JP4432924B2

JP4432924B2 - インクジェットヘッド及びその製造方法

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Publication number: JP4432924B2
Application number: JP2006097262A
Authority: JP
Inventors: 比呂志平; 忠信近本; 芳朗喜多
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2006-03-31
Filing date: 2006-03-31
Publication date: 2010-03-17
Anticipated expiration: 2026-03-31
Also published as: US20070229606A1; US7780265B2; JP2007268849A

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッド、及び、その製造方法に関する。

特許文献１に開示されているインクジェットヘッドは、多数のノズル及び各ノズルに連通する圧力室が形成されたユニットと、当該ユニットの圧力室が形成された面に固定された４枚の圧電シートと、各圧電シートに固定されたフレキシブルプリント配線基板（以下、ＦＰＣと称す）とを有する。ＦＰＣは、フレキシブルプリントケーブルの一種である。圧電シートはアクチュエータとして機能し、表面に各圧力室に対応する個別電極が形成されており、各個別電極はランドを介してＦＰＣと電気的に接続されている。ＦＰＣによって個別電極に駆動信号が供給されると、個別電極に対応する圧力室の容積が変化し、当該圧力室内のインクに圧力が付与される。これにより、紙などの記録媒体に向けてノズルからインクが吐出され、記録媒体に画像が記録される。

圧電シートの表面には個別電極の他、共通電極が形成されている。共通電極は、台形形状である圧電シートの四隅に形成されており、圧電シートの内部に形成された内部電極と電気的に接続されている。共通電極は個別電極と同様のランドを有し、ランドを介してＦＰＣと電気的に接続されている。

ＦＰＣは、その一端が台形形状である圧電シートの上底に沿うように固定され、当該上底から下底に向かって外側へと引き出されている。ここで圧電シートの下底近傍には、共通電極のランドが個別電極のランドよりＦＰＣの引き出し方向下流側に配置されている。

ＦＰＣを圧電シートに固定する際は、ＦＰＣの端子に半田を塗布し、各端子とランドとを位置合わせした状態で加熱して、端子とランドとを接合する。

特開２００５‐２２１４８号公報

上述のような構成において、一端が圧電シートに固定されたＦＰＣを外側に引き出した後、さらに駆動回路やヒートシンクを取り付けるべく上方に折り曲げることがある。このような場合、ＦＰＣが上方向に引っ張られるため、ＦＰＣと圧電シートとの電気的接続部、即ち端子とランドとの接合部に剥離する方向の力が加わる。ここで、上記のように圧電シートの下底近傍において共通電極のランドが個別電極のランドよりＦＰＣの引き出し方向下流側に配置されている場合、ＦＰＣの端子が共通電極のランドから剥離すると、個別電極のランドと接合されていた端子も引き出し方向下流側から上流側に向けて次々と剥離してしまい、ＦＰＣ‐圧電シート間の電気的接続が断絶されるという問題が生じ得る。

本発明の目的は、フレキシブルプリントケーブルとアクチュエータとの電気的接続部の剥離を防止可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係るインクジェットヘッドは、ノズルに連通した複数の圧力室が表面に形成された流路ユニットと、流路ユニットの表面に固定され、圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、アクチュエータユニットにおける流路ユニットとの固定面とは反対側の表面に、第１の方向に引き出されるように固定され、アクチュエータユニットに駆動信号を供給するフレキシブルプリントケーブルとを備え、アクチュエータユニットが、複数の圧力室に跨る圧電部材、圧電部材の内部において複数の圧力室に跨るよう形成された内部電極、圧電部材におけるフレキシブルプリントケーブルと対向する表面において各圧力室に対応する位置に形成された複数の個別電極、圧電部材の表面に形成され且つ内部電極と電気的に接続された第１の端子、及び、圧電部材の表面に形成され且つ各個別電極に接続された第２の端子を有し、フレキシブルプリントケーブルが、第１の端子及び第２の端子のそれぞれと電気的に接続される接続端子を有し、第１の端子と圧電部材の第１の方向における外縁との間隔が、外縁の最も近くに配置された第２の端子と外縁との間隔以上であり、フレキシブルプリントケーブルにおけるアクチュエータユニットと対向する面が、第１及び第２の端子より第１の方向の下流側において、圧電部材に熱硬化性接着剤を介して接着されていることを特徴とする。

上記構成によると、アクチュエータユニットの圧電部材の表面に形成され且つ内部電極と電気的に接続された第１の端子が第２の端子よりもフレキシブルプリントケーブルの引き出し方向である第１の方向の下流側に配置されず、第１の方向に関して第２の端子と同じ位置又は上流側に配置されている。このため圧電部材の第１の方向における外縁近傍の表面に第１及び第２の端子のいずれも配置されない領域が生じることとなり、フレキシブルプリントケーブルが当該領域に向けて撓んで圧電部材と接触し、そして当該接触した部分において熱硬化性接着剤を介して圧電部材に接着されている。この熱硬化性接着剤を介した接着によって、フレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合補強が実現される。したがって、フレキシブルプリントケーブルをアクチュエータユニットから引き出した後さらに流路ユニット及びアクチュエータユニットから離隔する方向に折り曲げた場合でも、フレキシブルプリントケーブルとアクチュエータユニットとの電気的接続部、即ちフレキシブルプリントケーブルの接続端子と第１及び第２の端子との接合部には直接的に力が加わらず、電気的接続部の剥離を防止することができる。

さらに、複数の第２の端子が、第１の方向に直交する第２の方向に沿って列をなしつつ等間隔で配置されており、第１の端子が、上記列に含まれる第２の端子と第１の方向に関して一致し、且つ、上記列に含まれる第２の端子のうち第２の方向に関して最も外側に位置する第２の端子から、上記列に含まれる第２の端子同士の間隔と実質的に同じ距離だけ第２の方向に離隔した位置に、配置されていることが好ましい。このように第１及び第２の端子を規則的に等間隔に配列することで簡単な構成となって製造が容易になると共に、フレキシブルプリントケーブルとアクチュエータユニットとの接合部が規則的に配列されることで両者間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上する。

各第２の端子における圧電部材の表面からの高さが、対応する個別電極における上記表面からの高さより高く、且つ、第１の端子における上記表面からの高さと等しいことが好ましい。このように第１及び第２の端子の高さを等しくすることにより、例えばこれら第１及び第２の端子を同時に形成することで製造が容易になると共に、上記と同様、フレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上する。

第１及び第２の端子における圧電部材の表面と平行な面に沿った形状が実質的に同じであることが好ましい。このように第１及び第２の端子の平面形状を同じにすることによっても、例えばこれら第１及び第２の端子を同時に形成することで製造が容易になる、フレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上するという上記と同様の効果を得ることができる。

上記外縁の最も近くに配置された第２の端子が、対応する個別電極よりも第１の方向の下流側に配置されていることが好ましい。この場合、フレキシブルプリントケーブルが圧電部材の表面に近づく方向に撓んで個別電極に当接することが抑制される。

流路ユニットが複数の圧力室を互いに区画する壁部を有し、第１及び第２の端子が壁部に対応する位置に配置されていることが好ましい。第１及び第２の端子が壁部ではなく圧力室に対応する位置に配置されている場合、アクチュエータユニットを流路ユニットに固定する際或いはフレキシブルプリントケーブルをアクチュエータユニットに固定する際に加わる圧力によって、圧電部材の圧力室に対応する部分が破損しやすいが、上記構成ではこのような破損を防止することができる。

個別電極及び第２の端子がそれぞれ圧電部材の表面にマトリクス状に配置されていることが好ましい。この場合、フレキシブルプリントケーブルとアクチュエータユニットとの電気的接続部の剥離を防止しつつ、高解像度化を実現することができる。

フレキシブルプリントケーブルが熱硬化性接着剤を介して圧電部材の外縁における上記表面と交差する側面に接着されていることが好ましい。この場合、例えばフレキシブルプリントケーブルが圧電部材の表面のみに接着されている場合に比べ、熱硬化性接着剤を介した接合補強の強度が向上する。そのため、当該接着部分に接着を剥離する方向の力が加わっても、接着部分の剥離をより効果的に抑制することができ、第１及び第２の端子とフレキシブルプリントケーブルの接続端子との接合部に力が加わるのをより確実に防止することができる。

フレキシブルプリントケーブルが熱硬化性接着剤を介して圧電部材の表面及び側面に接着されていることが好ましい。この場合、フレキシブルプリントケーブルが圧電部材の側面のみではなく表面にも接着されているので接着強度がさらに向上し、当該熱硬化性接着剤を介したフレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合補強のさらなる向上が実現される。

また、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルに連通した複数の圧力室が表面に形成された流路ユニットを作製する工程と、圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットを作製する工程と、アクチュエータユニットを流路ユニットの表面に固定する工程と、アクチュエータユニットにおける流路ユニットとの固定面とは反対側の表面に、アクチュエータユニットに駆動信号を供給するフレキシブルプリントケーブルを、第１の方向に引き出されるように固定する工程とを備え、アクチュエータユニット作製工程が、内部に内部電極を有する圧電部材におけるフレキシブルプリントケーブルと対向する表面に複数の個別電極を形成する電極形成工程と、圧電部材の表面に、内部電極と電気的に接続された第１の端子、及び、各個別電極に接続された第２の端子を形成する端子形成工程とを有し、アクチュエータユニット固定工程において、圧電部材が複数の圧力室に跨るように、且つ、内部電極が複数の圧力室に跨ると共に複数の個別電極がそれぞれ各圧力室に対応する位置に配置されるように、アクチュエータユニットを流路ユニットに固定し、端子形成工程において、第１の端子を、圧電部材の第１の方向における外縁との間隔が、外縁の最も近くに配置された第２の端子と外縁との間隔以上となるように形成し、フレキシブルプリントケーブル固定工程において、加熱により、フレキシブルプリントケーブルに含まれる複数の接続端子を第１の端子及び第２の端子とそれぞれ電気的に接続すると共に、フレキシブルプリントケーブルにおけるフレキシブルプリントケーブルにおけるアクチュエータユニットと対向する面の第１及び第２の端子より第１の方向の下流側の部分を熱硬化性接着剤を介して圧電部材に接着することを特徴とする。

上記構成によると、フレキシブルプリントケーブルの接続端子と第１及び第２の端子との電気的接続と、フレキシブルプリントケーブルの圧電部材との熱硬化性接着剤を介した機械的接続とを同時に実現することができる。したがって、製造工程の増加を抑制しつつ、上記のような効果を奏する本発明に係るインクジェットヘッドを得ることができる。

端子形成工程において、複数の第２の端子を、第１の方向に直交する第２の方向に沿って列をなしつつ等間隔で形成し、第１の端子を、上記列に含まれる第２の端子と第１の方向に関して一致し、且つ、上記列に含まれる第２の端子のうち第２の方向に関して最も外側に位置する第２の端子から、上記列に含まれる第２の端子同士の間隔と実質的に同じ距離だけ第２の方向に離隔した位置に、配置することが好ましい。このように第１及び第２の端子を規則的に等間隔に配列することで簡単な構成となって製造が容易になると共に、フレキシブルプリントケーブルとアクチュエータユニットとの接合部が規則的に配列されることで両者間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上する。

端子形成工程において、複数の第２の端子を、圧電部材の表面からの高さが対応する個別電極における上記表面からの高さより高くなるように形成し、第１の端子を、第２の端子における上記表面からの高さと等しくなるように形成することが好ましい。このように第１及び第２の端子の高さを等しくすることにより、例えばこれら第１及び第２の端子を同時に形成することで製造が容易になると共に、上記と同様、フレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上する。

端子形成工程において、第１及び第２の端子を、圧電部材の表面と平行な面に沿った形状が実質的に同じになるように形成することが好ましい。このように第１及び第２の端子の平面形状を同じにすることによっても、例えばこれら第１及び第２の端子を同時に形成することで製造が容易になる、フレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上するという上記と同様の効果を得ることができる。

端子形成工程において、上記外縁の最も近くに配置された第２の端子を、対応する個別電極よりも第１の方向の下流側に配置することが好ましい。この場合、フレキシブルプリントケーブルが圧電部材の表面に近づく方向に撓んで個別電極に当接することが抑制される。

流路ユニット作製工程において、複数の圧力室を互いに区画する壁部を流路ユニットに形成し、端子形成工程において、第１及び第２の端子を、壁部に対応する位置に配置することが好ましい。第１及び第２の端子が壁部ではなく圧力室に対応する位置に配置されている場合、アクチュエータユニットを流路ユニットに固定する際或いはフレキシブルプリントケーブルをアクチュエータユニットに固定する際に加わる圧力によって、圧電部材の圧力室に対応する部分が破損しやすいが、上記構成ではこのような破損を防止することができる。

電極形成工程において個別電極を圧電部材の表面にマトリクス状に配置し、端子形成工程において第２の端子を圧電部材の表面にマトリクス状に配置することが好ましい。この場合、フレキシブルプリントケーブルとアクチュエータユニットとの電気的接続部の剥離を防止しつつ、高解像度化を実現することができる。

フレキシブルプリントケーブルを、熱硬化性接着剤を介して圧電部材の外縁における表面と交差する側面に接着することが好ましい。この場合、例えばフレキシブルプリントケーブルを圧電部材の表面のみに接着する場合に比べ、熱硬化性接着剤を介した接合補強の強度が向上する。そのため、当該接着部分に接着を剥離する方向の力が加わっても、接着部分の剥離をより効果的に抑制することができ、第１及び第２の端子とフレキシブルプリントケーブルの接続端子との接合部に力が加わるのをより確実に防止することができる。

フレキシブルプリントケーブルを、熱硬化性接着剤を介して圧電部材の表面及び側面に接着することが好ましい。この場合、フレキシブルプリントケーブルを圧電部材の側面のみではなく表面にも接着することで接着強度がさらに向上し、当該熱硬化性接着剤を介したフレキシブルプリントケーブル‐アクチュエータユニット間の接合補強のさらなる向上が実現される。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッド１は、図１及び図２に示すように、ヘッド本体７０、ヘッド本体７０の流路ユニット４内に供給されるインクを貯留するリザーバユニット７１、リザーバユニット７１を保持するホルダ７２、及び、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１に供給するフレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）５０を有する。

ヘッド本体７０は、図２に示すように、インク流路が形成された流路ユニット４、及び、流路ユニット４の表面に固定された４つのアクチュエータユニット２１を含む。

流路ユニット４は、図３に示すように、主走査方向に延在した矩形平面形状を有する。流路ユニット４の表面には、アクチュエータユニット２１を避けるように計１０個の開口３ａが形成されている。流路ユニット４内には各開口３ａに連通するマニホールド流路５が形成されており、各マニホールド流路５は主走査方向に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。さらに流路ユニット４には、各副マニホールド流路５ａに連通する多数の個別インク流路７（図５参照）が形成されている。個別インク流路７は副マニホールド流路５ａの出口からアパーチャ１２及び圧力室１０を介してノズル８に至る流路であり、各ノズル８に対して形成されている。リザーバユニット７１内に貯留されたインクは、各開口３ａを介してマニホールド流路５、そして副マニホールド流路５ａに供給され、さらに副マニホールド流路５ａから各個別インク流路７を経てノズル８から吐出される。

アクチュエータユニット２１はそれぞれ台形の平面形状を有し、上底及び下底が主走査方向に沿うよう千鳥状に配列され、流路ユニット４の表面にエポキシ系の熱硬化性接着剤を介して固定されている。

流路ユニット４の下面における各アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する領域には、微小径を有する多数のノズル８がマトリクス状に配列されている（図４参照）。流路ユニット４の上面におけるアクチュエータユニット２１の接着領域には、各ノズル８に対応する圧力室１０がマトリクス状に配列されている。圧力室１０は略菱形の平面形状を有する。図４では図面を分かりやすくするため、アクチュエータユニット２１を二点差線で描き、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１２、及びノズル８を実線で描いている。

図４に示すように、圧力室１０は流路ユニット４の長手方向に沿って等間隔に配置されて列をなし、１つのアクチュエータユニット２１の接着領域において計１６列となる圧力室１０の列が互いに平行に配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室１０の数は、アクチュエータユニット２１の外形形状に対応するように、台形のアクチュエータユニット２１の長い方の下底から短い方の上底に向かって次第に少なくなっている。ノズル８も圧力室１０と同様に配置されている。

図２に戻り、リザーバユニット７１について説明する。リザーバユニット７１内には、主走査方向に沿って延在するインクリザーバ３が２つ並列して形成されている。インクリザーバ３は、略直方体の中空領域であって、当該インクリザーバ３に連通する開口（図示せず）を介して外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。リザーバユニット７１の下面７３にはインクリザーバ３を流路ユニット４の各開口３ａに連通させる開口３ｂが形成されており、インクリザーバ３内のインクは開口３ｂを介して流路ユニット４内に供給される。

開口３ｂの周壁は他の部分より下方に突出した突出部７３ａを形成し、リザーバユニット７１は当該突出部７３ａのみヘッド本体７０と接触するようになっている。つまり、リザーバユニット７１の下面７３において突出部７３ａ以外の領域はヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配置されている。

ホルダ７２は、図２に示すように、リザーバユニット７１を把持する把持部７２ａ、及び、把持部７２ａ上面から上方に突出する一対の基部７２ｂを含む。ベースブロック７１は把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。

ＦＰＣ５０は、各アクチュエータユニット２１に対応するよう４つ設けられており、それぞれ一端が対応するアクチュエータユニット２１の表面に固定され、上述のようにリザーバユニットの下面７３において突出部７３ａ以外の領域がヘッド本体７０から離隔することにより形成された空間から外側へと引き出されている。ＦＰＣ５０はさらに、把持部７２ａの側面に沿うように屈曲しながら上方に引き出され、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の基部７２ｂに固定され、そして基部７２ｂの上端まで当該基部７２ｂに沿うように配置されている。

ＦＰＣ５０における弾性部材８３が固定された面とは反対側の面にはドライバＩＣ８０が取り付けられており、ドライバＩＣ８０はＦＰＣ５０と電気的に接続されている。ドライバＩＣ８０の外側には、ドライバＩＣ８０で発生した熱を散逸させるヒートシンク８２が設けられている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方において、基板８１と固定されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１及びヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０はそれぞれシール部材８４で接着されており、ゴミやインクの侵入が防止されている。

次に、図５を参照しつつ、流路ユニット４の構成についてより詳細に説明する。

流路ユニット４は、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６，２７，２８、カバープレート２９、及びノズルプレート３０の計９枚のプレートを積層して形成されている。これらプレート２２〜３０はいずれも図３に示す矩形形状を有する。

キャビティプレート２２は、圧力室１０に対応する略菱形の孔が多数形成された金属プレートである。ベースプレート２３は、各圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成された金属プレートである。アパーチャプレート２４は、アパーチャ１２に対応する孔と各圧力室１０からノズル８への連絡孔とが形成された金属プレートである。サプライプレート２５は、各アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成された金属プレートである。マニホールドプレート２６，２７，２８は、副マニホールド流路５ａと、各圧力室１０からノズル８への連絡孔とが形成された金属プレートである。カバープレート２９は、各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成された金属プレートである。ノズルプレート３０は、ノズル８が形成された金属プレートである。

プレート２２〜３０は、個別インク流路７が形成されるように互いに位置合わせして積層されている。個別インク流路７は、副マニホールド流路５ａから上方へ向かい、アパーチャ１２にて水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう流路である。

次に、図６、図７、及び図８を参照しつつ、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図６は、図５中の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図７は、アクチュエータユニット２１の上面を示す平面図である。図８は、図７のＶＩＩＩ‐ＶＩＩＩ線に沿った共通電極近傍の部分断面図である。

アクチュエータユニット２１は、図６に示すように、互いに積層された４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を含む圧電部材４０を有する。各圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなり、１５μｍ程度の厚みを有し、図３に示すアクチュエータユニット２１の外形と同じ台形形状を有する。

最上層の圧電シート４１上には、図７に示すように、多数の個別電極３５が各圧力室１０に対応する位置にマトリクス状に形成されている。個別電極３５は、厚み略１μｍであって、圧力室１０と略同形状で圧力室１０より一回り小さい主電極部３５ａと、主電極部３５ａにつながっており且つ主電極部３５ａの鋭角部から延出した補助電極部３５ｂとを含む。図６に示すように、主電極部３５ａは圧力室１０と対向する位置に配置され、補助電極部３５ｂは圧力室１０と対向しない位置、即ちキャビティプレート２２における圧力室１０を互いに区画する壁部２２ａに対応する位置まで延出している。そして補助電極部３５ｂの先端の表面に略円柱形状のランド３６が設けられている。ランド３６は例えばガラスフリットを含む金からなり、個別電極３５と電気的に接続されている。

最上層の圧電シート４１上にはさらに、図７に示すように、台形の圧電シート４１の四隅にそれぞれ共通電極３１，３８が形成されている。当該共通電極３１，３８は多数の個別電極３５が配置された領域の外側であって圧力室１０と対向しない位置に形成されている。圧電シート４１の上底側に形成された共通電極３１は圧電シート４１の上底に沿って細長な形状を有し、その上面には３つのランド３２ａが等間隔で設けられている。圧電シート４１の下底側に形成された共通電極３８はそれぞれ圧電シート４１の下底と直交する方向に沿って細長な形状を有し、その上面には２つのランド３２ｂ，３２ｃが設けられている。共通電極３１，３８は個別電極３５と同じ略１μｍの厚みを有し、ランド３２ａ〜３２ｃは個別電極のランド３６と略同じ形状及び略同じ高さを有すると共に同じ材料から形成され且つランド３６と同様キャビティプレート２２の壁部２２ａに対応する位置に配置されている。

また図７に示すように、個別電極３５のランド３６がＹ方向（主走査方向）に沿って列をなしつつ等間隔で配置されており、共通電極３８のランド３２ｂ，３２ｃのうちＦＰＣ５０の引き出し方向（Ｘ方向）最も下流側に位置するランド３２ｃが、Ｘ方向（副走査方向）最も下流側に位置するランド３６の列と同じ列上に形成されている。したがって、ランド３２ｃと圧電部材４０のＸ方向における外縁４０ｘとの間隔Ｄは、外縁４０ｘの最も近くに配置されたランド３６と外縁４０ｘとの間隔と等しい。ランド３２ｃはまた、Ｘ方向最も下流側でＹ方向に列をなすランド３６のうち両端に位置するランド３６から、その列に含まれるランド３６同士の間隔と同じ距離だけＹ方向及びその逆方向に離隔した位置に配置されている。

図６に示すように、最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間に、略２μｍの厚みの内部電極３４がシート全面に形成されている。当該内部電極３４はスルーホール３３に充填された導電材を介して共通電極３１，３８と電気的に接続されている（図７及び図８参照）。

最上層の圧電シート４１上にはさらに、図７に示すように、個別電極３５の間に多数のダミーランド３７が形成されている。ダミーランド３７は、図６に示すように、ランド３６と同様キャビティプレート２２の壁部２２ａに対応する位置に配置され、且つ、ランド３６と略同じ形状及び略同じ高さを有すると共に同じ材料から形成されている。ダミーランド３７は、他のランド３６，３２ａ〜３２ｃのようにＦＰＣ５０と電気的に接続されるものではなく、アクチュエータユニット２１を流路ユニット４に固定するときに加わる圧力を分散してユニット２１，４間の接合を良好に行うために設けられたものである。またダミーランド３７を設けたことにより、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に固定した後、圧電部材４０の表面を覆うように配置されたＦＰＣ５０が圧電部材４０の表面（特に、個別電極３５の主電極部３５ａ）に近づく方向に撓むのを防止することができる。

次に、図９（ａ），（ｂ）を参照しつつ、ＦＰＣ５０の構成について説明する。

ＦＰＣ５０は、厚み略２５μｍのベースフィルム５１、ベースフィルム５１の下面の略全体を覆う厚み略２０μｍのカバーフィルム５２、ベースフィルム５１とカバーフィルム５２との間に形成された銅箔からなる厚み略９μｍの導体パッド５３，５５、及び、各導体パッド５３，５５上に形成された接続端子５４，５６を含む。導体パッド５３，５５は、同じくベースフィルム５１とカバーフィルム５２との間に所定のパターンで形成された配線の先端に形成されたものであり、配線を介してドライバＩＣ８０と電気的に接続されている。

ベースフィルム５１及びカバーフィルム５２は絶縁性を有するシート部材であり、ベースフィルム５１は例えばポリイミド樹脂、カバーフィルム５２は熱硬化性樹脂からなる。

導体パッド５３は個別電極３５のランド３６、導体パッド５５は共通電極３１，３８のランド３２ａ〜３２ｃに対応する位置に形成されている。これら導体パッド５３，５５上に形成された接続端子５４，５６は、例えばニッケル等の導電性材料からなり、カバーフィルム５２から露出し、その周囲をカバーフィルム５２で覆われるようにして対応するランド３６，３２ａ〜３２ｃと互いに接合されている。

これにより、内部電極３４（図８参照）が共通電極３１，３８、ランド３２ａ〜３２ｃ、接続端子５６、及び導体パッド５５を介してドライバＩＣ８０に電気的に接続され、全ての圧力室１０に対応する領域において等しく、本実施形態ではグランド電位に保たれる。また、各個別電極３５がランド３６、接続端子５４、及び導体パッド５３を介してドライバＩＣ８０に電気的に接続され、圧力室１０毎に電位を制御することが可能となっている。ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号がＦＰＣ５０によって個別電極３５に供給されると、信号が供給された個別電極３５の下側に位置する圧電シート４２の領域が圧力室１０に向けて凸になるよう変形し、この圧力室１０の容積変化に応じて圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。

また図１０（ａ）に示すように、ＦＰＣ５０は、その一端が台形形状であるアクチュエータユニット２１（図７参照）の上底に沿うように固定され、当該上底から下底に向かう方向（Ｘ方向）に引き出されている。ここで、圧電部材４０の外縁４０ｘ（図７及び図１０（ｂ）参照）近傍の表面にランド３６，３２ａ〜３２ｃがいずれも配置されない領域（間隔Ｄに対応する領域）が存在する。ＦＰＣ５０は当該領域に向けて撓んで圧電部材４０に接触し、そして外縁４０ｘにおいて熱硬化性樹脂からなるカバーフィルム２１を介して圧電部材４０の表面及び側面に接着されている。

次に、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。

先ず、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１を別々に作製する。流路ユニット４は、所定の孔が形成されたプレート２２〜３０を個別インク流路７が形成されるように位置合わせし接着剤によって互いに接合することによって作製される。

アクチュエータユニット２１を作製するには、先ず４枚の圧電シート４１〜４４となる台形形状の圧電セラミックスのグリーンシートを用意し、圧電シート４１となるグリーンシートにスルーホール３３を形成し、当該スルーホール３３に導電材を充填する。そして圧電シート４２となるグリーンシート上に内部電極３４となる導電性ペーストを印刷した後、当該グリーンシート上に上記スルーホール３３を形成したグリーンシートを積層し、さらに下側に他の２枚のグリーンシートを積層し、これら４枚のグリーンシートを所定の温度で焼成することによって一体化する。その後、圧電シート４１上に個別電極３５及び共通電極３１，３８となる導電性のペーストをパターン印刷し、焼成を行う。さらにその後、ランド３６，３２ａ〜３２ｃ及びダミーランド３７となるガラスフリットを含む金を印刷し、焼成を行う。これによりアクチュエータユニット２１が作製される。

次に、上述のようにして作製したアクチュエータユニット２１を熱硬化性接着剤を介して流路ユニット４の表面に固定する。このときアクチュエータユニット２１は、圧電部材４０が多数の圧力室１０に跨るように、且つ、内部電極３４が多数の圧力室１０に跨ると共に個別電極３５が各圧力室１０に対応する位置に配置されるように位置合わせされ、加圧・加熱によって流路ユニット４に固定される。

次に、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に固定する。当該工程を行う前、ＦＰＣ５０に形成された接続端子５３，５５の表面は露出せずにカバーフィルム５２によって覆われている。そして当該工程において、接続端子５４が個別電極３５のランド３６に、接続端子５６が共通電極３１，３８のランド３２ａ〜３２ｃにそれぞれ対向するようにＦＰＣ５０を位置合わせし、ＦＰＣ５０のベースフィルム５１上にセラミックヒータ（図示せず）を配置して、カバーフィルム５２を構成する熱硬化性樹脂の硬化温度以上となるよう加熱しつつ、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に対して押圧する。この押圧によって接続端子５４，５６の表面を覆うカバーフィルム５２が押しのけられ、接続端子５４，５６が対応するランド３６，３２ａ〜３２ｃに当接する。この状態で加熱すると、接続端子５４，５６近傍にあるカバーフィルム５２の部分が接続端子５４，５６からランド３６，３２ａ〜３２ｃにまで広がる。そしてカバーフィルム５２が硬化することにより、接続端子‐ランド間の電気的接続及び機械的接続が実現される。

また、このときＦＰＣ５０は、その自重によって圧電部材４０の外縁４０ｘ近傍の表面における間隔Ｄに対応する領域に向けて撓み、圧電部材４０に接触する（図１０（ａ），（ｂ）参照）。この状態でカバーフィルム５２が硬化することにより、外縁４０ｘにおいてカバーフィルム５２を介して圧電部材４０の表面及び側面に接着される。

以上に述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド１によると、アクチュエータユニット２１の圧電部材４０の表面に形成され且つ内部電極３４と電気的に接続された共通電極３１，３８のランド３２ａ〜３２ｃのうち、ＦＰＣ５０の引き出し方向であるＸ方向の最も下流側にあるランド３２ｃが、個別電極３５のランド３６よりもＸ方向の下流側に配置されず、Ｘ方向に関してランド３６と同じ位置に配置されている（図７参照）。このため、圧電部材４０の外縁４０ｘ近傍の表面にランド３６，３２ａ〜３２ｃがいずれも配置されない領域が生じることとなり、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、ＦＰＣ５０が当該領域に向けて撓んで圧電部材４０と接触し、そして当該接触した部分において熱硬化性樹脂からなるカバーフィルム５２を介して圧電部材４０に接着されている。このカバーフィルム５２を介した接着によって、ＦＰＣ５０‐アクチュエータユニット２１間の接合補強が実現される。したがって、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１から引き出した後さらにホルダ７２の基部７２ｂの上端に向けて折り曲げた場合でも、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との電気的接続部、即ち接続端子５４，５６とランド３６，３２ａ〜３２ｃとの接合部には直接的に力が加わらず、電気的接続部の剥離を防止することができる。また、ＦＰＣ５０と圧電部材４０の外縁４０ｘ近傍との機械的接続によって、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との電気的接続部が封止されるため、外部から侵入したインクが電気的接続部に及びにくく、インクによる短絡のような電気的不具合が防止される。

本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法によると、加熱により熱硬化性樹脂からなるカバーフィルム５２を硬化させることで、ＦＰＣ５０の接続端子５４，５６とランド３６，３２ａ〜３２ｃとの電気的接続及び機械的接続と、ＦＰＣ５０の圧電部材４０の外縁４０ｘとのカバーフィルム５２を介した機械的接続とを同時に実現することができる。したがって、例えば半田等を介してＦＰＣ５０の接続端子５４，５６とランド３６，３２ａ〜３２ｃとの電気的接続を行った後にＦＰＣ５０を圧電部材４０の外縁４０ｘに接着する場合に比べ、工程数を抑えることができる。つまり本実施形態の製造方法によると、製造工程の増加を抑制しつつ、上記のような効果を奏するインクジェットヘッド１を得ることができる。

さらに、図７に示すように、個別電極３５のランド３６がＸ方向に直交するＹ方向に沿って列をなしつつ等間隔で配置されており、共通電極３８のランド３２ｂ，３２ｃのうちＸ方向最も下流側に位置するランド３２ｃが、上記列に含まれるランド３６とＸ方向に関して一致し、且つ、上記列に含まれるランド３６のうちＹ方向に関して最も外側に位置するランド３６から、上記列に含まれるランド３６同士の間隔と同じ距離だけＹ方向及びその逆方向に離隔した位置に、配置されている。このようにランド３６，３２ｃを規則的に等間隔に配列することで簡単な構成となって製造が容易になると共に、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との接合部が規則的に配列されることで両者間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上する。

しかも、図６及び図８に示すように、各ランド３６における圧電部材４０の表面からの高さは、対応する個別電極３５における上記表面からの高さより高く、且つ、ランド３２ａ〜３２ｃにおける上記表面からの高さと等しい。このようにランド３６，３２ａ〜３２ｃの高さを等しくすることにより、これらランド３６，３２ａ〜３２ｃを同時に形成することで製造が容易になると共に、上記と同様、ＦＰＣ５０‐アクチュエータユニット２１間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上する。さらに、各ランド３６，３２ａ〜３２ｃはダミーランド３７とも高さが等しいので、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に固定するときに加えられる圧力がランド３６，３２ａ〜３２ｃ及びダミーランド３７のそれぞれに均等に伝わる。したがって、アクチュエータユニット２１に含まれる全ランド３６，３２ａ〜３２ｃにおける接続端子５４，５６との接合部に等しく力が加わるので、導電性を損なうような接続不良が防止される。

また、ランド３６，３２ａ〜３２ｃにおける圧電部材４０の表面と平行な面に沿った形状が同じであることによっても、これらランド３６，３２ａ〜３２ｃを同時に形成することで製造が容易になる、ＦＰＣ５０‐アクチュエータユニット２１間の接合強度にムラがなくなって両者間の全体としての接合強度が向上するという上記と同様の効果を得ることができる。

さらに、図７に示すように、圧電部材４０の外縁４０ｘの最も近くに配置されたランド３６が対応する個別電極３５よりもＸ方向下流側に配置されている。これにより、ＦＰＣ５０が圧電部材４０の表面に近づく方向に撓んで個別電極３５に当接することが抑制される。またこれにより、どの個別電極３５においても対応する圧電部材４０の部分の変位量が等しくなり、印刷品質が向上する。

図６及び図８に示すように、流路ユニット４が圧力室１０を互いに区画する壁部２２ａを有し、ランド３６，３２ａ〜３２ｃが壁部２２ａに対応する位置に配置されている。ランド３６，３２ａ〜３２ｃが壁部２２ａではなく圧力室１０に対応する位置に配置されている場合、アクチュエータユニット２１を流路ユニット４に固定する際或いはＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１に固定する際に加わる圧力によって、圧電部材４０の圧力室１０に対応する部分が破損しやすいが、上記構成ではこのような破損を防止することができる。

個別電極３５及びランド３６をそれぞれ圧電部材４０の表面にマトリクス状に配置したことにより、高解像度化を実現することができる。

図１０（ｂ）に示すように、ＦＰＣ５０が熱硬化性樹脂からなるカバーフィルム５２を介して圧電部材４０の外縁４０ｘの表面及び側面に接着されている。ＦＰＣ５０が圧電部材４０の表面のみ又は側面のみに接着されていても、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との電気的接続部に外部からの力が直接的に加わらないような接合強度を得ることはできるが、表面及び側面の両方に接着することによって、カバーフィルム５２を介した接合補強の強度がさらに向上する。そのため、当該接着部分に接着を剥離する方向の力が加わっても、接着部分の剥離をより効果的に抑制することができ、ランド３６，３２ａ〜３２ｃと接続端子５４，５６との接合部に力が加わるのをより確実に防止することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

例えば、共通電極のランド３２ａ〜３２ｃのうちＸ方向最も下流側に位置するランド３２ｃと圧電部材４０の外縁４０ｘとの間隔Ｄは、外縁４０ｘの最も近くに配置されたランド３６と外縁４０ｘとの間隔と同じではなく当該間隔より大きくてよい。

共通電極は、圧電部材４０の表面の四隅に形成されることに限定されず、当該共通電極のランドが個別電極３５のランド３６よりＸ方向下流側に形成されない限りは、任意の位置に形成されてよい。

圧電部材４０の形状は台形に限定されず、様々な形状であってよい。

圧電部材４０は、複数の圧力室１０に跨り、その内部に内部電極３４を有し且つその表面に個別電極３５及びそのランド３６並びに共通電極及びそのランドが形成されている限りは、様々な構成であってよい。

個別電極３５のランド３６及び共通電極３１，３８のランド３２ａ〜３２ｃの圧電部材４０表面における配置は任意に変更可能である。ランド３６及びランド３２ａ〜３２ｃの圧電部材４０の表面からの高さは等しいことに限定されない。また、これらランド３６，３２ａ〜３２ｃの圧電部材４０表面と平行な面に沿った形状は任意に変更可能である。

個別電極３５のランド３６はキャビティプレート２２の壁部２２ａに対応する位置ではなく圧力室１０に対応する位置に形成されてよい。

個別電極３５はマトリクス状に配置されることに限定されず、例えば１列に配置されてよい。

上述の実施形態においてＦＰＣ５０は圧電部材４０の外縁４０ｘの表面及び側面に接着されているが、表面及び側面のいずれかのみに接着されてもよい。

上述の実施形態ではＦＰＣ５０を圧電部材４０の外縁４０ｘ近傍に接着するのにＦＰＣ５０の下面略全体を覆うカバーフィルム５２を用いているが、例えばＦＰＣ５０における圧電部材４０の外縁４０ｘ近傍と対向する部分に熱硬化性接着剤を予め塗布しておき、その後加熱することによって、ＦＰＣ５０の接続端子５４，５６とランド３６，３２ａ〜３２ｃとの接合、及び、熱硬化性接着剤の硬化によるＦＰＣ５０の圧電部材４０の外縁４０ｘ近傍への接着を同時に行うようにしてよい。

ＦＰＣ５０の接続端子５４と個別電極３５のランド３６との接合、及び、ＦＰＣ５０の接続端子５６と共通電極３１，３８のランド３２ａ〜３２ｃとの接合には、熱硬化性接着剤ではなく半田等の任意の金属接合剤を用いてよい。

上述の実施形態では、ＦＰＣ５０を圧電部材４０の外縁４０ｘに接着する際、ＦＰＣ５０の自重に頼っているが、これに限定されず、例えば積極的にＦＰＣ５０に圧力を加えることによってＦＰＣ５０を圧電部材４０の外縁４０ｘに接触させ、カバーフィルム５２又は熱硬化性接着剤を硬化させてもよい。こうすることで、より確実にＦＰＣ５０を圧電部材４０の外縁４０ｘに接着することが可能となる。

圧電部材４０の外縁４０ｘよりさらにＦＰＣ５０の引き出し方向（図７のＸ方向）下流側において、カバーフィルム５２又は熱硬化性接着剤を介してＦＰＣ５０を流路ユニット４の上面に接着してよい。これにより、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１との電気的接続部に外部からの力がさらに加わりにくくなり、電気的接続部の剥離をより確実に防止することができる。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。図１のＩＩ‐ＩＩ線に沿った断面図である。インクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。図３中の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４のＶ‐Ｖ線に沿った断面図である。図５中の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。アクチュエータユニットの平面図である。図７のＶＩＩＩ‐ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。アクチュエータユニットとフレキシブルプリントケーブルとの接続を示す断面図である。（ａ）はアクチュエータユニットにおける個別電極のランドとフレキシブルプリントケーブルにおける個別電極用端子との接続を示す断面図である。（ｂ）はアクチュエータユニットにおける共通電極のランドとフレキシブルプリントケーブルにおける共通電極用端子との接続を示す断面図である。（ａ）は、アクチュエータユニットに固定されたフレキシブルプリントケーブルがリザーバユニットの下面とヘッド本体との間に形成された空間から外側に引き出された状態を示す部分図である。（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。

符号の説明

１インクジェットヘッド
４流路ユニット
８ノズル
１０圧力室
２１アクチュエータユニット
２２ａ壁部
３８共通電極
３２ｃ共通電極のランド（第１の端子）
３３スルーホール
３４内部電極
３５個別電極
３６個別電極のランド（第２の端子）
４０圧電部材
５０フレキシブルプリントケーブル
５２カバーフィルム（熱硬化性接着剤）
５４，５６接続端子
７０ヘッド本体

Claims

ノズルに連通した複数の圧力室が表面に形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットの前記表面に固定され、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットにおける前記流路ユニットとの固定面とは反対側の表面に、第１の方向に引き出されるように固定され、前記アクチュエータユニットに駆動信号を供給するフレキシブルプリントケーブルとを備え、
前記アクチュエータユニットが、前記複数の圧力室に跨る圧電部材、前記圧電部材の内部において前記複数の圧力室に跨るよう形成された内部電極、前記圧電部材における前記フレキシブルプリントケーブルと対向する表面において各圧力室に対応する位置に形成された複数の個別電極、前記圧電部材の前記表面に形成され且つ前記内部電極と電気的に接続された第１の端子、及び、前記圧電部材の前記表面に形成され且つ各個別電極に接続された第２の端子を有し、
前記フレキシブルプリントケーブルが、前記第１の端子及び前記第２の端子のそれぞれと電気的に接続される接続端子を有し、
前記第１の端子と前記圧電部材の前記第１の方向における外縁との間隔が、前記外縁の最も近くに配置された第２の端子と前記外縁との間隔以上であり、
前記フレキシブルプリントケーブルにおける前記アクチュエータユニットと対向する面が、前記第１及び第２の端子より前記第１の方向の下流側において、前記圧電部材に熱硬化性接着剤を介して接着されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
複数の前記第２の端子が、前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って列をなしつつ等間隔で配置されており、
前記第１の端子が、前記列に含まれる第２の端子と前記第１の方向に関して一致し、且つ、前記列に含まれる第２の端子のうち前記第２の方向に関して最も外側に位置する第２の端子から、前記列に含まれる第２の端子同士の間隔と実質的に同じ距離だけ前記第２の方向に離隔した位置に、配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
各第２の端子における前記圧電部材の前記表面からの高さが、対応する個別電極における前記表面からの高さより高く、且つ、前記第１の端子における前記表面からの高さと等しいことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
前記第１及び第２の端子における前記圧電部材の前記表面と平行な面に沿った形状が実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
前記外縁の最も近くに配置された第２の端子が、対応する個別電極よりも前記第１の方向の下流側に配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
前記流路ユニットが前記複数の圧力室を互いに区画する壁部を有し、
前記第１及び第２の端子が前記壁部に対応する位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
前記個別電極及び前記第２の端子がそれぞれ前記圧電部材の前記表面にマトリクス状に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
前記フレキシブルプリントケーブルが前記熱硬化性接着剤を介して前記圧電部材の前記外縁における前記表面と交差する側面に接着されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
前記フレキシブルプリントケーブルが前記熱硬化性接着剤を介して前記圧電部材の前記表面及び前記側面に接着されていることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
ノズルに連通した複数の圧力室が表面に形成された流路ユニットを作製する工程と、
前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットを作製する工程と、
前記アクチュエータユニットを前記流路ユニットの前記表面に固定する工程と、
前記アクチュエータユニットにおける前記流路ユニットとの固定面とは反対側の表面に、前記アクチュエータユニットに駆動信号を供給するフレキシブルプリントケーブルを、第１の方向に引き出されるように固定する工程とを備え、
前記アクチュエータユニット作製工程が、内部に内部電極を有する圧電部材における前記フレキシブルプリントケーブルと対向する表面に複数の個別電極を形成する電極形成工程と、前記圧電部材の前記表面に、前記内部電極と電気的に接続された第１の端子、及び、各個別電極に接続された第２の端子を形成する端子形成工程とを有し、
前記アクチュエータユニット固定工程において、前記圧電部材が前記複数の圧力室に跨るように、且つ、前記内部電極が前記複数の圧力室に跨ると共に前記複数の個別電極がそれぞれ各圧力室に対応する位置に配置されるように、前記アクチュエータユニットを前記流路ユニットに固定し、
前記端子形成工程において、前記第１の端子を、前記圧電部材の前記第１の方向における外縁との間隔が、前記外縁の最も近くに配置された第２の端子と前記外縁との間隔以上となるように形成し、
前記フレキシブルプリントケーブル固定工程において、加熱により、前記フレキシブルプリントケーブルに含まれる複数の接続端子を前記第１の端子及び前記第２の端子とそれぞれ電気的に接続すると共に、前記フレキシブルプリントケーブルにおける前記アクチュエータユニットと対向する面の前記第１及び第２の端子より前記第１の方向の下流側の部分を熱硬化性接着剤を介して前記圧電部材に接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
前記端子形成工程において、
複数の前記第２の端子を、前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って列をなしつつ等間隔で形成し、
前記第１の端子を、前記列に含まれる第２の端子と前記第１の方向に関して一致し、且つ、前記列に含まれる第２の端子のうち前記第２の方向に関して最も外側に位置する第２の端子から、前記列に含まれる第２の端子同士の間隔と実質的に同じ距離だけ前記第２の方向に離隔した位置に、配置することを特徴とする請求項１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記端子形成工程において、
複数の前記第２の端子を、前記圧電部材の前記表面からの高さが対応する個別電極における前記表面からの高さより高くなるように形成し、
前記第１の端子を、前記第２の端子における前記表面からの高さと等しくなるように形成することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記端子形成工程において、前記第１及び第２の端子を、前記圧電部材の前記表面と平行な面に沿った形状が実質的に同じになるように形成することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記端子形成工程において、前記外縁の最も近くに配置された第２の端子を、対応する個別電極よりも前記第１の方向の下流側に配置することを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記流路ユニット作製工程において、前記複数の圧力室を互いに区画する壁部を前記流路ユニットに形成し、
前記端子形成工程において、前記第１及び第２の端子を、前記壁部に対応する位置に配置することを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記電極形成工程において前記個別電極を前記圧電部材の前記表面にマトリクス状に配置し、
前記端子形成工程において前記第２の端子を前記圧電部材の前記表面にマトリクス状に配置することを特徴とする請求項１０〜１５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記フレキシブルプリントケーブルを、前記熱硬化性接着剤を介して前記圧電部材の前記外縁における前記表面と交差する側面に接着することを特徴とする請求項１０〜１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記フレキシブルプリントケーブルを、前記熱硬化性接着剤を介して前記圧電部材の前記表面及び前記側面に接着することを特徴とする請求項１７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。