JP2005280044A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 金属ボールが所望電極以外の電極に付着するのを抑制する。
【解決手段】 ベースフィルム４９の上面に複数の導体４８を形成する。次に、ベースフィルム４９の上面における孔４５の底面幅をｄとし、ベースフィルム４９の上面における孔４５の底面縁からベースフィルム４９の下面における孔４５の開口縁とを結ぶ直線とベースフィルム４９の上面とがなす傾斜角をθとし、孔４５の中心と当該孔４５と隣接する他の孔４５と対向するランド部３６の周縁との距離をＲとし、ベースフィルム４９の厚みをｔとしたときに、Ｒ＞ｄ／２＋ｔ／ｔａｎθを満たすような底面幅ｄ及び傾斜角θを有する孔４５を形成する。次に、孔４５によって露出した導体４８に半田ボール８０を孔４５を介して固着する。次に、半田ボール８０を加熱して溶融しつつ、個別電極３５のランド部３６と導体４８とを溶融した半田ボール８０を介して接合する。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法に関する。

特許文献１には、絶縁部材であるポリイミド上に回路パターンである銅箔が形成されたフレキシブル回路基板と、フレキシブル回路基板の片側にマウントされ銅箔と電気的に接続されたＩＣチップとを含んでなる半導体装置について記載されている。この半導体装置のフレキシブル回路基板のポリイミドには、スルーホールが形成されており、そのスルーホールを介して露出した銅箔が半導体装置の電極部となっている。スルーホールは、銅箔から離れるにつれその径が拡大して行くようなテーパ形状に形成されている。このように半導体装置の電極部を形成するスルーホールがテーパ形状を有しているので、半導体装置の電極部とマザーボードである回路基板の電極部とを半田ボールで接合した場合に、半導体装置と回路基板との間の熱膨張係数差による熱応力ストレスが半田ボールに集中しにくくなり、半田ボールの耐クラック性が向上する。

特開平１１−２５１３５３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の技術においては、スルーホールのテーパ角度とスルーホールが形成されたポリイミドの厚みとの関係について記載されていない。したがって、高密度化、高集積化に対応するために所定テーパ角度を有するスルーホールが分厚いポリイミドに形成されると、導体から最も離れたスルーホールの開口縁が当該スルーホールに隣接する他のスルーホールの開口縁と干渉又は近接する可能性がある。スルーホールの開口縁同士が干渉又は近接すると、スルーホールに存在する半田ボールが、半導体装置の電極部と接合される回路基板の電極部と隣接する回路基板の他の電極部に付着し、短絡する問題が生じる。

ところで、インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。

かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成された共通電極と、各圧力室に対向して配置された複数の個別電極とで挟み込んだ複数のアクチュエータユニットを有するものが知られている（例えば、特開２００３−３１１９５３号公報参照）。個別電極及び共通電極に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シートの部分は、フレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）に電気的に接続された個別電極がＦＰＣからの駆動電圧の供給によって共通電極と異なる電位にされると、いわゆる圧電縦効果により積層方向に伸縮する。これにより圧力室内の容積が変動し、圧力室に連通したノズルから記録媒体に向けてインクを吐出することが可能となっている。このようなインクジェットヘッドの個別電極とＦＰＣとの接続に上述した特許文献１に記載の技術を利用した場合であっても同様の問題が残り、個別電極間が短絡する可能性がある。

そこで、本発明の目的は、金属ボールが所望電極以外の電極に付着するのを抑制することができ、さらなる高密度化、高集積化に対応可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、平面に沿って形成された複数の電極と、前記電極とそれぞれ電気的に接続された複数の導体が一方の面に形成された基材とを含んだインクジェットヘッドの製造方法において、前記基材の一方の面において前記電極と対向する位置に前記導体を形成する工程と、前記基材の一方の面から前記一方の面と平行な前記基材の他方の面に向かって拡大した孔を前記基材に形成する工程と、前記他方の面から前記孔を介して露出した前記導体に金属ボールを固着させる工程と、前記金属ボールを加熱して溶融するとともに溶融した前記金属ボールを介して前記導体を前記電極に接合する工程とを備えている。そして、前記拡大した孔を形成する工程において、前記一方の面における前記孔の開口幅をｄ、前記一方の面における前記孔の開口縁と前記他方の面における前記孔の開口縁とを結ぶ直線と前記一方の面とがなす傾斜角をθ、前記孔の中心と当該孔に対向する前記電極に隣接する他の電極の周縁との距離をＲ、前記基材の厚みをｔとしたときに、Ｒ＞ｄ／２＋ｔ／ｔａｎθを満たすような開口幅ｄ及び傾斜角θを有する前記孔を形成する。

これにより、電極と導体とを溶融した金属ボールで接合したときに、当該電極に隣接した他の電極に対して、導体と当該電極とを接合する溶融した金属ボールの付着を抑制することが可能になる。また、高密度化、高集積化に対応可能なインクジェットヘッドを製造することができる。

本発明において、前記距離Ｒは、前記孔と前記他の電極に対向する他の孔との中心間距離をＬ、前記電極の電極幅をＤ、前記導体を前記電極に接合する工程における前記孔の中心と前記電極の中心との位置ズレ距離をＥとしたときに、Ｌ−Ｄ／２−Ｅに等しいことが好ましい。これにより、距離Ｒが位置ズレ距離Ｅを考慮した値となるので、導体を電極に接合する工程において、孔の中心と電極の中心との位置が多少ずれても、当該電極に隣接した他の電極に対して、導体と当該電極とを接合する溶融した金属ボールの付着を抑制することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の一実施形態に係る製造方法によって製造されたインクジェットヘッドについて説明する。図１は、本実施の形態によるインクジェットヘッド１の斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図であり、インクジェットヘッドを構成するホルダにヘッド本体が組み付けられた状態を示している。図３は、図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。インクジェットヘッド１は、シリアル式のインクジェットプリンタ（図示略）に用いられて、副走査方向に平行に搬送されてきた用紙に対してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクを吐出して記録するものである。図１及び図２に示すようにインクジェットヘッド１は、４色のインクをそれぞれ貯溜する４つのインク室３が形成されたインクタンク７１と、このインクタンク７１の下方に配置されたヘッド本体７０とを備えている。

インクタンク７１の内部には、４つのインク室３が主走査方向に並んで形成されており、図２中左方のインク室３からマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが順に貯溜されている。これら４つのインク室３は、対応するインクカートリッジ（図示せず）がチューブ４０（図１参照）によってそれぞれ接続されており、インクカートリッジからインク室３に各色のインクが供給されるようになっている。また、図２及び図３に示すようにインクタンク７１が、平面矩形形状の補強板４１に組み付けられている。この補強板４１は、略直方体形状を有するホルダ７２に紫外線型硬化剤４３で固着されている。さらに、この補強板４１には図３に示すように、平面形状が長方形形状の開口部４２が形成されており、この開口部４２内に後述のアクチュエータユニット２１を配置するようにしてヘッド本体７０が接着固定されている。インクタンク７１の下端部には、４つのインク室３にそれぞれ連通する４つのインク導出口３ａが形成されている。一方、補強板４１には、図３に示すように、４つのインク導出口３ａとそれぞれ連なる平面形状が楕円形状の４つの貫通孔４１ａが形成されている。

ヘッド本体７０は、それぞれの色ごとに複数のインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成であり、これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１はインクタンク７１の下方に配置されている。流路ユニット４の上面には、平面形状が楕円形状の４つのインク供給口４ａ（図４参照）が形成されている。また、図３に示すように補強板４１には、補強板４１に形成された貫通孔４１ａと流路ユニット４に形成されたインク供給口４ａとがそれぞれ連なるようにして流路ユニット４が接着されている。この構成により、インクタンク７１内の４種類のインクが、インクタンク７１に形成された４つのインク導出口３ａ及び補強板４１に形成された４つの貫通孔４１ａを通ってそれぞれに対応する流路ユニット４の４つのインク供給口４ａから流路ユニット４内に供給されている。

また、ヘッド本体７０は、流路ユニット４のインク吐出面７０ａを外部に露出する状態で、補強板４１がホルダ７２の下面に形成された段付き状の開口部７２ａに装着されており、ホルダ７２と流路ユニット４との間はシール剤７３により封止されている。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接合され主走査方向の一方に引き出されるとともに、屈曲しながら上方に引き出されている。ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分における上面には、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を保護する保護プレート４４が貼付されている。

アクチュエータユニット２１に接合されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材７４を介してインクタンク７１の側面に沿うように引き出され、このＦＰＣ５０上にドライバＩＣ７５が設置されている。一方で、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ７５から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、ハンダ付けによって電気的に接合されている。

図２において、ホルダ７２のドライバＩＣ７５に対向する側壁には、ドライバＩＣ７５の熱を外部に放散する為の開口部７２ｂが形成されている。さらに、ドライバＩＣ７５とホルダ７２の開口部７２ｂとの間には、略直方体形状のアルミ板からなるヒートシンク７６が配置されている。さらに、ドライバＩＣ７５は、間にＦＰＣ５０を挟んで弾性部材７４によりヒートシンク７６に対して押圧されている。これらヒートシンク７６及び開口部７２ｂにより、ドライバＩＣ７５で発生した熱を効率的に散逸させることができる。また、開口部７２ｂ内には、ホルダ７２の側壁とヒートシンク７６の隙間を埋めるためのシール剤７７が配置されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。

図４は、ヘッド本体７０の平面図である。図４に示すように、ヘッド本体７０は流路ユニット４の一方向（副走査方向）に延在した矩形平面形状を有している。図４において、流路ユニット４内には、流路ユニット４の長手方向（一方向）に沿って互いに平行に延在された４つのマニホールド流路５が形成されている。これらマニホールド流路５には、流路ユニット４の４つのインク供給口４ａを通じてインクタンク７１のインク室３からそれぞれインクが供給される。本実施の形態では、図４中の４つのマニホールド流路５は上方から下方に向かって順にマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックに対応するマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋとなっている。これら４つのマニホールド流路５Ｍ，５Ｙ，５Ｃ，５Ｋのうち、３つのマニホールド流路５Ｍ，５Ｙ，５Ｃは流路ユニット４の幅方向（主走査方向）において等間隔に配置されており、マニホールド流路５Ｋは３つのマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃの配置間隔より大きい配置間隔でマニホールド流路５Ｃから離隔された位置（図４中流路ユニット４の下方位置）に形成されている。また、流路ユニット４の上面であって４つのインク供給口４ａを覆う位置には、フィルタ部材３８が配置されている。フィルタ部材３８は、各インク供給口４ａと重なる位置に複数の微小孔が形成されたフィルタ３８ａを有している。こうして、インクタンク７１から流路ユニット４内に流通するインク内のゴミなどがフィルタ部材３８のフィルタ３８ａによって捕獲される。

流路ユニット４の上面には、平面形状が長方形形状のアクチュエータユニット２１が、インク供給口４ａを避けたほぼ中央部分に接着されている。アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着領域と対応する流路ユニット４の下面は、多数のノズル８が配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の接着領域には、マトリクス状に配列された多数の圧力室１０（図６参照）及び空隙６０（図５参照）が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１はすべての圧力室１０及び空隙６０に跨る寸法を有している。

図５は、図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。流路ユニット４には、多数の圧力室１０がマニホールド流路５と平行に配列された１６本の圧力室列１１と、多数の空隙６０が圧力室列１１と平行に配列された４本の空隙列６１とが形成されている。１６本の圧力室列１１は、隣接して形成された４本の空隙列６１の集団によって、１２本の集団と４本の集団とに隔てられている。図５に示すように、圧力室１０及び空隙６０は平面形状及びサイズが同じである。多数の圧力室１０及び空隙６０は、両者を区別のないものと考えたときに、流路ユニット４において１つの配列パターンが形成されるように規則的に配列されている。

流路ユニット４に形成された圧力室１０は、角部にアールが施された菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向（主走査方向）に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通している。これにより、各マニホールド流路５には、ノズル８に連通して圧力室１０毎に形成された多数の個別インク流路７（図６参照）が接続されている。図５には、図面を分かりやすくするために流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１３及びノズル８等を実線で描いている。

図６は、個別インク流路を示す断面図であり、図５に示すVI−VI線に沿った断面図である。図６から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャ（すなわち絞り）１３を介してマニホールド流路５と連通している。すなわち、マニホールド流路５の出口からアパーチャ１３、圧力室１０を経てノズル８に至る１つの流路が構成されている。このようにして、ヘッド本体７０には、個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。

ヘッド本体７０は、図６に示すように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６〜２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図７参照）が積層され、そのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０及び空隙６０を構成する菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲（接着領域）内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。

アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３とマニホールド流路５との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６〜２９は、マニホールド流路５に加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。

これら１０枚のシート２１〜３０は、図６に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、マニホールド流路５からまず上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。

図６から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。

図５に戻って、各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通していると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通している。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図７参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図５には、図面を簡略にするために、複数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。

また、キャビティプレート２２に形成された複数の空隙６０は、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれることによって画定されている。そのため、空隙６０にはインク流路が接続されておらず、複数の空隙６０はインクで満たされることがない。複数の空隙６０は、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向に千鳥状配列パターンでマトリクス状に隣接配置されている。複数の空隙６０は、互いに平行な４列の空隙列６１を形成しており、それら４列の空隙列６１によって空隙群６２が構成されている。この空隙群６２を挟むようにして複数の圧力室１０が流路ユニット４に形成されている。

なお、本実施の形態では、圧力室１０も空隙６０もその形状、サイズ、配置状態に区別なく形成されている。そして、全体的には、圧力室１０と空隙６０とが、配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向に千鳥状配列パターンでマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向（一方向）、すなわち流路ユニット４の延在方向であって、圧力室１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす圧力室１０の一斜辺方向である。

配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って解像度に対応した間隙を介して配置されている。例えば、本実施の形態では、ノズル８は１５０ｄｐｉの解像度による印字を可能とするため、隣接する圧力室１０は配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔されている。

圧力室１０は、アクチュエータユニット２１内において、配列方向Ｂに沿って４つの空隙６０を挟むようにして１６個並べられているとともに、図５の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に沿って２つの空隙６０を挟むようにして８個並べられている。

マトリクス状に配置された多数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、１６列の圧力室列１１を形成している。１６列の圧力室列１１は、第３の方向から見て、各マニホールド流路５との相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の幅方向（主走査方向）における一方から他方（図５中上方から下方）に向けて、１１ｃ→１１ａ→１１ｄ→１１ｂ→１１ｃ→１１ａ→・・１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。これら周期的に配置されて隣接した第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄが１つの圧力室列群１２を形成している。各圧力室列群１２の圧力室１０が各マニホールド流路５とそれぞれアパーチャ１３を介して連通している。つまり、各圧力室列群１２はマニホールド流路５毎に形成されているため、４つの圧力室列群１２は４色のインクに対応するように圧力室列群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋとなっている。これら４つの圧力室列群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋのそれぞれに属する圧力室１０がアクチュエータユニット２１によって容積変化されることで４色のインクを各圧力室列群１２に属する圧力室１０と連通したノズル８から吐出することが可能になる。

第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在しているとともにそれぞれ対応する圧力室１０の下端部の左側付近と隣接している。一方、第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図４の紙面上側に偏在しているとともに、それぞれ対応する圧力室１０の上端部の右側付近と隣接している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、マニホールド流路５と重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃのほぼ全領域が、マニホールド流路５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８がマニホールド流路５ａと重ならないようにしつつ、マニホールド流路５の幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０と同じ配列パターンで多数の個別電極３５がマトリクス状に配置されている。各個別電極３５は、平面視において圧力室１０と対向する位置に配置されている。このように複数の圧力室１０及び個別電極３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。

図７は、アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。なお、図７（ａ）、（ｂ）においては各個別電極３５と電気的に接続されたＦＰＣ５０を２点鎖線で描いている。図７（ａ）、（ｂ）に示すように、個別電極３５は圧力室１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１０の平面領域内に形成された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０の平面領域外に形成された補助電極領域３５ｂとから構成されている。

図７（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、ヘッド本体７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。

最上層の圧電シート４１上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図７（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける図７（ｂ）中左側の一鋭角部は、圧力室１０の一鋭角部と重なる領域に延出され、補助電極領域３５ｂとつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド部３６が設けられている。図７（ｂ）に示すように、ランド部３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向しており、その直径が約０．３ｍｍとなっている。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図７（ａ）に示すように、補助電極領域３５ｂにおける表面上に形成されている。

最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、圧電シート４１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。

共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。

図７（ａ）に示すようにＦＰＣ５０は、ベースフィルム４９（基材）と、その上面に形成された複数の導体４８とを含んでなる。本実施の形態において、ベースフィルム４９は略３８μｍの厚みを有したポリイミド樹脂フィルムからなるが、例えば、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリスチレン及びポリプロピレンなどの樹脂フィルムから構成されていてもよい。ベースフィルム４９には、図７（ａ）中下方に向かって拡大されたテーパ形状の孔４５が個別電極３５のランド部３６と対向する位置にそれぞれ形成されている。孔４５は、ベースフィルム４９の下面における孔４５の開口４５ａが孔４５の底面（図７（ａ）におけるベースフィルム４９の上面部分であって孔４５を塞いだ後述する導体４８の接合部４６の下面）４５ｂ部分の面積より大きな開口面積を有している。

導体４８は、銅箔により形成されている。導体４８は、個別電極３５のランド部３６と対向する位置であってベースフィルム４９の上面において孔４５を塞ぐように形成された接合部４６と、接合部４６からＦＰＣ５０の基端側に向かって引き出されドライバＩＣ７５に接続された引き出し部４７とを有しており、ベースフィルム４９の上面において、所定のパターンを形成している。導体４８の接合部４６は、その下面（孔４５の底面４５ｂ）とランド部３６とが後述の溶融した半田ボール（金属ボール）８０によって接合されている。このように導体４８は、各個別電極３５にそれぞれ対応するように独立してベースフィルム４９に複数形成され、対応する各個別電極３５にそれぞれ接合されている。したがって、各ランド部３６と電気的に接続された各個別電極３５は、それぞれＦＰＣ５０における独立した導体４８を介してドライバＩＣ７５に接続される。これにより、圧力室１０ごとに電位を制御することが可能となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

本実施の形態では、圧電シート４１において個別電極３５と共通電極３４とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性部として働く。一方、圧電シート４１の下方にある３枚の圧電シート４２〜４４は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性部としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート４１において主に主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図７（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４４で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路５側から吸い込む。

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド流路５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル８からインクが吐出されると共に、インクジェットヘッド１が適宜、主走査方向に移動され用紙に所望画像が印刷される。

次に、上述したインクジェットヘッド１の製造方法について、図８〜図１１を参照しつつ説明する。図８及び図９は、インクジェットヘッド１の製造工程図である。図１０は、ＦＰＣ５０の製造工程を示しており、（ａ）ベースフィルム４９の下面にフォトレジストを形成した状況を示す図であり、（ｂ）はベースフィルム４９の孔４５を介して導体４８の下面に半田ボールを付着させる状況を示す図であり、（ｃ）は個別電極３５のランド部３６に半田ボールを介して導体４８を接合する状況を示した図である。図１１は、ＦＰＣ５０と個別電極３５とが接合された状況を示す断面図である。

インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１などの部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット４を作製する。流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜３０に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図６に示すような孔を各プレート２２〜３０に形成する。その後、個別インク流路７が形成されるように位置合わせされた９枚のプレート２２〜３０を、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。そして、９枚のプレート２２〜３０を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して９枚のプレート２２〜２８が互いに固着され、図６に示すような流路ユニット４が得られる。

一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシートを複数用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうちの一部のグリーンシート上に、導電性ペーストを共通電極３４のパターンにスクリーン印刷する。そして、治具を用いてグリーンシート同士を位置合わせしつつ、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを２枚重ね合わせる。

そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、４枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４４となり、導電性ペーストが共通電極３４となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を個別電極３５上に印刷して、ランド部３６を形成する。このようにして、図７に描かれたようなアクチュエータユニット２１を作製することができる。

変形例として、個別電極３５及びランド部３６が形成されていないアクチュエータユニット（本明細書において、このようなものを便宜上アクチュエータユニットということがある）と流路ユニット４との加熱接着後に、アクチュエータユニット上に導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷し、さらに加熱処理を行ってもよい。また、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷したグリーンシートを用意し、その下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを２枚重ね合わせた積層体に加熱処理を施してもよい。

なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット４の圧力室に相当する凹部が多数形成された面に、熱硬化温度が８０℃程度であるエポキシ系の熱硬化性接着剤を、バーコーターを用いて塗布する。熱硬化性接着剤としては、例えば二液混合タイプのものが用いられる。

続いて、ステップ５において、流路ユニット４に塗布された熱硬化性接着剤層状に、アクチュエータユニット２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２１は、活性部と圧力室１０とが対向するように流路ユニット４に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ３）において流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。

次に、ステップ６（Ｓ６）において、流路ユニット４と、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間の熱硬化性接着剤と、アクチュエータユニット２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する。そして、ステップ７（Ｓ７）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。こうして、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とで構成されたヘッド本体７０が製造される。

次に、ステップ８（Ｓ８）において、孔４５が形成されていないベースフィルム４９を準備し、そのベースフィルム４９の一面（上面）全体に接着剤を介して銅箔を貼り付け、図７（ｂ）に示すような導体４８の所定パターンが形成されるように銅箔表面にフォトレジストを形成する。

次に、ステップ９（Ｓ９）において、ベースフィルム４９上の銅箔に対してエッチングを施して、導体４８の所定パターンとなる銅箔以外の銅箔を除去する。こうして、ベースフィルム４９の上面に所定パターンの複数の導体４８が形成される。すなわち、図７（ｂ）に示すような円形の接合部４６と接合部４６から引き出された引き出し部４７とを有する導体４８がベースフィルム４９上に複数形成され、複数の導体４８による所定パターンが構成される。

次に、ステップ１０（Ｓ１０）において、図１０（ａ）に示すようにベースフィルム４９の下面にフォトレジスト９１をパターン形成する。このフォトレジスト９１は、ベースフィルム４９の下面において、ベースフィルム４９に形成される孔４５と対向する領域以外に形成されている。そして、ステップ１１（Ｓ１１）において、ベースフィルム４９の下面側からベースフィルム４９の厚み分だけエッチングを施し、図１０（ｂ）に示すようにベースフィルム４９の導体４８の接合部４６と対向する位置にテーパ形状の孔４５を形成する。この孔４５は、ベースフィルム４９の上面において、その開口が接合部４６によって覆われて塞がれている。つまり、孔４５のベースフィルム４９の上面における開口（底面４５ｂ）は接合部４６の平面積より小さい開口面積となっている。そのため、ベースフィルム４９に孔４５が形成されると、接合部４６の下面の一部が孔４５を介して外部に露出した状態になるとともに、その接合部４６の下面の一部が孔４５の底面４５ｂとなる。なお、孔４５の底面４５ｂは、ベースフィルム４９の上面における孔４５の開口と同じ面積となる。孔４５は、ベースフィルム４９が後工程で加熱されたときに等方的に伸びることを考慮した位置に形成されている。つまり、孔４５はＦＰＣ５０と個別電極３５を接合したときに、孔４５の中心とランド部３６の中心とがほぼ重なるよう形成されている。

ここで、ステップ１０及びステップ１１により、ベースフィルム４９に形成される孔４５についてさらに詳述する。孔４５は、図１１に示すようにヘッド本体７０とＦＰＣ５０とが接合された状態において、ベースフィルム４９の上面における孔４５の底面幅（開口幅）をｄとし、ベースフィルム４９の上面における孔４５の底面縁（開口縁）からベースフィルム４９の下面における孔４５の開口４５ａの開口縁とを結ぶ直線とベースフィルム４９の上面とがなす傾斜角（すなわち、孔４５の側壁の傾斜角）をθとし、図１１中右側の孔４５の中心と図１１中左側の孔４５と対向するランド部３６（図１１中左側のランド部３６）の周縁との距離をＲとし、ベースフィルム４９の厚みをｔとしたときに、Ｒ＞ｄ／２＋ｔ／ｔａｎθの式を満たすような底面幅ｄ及び傾斜角θを有している。なお、距離Ｒは、隣接する孔４５の中心間距離をＬとし、ランド部３６の直径（電極幅）をＤとし、ヘッド本体７０とＦＰＣ５０とが接合されたときに孔４５の中心と当該孔４５と対向するランド部３６の中心との位置ズレ距離をＥとしたときに、Ｌ−Ｄ／２−Ｅに等しくなっている。

このように孔４５の形状決める底面幅ｄ及び傾斜角θが、Ｒ＞ｄ／２＋ｔ／ｔａｎθの式を満たすので、この式をベースフィルム４９の厚みｔを解とする式に変形すると、ｔ＜（Ｒ−ｄ／２）×ｔａｎθとなる。この変形した式に、設計段階での孔４５の形状を決める底面幅ｄ及び傾斜角θや距離Ｒの数値を代入して計算することで、ベースフィルム４９として使用できる厚みｔの範囲が算出される。このようにしてベースフィルム４９の厚みに対応した孔４５の形状を決定し、ベースフィルム４９に孔４５を形成することが可能になる。例えば、中心間距離Ｌが０．６ｍｍ、底面幅ｄが０．３ｍｍ、傾斜角θが２１°、ランド部３６の直径Ｄが０．３ｍｍ及び位置ズレ距離Ｅが０．２ｍｍであった場合、これら値をもとに、まず、距離Ｒを算出する式であるＲ＝Ｌ−Ｄ／２−Ｅに代入して距離Ｒの値を算出する。このときの距離Ｒは、０．６−（０．３／２）−０．２より、０．２５ｍｍとなる。続いて、ベースフィルム４９の厚みｔを算出する式であるｔ＜（Ｒ−ｄ／２）×ｔａｎθに算出された距離Ｒの値、底面幅ｄの値及び傾斜角θの値を代入してベースフィルム４９の厚みｔの値を算出する。このときのベースフィルム４９の厚みｔは、（０．２５−０．３／２）×ｔａｎ２１°より、約０．０３８ｍｍとなる。こうして、底面幅ｄが０．３ｍｍ、傾斜角θが２１°の孔４５をベースフィルム４９に形成する場合においては、ベースフィルム４９の厚みｔが０．０３８ｍｍ以下であれば、所望の孔４５を複数形成することが可能となる。

次に、ステップ１２（Ｓ１２）において、図１０（ｂ）に示すように半田ボール８０の一部にシランカップリング剤８１を塗布し、半田ボール８０を孔４５の形成によって露出された接合部４６の下面にシランカップリング剤８１を介して仮接着する。本実施の形態おいては、半田ボール８０を接合部４６に仮接着しているが、印刷などの公知の方法によって孔４５によって露出された接合部４６の下面に半田を印刷してもよい。

次に、ステップ１３（Ｓ１３）において、ベースフィルム４９とともに半田ボール８０を赤外線やレーザ等で加熱し、半田ボール８０をその融点より高い温度で軟化させ、図１０（ｃ）に示すように露出された接合部４６の下面全体を覆って広がるようになじませる。そして、軟化した半田ボール８０をいったん冷却して固化させる（リフロー工程）。このとき、複数の導体４８の引き出し部４７の先端をドライバＩＣ７５に電気的に接合する。こうして、ＦＰＣ５０が完成する。なお、上述したステップ１２及びステップ１３において、接合部４６に半田ボール８０を仮接着、接合したとき、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）においては、接合部４６の下面側に半田ボール８０を仮接着、接合しているが、孔４５が形成されたベースフィルム４９を上下逆さまにひっくり返してから、接合部４６に半田ボール８０を仮接着、接合してもよい。

変形例として、ステップ８〜ステップ１３までのＦＰＣ５０の製造工程は、ヘッド本体７０を製造する工程（ステップ１〜ステップ７までの工程）と同時に並行して行われていてもよいし、ヘッド本体７０を製造する工程の前に行われてもよい。

次に、ステップ１４（Ｓ１４）において、図１０（ｃ）に示すようにＦＰＣ５０の孔４５の中心と個別電極３５のランド部３６の中心とがほぼ重なるようにして、ＦＰＣ５０とヘッド本体７０とを位置合わせして重ね、再度加熱を行って半田ボール８０を溶融させる。すると、図１１に示すようにＦＰＣ５０の接合部４６と個別電極３５のランド部３６とが溶融した半田ボール８０を介して接合する。ここで、図１１に示すようにＦＰＣ５０の孔４５の中心と個別電極３５の中心とが、位置ズレ距離Ｅ分だけずれて重なっているが、孔４５は位置ズレ距離Ｅを含んだ式を満たしているので、図１１中右側の接合部４６と当該接合部４６と対向するランド部３６とを接合する溶融した半田ボール８０が、図１１中左側の他のランド部３６に付着しない。つまり、孔４５（図１１中右側の孔４５）のベースフィルム４９の下面における開口４５ａの開口縁が、ＦＰＣ５０とヘッド本体７０とが接合されたときにおいて、当該孔４５に対向するランド部３６（図１１中右側のランド部３６）に隣接するランド部３６（図１１中左側のランド部３６）の周縁と比較的離れる。そして、溶融した半田ボール８０は開口４５ａの開口縁から大きくはみ出さないので、溶融された半田ボール８０が図１１中左側の他のランド部３６に付着しにくくなる。そのため、溶融した半田ボール８０によってランド部３６間が電気的に繋がって短絡するのを防ぐことができる。

しかる後、ＦＰＣ５０上に保護プレート４４を接着する。そして、インク導出口３ａと貫通孔４１ａとインク供給口４ａとがそれぞれ連通するようにヘッド本体７０と補強板４１とインクタンク７１との固着工程を行った後、それらをホルダ７２内に収納して固定し、弾性部材７４及びヒートシンク７６を設ける工程を経ることによって、上述したインクジェットヘッド１が完成する。

以上のようなインクジェットヘッド１の製造方法によると、ＦＰＣ５０のベースフィルム４９に形成される孔４５が、距離Ｒ＞底面幅ｄ／２＋厚みｔ／ｔａｎθの式を満たす底面幅ｄ及び傾斜角θを有しているので、対応した各個別電極３５のランド部３６と各導体４８の接合部４６とを溶融した半田ボール８０で接合したときに、図１１に示すように右側のランド部３６に隣接した左側のランド部３６に対して、図１１中右側の接合部４６とランド部３６とを接合する溶融した半田ボール８０が付着するのを抑制することが可能になる。これは、底面幅ｄと傾斜角θで決まる孔４５の形状とその孔４５が形成されるベースフィルム４９の厚みｔとの関係が、上述した距離Ｒ＞底面幅ｄ／２＋厚みｔ／ｔａｎθの式を満たすことで、傾斜角θが大きい孔４５であれば孔４５のベースフィルム４９の下面における開口４５ａが小さい開口面積を有することになり、厚みｔが大きなベースフィルム４９を使用することができるが、傾斜角θが小さい孔であれば孔４５のベースフィルム４９の下面における開口４５ａが大きな開口面積を有することになり、厚みｔが小さいベースフィルム４９を使用することになる。また、孔４５の底面幅ｄが小さい場合においては、厚みｔが大きいベースフィルム４９を使用することができるが、底面幅ｄが大きい場合においては、厚みｔが小さいベースフィルム４９を使用することになる。このように孔４５の形状を決める底面幅ｄと傾斜角θとベースフィルム４９の厚みｔとの関係を上述した距離Ｒ＞底面幅ｄ／２＋厚みｔ／ｔａｎθの式で規定することで、溶融した半田ボール８０が所望ランド部３６以外に付着しにくくなる。さらに、ランド部３６と接合部４６とをそれぞれ接合する半田ボール８０同士が、接触又は連続するように一体化しにくくなる。したがって、個別電極３５間が短絡するのを防ぐことができる。

以上、ＦＰＣ５０の接合部４６と個別電極３５のランド部３６とを接合する場合に、接合部４６と隣接のランド部３６との間で電気的な短絡が生じない構成について説明した。このような、実際に接合が行われる部位間で必要とされる位置関係や、これに用いられるＦＰＣ５０の形態については、必ずしも接合の行われない電極部分とＦＰＣ５０との関係においても同様に考慮することで、さらなる高密度化、高解像度化に対応可能なインクジェットヘッドを製造することができる。

例えば、図７（ｂ）に示したように、本実施の形態では、マトリクス状に配列された圧力室１０に対向するように、個別電極３５の主電極領域３５ａが形成されている。この主電極領域３５ａに対して、当該圧力室１０に隣接する圧力室１０に対応したランド部３６が隣接配置されている。そのため、さらなる高密度化、高解像度化に伴って、このランド部３６に接合部４６を接合するときに、ランド部３６が隣接する別の個別電極３５の主電極領域３５ａと短絡する可能性が高くなる。しかし、上述したような位置関係と形態を満足するＦＰＣ５０を用いることにより、ＦＰＣ５０とヘッド本体７０（アクチュエータユニット２１）との良好な接合ができる。ここにおいては、互いに電気的に導通されるべきランド部３６と接合部４６とが確実に接合されており、一方、互いに電気的に絶縁されるべきこのランド部３６に隣接する別の電極（主電極領域３５ａ）と接合部４６とが確実に離隔された状態にある。これによって、互いに隣接しているが、少なくとも一方は全く接合部位ではない関係にある個別電極３５間の短絡も防ぐことができる。

なお、このときに、上述した各部の位置関係や形態を適用するには、Ｒ値を、接合部４６の孔４５の中心と隣接する孔４５に対向したランド部３６の周縁との距離としたのを、接合部４６の孔４５の中心と隣接する別の電極の周縁との距離に置き換えて考えればよい。さらに、Ｒ値として、接合部４６の孔４５の中心とこの接合部４６に隣接する別の電極の最も近い位置との距離とすることが好適である。また、Ｄ値は、接合部４６の孔４５の中心とこの接合部４６に隣接する別の電極の最も近い位置とを通る仮想直線を想定したときに、この仮想直線が別の電極と重なる部分の長さとする。理想的な接合がなされた場合には、接合部４６の中心とランド部３６の中心とが一致することを考えると、Ｌ値としては、接合部４６が接合するランド部３６の中心と前述した仮想直線が作る重なり部分の中心との距離として考えればよい。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した本実施の形態におけるインクジェットヘッド１の製造方法においては、距離Ｒを算出する式に位置ズレ距離Ｅが含まれていたが、孔４５の中心とランド部３６の中心とが確実に重なってＦＰＣ５０とヘッド本体７０とが接合される場合は、特に距離Ｒを算出する式に位置ズレ距離Ｅを含まなくてもよい。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 図１のII−II線に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。 ヘッド本体の平面図である。 図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図５のVI−VI線における断面図である。 アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。 インクジェットヘッドの製造工程図である。 インクジェットヘッドの製造工程図である。 インクジェットヘッドのＦＰＣの製造工程を示しており、（ａ）はベースフィルムの下面にフォトレジストを形成した状況を示す図であり、（ｂ）はベースフィルムの孔を介して導体の下面に半田ボールを仮接着させる状況を示す図であり、（ｃ）は個別電極のランド部に半田ボールを介して導体を接合する状況を示した図である。 インクジェットヘッドのＦＰＣとヘッド本体とが接合された状況を示す断面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
３５ 個別電極
３６ ランド部（電極）
４５ 孔
４８ 導体
４９ ベースフィルム（基材）
５０ ＦＰＣ
８０ 半田ボール（金属ボール）

Claims (2)

1. 平面に沿って形成された複数の電極と、前記電極とそれぞれ電気的に接続された複数の導体が一方の面に形成された基材とを含んだインクジェットヘッドの製造方法において、
   前記基材の一方の面において前記電極と対向する位置に前記導体を形成する工程と、
   前記基材の一方の面から前記一方の面と平行な前記基材の他方の面に向かって拡大した孔を前記基材に形成する工程と、
   前記他方の面から前記孔を介して露出した前記導体に金属ボールを固着させる工程と、
   前記金属ボールを加熱して溶融するとともに溶融した前記金属ボールを介して前記導体を前記電極に接合する工程とを備えており、
   前記拡大した孔を形成する工程において、前記一方の面における前記孔の開口幅をｄ、前記一方の面における前記孔の開口縁と前記他方の面における前記孔の開口縁とを結ぶ直線と前記一方の面とがなす傾斜角をθ、前記孔の中心と当該孔に対向する前記電極に隣接する他の電極の周縁との距離をＲ、前記基材の厚みをｔとしたときに、Ｒ＞ｄ／２＋ｔ／ｔａｎθを満たすような開口幅ｄ及び傾斜角θを有する前記孔を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 前記距離Ｒは、前記孔と前記他の電極に対向する他の孔との中心間距離をＬ、前記電極の電極幅をＤ、前記導体を前記電極に接合する工程における前記孔の中心と前記電極の中心との位置ズレ距離をＥとしたときに、Ｌ−Ｄ／２−Ｅに等しいことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
   
   
   
   
   
   
   
   

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