JP4618368B2

JP4618368B2 - 記録ヘッドの製造方法及び記録ヘッド

Info

Publication number: JP4618368B2
Application number: JP2008305967A
Authority: JP
Inventors: 祐次新海
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2008-12-01
Filing date: 2008-12-01
Publication date: 2011-01-26
Anticipated expiration: 2024-04-22
Also published as: JP2009078564A

Description

本発明は、記録媒体に記録する記録ヘッドの製造方法及び記録ヘッドに関する。

一般的な記録ヘッドは、複数の記録素子に対応して設けられた複数の個別電極を有する
アクチュエータユニットを備えており、このアクチュエータユニットは、複数の個別電極
に対して選択的に駆動信号が供給されたときに、その記録素子を駆動して記録媒体に記録
するように構成されている。このようなアクチュエータユニットとしては、例えば、複数
の平板状の圧電素子と、これら複数の圧電素子に夫々対応する複数の個別電極（信号電極
）を備えた圧電アクチュエータがある（例えば、特許文献１参照）。

このような圧電アクチュエータの一例を図１２に示す。この圧電アクチュエータ１００
においては、圧電素子の表面に設けられた複数の個別電極１０２に、フレキシブルプリン
ト配線板１０３（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）が電気的に接続される。ここで
、ＦＰＣ１０３は、ベースフィルム１０４と、複数の個別電極１０２に夫々対応する配線
パターンを形成する導電性の複数の導体部１０５と、電気絶縁性を有し導体部１０５を被
覆するカバーコート１０６とが積層された３層構造を有する。そして、各導体部１０５に
は端子部１０５ａ（電気接合用パッド）が設けられており、端子部１０５ａの表面のカバ
ーコート１０６は部分的に除去されて端子部１０５ａが露出している。さらに、この露出
した端子部１０５ａの表面には、Ｎｉ等の金属材料により個別電極１０２側に突出したコ
ア材１０７ａとこのコア材１０７ａの表面を覆う半田等の接合材１０７ｂとからなるバン
プ１０７が形成されている。そして、この圧電アクチュエータ１００を製造する際には、
バンプ１０７を個別電極１０２に押し当てて接触させた状態で、加熱、加圧あるいは加振
を行って接合材１０７ｂを溶融させることにより、ＦＰＣ１０３の端子部１０５ａと個別
電極１０２とをバンプ１０７を介して電気的に接続する。

特開２００３−６９１０３号公報（図２、図３参照）

しかし、前述の圧電アクチュエータ１００を製造する場合には、導体部１０５の端子部
１０５ａを露出させるためにカバーコート１０６を部分的に除去して開口部１０６ａを形
成する必要があるが、個別電極１０２と端子部１０５ａとを確実に接続するためには、カ
バーコート１０６に開口部１０６ａを形成する際の誤差を見越して端子部１０５ａを予め
大き目に形成しておくことが必要となる。しかし、ＦＰＣ１０３全体の面積に対する端子
部１０５ａの占める面積（図１２のＡ）の割合が大きくなると、必然的に配線パターンを
形成する導体部１０５のピッチが狭くなり、配線密度が高密度になってしまうため、ＦＰ
Ｃ１０３の製造コストが高くなる。さらには、導体部１０５を高密度に配置するにも限度
があるため、必要な所定本数の導体部１０５を１枚のＦＰＣ１０３に形成することが困難
になる場合もある。一方、端子部１０５ａの面積をできるだけ小さくするためには、カバ
ーコート１０６の開口部１０６ａの形成を非常に高精度に行う必要があり、ＦＰＣ１０３
のコストアップにつながる。

本発明の目的は、アクチュエータユニットとプリント配線板との電気的接続を安価に且
つ確実に行うことのできる記録ヘッドの製造方法及び記録ヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

第１の発明の記録ヘッドの製造方法は、圧電シートが変形することで対応するノズルか
らインク滴を吐出して記録媒体に画像を形成する複数の記録素子を含む記録ヘッドであり
、前記記録素子に対応した前記圧電シート上にそれぞれ形成された複数の個別電極を有す
るアクチュエータユニットと、前記アクチュエータユニットの表面と間隔を置いて配され
、前記個別電極とそれぞれバンプを介して電気的に接続された複数の端子部を有し、前記
端子部から前記個別電極に前記圧電シ−トを変形させる為の信号を供給するプリント配線
板とを備え、前記個別電極において、供給された信号によって変形する前記圧電シートの
変形部に対応して配置された主電極部と前記バンプを介して前記端子部と接続する前記主
電極部から引き出されたランド部とを有した記録ヘッドの製造方法であって、前記アクチ
ュエータユニットの表面に、前記複数の個別電極と夫々電気的に接続された導電性の複数
の前記バンプを前記ランド部に突出状に形成する第１工程と、前記プリント配線板の前記
端子部を覆う未硬化の合成樹脂層を、前記端子部に対応した前記バンプ側の表面からの厚
さが、前記バンプの突出量よりも小さくなるように塗布する第２工程と、前記プリント配
線板に塗布された前記未硬化の合成樹脂層に前記複数のバンプを押し当ててこの合成樹脂
層を貫通させ、前記複数のバンプと前記配線部分の端子部とを接触させる第３工程と、前
記合成樹脂層の一部が、前記バンプと前記端子部との接触部分を含んだ状態で前記バンプ
の一部を覆い、且つ前記合成樹脂層の一部とは別の他部が、前記アクチュエータユニット
の表面と間隔を置いた状態で、前記合成樹脂層を硬化させる第４工程と、を備えたことを
特徴とするものである。

この記録ヘッドの製造方法においては、まず、第１工程において、アクチュエータユニ
ットの表面に、導電性の複数のバンプをランド部に突出状に形成する。一方、第２工程に
おいて、プリント配線板の端子部が形成された面には、電気絶縁性を有する合成樹脂を未
硬化の状態で印刷等の種々の方法を用いて塗布することにより、端子部を覆う未硬化の合
成樹脂層を形成する。次に、第３工程において、プリント配線板に塗布された未硬化の合
成樹脂層に、アクチュエータユニット側の複数のバンプを押し当てて合成樹脂層を貫通さ
せ、バンプと端子部とを接触させる。そして、最後に、第４工程において、合成樹脂層の
一部がバンプと端子部との接触部分を含んだ状態でバンプの少なくとも一部を覆い、且つ
合成樹脂層の他部がアクチュエータユニットの表面と間隔を置いた状態で、その未硬化の
合成樹脂層を硬化させて、個別電極と端子部とをバンプを介して接続する。

このように、プリント配線板側に未硬化の合成樹脂層を塗布により形成してから、アク
チュエータユニット側のバンプを押しつけて合成樹脂層を貫通させることにより、導体部
を合成樹脂層により確実に絶縁しつつ、バンプと端子部とを容易に接触させることができ
る。そのため、導体部の端子部を露出させるために端子部付近のカバーコートを高精度に
開口させる工程が不要となり、プリント配線板の製造コストを低減できる。また、アクチ
ュエータユニット側にバンプを設けるため、プリント配線板の端子部の大きさは、バンプ
の先端が確実に接触することのできる大きさがあれば十分である。そのため、カバーコー
トの開口精度等を勘案して端子部を大き目に形成する必要のある、前述のプリント配線板
側にバンプを設ける従来の製造方法（図１２参照）と比較して、プリント配線板の端子部
の大きさを小さくすることができる。その分、プリント配線板の配線密度を粗くすること
が可能になる。
また、バンプが圧電シートの変形部に対応して配置された主電極部から引き出され領域
に形成されたランド部上に設けられ、合成樹脂層の一部がバンプと端子部との接触部分を
含んだ状態でバンプの少なくとも一部を覆い、且つ合成樹脂層の他部がアクチュエータユ
ニットの表面と間隔を置いた状態にあるから、圧電シートの、圧力室に対向する部分の変
形が阻害されることがなく、インクを安定して吐出することが可能になる。

尚、この第１の発明においては、前記バンプと前記端子部とを接触状態とし、前記合成
樹脂層を硬化させることにより、前記バンプと前記端子部との電気的接続を完了してもよ
い（第２の発明）。このとき、端子部は、表面に酸化防止層を有することが好ましい（第
３の発明）。
また、第４の発明の記録ヘッドの製造の製造方法は、前記第１の発明において、前記端
子部は、導電性ろう材からなる接合材を有し、前記第４工程において合成樹脂層を硬化さ
せた後に、加熱することにより前記接合材を溶融させ、前記バンプと前記端子部とを前記
接合材を用いて接合することを特徴とするものである。この場合には、端子部とバンプと
の電気的接続の信頼性が向上する。
尚、この第４の発明においては、前記合成樹脂層は、熱硬化性樹脂であり、前記第４工
程において、前記未硬化の合成樹脂層を加熱して、前記合成樹脂層を硬化させ、その後、
前記第４工程の加熱温度よりも高い温度で加熱することにより前記接合材を溶融させ、前
記バンプと前記端子部とを接合してもよい（第５の発明）。

第６の発明の記録ヘッドの製造方法は、前記第１〜第５の何れかの発明において、前記
第３工程において、前記複数のバンプを前記合成樹脂層に押し当ててこの合成樹脂層を貫
通させたときに、未硬化の合成樹脂の一部が前記バンプの表面に沿って前記アクチュエー
タユニットの表面まで達することを特徴とするものである。このように、未硬化の合成樹
脂がアクチュエータユニット表面まで達した状態で合成樹脂を硬化させることにより、バ
ンプと端子部との間の接続強度をさらに高めることができる。

第７の発明の記録ヘッドの製造方法は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記
バンプは、半球状または先端形状が先鋭な形状に形成されることを特徴とするものである
。

第８の発明の記録ヘッドの製造方法は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記
記録素子は、液体が外部から供給される共通液体流路および前記共通液体流路の出口から
前記圧力室を介して液体を吐出するノズルに至るインク流路を有し、前記複数の圧力室が
一表面に形成された流路形成部材と、当該流路形成部材の一表面に固定された前記アクチ
ュエータユニットとを含んで構成され、前記第１工程に先立って、前記流路形成部材と前
記アクチュエータユニットとを固定する固定工程を備え、前記固定工程において、前記個
別電極の主電極部が前記圧力室に対向し、且つ前記ランド部が前記流路形成部材の前記圧
力室を画定する隔壁に対向するように前記アクチュエータユニットを前記流路形成部材に
固定するものである。

第９の発明の記録ヘッドの製造方法は、前記第８の発明において、前記複数の圧力室は
、前記流路形成部材の一表面においてマトリクス状に隣接配置され、
前記固定工程において、前記ランド部が、平面視で前記圧力室と重ならない領域に配置
されるものである。

第１０の発明の記録ヘッドの製造方法は、前記第１〜第９の何れかの発明において、前
記アクチュエータユニットは、前記流路形成部材の一表面に固定される前記圧電シートを
含む複数の前記圧電シートの積層体であって、最上層の前記圧電シートのみが、当該圧電
シートの厚み方向に分極され、且つ前記個別電極と接地された共通電極とに挟まれており
、前記個別電極を前記共通電極と異なる電位にしたとき前記最上層の圧電シートが圧電横
効果によって前記分極方向と直交する方向に変位するものである。
だい

第１１の発明の記録ヘッドは、圧電シートが変形することで対応するノズルからインク
滴を吐出して記録媒体に画像を形成する複数の記録素子を含む記録ヘッドであって、前記
記録素子に対応した前記圧電シート上にそれぞれ形成された複数の個別電極を備えたアク
チュエータユニットと、前記アクチュエータユニットの表面と間隔を置いて配され、前記
個別電極とそれぞれバンプを介して電気的に接続された複数の端子部を有し、前記端子部
から前記個別電極に前記圧電シ−トを変形させる為の信号を供給するプリント配線板とを
備え、前記個別電極は、供給された信号によって変形する前記圧電シートの変形部に対応
して配置された主電極部と前記バンプを介して前記端子部と接続する前記主電極部から引
き出されたランド部とを有し、前記アクチュエータユニットの表面に、前記複数の個別電
極と夫々電気的に接続された導電性の複数の前記バンプが前記ランド部に突出状に形成さ
れ、
前記プリント配線板の前記端子部を覆って合成樹脂層が形成され、この合成樹脂層は、
前記端子部の前記バンプ側の表面からの厚さが、前記バンプの突出量よりも小さいもので
あり、前記複数のバンプが、前記合成樹脂層を貫通して前記端子部と接触しており、前記
合成樹脂層の一部は、前記バンプと前記端子部との接触部分を含んだ状態で前記バンプの
少なくとも一部を覆うとともに、前記合成樹脂層の前記一部とは別の他部は、前記アクチ
ュエータユニットの表面と間隔を置いた状態であることを特徴とするものである。

この記録ヘッドにおいては、アクチュエータユニット側にバンプが設けられているため
、プリント配線板の端子部の大きさを小さくすることができ、その分、プリント配線板の
配線密度を粗くすることが可能になる。
また、バンプが圧電シートの変形部に対応して配置された主電極部から引き出され領域
に形成されたランド部上に設けられ、合成樹脂層の一部がバンプと端子部との接触部分を
含んだ状態でバンプの少なくとも一部を覆い、且つ合成樹脂層の他部がアクチュエータユ
ニットの表面と間隔を置いた状態にあるから、圧電シートの、圧力室に対向する部分の変
形が阻害されることがなく、インクを安定して吐出することが可能になる。

第１２の発明の記録ヘッドは、前記第１１の発明において、前記合成樹脂層の前記一部
は、前記バンプの表面に沿って前記プリント配線板と前記アクチュエータユニットに亙っ
て形成されていることを特徴とするものである。この記録ヘッドでは、バンプと端子部と
の接続強度が高くなり、電気的接続の信頼性が向上する。
第１３の発明の記録ヘッドは、前記第１１又は第１２の発明において、前記記録素子は
、液体が外部から供給される共通液体流路および前記共通液体流路の出口から前記圧力室
を介して液体を吐出するノズルに至るインク流路を有し、前記複数の圧力室が一表面に形
成された流路形成部材と、当該流路形成部材の一表面に固定された前記アクチュエータユ
ニットとを含んで構成され、前記個別電極の主電極部が前記圧力室に対向し、且つ前記ラ
ンド部が前記流路形成部材の前記圧力室を画定する隔壁に対向するように前記アクチュエ
ータユニットを前記流路形成部材に固定されている。
第１４の発明の記録ヘッドは、前記第１３の発明において、前記複数の圧力室は、前記
流路形成部材の一表面においてマトリクス状に隣接配置され、前記ランド部が、平面視で
前記圧力室と重ならない領域に配置されていることを特徴とする。
第１５の発明の記録ヘッドは、前記第１１〜第１４の何れかの発明において、前記アク
チュエータユニットは、前記流路形成部材の一表面に固定される前記圧電シートを含む複
数の前記圧電シートの積層体であって、最上層の前記圧電シートのみが、当該圧電シート
の厚み方向に分極され、且つ前記個別電極と接地された共通電極とに挟まれており、前記
個別電極を前記共通電極と異なる電位にしたとき前記最上層の圧電シートが圧電横効果に
よって前記分極方向と直交する方向に変位することが特徴である。

本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、ノズルから用紙に対してインク
を吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。

図１、図２に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、主走査方向に延在
した矩形平面形状を有し且つ用紙に対してインクを吐出する複数のノズル８（図４、図５
参照）を備えたヘッド本体７０と、このヘッド本体７０の上方に配置され且つヘッド本体
７０に供給されるインクの流路である２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック
７１とを備えている。

ヘッド本体７０は、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面
に接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。これら流路ユニット４
及びアクチュエータユニット２１は、積層された複数の薄板が互いに接着された構成とな
っている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、フレキシブルプリント配線板
（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接着され、左右に引き出されている。ベ
ースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内
のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って形成された略直方体の中空
領域である。

図２に示すように、ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍において周囲よ
りも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂの近傍
部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４と接触している。そのため、ベースブロック７１
の下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域はヘッド本体７０から離隔しており、
その間の空間にアクチュエータユニット２１が配設されている。

ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固
定されている。ホルダ７２は、把持部７２ａと、把持部７２ａの上面からこれと直交する
方向に所定間隔をなして延出された平板状の一対の突出部７２ｂとを有する。また、アク
チュエータユニット２１の表面に接着されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３
を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うように配置されて、その端部が基板８１に
接続されている。また、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドラ
イバＩＣ８０が設置されており、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信
号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、ドラ
イバＩＣ８０及びアクチュエータユニット２１に夫々電気的に接続されている。

ドライバＩＣ８０の外側には略直方体形状のヒートシンク８２がドライバＩＣ８０に密
着した状態で配置されており、このヒートシンク８２を介してドライバＩＣ８０で発生し
た熱が外部に放散される。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、及び、ヒートシン
ク８２の下面とＦＰＣ５０との間には、夫々シール部材８４が装着されている。

図３は、図１に示したヘッド本体７０の平面図である。尚、図３においては、ベースブ
ロック７１内に形成されたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。２つのインク
溜まり３は、ヘッド本体７０の長手方向に沿って、互いに所定間隔をあけて平行に延在し
ている。２つのインク溜まり３の一端には夫々開口３ａが形成され、この開口３ａを介し
てインク溜まり３がインクタンク（図示省略）と連通しており、常にインクで満たされた
状態となっている。また、各インク溜まり３には、ヘッド本体７０の長手方向に沿って多
数の開口３ｂが設けられており、これら開口３ｂにより各インク溜まり３と流路ユニット
４とが接続されている。多数の開口３ｂは、対となる２つずつがヘッド本体７０の長手方
向に沿って近接配置されている。一方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対と、他方
のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対とは、平面視で千鳥状に配置されている。

開口３ｂが配置されていない領域には、台形の平面形状を有する複数のアクチュエータ
ユニット２１が、開口３ｂの対とは逆のパターンで、平面視で千鳥状に配置されている。
各アクチュエータユニット２１の平行対向辺（台形の平行な２辺）は、ヘッド本体７０の
長手方向と平行である。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺は、主走査方
向から見て部分的に重なっている。

図４は、図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４に示すように
、各インク溜まり３に設けられた開口３ｂはマニホールド５に連通し、さらに各マニホー
ルド５の先端部は２つに分岐して共通インク室としての副マニホールド５ａを形成してい
る。また、平面視において、アクチュエータユニット２１における２つの斜辺に夫々隣接
する開口３ｂから、分岐した２つの副マニホールド５ａが延出している。つまり、アクチ
ュエータユニット２１の下方には、アクチュエータユニット２１の平行対向辺に沿って互
いに離隔した計４つの副マニホールド５ａが延在している。

アクチュエータユニット２１の接着領域と反対側の流路ユニット４の下面は、インク吐
出領域となっており、このインク吐出領域には、後述するように、多数のノズル８がマト
リクス状に配列されている。尚、図４においては、図面を簡略化するためにノズル８のう
ちの一部のみが描かれているが、実際には、ノズル８はインク吐出領域全体に配列されて
いる。

図５は、図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４及び図５は、流
路ユニット４における多数の圧力室１０がマトリクス状に配置された平面を、インク吐出
面に対して垂直な方向から見た状態を示している。各圧力室１０は、角部にアールが施さ
れた略菱形の平面形状を有し、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向に平行であ
る。図６に示すように、各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチ
ャ１２を介して共通インク流路としての副マニホールド５ａに連通している。平面視にお
いて各圧力室１０と重なり合う位置には、圧力室１０と相似でこれよりも一回り小さい平
面形状を有する個別電極３５が、アクチュエータユニット２１上に形成されている。尚、
図面を簡略化するために、図５においては多数の個別電極３５のうちの一部だけが描かれ
ている。さらに、図４及び図５においては、アクチュエータユニット２１内又は流路ユニ
ット４内にあって破線で描かれるべき圧力室１０及びアパーチャ１２等が実線で描かれて
いる。

図５において、圧力室１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）がそれぞれ収容された
仮想的な複数の菱形領域１０ｘは、互いに重なり合うことなく各辺を共有するように、配
列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、
インクジェットヘッド１の長手方向、即ち、副マニホールド５ａの延在方向であって、菱
形領域１０ｘの短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす
菱形領域１０ｘの一斜辺方向である。圧力室１０は、対応する菱形領域１０ｘと中心位置
が共通であって、両者の輪郭線は平面視において互いに離隔している。

配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配
列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は
、１つのインク吐出領域内において、配列方向Ｂに１６個並べられている。配列方向Ｂの
両端にある圧力室はダミーであって、インク吐出に寄与しない。

マトリクス状に配置された複数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数
の圧力室列を形成している。圧力室列は、図５の紙面に対して垂直な方向から見て、副マ
ニホールド５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、
第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の
圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１
ｃ→１１ｄ→１１ａ→１１ｂ→１１ｃ→１１ｄ→…→１１ｂという順番で周期的に４個ず
つ配置されている。

第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第２の圧力室列１１ｂを構成する圧
力室１０ｂにおいては、図５の紙面に対して垂直な方向から見て、配列方向Ａと直交する
方向に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞ
れ対応する菱形領域１０ｘの下端部に位置している。一方、第３の圧力室列１１ｃを構成
する圧力室１０ｃ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の
方向に関して、ノズル８が図５の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞ
れ対応する菱形領域１０ｘの上端部に位置している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１
１ｄにおいては、図５の紙面に対して垂直な方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分
以上の領域が、副マニホールド５ａと重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１
１ｃにおいては、圧力室１０ｂ、１０ｃの全領域が、副マニホールド５ａと重なっていな
い。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８
が副マニホールド５ａと重ならないようにしつつ、副マニホールド５ａの幅が可能な限り
広く形成されており、各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。

次に、ヘッド本体７０の断面構造について、図６及び図７を参照して説明する。図６に
示すように、各ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａ
と連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド５ａの出口から
アパーチャ１２、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路３２が圧力室１０ごと
に形成されている。

図６に示すように、複数の薄板の積層方向において、圧力室１０とアパーチャ１２とは
異なる深さに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット
２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット４内において、１つの圧力室１
０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室に隣接する圧力室１０と平面視で同じ位置に
重ねて配置することが可能となっている。その結果、圧力室１０同士が密着して高密度に
配列されるため、インク吐出領域の面積が比較的小さなインクジェットヘッド１により高
解像度の画像印刷を実現できる。

図７に示すように、ヘッド本体７０は、上から、アクチュエータユニット２１、キャビ
ティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２
５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３
０の合計１０枚のプレートが積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュ
エータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（
図８（ａ）参照）が積層され且つ電極が配されることによって、圧電シート４１〜４４の
最上層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を有する層
」という）となり、一方、残り３層が非活性層となるように構成されている。キャビティ
プレート２２は、圧力室１０を形成する平面視で略菱形の開口が多数設けられた金属プレ
ートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０につい
て、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそ
れぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート２４は、キャビティプレート
２２の１つの圧力室１０について、２つの孔及びその間を結ぶハーフエッチング領域で形
成されたアパーチャ１２と、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金
属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１
０について、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル
８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６、２
７、２８は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０
について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである
。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室
１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート
３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設け
られた金属プレートである。

これら１０枚のシート２１〜３０は、図６に示す個別インク流路３２が形成されるよう
に、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路３２は、副マニホールド
５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それからさらに上方
に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から
離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かうように形成されてい
る。

次に、流路ユニット４の最上層のキャビティプレート２２に積層された、アクチュエー
タユニット２１の構成について説明する。図８（ａ）はアクチュエータユニット２１と圧
力室１０との部分拡大断面図であり、図８（ｂ）はアクチュエータユニット２１の表面に
形成された個別電極３５の平面図である。

図８（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、厚みが１５μｍ程度の４枚
の圧電シート４１、４２、４３、４４を有する。そして、これら４枚の圧電シート４１〜
４４は、ヘッド本体７０内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨
って連続して配置された層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４
が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷
技術を用いることにより圧電シート４１上に次述の個別電極３５を高密度に配置すること
が可能となっている。また、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高
密度に配置することが可能であり、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート
４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料
からなるものである。

最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５が形成されている。さらに、最上層の圧
電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された略２μｍ
の厚みの共通電極３４が介在している。これら個別電極３５及び共通電極３４は共に、例
えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。

個別電極３５は、略１μｍの厚みで圧電シート４１上に形成され、個別電極３５は、圧
力室１０とほぼ相似の略菱形の平面形状を有する主電極部３５ａと、この略菱形の主電極
部３５ａの鋭角部の一方から引き出され、略１６０μｍの径を有する平面視で円形のラン
ド部３５ｂとを有する。図８（ｂ）に示すように、圧電シート４１の表面において、主電
極部３５ａは、平面視で圧力室１０と重なる領域に設けられ、一方、ランド部３５ｂは、
主電極部３５ａから平面視で圧力室１０と重ならない領域まで引き出されている。ランド
部３５ｂは、例えばガラスフリットを含む金からなる。また、個別電極３５のランド部３
５ｂの表面には、Ａｇを含む金属材料からなり導電性を有するバンプ９０が上方突出状に
形成されている。そして、後述するように、バンプ９０を介してＦＰＣ３５の端子部５３
（図９参照）が個別電極３５に電気的に接続される。尚、本実施形態では、バンプ９０は
略半球状に形成されており、その高さは３５μｍ程度となっている。

共通電極３４は、図示しない領域において接地されており、共通電極３４は、全ての圧
力室１０に対向する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、個別電極３
５は、各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができるように、各個別電
極３５ごとに独立した導体部を有する次述のＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ８０に接続
されている（図１及び図２参照）。

次に、アクチュエータユニット２１の複数の個別電極３５とドライバＩＣ８０とを電気
的に接続するＦＰＣ５０について説明する。
図９に示すように、ＦＰＣ５０は、ポリイミドフィルムからなるベース材５１と、この
ベース材５１の下側の面に銅箔等の導電性金属により形成された複数の導体部５２とを有
する。そして、複数の導体部５２により、ドライバＩＣ８０（図１、図２参照）と複数の
個別電極３５の各々とを個別に接続する配線パターンが形成されている。また、各導体部
５２の末端部には、端子部５３が設けられ、銅箔の端子部５３の表面は半田等の導電性ろ
う材からなる接合材５４で覆われている。

さらに、ＦＰＣ５０の下面側には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂により、端子部５３
を含む導体部５２を覆う電気絶縁性の合成樹脂層５５が塗布されている。そして、この合
成樹脂層５５を、個別電極３５のランド部３５ｂに設けられた複数のバンプ９０が貫通し
ており、接合材５４を介してバンプ９０が導体部５２末端の端子部５３に接合されている
。つまり、バンプ９０を介して、ＦＰＣ５０の導体部５２と個別電極３５とが電気的に接
続されている。また、バンプ９０と端子部５３との接続部においては、合成樹脂層５５が
アクチュエータユニット２１の表面まで達して、合成樹脂層５５がＦＰＣ５０とアクチュ
エータユニット２１とに亙って形成されており、その接続部の強度がより高いものとなっ
ている。

次に、アクチュエータユニット２１の作用について述べる。アクチュエータユニット２
１の最上層の圧電シート４１の分極方向はその厚み方向であり、アクチュエータユニット
２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性層が存在す
る層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層
とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５に正又は
負の所定電圧を印加すると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電
極に挟まれた電界印加部分が活性層として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に
縮む。一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないの
で、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方
向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるよ
うに変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電
シート４１〜４４の下面は、キャビティプレート２２に形成された、圧力室１０を区画す
る隔壁の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室１０側へ凸
になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し
、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に
戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るの
で、インクをマニホールド５側から吸い込む。

また、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき
、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定の
タイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この
場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１
〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異な
る状態）と比較して増加し、インクがマニホールド５側から圧力室１０内に吸い込まれる
。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート
４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインク
への圧力が上昇し、インクが吐出される。

次に、このインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。まず、キャビティプ
レート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マ
ニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の９
枚のプレート２２〜３０を、その内部に個別インク流路３２が形成される状態に積層して
接着剤により接合し、流路ユニット４を作製する。

次に、アクチュエータユニット２１を以下のような工程で作製する。まず、チタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック粉末、バインダ及び溶剤を混合して、ＰＥＴ（ポリ
エチレンテレフタレート）等の樹脂フィルム上に広げて乾燥させたグリーンシートを形成
する。このグリーンシートは、１枚で複数のアクチュエータユニット２１の圧電シートを
形成することができる、比較的大判のものである。

そして、圧電シート４１となるグリーンシートの表面に、導電性ペーストを印刷して複
数の個別電極３５を形成する。また、圧電シート４２となるグリーンシートの表面に、導
電性ペーストを印刷して共通電極３４を形成する。そして、４枚の圧電シート４１〜４４
となる４枚のグリーンシートを積層方向に加圧して一体化させた後、この大判のグリーン
シートの積層体から、１つのインクジェットヘッド１に対応するアクチュエータユニット
２１に対応する領域を切り出し、切り出されたグリーンシートの積層体を焼成する。
そして、流路ユニット４（キャビティプレート２２）の表面に接着剤を塗布して、アクチ
ュエータユニット２１を流路ユニット４に接着する。

次に、図１０（ａ）に示すように、圧電シート４１の上面に、平面視で圧力室１０に重
ならない領域に形成された複数の個別電極３５のランド部３５ｂを、多数の孔を有するメ
タルマスクで覆った状態で、Ａｇを含む導電性ペーストを印刷することにより、複数のラ
ンド部３５ｂに、略半球状に突出する複数のバンプ９０を夫々形成する（第１工程）。

一方、ＦＰＣ５０の端子部５３の表面に半田等の導電性ろう材からなる接合材５４の層
を形成してから、ＦＰＣ５０の下面全体に未硬化の熱硬化性樹脂を印刷等の方法により塗
布し、導体部５２の全体を覆う未硬化の合成樹脂層５５を形成する（第２工程）。尚、こ
のとき、温度等の諸条件を適切に調整して、合成樹脂層５５をＦＰＣ５０から垂れ落ちな
い程度の未硬化（半硬化）の状態に維持しておく。

次に、図１０（ｂ）に示すように、バンプ９０に対するＦＰＣ５０の端子部５３の位置
を合わせてから、ＦＰＣ５０を圧電シート４１側に押しつけることにより、未硬化の合成
樹脂層５５に複数のバンプ９０を押し当てて合成樹脂層５５を貫通させ、複数のバンプ９
０の先端と端子部５３表面の接合材５４とを接触させる（第３工程）。このとき、端子部
５３に接触したバンプ９０の表面が未硬化の合成樹脂により覆われることになる。ここで
、合成樹脂層５５は未硬化の状態であるため、バンプ９０の形状が尖鋭な形状でない半球
状であっても、バンプ９０が容易に合成樹脂層５５を貫通することができる。さらに、合
成樹脂層５５の厚さや硬化度合等の条件を適宜設定することにより、合成樹脂層５５にバ
ンプ９０を貫通させたときに、図１０（ｂ）に示すように、バンプ９０の表面を覆う未硬
化の合成樹脂がランド部３５ｂ（アクチュエータユニット２１）の表面にまで達すること
が好ましい。

尚、本実施形態においては、導体部５２の厚さは９μｍ程度である。一方、導体部５２
を覆う合成樹脂層５５は１５〜２０μｍ程度であり、合成樹脂層５５により導体部５２が
確実に被覆されるとともに、合成樹脂層５５にバンプ９０を貫通させた状態では未硬化の
合成樹脂がランド部３５ｂの表面にまで達する厚さとなっている。また、本実施形態では
、合成樹脂層５５が未硬化状態であり、バンプ９０を端子部５３に接触させる際にバンプ
９０が合成樹脂層５５を貫通しやすくなっているため、バンプ９０は略半球状に形成され
ている。しかし、バンプ９０が合成樹脂層５５を貫通した上で、バンプ９０と端子部５３
との、より確実な電気的導通を確保するという観点からは、バンプ９０の先端形状は尖鋭
な形状に形成されることが好ましい。

次に、熱硬化性樹脂である未硬化の合成樹脂層５５を加熱して（例えば、１５０℃）、
合成樹脂層５５を硬化させる（第４工程）。さらに加熱することにより（例えば、２４０
℃）接合材５４を溶融させ、バンプ９０と端子部５３とを接合材５４により接合する。こ
のように、バンプ９０を覆う合成樹脂層５５を硬化させ、さらに、バンプ９０と端子部５
３とを接合材５４を用いて接合させることにより、ＦＰＣ５０の端子部５３と個別電極３
５側のバンプ９０との接合強度が高くなる。また、前述のように、バンプ９０の表面を覆
う未硬化の合成樹脂がランド部３５ｂの表面にまで達している場合には、ＦＰＣ５０の端
子部５３と個別電極３５側のバンプ９０との接合強度が高まり、その電気的接続の信頼性
がより向上する。さらに、合成樹脂層５５が、バンプ９０と端子部５３との接触部分を含
んだ状態でバンプ９０を覆うため、端子部５３の上に形成されている接合材５４が溶融し
ても、隣接する導体部５３との電気的絶縁性が十分に確保される。

以上説明したインクジェットヘッド１の製造方法では、ＦＰＣ５０に未硬化の合成樹脂
層５５を塗布により形成してから、アクチュエータユニット２１側のバンプ９０を押しつ
けて合成樹脂層５５を貫通させることにより、導体部５２を合成樹脂層５５により確実に
絶縁しつつ、バンプ９０と端子部５３とを容易に接触させることができる。そのため、従
来の製造方法（図１２参照）のように、ＦＰＣ５０側に絶縁用のカバーコートが不要とな
り、さらに、導体部５２の端子部３５を露出させるために端子部３５付近のカバーコート
を高精度に開口させる工程も不要となり、ＦＰＣ５０の製造コストを低減できる。また、
アクチュエータユニット２１側にバンプ９０を設けるため、ＦＰＣ５０の端子部５３の大
きさは、バンプ９０の先端が確実に接触することのできる大きさがあれば十分であること
から、カバーコートの開口精度等を勘案して端子部５３を大き目に形成する必要のある、
ＦＰＣ５０側にバンプ９０を設ける従来の製造方法（図１２参照）と比較して、端子部５
３の大きさ（図９のＡ１）を小さくすることができ、その分、ＦＰＣ５０の配線密度を粗
くすることが可能になる。さらに、合成樹脂層５５が未硬化の状態で、合成樹脂層５５に
バンプ９０を押し当てるため、合成樹脂層５５を貫通させるためにバンプ９０の先端を尖
鋭な形状にする必要がなく、バンプ９０の形成が容易である。

また、前述したように、ＦＰＣ５０の端子部５３と個別電極３５とを電気的に接続する
バンプ９０は、平面視で圧力室１０と重なる領域に設けられた主電極部３５ａ上ではなく
、主電極部３５ａから平面視で圧力室１０と重ならない領域まで引き出されたランド部３
５ｂ上に設けられている。そのため、バンプ９０と端子部５３とを接合したときに、溶融
した接合材５４や未硬化の熱硬化性樹脂がランド部３５ｂの表面に付着した状態でも、ド
ライバＩＣ８０からＦＰＣ５０及びバンプ９０を介してランド部３５ｂに駆動信号が入力
されたときに、圧電シート４１〜４４の、圧力室１０に対向する部分の変形が阻害される
ことがなく、インクを安定して吐出することが可能になる。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施
形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
１］前記実施形態では、熱硬化性樹脂を硬化させた後に、接合材５４を溶融させてバンプ
９０と端子部５３とを接合するようにしているが、別の硬化温度の熱硬化性樹脂や、別の
溶融温度の接合材を適宜選択することにより、接合材５４を溶融させてバンプ９０と端子
部５３とを接合してから、合成樹脂層５５を硬化させるようにしてもよい。

２］前記実施形態のように、接合材５４を用いてバンプ９０と端子部５３とを接合する場
合には、その接合だけで比較的高い接合強度を確保できるため、バンプ９０により合成樹
脂層５５を貫通させたときに、未硬化の合成樹脂層５５がランド部３５ｂ（アクチュエー
タユニット２１の表面）に達して、合成樹脂層５５がＦＰＣ５０とアクチュエータユニッ
ト２１に亙って形成される必要は必ずしもない。即ち、合成樹脂層５５がバンプ９０の表
面を部分的にしか覆っていない状態で合成樹脂層５５を硬化させてもよい。

３］バンプ９０と端子部５３とを接合する必要は必ずしもなく、バンプ９０と端子部５３
が単に接触しているだけの状態で、合成樹脂層５５を硬化させることにより、バンプ９０
と端子部５３との電気的接続を完了するようにしてもよい。また、この場合、銅箔等から
なる端子部５３の表面に酸化膜が形成されて、端子部５３とバンプ９０の電気的接続の信
頼性が低下するのを防止するために、端子部５３の表面にＡｕ等の酸化防止層を形成して
もよい。尚、このように、バンプ９０と端子部５３と接合材を用いて接合しない場合には
、バンプ９０と端子部５３との間の接続強度を高めるために、前記実施形態の図１０（ｂ
）に示すように、未硬化の合成樹脂層５５がランド部３５ｂ（アクチュエータユニット２
１の表面）に達して、合成樹脂層５５がＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１に亙っ
て形成されていることが特に好ましい。

４］図１１（ａ）に示すように、少なくとも端子部５３の表面にＳｎの層９５を形成し、
Ａｇを含むバンプ９０と端子部５３側のＳｎ層９５とを接触させた状態で所定温度まで加
熱することにより、図１１（ｂ）に示すように、端子部５３とバンプ９０との間に、Ａｇ
−Ｓｎの金属接合層９６を形成するようにしてもよい。ここで、このＡｇとＳｎという組
み合わせにおける溶融開始の温度は約２３０℃であるので、例えば、接合時の作業温度を
２４０℃に設定して接合層を形成する。この場合には、端子部５３とバンプ９０との間の
接続強度が高まり、電気的接続の信頼性が向上する。

５］複数のバンプを、Ａｇを含む導電性且つ熱硬化性を有する接着材で形成してもよい。
この場合、半硬化状態のバンプで合成樹脂層５５を貫通させて、バンプを端子部５３に接
触させてから、バンプを加熱して硬化させることにより、ＦＰＣ５０の端子部５３と個別
電極３５のランド部３５ｂとを接着するため、ＦＰＣ５０と個別電極３５の電気的接続の
信頼性がより高くなる。

６］前記実施形態においては、大判のグリーンシートの積層体から、１つのインクジェッ
トヘッド１に対応するアクチュエータユニット２１に対応する領域を切り出し、切り出さ
れたグリーンシートの積層体を焼成した後に、個別電極３５のランド部３５ｂの表面にバ
ンプ９０を印刷しているが、大判のグリーンシートの積層体の状態で、ランド部３５ｂの
表面にバンプ９０を印刷してもよい。

７］未硬化の合成樹脂としては、前記実施形態のエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂の他、照
射された紫外線により硬化する紫外線硬化性樹脂など、種々の合成樹脂を用いることがで
きる。

８］前記実施形態は、アクチュエータユニット２１に可撓性を有するＦＰＣ５０を接続す
る場合に本発明を適用した一例であるが、アクチュエータユニット２１にプリント配線板
を接続する場合にも本発明を適用できる。

９］本発明は、例えば、サーマルプリンタやドットプリンタ等のインクジェットヘッド以
外の他の記録ヘッドにも適用可能である。

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。図１のII-II線断面図である。ヘッド本体の平面図である。図３の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図５のVI-VI線断面図である。ヘッド本体の部分分解斜視図である。アクチュエータユニットを示す図であり、（ａ）はアクチュエータユニットの断面図、（ｂ）は個別電極の平面図である。図８（ａ）のIX-IX線断面図である。アクチュエータユニットとＦＰＣとを接続する工程を示す図であり、（ａ）は接続前の状態を示す図、（ｂ）は接続後の状態を示す図である。変更形態のアクチュエータユニットとＦＰＣとを接続する工程を示す図であり、（ａ）は接続前の状態を示す図、（ｂ）は接続後の状態を示す図である。従来の圧電アクチュエータとＦＰＣとの接続部の断面図である。

１インクジェットヘッド
４流路ユニット
８ノズル
１０圧力室
４１〜４４圧電シート
２１アクチュエータユニット
３５ａ主電極部
３５ｂランド部
３５個別電極
３５端子部
５０フレキシブルプリント配線板
５２導体部
５３端子部
５４接合材
５５合成樹脂層
９０バンプ

Claims

圧電シートが変形することで対応するノズルからインク滴を吐出して記録媒体に画像を
形成する複数の記録素子を含む記録ヘッドであり、前記記録素子に対応した前記圧電シー
ト上にそれぞれ形成された複数の個別電極を有するアクチュエータユニットと、前記アク
チュエータユニットの表面と間隔を置いて配され、前記個別電極とそれぞれバンプを介し
て電気的に接続された複数の端子部を有し、前記端子部から前記個別電極に前記圧電シ−
トを変形させる為の信号を供給するプリント配線板とを備え、
前記個別電極において、供給された信号によって変形する前記圧電シートの変形部に対
応して配置された主電極部と前記バンプを介して前記端子部と接続する前記主電極部から
引き出されたランド部とを有した記録ヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエータユニットの表面に、前記複数の個別電極と夫々電気的に接続された
導電性の複数の前記バンプを前記ランド部に突出状に形成する第１工程と、
前記プリント配線板の前記端子部を覆う未硬化の合成樹脂層を、前記端子部に対応した
前記バンプ側の表面からの厚さが、前記バンプの突出量よりも小さくなるように塗布する
第２工程と、
前記プリント配線板に塗布された前記未硬化の合成樹脂層に前記複数のバンプを押し当
ててこの合成樹脂層を貫通させ、前記複数のバンプと前記配線部分の端子部とを接触させ
る第３工程と、
前記合成樹脂層の一部が、前記バンプと前記端子部との接触部分を含んだ状態で前記バ
ンプの一部を覆い、且つ前記合成樹脂層の一部とは別の他部が、前記アクチュエータユニ
ットの表面と間隔を置いた状態で、前記合成樹脂層を硬化させる第４工程と、
を備えたことを特徴とする記録ヘッドの製造方法。
前記バンプと前記端子部とを接触状態とし、前記合成樹脂層を硬化させることにより、
前記バンプと前記端子部との電気的接続を完了することを特徴とする請求項１に記載の記
録ヘッドの製造方法。
前記端子部は、表面に酸化防止層を有することを特徴とする請求項２に記載の記録ヘッ
ドの製造方法。
前記端子部は、導電性ろう材からなる接合材を有し、
前記第４工程において合成樹脂層を硬化させた後に、加熱することにより前記接合材を
溶融させ、前記バンプと前記端子部とを前記接合材を用いて接合することを特徴とする請
求項１に記載の記録ヘッドの製造方法。
前記合成樹脂層は、熱硬化性樹脂であり、
前記第４工程において、前記未硬化の合成樹脂層を加熱して、前記合成樹脂層を硬化さ
せ、その後、前記第４工程の加熱温度よりも高い温度で加熱することにより前記接合材を
溶融させ、前記バンプと前記端子部とを接合することを特徴とする請求項４に記載の記録
ヘッドの製造方法。
前記第３工程において、前記複数のバンプを前記合成樹脂層に押し当ててこの合成樹脂
層を貫通させたときに、未硬化の合成樹脂の一部が前記バンプの表面に沿って前記アクチ
ュエータユニットの表面まで達することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の記録
ヘッドの製造方法。
前記バンプは、半球状または先端形状が先鋭な形状に形成されることを特徴とする請求
項１〜６の何れかに記載の記録ヘッドの製造方法。
前記記録素子は、液体が外部から供給される共通液体流路および前記共通液体流路の出
口から前記圧力室を介して液体を吐出するノズルに至るインク流路を有し、前記複数の圧
力室が一表面に形成された流路形成部材と、当該流路形成部材の一表面に固定された前記
アクチュエータユニットとを含んで構成され、
前記第１工程に先立って、前記流路形成部材と前記アクチュエータユニットとを固定す
る固定工程を備え、
前記固定工程において、前記個別電極の主電極部が前記圧力室に対向し、且つ前記ラン
ド部が前記流路形成部材の前記圧力室を画定する隔壁に対向するように前記アクチュエー
タユニットを前記流路形成部材に固定することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記
載の記録ヘッドの製造方法。
前記複数の圧力室は、前記流路形成部材の一表面においてマトリクス状に隣接配置され
、
前記固定工程において、前記ランド部が、平面視で前記圧力室と重ならない領域に配置
されることを特徴とする請求項８に記載の記録ヘッドの製造方法。
前記アクチュエータユニットは、前記流路形成部材の一表面に固定される前記圧電シー
トを含む複数の前記圧電シートの積層体であって、最上層の前記圧電シートのみが、当該
圧電シートの厚み方向に分極され、且つ前記個別電極と接地された共通電極とに挟まれて
おり、
前記個別電極を前記共通電極と異なる電位にしたとき前記最上層の圧電シートが圧電横
効果によって前記分極方向と直交する方向に変位することを特徴とする請求項１〜９のい
ずれかに記載の記録ヘッドの製造方法。
圧電シートが変形することで対応するノズルからインク滴を吐出して記録媒体に画像を
形成する複数の記録素子を含む記録ヘッドであって、前記記録素子に対応した前記圧電シ
ート上にそれぞれ形成された複数の個別電極を備えたアクチュエータユニットと、前記ア
クチュエータユニットの表面と間隔を置いて配され、前記個別電極とそれぞれバンプを介
して電気的に接続された複数の端子部を有し、前記端子部から前記個別電極に前記圧電シ
−トを変形させる為の信号を供給するプリント配線板とを備え、
前記個別電極は、供給された信号によって変形する前記圧電シートの変形部に対応して
配置された主電極部と前記バンプを介して前記端子部と接続する前記主電極部から引き出
されたランド部とを有し、
前記アクチュエータユニットの表面に、前記複数の個別電極と夫々電気的に接続された
導電性の複数の前記バンプが前記ランド部に突出状に形成され、
前記プリント配線板の前記端子部を覆って合成樹脂層が形成され、この合成樹脂層は、
前記端子部の前記バンプ側の表面からの厚さが、前記バンプの突出量よりも小さいもので
あり、
前記複数のバンプが、前記合成樹脂層を貫通して前記端子部と接触しており、
前記合成樹脂層の一部は、前記バンプと前記端子部との接触部分を含んだ状態で前記バ
ンプの少なくとも一部を覆うとともに、前記合成樹脂層の前記一部とは別の他部は、前記
アクチュエータユニットの表面と間隔を置いた状態であることを特徴とする記録ヘッド。
前記合成樹脂層の前記一部は、前記バンプの表面に沿って前記プリント配線板と前記ア
クチュエータユニットに亙って形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の記録
ヘッド。
前記記録素子は、液体が外部から供給される共通液体流路および前記共通液体流路の出
口から前記圧力室を介して液体を吐出するノズルに至るインク流路を有し、前記複数の圧
力室が一表面に形成された流路形成部材と、当該流路形成部材の一表面に固定された前記
アクチュエータユニットとを含んで構成され、
前記個別電極の主電極部が前記圧力室に対向し、且つ前記ランド部が前記流路形成部材
の前記圧力室を画定する隔壁に対向するように前記アクチュエータユニットを前記流路形
成部材に固定されていることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の記録ヘッド。
前記複数の圧力室は、前記流路形成部材の一表面においてマトリクス状に隣接配置され
、
前記ランド部が、平面視で前記圧力室と重ならない領域に配置されていることを特徴と
する請求項１３に記載の記録ヘッド。
前記アクチュエータユニットは、前記流路形成部材の一表面に固定される前記圧電シー
トを含む複数の前記圧電シートの積層体であって、最上層の前記圧電シートのみが、当該
圧電シートの厚み方向に分極され、且つ前記個別電極と接地された共通電極とに挟まれて
おり、
前記個別電極を前記共通電極と異なる電位にしたとき前記最上層の圧電シートが圧電横
効果によって前記分極方向と直交する方向に変位することを特徴とする請求項１１〜１４
のいずれかに記載の記録ヘッド。