大きくする必要がある。本発明のように、２列の圧電素子列に対して配線接続部を共通化することで、配線接続部の数を減らして装置を小型化できる。あるいは、逆に、配線接続部を共通化することによって、幅の広いヒータを用いることが可能となり、配線接続部をより均一に押し付けることができる。

第１０の発明の圧電アクチュエータは、基材の一表面に配置された圧電素子と、前記圧電素子に設けられた電極と、前記電極と電気的に接続されて、前記圧電素子を駆動する駆動装置と、前記圧電素子を覆うように前記基材の前記一表面に接合されたカバー部材と、を備え、前記基材の一表面には、前記電極に接続された第１配線部が形成され、前記カバー部材は、前記圧電素子を覆うカバー本体部と、前記第１配線部の少なくとも一部と対向しつつ前記カバー本体部から前記基材の一表面に沿って延在する配線接続部を有し、前記カバー部材には、前記駆動装置に接続され、且つ、前記カバー本体部から前記配線接続部の前記第１配線部との対向面まで延びる第２配線部が形成され、前記配線接続部は、前記第２配線部が前記第１配線部と導通した状態で、前記流路構造体の前記一表面に接合され、前記配線接続部の延在方向と直交する方向の厚みが、前記カバー本体部の表面と直交する方向の厚みよりも薄いことを特徴とするものである。

本発明では、第２配線部が形成されたカバー部材を基材の一表面に接合することで、圧電素子と駆動装置との電気的接続を簡単に行える。また、基材の一表面に接合されるカバー部材の配線接続部が、圧電素子を覆うカバー本体部よりも厚みが薄く形成されている。カバー部材が一定以上の厚みを有することにより、外部の水分（湿気）の透過が抑制される。一方で、配線接続部が薄く形成されることにより、基材の一表面に接合される際に、配線接続部が基材の表面形状にならって変形でき、第１配線部と第２配線部の導通信頼性が高まる。

本発明によれば、第２配線部が形成されたカバー部材を流路構造体の一表面に接合することで、圧電素子と駆動装置との電気的接続を簡単に行える。また、流路構造体の一表面に接合されるカバー部材の配線接続部が、圧電素子を覆うカバー本体部よりも厚みが薄く形成されている。カバー部材が一定以上の厚みを有することにより、外部の水分（湿気）の透過が抑制される。一方で、配線接続部が薄く形成されることにより、流路構造体の一表面に接合される際に、配線接続部が流路構造体の表面形状にならって変形でき、第１配線部と第２配線部の導通信頼性が高まる。

本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 カバー部材が取り付けられていない状態でのインクジェットヘッドの平面図である。 図２のIV-IV線断面図である。 図４のV-V線断面図である。 図４のVI-VI線断面図である。 変更形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。 さらに変更形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。 さらに別の変更形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 （ａ）は図１０のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図１０のＢ−Ｂ線断面図である。

次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５等を備えている。

プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。

インクジェットヘッド４（液体吐出装置）は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、プリンタ１に装着されたインクカートリッジ１７と、図示しないチューブによって接続されている。また、インクジェットヘッド４の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル１６が形成されている。そして、このインクジェットヘッド４は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、複数のノズル１６からプラテン２に載置された記録用紙１００に対して噴射する。

搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。

インクジェットプリンタ１は、プラテン２上に載置された記録用紙１００に対して、キャリッジ３とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド４からインクを吐出させる。これとともに、２つの搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に搬送する。以上の動作によって記録用紙１００に画像や文字等が記録される。

次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２はインクジェットヘッドの平面図である。また、図３は、カバー部材が取り付けられていない状態でのインクジェットヘッドの平面図である。但し、カバー部材４７との配置関係が理解されやすくなるように、図３においてもカバー部材４７を二点鎖線で示している。さらに、図４は、図２のIV-IV線断面図、図５は、図４のV-V線断面図、図６は、図４のVI-VI線断面図である。図４では、インク流路内に充填されているインクを符号“Ｉ”で示している。図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド４は、流路ユニット２０（流路構造体）と、圧電アクチュエータ２１と、ドライバＩＣ４６（駆動装置）と、カバー部材４７等を備えている。

図４に示すように、流路ユニット２０は、それぞれ流路形成孔が形成された５枚のプレート３０〜３４が積層された構造を有する。これら５枚のプレート３０〜３４が積層されたときにそれぞれの流路形成孔が連通することによって、流路ユニット２０には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。尚、５枚のプレート３０〜３４の材質は特に限定はされないが、例えば、ステンレス鋼やニッケル合金鋼等の金属プレートを採用することができる。

図２、図３に示すように、流路ユニット２０の上面には、インクカートリッジ１７（図１参照）と接続されるインク供給孔２６が形成されている。流路ユニット２０の内部には、それぞれ搬送方向に延在する２本のマニホールド２５が形成されている。２本のマニホールド２５は１つのインク供給孔２６に共通に接続されており、インクカートリッジ１７から供給されたインクが２本のマニホールド２５にそれぞれ供給される。

また、流路ユニット２０は、最下層のノズルプレート３４に形成されて流路ユニット２０の下面に開口する複数のノズル１６と、複数のノズル１６にそれぞれ連通した複数の圧力室２４を有する。図３に示すように、流路ユニット２０の下面（図３の紙面向こう側の面）において、複数のノズル１６は搬送方向に沿って２列に配列されている。尚、複数のノズル１６の配置は、左右２列のノズル列の間でノズル１６の位置が搬送方向に互いにずれた、いわゆる、千鳥状の配置となっている。

複数の圧力室２４は、それぞれ、走査方向に長い略楕円形の平面形状を有する。複数の圧力室２４は平面的に配置され、これら複数の圧力室２４は、最上層のプレートである振動板３０によって上方から覆われている。また、複数の圧力室２４は、複数のノズル１６にそれぞれ対応して、搬送方向に沿って千鳥状に２列に配列されている。各圧力室２４は、その長手方向一端部において対応するノズル１６と連通している。尚、図３、図４に示すように、図中左側のノズル列においては圧力室２４の左端部にノズル１６が連通する一方、図中右側のノズル列においては、これとは反対に、圧力室２４の右端部にノズル１６が連通している。これにより、２列のノズル列は、２列の圧力室列の外側の端部とそれぞれ重なるように配置されている。

図２〜図４に示すように、２列の圧力室列は、２本のマニホールド２５とそれぞれ重なる位置に配置され、各圧力室２４は、その直下に位置するマニホールド２５に連通している。これにより、図４に示すように、流路ユニット２０には、マニホールド２５から分岐して、圧力室２４を経てノズル１６に至る、個別インク流路２７が複数形成されている。

次に、圧電アクチュエータ２１について説明する。圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０の最上層に位置するプレートである振動板３０の、上面に配置されている。図２〜図６に示すように、圧電アクチュエータ２１は、圧電体４０と、複数の個別電極４２と、共通電極４３とを有する。

図４に示すように、振動板３０の上面には、合成樹脂材料等の絶縁材料からなる絶縁膜４４がほぼ全面に形成されている。この絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面に、それぞれ矩形の平面形状を有する２つの圧電体４０が配置されている。各圧電体４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体である、強誘電性のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料で形成されている。圧電体４０は、スパッタ法やゾルゲル法等の公知の成膜技術によって、絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面に直接形成することができる。あるいは、未焼成の薄いグリーンシートを焼成してから振動板３０に貼り付けることによって形成することもできる。また、図２、図３に示すように、２つの圧電体４０は、２列の圧力室列をそれぞれ覆うように、それらの長手方向がノズル配列方向と平行となるように配置されている。

複数の個別電極４２は、圧電体４０の上面の、複数の圧力室２４とそれぞれ対向する領域に形成されている。その結果、複数の個別電極４２は、複数の圧力室２４と同様、ノズル配列方向に沿って２列に配列されている。各個別電極４２は、圧力室２４よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有し、対応する圧力室２４の中央部と対向するように配置されている。

絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面には、複数の個別電極４２の、平面視でノズル１６とは反対側に位置する端部にそれぞれ接続された、複数の第１個別配線部４８（第１配線部）が形成されている。各第１個別配線部４８は、後述するカバー部材４７に形成された第２個別配線部５５と導通接続される第１ランド４８ａが形成されている。第１個別配線部４８は、対応する個別電極４２の端部から圧力室２４の長手方向（走査方向）に引き出されている。具体的には、図３に示すように、第１個別配線部４８は、左側の個別電極４２の列からは右側に引き出され、右側の個別電極４２の列からは左側に引き出されている。その結果、複数の第１ランド４８ａが、２列の個別電極４２の列の間に配置された構成となっている。複数の個別電極４２は、第１個別配線部４８、カバー部材４７の第２個別配線部５５を介して、カバー部材４７に実装されたドライバＩＣ４６と接続される。

絶縁膜４４で覆われた振動板３０の上面には、２列の圧力室列にそれぞれ対応した２つの共通電極４３が形成されている。共通電極４３は、１列の圧力室列を構成する複数の圧力室２４に跨ってノズル配列方向に延び、対応する圧電体４０の下面のほぼ全域と接している。さらに、図３に示すように、共通電極４３は、圧電体４０の下面と重なる領域から、外側、即ち、個別電極４２からの第１個別配線部４８の引き出し方向とは反対方向に引き出されている。この引き出された部分（以下、引出電極部４３ａと称する）は、後述するカバー部材４７に形成された共通配線部５６と導通接続される。共通電極４３は、引出電極部４３ａ及びカバー部材４７の共通配線部５６を介してドライバＩＣ４６と接続され、常にグランド電位に保持される。

図４に示すように、圧電体４０の、１つの圧力室２４と対向し、１つの個別電極４２と共通電極４３とに挟まれる部分（以下、「圧電素子４１」ともいう）は、後で説明するように、個別電極４２にドライバＩＣ４６から駆動信号が供給されたときに変形して、１つの圧力室２４内のインクに吐出エネルギーを付与する部分となる。複数の圧電素子４１の各々は、その厚み方向に分極されている。また、２列の圧力室列に対応して、圧電素子４１も２列に配列されている。また、本実施形態では、１つの圧電体４０が１列の圧力室列に属する複数の圧力室２４に跨って配置されることで、１列の圧力室列に対応した、１列の圧電素子列を構成する複数の圧電素子４１が一体化された構成となっている。尚、本実施形態では、圧電体４０の上面に個別電極４２、下面に共通電極４３が配置されているが、電極４２，４３の配置が逆であってもよい。即ち、圧電体４０の上面に共通電極４３、下面に個別電極４２が配置されてもよい。

ドライバＩＣ４６は、２つの圧電体４０にそれぞれ対応して２つ設けられている。２つのドライバＩＣ４６は、後述するカバー部材４７の上面に実装されている。各ドライバＩＣ４６は矩形の平面形状を有し、その矩形の長手方向がノズル配列方向に沿うように配置されている。ドライバＩＣ４６の内部には、圧電素子４１を駆動するための各種回路が組み込まれている。２つのドライバＩＣ４６は、図示しない制御基板と接続されており、制御基板から２つのドライバＩＣ４６に対して各種制御信号が送られる。ドライバＩＣ４６は、制御基板から入力された制御信号に基づいて生成した駆動信号を、複数の個別電極４２に対して出力し、複数の圧電素子４１を個別に駆動する。

前記の駆動信号が入力されたときの圧電素子４１の動作について説明する。ある個別電極４２に対してドライバＩＣ４６から駆動信号が入力されると、この個別電極４２と共通電極４３の間に電位差が生じて、２つの電極４２，４３の間の圧電体４０の部分（圧電素子４１）に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は、圧電素子４１の分極方向と平行であるから、圧電素子４１は厚み方向に伸長するとともに面方向に収縮する。この圧電素子４１の面方向の収縮によって、圧力室２４を覆っている振動板３０が圧力室２４側に凸となるように撓み、圧力室２４の容積が減少する。その際に圧力室２４内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、ノズル１６からインクの液滴が吐出される。

次に、カバー部材４７について説明する。このカバー部材４７は、２つの圧電体４０を覆った状態で流路ユニット２０に接合され、圧電体４０を外気から遮断することにより外部の水分（湿気）が圧電素子４１に入り込むことを防止する。また、カバー部材４７は、ドライバＩＣ４６と、内部の圧電素子４１とを電気的に接続する配線部５５，５６が形成される、配線部材としての機能も有する。従って、カバー部材４７は、また、配線を形成するのに適した材料で形成されることが好ましい。そのような材料としては、例えば、ポリイミド、アルミナ、窒化アルミニウム、シリコン等が挙げられる。図２〜図６に示すように、カバー部材４７は、２つの圧電体４０（２列の圧電素子列）をそれぞれ覆う２つのカバー本体部５０と、２つのカバー本体部５０を繋ぐように設けられた配線接続部５１とを有する。

各カバー本体部５０は、平面視で矩形の箱状に形成され、底部が上となる逆さまの状態で配置されることによって、対応する矩形状の圧電体４０の全体を上から覆っている。各カバー本体部５０は、水平方向に延びて圧電体４０（複数の圧電素子４１）を挟んで振動板３０の上面と対向する天井部５２と、鉛直方向に延びて天井部５２と流路ユニット２０とを繋ぐ側壁部５３とを有する。また、図４に示すように、カバー本体部５０の天井部５２の厚みｔ１と側壁部５３の厚みｔ２はほぼ等しい。尚、カバー本体部５０の「厚み」とは、カバー本体部５０の表面（外面）に直交した方向の厚みを指す。２つのカバー本体部５０の天井部５２の上面には、２つのドライバＩＣ４６がそれぞれ配置されている。また、各ドライバＩＣ４６の複数の端子部の周りには短絡等を防止するための絶縁材５４が注入されている。また、カバー本体部５０は、圧電体４０との間に隙間を空けて圧電体４０（圧電素子４１）を覆っている。そのため、圧電素子４１を駆動させたときに、カバー本体部５０によって、圧電素子４１の変形が阻害されることはない。

配線接続部５１は、２つのカバー本体部５０の側壁部５３の、それぞれの内側端部から振動板３０に沿って延びている。これにより、左右２つのカバー本体部５０が、それらの間の配線接続部５１によって繋がっている。図４、図５に示すように、配線接続部５１は、２列の個別電極４２の列からそれぞれ内側に引き出された複数の第１個別配線部４８の第１ランド４８ａと対向している。つまり、２つのカバー本体部５０で覆われた２列の個別電極４２の列（圧電素子４１の列）から引き出された複数の第１ランド４８ａが、共通の配線接続部５１と対向している。尚、図４、図６に示すように、カバー本体部５０の配線接続部５１とは反対側の、外側端部の下面は、共通電極４３の引出電極部４３ａと対向している。また、配線接続部５１の厚みｔ３は、カバー本体部５０の天井部５２の厚みｔ１及び側壁部５３の厚みｔ２よりもかなり薄くなっている。例えば、ｔ１＝１ｍｍ、ｔ２＝１ｍｍに対して、ｔ３＝０．２ｍｍである。尚、配線接続部５１の「厚み」とは、配線接続部５１の延在方向（振動板３０の面に沿った方向）と直交する方向の厚みを指す。

先にも少し触れたが、図４に示すように、カバー部材４７には、複数の個別電極４２とドライバＩＣ４６とを接続するための複数の第２個別配線部５５と、共通電極４３とドライバＩＣ４６とを接続するための共通配線部５６とが形成されている。

各第２個別配線部５５は、その一端部に第２ランド５５ａを有する。図５に示すように、複数の第２ランド５５ａは、カバー部材４７の配線接続部５１の下面（第１ランド４８ａとの対向面）に、複数の第１ランド４８ａとそれぞれ対向するように間隔を空けて配置されている。そして、図４、図５に示すように、各第２個別配線部５５は、配線接続部５１の下面の第２ランド５５ａから、カバー本体部５０の側壁部５３及び天井部５２の内面を引き回され、天井部５２に形成された貫通孔５２ａを介して天井部５２の外面（上面）に至る。そして、第２個別配線部５５の第２ランド５５ａとは反対側の端部が、天井部５２の上面において、ドライバＩＣ４６と接続されている。

図６に示すように、共通配線部５６は、その一端部に接続電極部５６ａを有する。この接続電極部５６ａは、カバー本体部５０の側壁部５３の、配線接続部５１とは反対側の外側端部の下面の全域に形成された面積の大きな電極部であり、その全面で共通電極４３の引出電極部４３ａと対向している。前記の第２個別配線部５５と同様、共通配線部５６も、その一端部の接続電極部５６ａから、カバー本体部５０の側壁部５３及び天井部５２の内面を引き回され、天井部５２に形成された貫通孔５２ｂを介して天井部５２の外面（上面）に至る。そして、共通配線部５６は、天井部５２の上面において、ドライバＩＣ４６と接続されている。尚、図６に示すように、共通電極４３とドライバＩＣ４６の間の電気抵抗をできるだけ小さくして共通電極４３がグランド電位から変動することを防止するために、共通配線部５６の配線幅は、図５の各第２個別配線部５５の配線幅と比べるとかなり大きくなっている。また、図６では共通配線部５６が１本しか図示されていないが、接続電極部５６ａとドライバＩＣ４６とが複数の共通配線部５６によって接続されていてもよい。

このように、複数の第２個別配線部５５は、配線接続部５１の第１ランド４８ａとの対向面から、カバー本体部５０の内面を引き回され、さらに、カバー本体部５０に形成された貫通孔５２ａを通って、天井部５２の外面まで引き出されている。つまり、第２個別配線部５５は、カバー本体部５０の貫通孔５２ａから外に出た部分のみが露出し、それ以外の大部分はカバー部材４７の内面側にあって露出しないため、隣接する第２個別配線部５５の間での短絡や配線部５５の損傷等が防止される。さらに、カバー本体部５０の貫通孔５２ａは、ドライバＩＣ４６が設置された天井部５２に形成されている。そのため、第２個別配線部５５の、カバー本体部５０の外面に形成されて露出する部分が少なくなる。尚、共通配線部５６についても同様の構成であり露出する部分が少なくなっているため、共通配線部５６の損傷等が防止される。また、圧電体４０とこれを覆うカバー部材４７との間には隙間が存在するため、圧電素子４１の駆動時に、カバー本体部５０の内面に形成されている第２個別配線部５５や共通配線部５６に圧電素子４１が接触することはなく、これらの配線部５５，５６の断線、損傷等が生じることがない。

カバー部材４７は、第２個別配線部５５の第２ランド５５ａが第１個別配線部４８の第１ランド４８ａと導通し、且つ、共通配線部５６の接続電極部５６ａが共通電極４３の引出電極部４３ａと導通した状態で、流路ユニット２０の振動板３０の上面に接合される。特に、本実施形態では、カバー部材４７と流路ユニット２０とが、異方性導電性接着剤５８（異方性導電性フィルム（ＡＣＦ）あるいは異方性導電性ペースト（ＡＣＰ）によって接合される。

異方性導電性接着剤５８を用いたカバー部材４７の接合は、例えば以下のようにして行う。異方性導電性接着剤とは、エポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂に、導電性粒子が分散されてなる、フィルム状（ＡＣＦ）又はペースト状（ＡＣＰ）の接着剤である。まず、振動板３０の上面の、２つの圧電体４０の内側の複数の第１ランド４８ａが配置された領域、及び、２つの圧電体４０の外側の２つの引出電極部４３ａが配置された領域に、これら第１ランド４８ａや引出電極部４３ａを覆うように異方性導電性接着剤５８を配する。次に、前記の異方性導電性接着剤５８の上に、カバー部材４７を位置決めして設置する。

次に、カバー部材４７にヒータを押し当て、このヒータによりカバー部材４７を加熱しながら流路ユニット２０に押し付ける。尚、図４には、特に、配線接続部５１を押し付けるヒータ部分６０が示されている。このヒータ部分６０の幅は、配線接続部５１の幅Ｗよりも幅の狭くなっている。

ヒータで加熱しつつカバー部材４７を押し付けることによって、個別電極４２用の第１ランド４８ａと第２ランド５５ａとの間、及び、共通電極４３用の引出電極部４３ａと接続電極部５６ａの間において、異方性導電性接着剤５８が圧縮される。このとき、接着剤中の熱硬化性樹脂が横へ押し出される一方で、多くの導電性粒子はランド４８ａ，５５ａの間、及び、電極部４３ａ，５６ａ間に残存する。これにより、導電性が発現し、第１ランド４８ａと第２ランド５５ａ、及び、引出電極部４３ａと接続電極部５６ａとが導通する。同時に、接着剤中の熱硬化性樹脂が加熱硬化することで、カバー部材４７がその全周で流路ユニット２０の振動板３０に機械的に接合されるとともに、カバー部材４７内の圧電体４０（複数の圧電素子４１）が密封される。このように、配線部５５，５６が形成されたカバー部材４７を、流路ユニット２０に接合することで、複数の圧電素子４１とドライバＩＣ４６との電気的接続を簡単に行える。

ところで、外部の水分（湿気）の透過を抑制して圧電素子４１の防湿を図る観点から、カバー部材４７のうちの、圧電体４０を覆うカバー本体部５０は、一定以上の厚みを有することが好ましい。一方、配線接続部５１は、ヒータ（ヒータ部分６０）で振動板３０に押し付けられたときに、複数の第１ランド４８ａと複数の第２ランド５５ａとがそれぞれ確実に接触するように、振動板３０側の傾斜や湾曲、あるいは、微小な凹凸形状にも追従して変形する必要がある。つまり、配線接続部５１は、複数の第１ランド４８ａと複数の第２ランド５５ａの導通信頼性を高めるために、薄く形成されて、振動板３０の表面形状にならって変形可能であることが好ましい。それ故、図４に示すように、配線接続部５１の厚みｔ３は、カバー本体部５０の天井部５２の厚みｔ１及び側壁部５３の厚みｔ２よりも薄くなっている。これにより、複数の第１個別配線部４８と複数の第２個別配線部５５とをそれぞれ確実に導通させることができる。

尚、図６に示すように、面積の小さい第２ランド５５ａとは異なり、共通電極４３用の接続電極部５６ａは、広い面積で、振動板３０側の引出電極部４３ａと接触する。そのため、カバー部材４７の、接続電極部５６ａが設けられている面が、振動板３０の上面に、局所的に偏って不均一に押し付けられたとしても、接続電極部５６ａの一部において引出電極部４３ａと接触してさえいれば導通状態は維持される。つまり、引出電極部４３ａと接続電極部５６ａ間では、第１ランド４８ａと第２ランド５５ａとの間と比べると、導通確保が容易である。この理由から、接続電極部５６ａは、厚みの薄い配線接続部５１に設けられている第２ランド５５ａとは異なり、剛性の大きいカバー本体部５０の側壁部５３の下面に形成されている。

また、本実施形態では、カバー部材４７が、流路ユニット２０の振動板３０と異方性導電性接着剤５８で接合されている。異方性導電性接着剤５８は、圧縮力が十分でないと導電性が発現しない。この点、上記のように、配線接続部５１が薄く形成されていると、配線接続部５１が振動板３０の上面にならって変形し、配線接続部５１の下面や振動板３０の上面に凹凸があっても異方性導電性接着剤５８が全面で均一に押し付けられやすくなる。従って、複数の第１ランド４８ａと複数の第２ランド５５ａとの間で、それぞれ確実に導電性が発現する。

特に、本実施形態では、図５に示すように、振動板３０の上面には複数の第１ランド４８ａが間隔を空けて配置され、また、配線接続部５１の下面には複数の第２ランド５５ａが間隔を空けて配置されている。従って、振動板３０の上面、及び、配線接続部５１の下面は、それぞれ、ランドの存在する凸状領域とランドの存在しない凹状領域が交互に並んだ表面形状となっている。しかし、複数の第１ランド４８ａ又は複数の第２ランド５５ａの間で配線厚みにばらつきがあると、凸状領域の高さがばらつく。これに起因して、複数の第１ランド４８ａ又は複数の第２ランド５５ａ間で、異方性導電性接着剤５８の圧縮量がばらつき、特に、配線厚みの小さいランドにおいて導通が取れなくなる虞がある。また、第１ランド４８ａの厚みが１μｍ程度であるのに対して、第２ランド５５ａが形成されるカバー部材４７の寸法は１０〜２０ｍｍである。そのため、寸法公差により、配線接続部５１の下面に、第１ランド４８ａの厚みを大きく超える凹凸が生じ得る。この観点からは、第１ランド４８ａよりも第２ランド５５ａの方が高さばらつきは大きくなると考えられる。この点、本実施形態のように、配線接続部５１が薄く形成されていると、複数の第１ランド４８ａ又は複数の第２ランド５５ａ間で高さがばらついていても、その高さばらつきに追従して配線接続部５１が変形するため、高さばらつきを吸収することが可能である。

さらに、異方性導電性接着剤５８による接合では、流路ユニット２０の振動板３０とカバー部材４７の間に接着剤中の熱硬化性樹脂が行き渡るため、流路ユニット２０と配線接続の間に隙間が生じにくく、カバー部材４７による圧電素子４１の密閉性が高まる。

図３、図４に示すように、本実施形態では、２列の個別電極４２の列（圧電素子４１の列）をそれぞれ覆う２つのカバー本体部５０が、それらの間に配置された１つの配線接続部５１で繋がっている。この構成では、１つの配線接続部５１によって、２列の個別電極４２の列から引き出された複数の第１個別配線部４８を、複数の第２個別配線部５５に接続することができる。また、図４のように、配線接続部５１を流路ユニット２０に接合する際に、配線接続部５１にヒータ部分６０を押し当てる必要があるが、配線接続部５１の幅Ｗは、使用するヒータ部分６０の幅よりも大きくする必要がある。この点、２列の個別電極４２の列に対して配線接続部５１を共通化することで、配線接続部５１の数を減らしてインクジェットヘッドを小型化できる。あるいは、逆に、配線接続部５１を共通化することによって、幅の広いヒータ部分６０を用いることが可能となり、配線接続部５１をより均一に押し付けることができる。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］前記実施形態では、２つの圧電体４０をそれぞれ覆う２つのカバー本体部５０が、１つの配線接続部５１で繋がっており、２つの圧電体４０で配線接続部５１が共通となっていた。これに対して、図７に示すように、２つの圧電体４０を覆う２つのカバー本体部５０に２つの配線接続部５１がそれぞれ設けられてもよい。

２］前記実施形態では、カバー部材４７の、厚みの薄い配線接続部５１には、個別電極４２と接続される第２ランド５５ａのみが設けられていたが、図８に示すように、カバー部材４７に２つの配線接続部５１が設けられて、共通電極４３と接続される接続電極部５６ａも、厚みの薄い配線接続部５１に設けられてもよい。この場合、接続電極部５６ａが形成された配線接続部５１を振動板３０の表面形状にならって変形させることで、接続電極部５６ａを、共通電極４３の引出電極部４３ａにほぼ全面的に接触させることができ、ドライバＩＣ４６から共通電極４３までの電気抵抗を小さくすることが可能となる。

３］図９に示すように、カバー本体部５０に凹部５０ｃが形成され、ドライバＩＣ４６が、凹部５０ｃに収容された状態でカバー本体部５０に設置されていてもよい。ドライバＩＣ４６が凹部５０ｃに収容されていることで、ドライバＩＣ４６がカバー本体部５０から突出せず、ドライバＩＣ４６が保護される。また、複数の圧電素子４１を駆動する際に、ドライバＩＣ４６からはかなり多くの熱が発生するが、その熱の多くはカバー本体部５０に伝わる。ここで、ドライバＩＣ４６がカバー本体部５０から突出していないことから、図９に示すように、カバー本体部５０に広い面積で面接触するようにヒートシンク６１を設置して、カバー部材４７に伝わった熱を効果的に放熱することが可能となる。また、ドライバＩＣ４６がカバー部材４７の凹部５０ｃに収容されていると、ドライバＩＣ４６の端子部に短絡防止用の絶縁材５４を注入したときに、絶縁材５４が流れ出しにくくなる。

４］複数の圧電素子４１を駆動する際に、ドライバＩＣ４６で発生した熱の一部は、ドライバＩＣ４６が設置されているカバー部材４７を介して流路ユニット２０に伝わり、その結果、流路ユニット２０内を流れるインクの温度が上昇する。一方で、複数のノズル１６の間でインク温度が異なっていると吐出特性（液滴の吐出量や吐出速度）がばらついてしまい、印字品質が低下する。従って、複数のノズル１６に供給されるインクの温度をできるだけ均一に保ちたい。

そこで、カバー本体部５０の天井部５２にドライバＩＣ４６が設置された構成において、天井部５２と流路ユニット２０とを繋ぐ側壁部５３の熱抵抗を、マニホールド２５の上流側の部分と下流側の部分とで異ならせることによって、カバー部材４７からマニホールド２５を流れるインクへの熱の伝わりを制御するようにしてもよい。尚、「熱抵抗」とは、熱の伝えにくさを示す物性値であり、単位としては℃／Ｗなどが用いられる。

以下、具体例を説明する。図１０は、この変更形態のインクジェットヘッドの平面図である。図１１（ａ）は図１０のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図１０のＢ−Ｂ線断面図である。図１０、図１１に示すように、カバー部材４７の側壁部５３は、マニホールド２５（共通液室）に沿って延びている。尚、前記実施形態で述べたように、マニホールド２５は、インクカートリッジ１７（液体供給源：図１参照）と接続されたインク供給孔２６（液体供給部）に連通している。そして、側壁部５３の厚み（ｔ）は、マニホールド２５の延在方向においてインク供給孔２６に近い部分では厚く（図１１（ａ）のｔａ）、インク供給孔２６から離れるほど薄くなっている（図１１（ｂ）のｔｂ）。一般に、熱伝導率が同じであれば、熱を伝える部材の断面積が小さいほど、熱抵抗が大きくなり熱が伝わりにくい。

従って、インク供給孔２６に近いマニホールド２５の上流側部分では、側壁部５３の厚みが厚いために熱抵抗が小さく、逆に、インク供給孔２６から離れたマニホールド２５の下流側部分では側壁部５３の厚みが薄いために熱抵抗が大きくなる。マニホールド２５の上流側部分ではインクの温度はまだ低いが、側壁部５３の熱抵抗が小さいためにドライバＩＣ４６の熱が伝わりやすい。一方、マニホールド２５の下流側部分では、マニホールド２５内を流れてここに至るまでに熱を受けてある程度インク温度が上昇しているが、側壁部５３の熱抵抗が大きいために、それ以上インクが熱を受けてさらに温度が上昇することが抑制される。このように、マニホールド２５内の、インク温度の低い位置では多くの熱が伝わるようにし、インク温度の高い位置にはあまり熱を伝えないようにすることで、マニホールド２５内でのインクの温度差が小さくなる。つまり、複数のノズル１６の間で、マニホールド２５から供給されるインクの温度差を小さく抑えることができる。

５］ドライバＩＣ４６がカバー部材４７に設置されていることは必須ではない。例えば、カバー部材４７に接続された、フレキシブル配線基板を介して、ドライバＩＣ４６とカバー部材４７に形成された配線部５５，５６とが接続されてもよい。

６］前記実施形態では、図３に示すように、１つの圧電体４０が複数の圧力室２４に跨って配置されることによって、複数の圧力室２４にそれぞれ対応する複数の圧電素子４１が一体化された構成であった。これに対して、複数の圧電素子４１が互いに分離されて配置されてもよい。

７］前記実施形態では、カバー部材４７の配線部（第２個別配線部５５及び共通配線部５６）の大部分が、カバー本体部５０の内面を引き回されていたが、適宜の位置でカバー本体部５０の外面に引き出された上で、主に、カバー本体部５０の外面に引き回されていてもよい。

８］前記実施形態では、カバー部材４７が、異方性導電性接着剤５８によって流路ユニット２０と接合されていたが、カバー部材４７の接合はこれには限られない。例えば、振動板３０の第１ランド４８ａと配線接続部５１の第２ランド５５ａとが対向する部分において、導電性接着剤を用いて、両ランド４８ａ，５５ａの導通を取るとともに局所的に接合した後、密封のために、上記接合箇所の間に、樹脂等の封止材を注入してもよい。あるいは、一般的な絶縁性の接着剤（例えば、エポキシ系接着剤）でも接合可能である。但し、この場合は、第１ランド４８ａと第２ランド５５ａの間で電気的な導通を取るために、接着剤での接合時には、カバー部材４７を流路ユニット２０に十分に押しつけて、第１ランド４８ａと第２ランド５５ａの間の接着剤を横へ押しやって、両ランドを直接接触させることが必要である。

９］前記実施形態では、カバー部材４７の１つのカバー本体部５０が、１列に配列された複数の圧電素子４１を共通に覆っていたが、カバー部材４７が、複数の圧電素子４１をそれぞれ個別に覆う複数のカバー本体部５０を備えていてもよい。

以上説明した実施形態及びその変更形態は、液体吐出装置であるインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明の圧電アクチュエータは、液体に圧力を付与する用途で使用されるものには限られない。ある基材（前記実施形態では振動板３０がこれに相当する）に１又は複数の圧電素子が配置され、ドライバＩＣによって圧電素子を駆動して基材を変形させることによって、種々の駆動対象物に変位や振動等を生じさせるといった、別の用途に使用するものであってもよい。

１ インクジェットプリンタ
４ インクジェットヘッド
１６ ノズル
２０ 流路ユニット
２１ 圧電アクチュエータ
２４ 圧力室
２５ マニホールド
２６ インク供給孔
４１ 圧電素子
４２ 個別電極
４３ 共通電極
４６ ドライバＩＣ
４７ カバー部材
４８ａ 第１ランド
４８ 第１個別配線部
５０ カバー本体部
５０ｃ 凹部
５１ 配線接続部
５２ 天井部
５２ａ 貫通孔
５３ 側壁部
５５ 第２個別配線部
５５ａ 第２ランド
５６ 共通配線部
５６ａ 接続電極部
５８ 異方性導電性接着剤

Claims (10)

1. ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
   前記流路構造体の一表面に、前記圧力室と対向して配置された圧電素子と、
   前記圧電素子に設けられた電極と、
   前記電極と電気的に接続されて、前記圧電素子を駆動する駆動装置と、
   前記圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面に接合されたカバー部材と、を備え、
   前記流路構造体の前記一表面には、前記電極に接続された第１配線部が形成され、
   前記カバー部材は、前記圧電素子を覆うカバー本体部と、前記第１配線部の少なくとも一部と対向しつつ前記カバー本体部から前記流路構造体の前記一表面に沿って延在する配線接続部を有し、
   前記カバー部材には、前記駆動装置に接続され、且つ、前記カバー本体部から前記配線接続部の前記第１配線部との対向面まで延びる第２配線部が形成され、
   前記配線接続部は、前記第２配線部が前記第１配線部と導通した状態で、前記流路構造体の前記一表面に接合され、
   前記配線接続部の延在方向と直交する方向の厚みが、前記カバー本体部の表面と直交する方向の厚みよりも薄いことを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記配線接続部が、前記流路構造体の前記一表面に、異方性導電性接着剤で接合されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記第２配線部は、前記配線接続部の前記第１配線部との対向面から、前記カバー本体部の内面を引き回され、さらに、前記カバー本体部に形成された貫通孔を通って前記カバー本体部の外面に引き出されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
4. 前記カバー本体部は、前記圧電素子を挟んで前記流路構造体の前記一表面と対向する天井部と、前記天井部と前記流路構造体の前記一表面とを繋ぎ、且つ、前記配線接続部と連結された側壁部とを有し、
   前記貫通孔は、前記カバー本体部の前記天井部に形成され、
   前記カバー本体部の前記天井部の外面に、前記駆動装置が設置されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
5. 前記カバー部材の前記カバー本体部は、前記圧電素子との間に隙間を空けて前記圧電素子を覆っていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液体吐出装置。
6. 前記カバー本体部には凹部が形成され、
   前記駆動装置は、前記凹部に収容された状態で前記カバー本体部に設置されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置。
7. 前記流路構造体には、複数の前記ノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通し、且つ、前記流路構造体の前記一表面に平行な所定方向に沿って配列された複数の前記圧力室が形成され、
   前記複数の圧力室にそれぞれ対応した複数の前記圧電素子が、前記所定方向に沿って配列され、
   前記カバー部材の前記カバー本体部は、１列の圧電素子列に属する複数の前記圧電素子を共通に覆っており、
   前記カバー本体部によって覆われた前記複数の圧電素子の前記電極にそれぞれ接続された複数の前記第１配線部と、前記カバー本体部に形成された複数の前記第２配線部とが、前記配線接続部において導通していることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体吐出装置。
8. 前記流路構造体は、液体供給源に接続される液体供給部と、前記液体供給部から前記所定方向に沿って延び、且つ、前記所定方向に配列された複数の前記圧力室と連通する共通液室と、を有し、
   前記カバー本体部は、前記圧電素子を挟んで前記流路構造体の前記一表面と対向する天井部と、前記天井部と前記流路構造体の前記一表面とを繋ぎ、且つ、前記配線接続部と連結された側壁部とを有し、
   前記カバー本体部の前記天井部に前記駆動装置が設置され、
   前記カバー本体部の前記側壁部は、前記所定方向において前記液体供給部から離れた部分ほど、その熱抵抗が大きくなっていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
9. 複数の前記圧力室が前記所定方向に沿って２列に配列されるとともに、これら複数の圧力室に対応する複数の前記圧電素子も前記所定方向に２列に配列され、
   ２列に配列された前記複数の圧電素子にそれぞれ対応する複数の前記電極から、複数の前記第１配線部が、２列の圧電素子列の内側に向けてそれぞれ引き出され、
   前記カバー部材は、２列の圧電素子列をそれぞれ覆う２つの前記カバー本体部と、前記２つのカバー本体部を繋ぐように配置された前記配線接続部を有し、
   ２列の圧電素子列から引き出された前記複数の第１配線部と、前記２つのカバー本体部に形成された複数の前記第２配線部とが、前記配線接続部において導通していることを特徴とする請求項７又は８に記載の液体吐出装置。
10. 基材の一表面に配置された圧電素子と、
    前記圧電素子に設けられた電極と、
    前記電極と電気的に接続されて、前記圧電素子を駆動する駆動装置と、
    前記圧電素子を覆うように前記基材の前記一表面に接合されたカバー部材と、を備え、
    前記基材の一表面には、前記電極に接続された第１配線部が形成され、
    前記カバー部材は、前記圧電素子を覆うカバー本体部と、前記第１配線部の少なくとも一部と対向しつつ前記カバー本体部から前記基材の一表面に沿って延在する配線接続部を有し、
    前記カバー部材には、前記駆動装置に接続され、且つ、前記カバー本体部から前記配線接続部の前記第１配線部との対向面まで延びる第２配線部が形成され、
    前記配線接続部は、前記第２配線部が前記第１配線部と導通した状態で、前記流路構造体の前記一表面に接合され、
    前記配線接続部の延在方向と直交する方向の厚みが、前記カバー本体部の表面と直交する方向の厚みよりも薄いことを特徴とする圧電アクチュエータ。

Images