JP4534532B2 - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、インクが吐出されるノズルが形成されたノズルプレートの製造方法に関する。

特許文献１には、フィルム状樹脂のフェイス面にラミネート層を形成した後、レーザでオリフィス（ノズル）を形成したオリフィスプレート（ノズルプレート）をヘッド本体に接合して、ラミネート層をオリフィスプレートから剥離して製造された液体吐出ヘッドの製造方法について記載されている。液体吐出ヘッドの製造方法においては、押出成形機から押し出された樹脂が冷却ロールにて冷却されフィルム状樹脂が形成される。そのフィルム状樹脂の一面にレリーフ型で後にオリフィスとなる凹部を形成した後、フィルム状樹脂のフェイス面（フィルム状樹脂の凹部が形成された反対側の面）に撥水層が形成される。撥水層が形成されたフィルム状樹脂のフェイス面にラミネート層がラミネートされた後、凹部の底面にレーザが照射されて凹部の底面にフィルム状樹脂を貫通する貫通孔（オリフィス）が形成されてラミネート層付きオリフィスプレートが製造される。そして、別工程で製造されたヘッド本体にオリフィスプレートが接合された後、ラミネート層が剥離されて液体吐出ヘッドが製造される。このように製造された液体吐出ヘッドは、ラミネート層がラミネートされた状態のフィルム状樹脂にレーザでオリフィスを形成しているので、レーザ加工される際に発生するフィルム状樹脂の残渣がラミネート層の表面に付着することになる。そのため、ラミネート層がオリフィスプレートから剥離されることで、その残渣が一緒にフェイス面から除去されることになる。

特開２００１−７１５１２号公報（第１１−１２頁）

しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法においては、ラミネート層がオリフィスプレートから剥離されるときに、ラミネート層の粘着剤又は接着剤がオリフィスプレートのフェイス面に付着して残る可能性がある。特にオリフィス近傍のフェイス面に粘着剤又は接着剤が付着して残ると、オリフィスからの液体吐出時に、液体の飛翔方向が乱れるという問題がある。また、フェイス面に残った粘着剤又は接着剤を除去するための別工程の作業が必要となる。

そこで、本発明の目的は、ノズル面への粘着成分の付着を抑制するノズルプレートの製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のノズルプレートの製造方法は、ノズルプレートの少なくとも一部を構成する樹脂プレートの一方の面に、粘着性を有しており且つ特定波長領域の電磁波の照射によって粘着力が低下する粘着部材を貼り付ける工程と、前記樹脂プレートの他方の面において前記粘着部材と対向する部分に前記特定波長領域外の波長を有するレーザ光を照射することによって、前記樹脂プレートにノズル孔となる貫通孔を形成する工程と、前記粘着部材に前記特定波長領域内の波長を有する電磁波を照射する工程と、前記樹脂プレートから前記粘着部材を剥離する工程とを備えている。そして、前記貫通孔を形成する工程において、前記樹脂プレートだけでなく前記粘着部材にも貫通孔を形成する。

これにより、粘着部材の粘着力を低下させてから粘着部材を剥離するので、樹脂プレートのインク吐出面となる前記一方の面に粘着成分がほとんど残らない。したがって、ノズル孔からのインクの飛翔方向が安定する。また、粘着成分を除去するための別工程をさらに行う必要がなくなる。また、樹脂プレートをレーザ加工したときに発生した残渣をノズル孔内に残すことなく粘着部材の表面に付着させることができる。そのため、インク吐出面となる前記一方の面に残渣が付着しなくなる。したがって、インクの飛翔方向がさらに安定する。また、粘着部材の粘着力を容易に低下させることが可能となる。また、レーザ加工時に粘着部材の樹脂プレートに対する粘着力が低下しないので、レーザ光によって貫通孔を形成するときに発生する残渣が、粘着部材の表面だけに付着することになり、確実に清浄な面を有する樹脂プレートを得ることができる。

本発明において、前記粘着部材を貼り付ける工程よりも前に、前記樹脂プレートの前記他方の面に、前記樹脂プレートと共に前記ノズルプレートの少なくとも一部を構成し且つ貫通孔を有する支持プレートを固着させる工程をさらに備えており、前記粘着部材を貼り付ける工程において、前記樹脂プレートの前記一方の面において前記支持プレートの前記貫通孔と対向する部分に前記粘着部材を貼り付けることが好ましい。これにより、ノズルプレートの厚みが増して全体的な剛性が向上し、そのハンドリング性が向上する。

また、本発明において、前記粘着部材を貼り付ける工程よりも前に、前記樹脂プレートの前記一方の面を撥水加工する工程をさらに備えていることが好ましい。これにより、インクの飛翔方向がさらに安定する。

また、本発明のノズルプレートの製造方法は、別の観点では、ノズルプレートの少なくとも一部を構成するポリイミド樹脂プレートの一方の面に、撥水層を形成する工程と、前記ノズルプレートの少なくとも一部を構成し且つ貫通孔を有する金属製プレートを準備する工程と、前記ポリイミド樹脂プレートの他方の面に前記金属製プレートを固着させる固着工程と、前記撥水層が形成された前記ポリイミド樹脂プレートの一方の面に紫外線の照射によって重合する紫外線硬化性樹脂を有する粘着部材を貼り付ける工程とを備えている。そして、前記ポリイミド樹脂プレートの他方の面に前記金属製プレートの貫通孔を介してエキシマレーザ光を照射して、前記粘着部材及び前記ポリイミド樹脂プレートに貫通孔を形成する工程と、前記ポリイミド樹脂プレートの一方の面側から前記粘着部材に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を重合させる工程と、前記ポリイミド樹脂プレートから前記粘着部材を剥離する工程とを備えている。

これにより、樹脂プレートをレーザ加工したときに発生した残渣を粘着部材の表面に付着させることができるので、ノズル孔内に残渣がほとんど残らなくなる。粘着部材に紫外線を照射することで紫外線硬化性樹脂が重合してその粘着部材の粘着力が低下するので、ポリイミド樹脂プレートから粘着部材を剥離したときにポリイミド樹脂プレートのインク吐出面となる前記一方の面に粘着成分がほとんど残らない。したがって、ノズル孔からのインクの飛翔方向が安定する。また、粘着成分やレーザ加工による残渣を除去するための別工程をさらに行う必要がなくなる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の一実施形態に係る製造方法によって製造されたノズルプレートが適用されたインクジェットヘッドについて説明する。図１は、本実施の形態によるインクジェットヘッド１の斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図であり、インクジェットヘッドを構成するホルダにヘッド本体が組み付けられた状態を示している。図３は、図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。インクジェットヘッド１は、シリアル式のインクジェットプリンタ（図示略）に用いられて、副走査方向に平行に搬送されてきた用紙に対してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクを吐出して記録するものである。図１及び図２に示すようにインクジェットヘッド１は、４色のインクをそれぞれ貯溜する４つのインク室３が形成されたインクタンク７１と、このインクタンク７１の下方に配置されたヘッド本体７０とを備えている。

インクタンク７１の内部には、４つのインク室３が主走査方向に並んで形成されており、図２中左方のインク室３からマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが順に貯溜されている。これら４つのインク室３は、対応するインクカートリッジ（図示せず）がチューブ４０（図１参照）によってそれぞれ接続されており、インクカートリッジからインク室３に各色のインクが供給されるようになっている。また、図２及び図３に示すようにインクタンク７１が、平面矩形形状の補強板４１に組み付けられている。この補強板４１は、略直方体形状を有するホルダ７２に紫外線型硬化剤４３で固着されている。さらに、この補強板４１には図３に示すように、平面形状が長方形形状の開口部４２が形成されており、この開口部４２内に後述のアクチュエータユニット２１を配置するようにしてヘッド本体７０が接着固定されている。インクタンク７１の下端部には、４つのインク室３にそれぞれ連通する４つのインク導出口３ａが形成されている。一方、補強板４１には、図３に示すように、４つのインク導出口３ａとそれぞれ連なる平面形状が楕円形状の４つの貫通孔４１ａが形成されている。

ヘッド本体７０は、それぞれの色ごとに複数のインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成であり、これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１はインクタンク７１の下方に配置されている。流路ユニット４の上面には、平面形状が楕円形状の４つのインク供給口４ａ（図４参照）が形成されている。また、図３に示すように補強板４１には、補強板４１に形成された貫通孔４１ａと流路ユニット４に形成されたインク供給口４ａとがそれぞれ連なるようにして流路ユニット４が接着されている。この構成により、インクタンク７１内の４種類のインクが、インクタンク７１に形成された４つのインク導出口３ａ及び補強板４１に形成された４つの貫通孔４１ａを通ってそれぞれに対応する流路ユニット４の４つのインク供給口４ａから流路ユニット４内に供給されている。

また、ヘッド本体７０は、流路ユニット４のインク吐出面７０ａを外部に露出する状態で、補強板４１がホルダ７２の下面に形成された段付き状の開口部７２ａに装着されており、ホルダ７２と流路ユニット４との間はシール剤７３により封止されている。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接合され主走査方向の一方に引き出されるとともに、屈曲しながら上方に引き出されている。ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分における上面には、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を保護する保護プレート４４が貼付されている。

アクチュエータユニット２１に接合されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材７４を介してインクタンク７１の側面に沿うように引き出され、このＦＰＣ５０上にドライバＩＣ７５が設置されている。一方で、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ７５から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、ハンダ付けによって電気的に接合されている。

図２において、ホルダ７２のドライバＩＣ７５に対向する側壁には、ドライバＩＣ７５の熱を外部に放散する為の開口部７２ｂが形成されている。さらに、ドライバＩＣ７５とホルダ７２の開口部７２ｂとの間には、略直方体形状のアルミ板からなるヒートシンク７６がドライバＩＣ７５に密着するように配置されている。これらヒートシンク７６及び開口部７２ｂにより、ドライバＩＣ７５で発生した熱を効率的に散逸させることができる。また、開口部７２ｂ内には、ホルダ７２の側壁とヒートシンク７６の隙間を埋めるためのシール剤７７が配置されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。

図４は、ヘッド本体７０の平面図である。図４に示すように、ヘッド本体７０は流路ユニット４の一方向（副走査方向）に延在した矩形平面形状を有している。図４において、流路ユニット４内には、流路ユニット４の長手方向（一方向）に沿って互いに平行に延在された４つのマニホールド流路５が形成されている。これらマニホールド流路５には、流路ユニット４の４つのインク供給口４ａを通じてインクタンク７１のインク室３からそれぞれインクが供給される。本実施の形態では、図４中の４つのマニホールド流路５は上方から下方に向かって順にマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックに対応するマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋとなっている。これら４つのマニホールド流路５Ｍ，５Ｙ，５Ｃ，５Ｋのうち、３つのマニホールド流路５Ｍ，５Ｙ，５Ｃは流路ユニット４の幅方向（主走査方向）において等間隔に配置されており、マニホールド流路５Ｋは３つのマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃの配置間隔より大きい配置間隔でマニホールド流路５Ｃから離隔された位置（図４中流路ユニット４の下方位置）に形成されている。また、流路ユニット４の上面であって４つのインク供給口４ａを覆う位置には、フィルタ部材４５が配置されている。フィルタ部材４５は、各インク供給口４ａと重なる位置に複数の微小孔が形成されたフィルタ４５ａを有している。こうして、インクタンク７１から流路ユニット４内に流通するインク内のゴミなどがフィルタ部材４５のフィルタ４５ａによって捕獲される。

流路ユニット４の上面には、平面形状が長方形形状のアクチュエータユニット２１が、インク供給口４ａを避けたほぼ中央部分に接着されている。アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着領域と対応する流路ユニット４の下面は、多数のノズル８（ノズル孔）が配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の接着領域には、マトリクス状に配列された多数の圧力室１０（図６参照）及び空隙６０（図５参照）が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１はすべての圧力室１０及び空隙６０に跨る寸法を有している。

図５は、図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。流路ユニット４には、多数の圧力室１０がマニホールド流路５と平行に配列された１６本の圧力室列１１と、多数の空隙６０が圧力室列１１と平行に配列された４本の空隙列６１とが形成されている。１６本の圧力室列１１は、隣接して形成された４本の空隙列６１の集団によって、１２本の集団と４本の集団とに隔てられている。図５に示すように、圧力室１０及び空隙６０は平面形状及びサイズが同じである。多数の圧力室１０及び空隙６０は、両者を区別のないものと考えたときに、流路ユニット４において１つの配列パターンが形成されるように規則的に配列されている。

流路ユニット４に形成された圧力室１０は、角部にアールが施された菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向（主走査方向）に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通している。これにより、各マニホールド流路５には、ノズル８に連通して圧力室１０毎に形成された多数の個別インク流路７（図６参照）が接続されている。図５には、図面を分かりやすくするために流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１３及びノズル８等を実線で描いている。

図６は、個別インク流路を示す断面図であり、図５に示すVI−VI線に沿った断面図である。図６から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャ（すなわち絞り）１３を介してマニホールド流路５と連通している。すなわち、マニホールド流路５の出口からアパーチャ１３、圧力室１０を経てノズル８に至る１つの流路が構成されている。このようにして、ヘッド本体７０には、個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。

ヘッド本体７０は、図６に示すように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、マニホールドプレート２５，２６、ダンパプレート２７、ノズルプレート２８の合計８枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた７枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図７参照）が積層され、そのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０及び空隙６０を構成する菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲（接着領域）内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。

アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２５，２６は、マニホールド流路５に加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。

ダンパプレート２７は、各マニホールド流路５のすぐ下に位置するダンパ溝２７ａと、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。なお、ダンパ溝２７ａは、ダンパプレート２７のスペーサプレート２９（後述する）に対向する面（ダンパプレート２７の図６中下面）にハーフエッチングで凹設されており、各マニホールド流路５に対応するように流路ユニット４の長手方向に延在されている。このダンパ溝２７ａによってインク吐出時に圧力室１０で発生した圧力変動がマニホールド流路５に伝搬しても、ダンパ溝２７ａの底面部（図６中ダンパ溝２７ａとマニホールド流路５とで挟まれた部分）が弾性変形して振動することによってその圧力変動を吸収減衰させることができる。

ノズルプレート２８は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔（貫通孔）２９ａがそれぞれ設けられた金属製のスペーサプレート（支持プレート）２９と、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８となる孔（貫通孔）がそれぞれ設けられた樹脂プレート３０とが積層されて構成されている。つまり、ノズルプレート２８は異なる材料からなる２枚のプレート２９，３０が積層されたコンポジットプレートとなっている。樹脂プレート３０には、インク出口の直径が約２０μｍのノズル８が形成されている。図６に示すようにノズル８の断面形状は、インク出口部分が先細りとなるようにテーパー形状に形成されている。このようにノズル８がインク出口に向かって先細り形状にされていることで、インク吐出圧を高める絞り機能を有することとなり、インクの吐出速度が速められる。また、樹脂プレート３０には、撥水膜（撥水層）３０ａが樹脂プレート３０の下面全体に均一な厚みを有するように形成されており、この撥水膜３０ａの表面がインク吐出面７０ａとなる。この撥水膜３０ａによってノズル８から吐出されたインクがインク吐出面７０ａに付着しにくくなる。本実施の形態における樹脂プレート３０はポリイミド樹脂からなるが、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリベンズイミダゾール、ポリアセタール、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレン、ポリエーテルケトンなどの樹脂からなる樹脂プレートであってもよい。

これら８枚のプレート２１〜２８は、図６に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、マニホールド流路５からまず上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。なお、流路ユニット４を構成する７枚のプレートのうち、ノズルプレート２８を除く６枚のプレート２２〜２７は、本実施の形態において、同一金属材料から構成されており、ＳＵＳ４３０が使用されているが、ＳＵＳ３１６や４２合金などの金属材料であってもよい。また、ノズルプレート２８のスペーサプレート２９も上述した６枚のプレート２２〜２７と同じＳＵＳ４３０からなる。また、各プレート２２〜２７，２９が異なる金属材料から構成されていても良い。

図６から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。

図５に戻って、各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通していると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通している。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図７参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図５には、図面を簡略にするために、複数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。

また、キャビティプレート２２に形成された複数の空隙６０は、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれることによって画定されている。そのため、空隙６０にはインク流路が接続されておらず、複数の空隙６０はインクで満たされることがない。複数の空隙６０は、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向に千鳥状配列パターンでマトリクス状に隣接配置されている。複数の空隙６０は、互いに平行な４列の空隙列６１を形成しており、それら４列の空隙列６１によって空隙群６２が構成されている。この空隙群６２を挟むようにして複数の圧力室１０が流路ユニット４に形成されている。

なお、本実施の形態では、圧力室１０も空隙６０もその形状、サイズ、配置状態に区別なく形成されている。そして、全体的には、圧力室１０と空隙６０とが、配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向に千鳥状配列パターンでマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向（一方向）、すなわち流路ユニット４の延在方向であって、圧力室１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす圧力室１０の一斜辺方向である。

配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って解像度に対応した間隙を介して配置されている。例えば、本実施の形態では、ノズル８は１５０ｄｐｉの解像度による印字を可能とするため、隣接する圧力室１０は配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔されている。

圧力室１０は、アクチュエータユニット２１内において、配列方向Ｂに沿って４つの空隙６０を挟むようにして１６個並べられているとともに、図５の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に沿って２つの空隙６０を挟むようにして８個並べられている。

マトリクス状に配置された多数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、１６列の圧力室列１１を形成している。１６列の圧力室列１１は、第３の方向から見て、各マニホールド流路５との相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の幅方向（主走査方向）における一方から他方（図５中上方から下方）に向けて、１１ｃ→１１ａ→１１ｄ→１１ｂ→１１ｃ→１１ａ→・・１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。これら周期的に配置されて隣接した第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄが１つの圧力室列群１２を形成している。各圧力室列群１２の圧力室１０が各マニホールド流路５とそれぞれアパーチャ１３を介して連通している。つまり、各圧力室列群１２はマニホールド流路５毎に形成されているため、４つの圧力室列群１２は４色のインクに対応するように圧力室列群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋとなっている。これら４つの圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋのそれぞれに属する圧力室１０がアクチュエータユニット２１によって容積変化されることで４色のインクを各圧力室列群１２に属する圧力室１０と連通したノズル８から吐出することが可能になる。

第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在しているとともにそれぞれ対応する圧力室１０の下端部の左側付近と隣接している。一方、第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図４の紙面上側に偏在しているとともに、それぞれ対応する圧力室１０の上端部の右側付近と隣接している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、マニホールド流路５と重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃのほぼ全領域が、マニホールド流路５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８がマニホールド流路５ａと重ならないようにしつつ、マニホールド流路５の幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０と同じ配列パターンで多数の個別電極３５がマトリクス状に配置されている。各個別電極３５は、平面視において圧力室１０と対向する位置に配置されている。このように複数の圧力室１０及び個別電極３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。

図７は、アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。なお、図７（ａ）においては各個別電極３５と電気的に接続されたＦＰＣ５０を２点鎖線で描いている。図７（ａ）、（ｂ）に示すように、個別電極３５は圧力室１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１０の平面領域内に形成された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０の平面領域外に形成された補助電極領域３５ｂとから構成されている。

図７（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、ヘッド本体７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。

最上層の圧電シート４１上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図７（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける図７（ｂ）中左側の一鋭角部は、圧力室１０の一鋭角部と重なる領域に延出され、補助電極領域３５ｂとつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド部３６が設けられている。図７（ｂ）に示すように、ランド部３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図７（ａ）に示すように、補助電極領域３５ｂにおける表面上に形成されている。

最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、圧電シート４１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。

共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。

ＦＰＣ５０は、図７（ａ）に示すように、ベースフィルム４９と、その下面に形成された複数の導体パターン４８と、ベースフィルム４９の下面のほぼ全体を覆うカバーフィルム５２と、を含む。ベースフィルム４９は略２５μｍ、導体パターン４８は略９μｍ、カバーフィルム５２は略２０μｍの厚みをそれぞれ有する。カバーフィルム５２には、導体パターン４８より小さな面積の貫通孔５３が、複数の導体パターン４８のそれぞれに対応するように、複数形成されている。ベースフィルム４９、導体パターン４８、及び、カバーフィルム５２は、各貫通孔５３の中心と導体パターン４８の中心とが対応し、導体パターン４８の外周縁部分がカバーフィルム５２に覆われるよう、互いに位置合わせして積層される。ＦＰＣ５０の端子４６は、貫通孔５３を介して、導体パターン４８と接続されている。

ベースフィルム４９及びカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシート部材である。本実施形態において、ベースフィルム４９はポリイミド樹脂からなり、カバーフィルム５２は感光性材料からなる。このようにカバーフィルム５２を感光性材料から構成することで、多数の貫通孔５３を形成するのが容易になる。

導体パターン４８は、銅箔により形成されている。導体パターン４８は、ドライバＩＣ７５と接続された配線であり、ベースフィルム４９の下面において、所定のパターンを形成している。

端子４６は、例えばニッケルなどの導電性材料から構成されている。端子４６は、貫通孔５３を塞ぐと共に、貫通孔５３の外側周縁を覆い、カバーフィルム５２の下面より突出して形成されている。端子４６の径は略５０μｍ、カバーフィルム４０下面からの厚みは略３０μｍである。

ＦＰＣ５０は多数の端子４６を有し、各端子４６はそれぞれ１つのランド部３６と対応するよう構成されている。したがって、各ランド部３６と電気的に接続された各個別電極３５は、それぞれＦＰＣ５０における独立した導体パターン４８を介してドライバＩＣ７５に接続される。これにより、圧力室１０ごとに電位を制御することが可能となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

本実施の形態では、圧電シート４１において個別電極３５と共通電極３４とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性部として働く。一方、圧電シート４１の下方にある３枚の圧電シート４２〜４４は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性部としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート４１において主に主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。

一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図７（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４４で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路５側から吸い込む。

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド流路５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル８からインクが吐出されると共に、インクジェットヘッド１が適宜、主走査方向に移動され用紙に所望画像が印刷される。

次に、上述したインクジェットヘッド１の製造方法について、図８を参照しつつ説明する。図８は、インクジェットヘッド１の製造工程図である。

インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１などの部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット４を作製する。流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜２８のうち、ノズルプレート２８を除く各プレート２２〜２７に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチング及びハーフエッチングを施して、図６に示すような孔又はダンパ溝２７ａとなる凹部を各プレート２２〜２７に形成する。そして、後述するようにノズルプレート２８に撥水膜３０ａを形成し、エキシマレーザで複数のノズル８を形成した後、個別インク流路７が形成されるように位置合わせされた７枚のプレート２２〜２８を、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。そして、７枚のプレート２２〜２８を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して７枚のプレート２２〜２８が互いに固着され、図６に示すような流路ユニット４が得られる。このとき、ノズルプレート２８の樹脂プレート３０を除く各プレート２２〜２７，２９が同一の金属材料で形成されているので、各プレート２２〜２７，２９の線膨張係数が同じになるため、流路ユニット４が一方に反らない。なお、ノズルプレート２８の樹脂プレート３０は、予めスペーサプレート２９と固着された状態で、他の６枚のプレート２２〜２７と接着されて加圧及び加熱されているので、樹脂プレート３０が他のプレート２２〜２７，２９と形成材料が異なるにも拘わらず、他のプレート２２〜２７，２９と同じように延びる。

一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシートを複数用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうちの一部のグリーンシート上に、導電性ペーストを共通電極３４のパターンにスクリーン印刷する。そして、治具を用いてグリーンシート同士を位置合わせしつつ、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを２枚重ね合わせる。

そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、４枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４４となり、導電性ペーストが共通電極３４となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を個別電極３５上に印刷して、ランド部３６を形成する。このようにして、図７に描かれたようなアクチュエータユニット２１を作製することができる。

変形例として、個別電極３５及びランド部３６が形成されていないアクチュエータユニット（本明細書において、このようなものを便宜上アクチュエータユニットということがある）と流路ユニット４との加熱接着後に、アクチュエータユニット上に導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷し、さらに加熱処理を行ってもよい。また、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷したグリーンシートを用意し、その下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを２枚重ね合わせた積層体に加熱処理を施してもよい。

なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット４の圧力室に相当する凹部が多数形成された面に、熱硬化温度が８０℃程度であるエポキシ系の熱硬化性接着剤を、バーコーターを用いて塗布する。熱硬化性接着剤としては、例えば二液混合タイプのものが用いられる。

続いて、ステップ５において、流路ユニット４に塗布された熱硬化性接着剤層状に、アクチュエータユニット２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２１は、活性部と圧力室１０とが対向するように流路ユニット４に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ３）において流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。

次に、ステップ６（Ｓ６）において、流路ユニット４と、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間の熱硬化性接着剤と、アクチュエータユニット２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する。そして、ステップ７（Ｓ７）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。こうして、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とで構成されたヘッド本体７０が製造される。

しかる後、ＦＰＣ５０の接着工程を行った後、ＦＰＣ５０上に保護プレート４４を接着する。そして、インク導出口３ａと貫通孔４１ａとインク供給口４ａとがそれぞれ連通するようにヘッド本体７０と補強板４１とインクタンク７１との固着工程を行った後、それらをホルダ７２内に収納して固定し、弾性部材７４及びヒートシンク７６を設ける工程を経ることによって、上述したインクジェットヘッド１が完成する。

続いて、上述した流路ユニット４の一部を構成するノズルプレート２８の製造方法の詳細について以下に説明する。図９は、本実施の形態によるノズルプレート２８の製造方法の製造工程を示しており、（ａ）は樹脂プレートの片面に保護シートが貼り付けられた状態を示す図であり、（ｂ）は樹脂プレートに撥水膜を形成したときの状況を示す図であり、（ｃ）はスペーサプレートと樹脂プレートとを固着した状況を示す図であり、（ｄ）は撥水膜に粘着部材を貼り付けた状況を示す図であり、（ｅ）は樹脂プレートにノズルとなる孔を形成する状況を示した図である。図１０は、本実施の形態によるノズルプレート２８の製造方法の製造工程を示しており、（ａ）は粘着部材に紫外線を照射した状態を示す図であり、（ｂ）は樹脂プレートから粘着部材を剥離した状態を示す図である。

まず、ノズルプレート３０を製造するには、図９（ａ）に示すように、ポリイミド樹脂からなる樹脂プレート３０の一面（図９（ａ）においては樹脂プレート３０の上面）全体に保護シート７８が貼り付けられた状態にする。樹脂プレート３０の上下面の両方には、予め２枚の保護シートが貼り付けられた状態となっており、樹脂プレート３０の上下面に傷が付かないように保護されている。したがって、ここでは樹脂プレート３０の下面側の保護シートだけを剥がすことで、樹脂プレート３０の上面にだけ保護シート７８が貼り付けられた状態となる。

次に、図９（ｂ）に示すように、樹脂プレート３０の下面にだけ撥水膜３０ａを形成する。本実施の形態における撥水膜３０ａの形成は、樹脂プレート３０の下面に対して撥水膜３０ａをスプレーコーティングにより付着させた後、仮乾燥を行っているが、例えば、ディッピング法、転写法、水面展開膜の転写、キャストコーティング、ブレードコーティングなどから適宜選択して撥水膜３０ａを樹脂プレート３０の下面に付着させた後、仮乾燥を行って撥水膜３０ａを形成してもよい。また、本実施の形態における撥水膜３０ａは、溶剤可溶性含フッ素重合体で非結晶となっているが、例えば、サイトップ（旭硝子社の登録商標）のような溶媒可溶性含フッ素重合体、ポリジバーフルオロアルキルフマレート、テフロンＡＦ（デュポン社の登録商標）、あるいは、ビニルエーテルと三フッ化塩化エチレンとの交互共重合体、スチレンとジパーフルオロアルキルフマレートとの交互共重合体、ビニルエステルと四フッ化エチレンとの交互共重合体などの含フッ素エチレンとビニルエステルとの交互共重合体もしくはその類似体ないし誘導体を適用してもよい。なお、撥水膜３０ａが樹脂プレート３０の下面に付着しにくい場合は、樹脂プレート３０の下面に対して、プライマー処理、プラズマ処理、コロナ処理、オゾン処理などのいずれかの下地処理を適宜選択して行うことで、撥水膜３０ａと樹脂プレート３０の下面との付着力を向上させることが好ましい。

次に、撥水膜３０ａが形成された樹脂プレート３０を、スペーサプレート２９と同じ平面形状となるように切り取る。そして、切り取られた樹脂プレート３０の外観検査を行う。

次に、予め連絡孔２９ａがエッチングにて形成されたスペーサプレート２９の一面（図９（ｃ）においてはスペーサプレート２９の下面）全体にオゾン処理又はコロナ処理を行い、スペーサプレート２９の下面に熱硬化性接着剤を塗布して準備する。そして、図９（ｃ）に示すように、樹脂プレート３０の上面に貼り付けられた保護シート７８を樹脂プレート３０から剥離した後に、スペーサプレート２９と樹脂プレート３０とを位置合わせしつつスペーサプレート２９を樹脂プレート３０の上面に熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。そして、各プレート２９，３０を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して各プレート２９，３０が互いに固着する。このように、スペーサプレート２９と樹脂プレート３０とが固着することで、ノズルプレート２８の厚みが増し全体的な剛性が向上する。そのため、流路ユニット４を形成するときに、ノズルプレート３０のハンドリング性が向上する。

変形例として、スペーサプレート２９と同じ平面形状に切り取られた樹脂プレート３０とスペーサプレート２９とを熱硬化性接着剤を介して重ね合わせ、熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加圧しつつ加熱して、各プレート２９，３０とを互いに固着させる。そして、樹脂プレート２９のスペーサプレート２９と固着した反対側の面に、上述と同様な撥水膜３０ａを形成してもよい。

次に、図９（ｄ）に示すように連絡孔２９ａと対向する部分であって撥水膜３０ａの表面（インク吐出面７０ａとなる面）に粘着部材８０を貼り付ける。粘着部材８０は、可撓性及び透過性を有する基材８１と、基材８１の撥水膜３０ａ側の面にコーティングされた粘着剤８２とを有している。基材８１は厚みが約２５μｍのポリエステルフィルムからなる。粘着剤８２は、光開始剤、架橋剤及びその他添加剤が配合された紫外線硬化性樹脂とアクリル系粘着剤とが所定割合で混合されたものであり、後述するように樹脂プレート３０にノズルとなる孔を形成するときに撥水膜３０ａから剥がれない程度の粘着力を有している。

次に、図９（ｅ）に示すように、樹脂プレート３０のスペーサプレート２９の連絡孔２９ａに対向する部分に、連絡孔２９ａを通過させたエキシマレーザ光８８を照射する。このとき、エキシマレーザ光８８は、ノズル８となる孔が樹脂プレート３０、撥水膜３０ａ及び粘着部材８０を貫通して形成され、且つノズル８となる孔の断面が先細りテーパ形状となるように図示しないレーザ光発生装置から照射されている。すわなち、エキシマレーザ光８８はレーザ光発生装置からエキシマレーザ光８８の照射時間及び照射角度が適宜決められて照射されている。このようにして形成されたノズル８となる孔は、樹脂プレート３０において、スペーサプレート側の開口８ａの直径が約４５μｍとなり、撥水膜３０ａ側の開口８ｂの直径が約２０μｍとなっている。また、ノズル８となる孔近傍の粘着部材８０の表面には、エキシマレーザ加工の際に発生する樹脂プレート３０の残渣８５が付着する。なお、エキシマレーザ光８８の波長は２４８ｎｍとなっているので、エキシマレーザ光８８によって後述のように粘着部材８０の粘着剤８２が重合することがない。そのため、エキシマレーザ加工時に粘着部材８０の樹脂プレート３０に対する粘着力が低下せず、さらにエキシマ加工性を粘着部材が有するので、エキシマレーザ光８８によって樹脂プレート３０だけでなく粘着部材８０にもノズル８となる孔を形成しやすくなる。また、発生した残渣８５が粘着部材８０の表面だけに付着することになるので、粘着部材８０を後述するように剥離することで、確実に清浄な面を有する樹脂プレート３０を得ることができる。

次に、図１０（ａ）に示すように高圧水銀ランプの紫外線照射装置（不図示）を用いて、粘着部材８０の基材８１側から粘着部材８０に対して、波長が２５０〜４００ｎｍの紫外線８９を照射する。このときの紫外線８９の波長が２５０〜４００ｎｍの領域となっているが、最も強く照射されている紫外線８９の波長は３５０ｎｍ付近の領域である。このような紫外線８９が照射された粘着部材８０は波長が３５０ｎｍ付近の紫外線８９によって粘着剤８２が硬化するので、その粘着力がほとんどなくなった状態となる。なお、エキシマレーザ光８８の波長（２４８ｎｍ）が紫外線８９の下限値の波長（２５０ｎｍの波長）と近い波長になっているが、本実施の形態における粘着部材８０の粘着剤８２は波長が３５０ｎｍ付近の紫外線８９によって硬化するので、エキシマレーザ光８８で粘着剤８２が硬化することがない。粘着剤８２は、それに含まれた光開始剤が紫外線８９の照射によって励起し、この励起エネルギーによって紫外線硬化性樹脂がモノマーからポリマーに転換するときに、紫外線硬化性樹脂がアクリル系粘着剤を取り込みながら重合して硬化するので、粘着剤８２の粘着力を特定波長領域（３５０ｎｍ付近の波長）の紫外線８９で容易に低下させることが可能となる。そのため、粘着剤８２の粘着力がほとんど失われた状態にすることができる。そして、図１０（ｂ）に示すように粘着力がほとんどなくなった状態の粘着剤８２を粘着部材８０とともに撥水膜３０ａから剥離する。このとき、粘着部材８０の表面に付着した残渣８５も除去されることになる。こうして、図１０（ｂ）に示すようなノズル８が形成されたノズルプレート２８の製造が完了する。

以上のようなインクジェットヘッド１のノズルプレート２８の製造方法によると、樹脂プレート３０をエキシマレーザ光８８でレーザ加工したときに発生した樹脂プレート３０の残渣８５を粘着部材８０の表面（図９（ｅ）においては粘着部材８０の下面）に付着させることができる。つまり、照射されたエキシマレーザ光８８が樹脂プレート３０、撥水膜３０ａ及び粘着部材８０を貫通したときの出口（ノズル８となる孔の出口）近傍の表面が粘着部材８０の表面になっているので、エキシマレーザ光８８とともにその出口から樹脂プレート３０の残渣８５が出てきても付着する表面が粘着部材８０の表面となる。残渣８５が付着した粘着部材８０はノズルプレート２８から剥離されるので、残渣８５もともに除去されることになる。そのため、ノズルプレート２８のインク吐出面７０ａに樹脂プレート３０の残渣８５が付着することがなくなる。さらに、粘着部材８０の粘着力のもとになる粘着剤８２が特定波長領域を有する紫外線８９の照射によって硬化しその粘着力をほとんど失うので、樹脂プレート３０の撥水膜３０ａから粘着部材８０が剥離されたときに、粘着剤８２が撥水膜３０ａの表面にほとんど残らず、粘着部材８０とともに剥離される。したがって、ノズルプレート２８のインク吐出面７０ａには、残渣８５や粘着剤８２が残らないため、ノズル８からのインクの飛翔方向が残渣８５や粘着剤８２によって変化されることがなくなり、ノズル８からの安定したインク飛翔を実現することができる。また、ノズルプレート２８のインク吐出面７０ａに残渣８５や粘着剤８２が付着していないので、残渣８５や粘着剤８２の付着物を除去する別工程を行う必要がなくなる。

また、ノズルプレート２８の樹脂プレート３０の表面には、撥水膜３０ａが形成されているので、インク出口となるノズル８近傍のインク吐出面７０ａにインクが付着しにくくなる。そのため、ノズル８からのインクの飛翔方向がさらに安定する。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した本実施の形態におけるノズルプレート２８の製造方法においては、エキシマレーザ光８８によってノズル８となる孔をノズルプレート２８に形成するときに、粘着部材８０も貫通させてその孔を形成しているが、粘着部材８０の基材８１を貫通しない程度のエキシマレーザ光でノズル８となる孔をノズルプレート２８に形成してもよい。つまり、ノズル８となる孔は所定の開口径を有して樹脂プレート３０と撥水膜３０ａさえ貫通しておれば、粘着部材８０を剥離させたときにノズル８となる。また、上述のように粘着部材８０を完全に貫通していなくても、エキシマレーザ加工時に生じる樹脂プレート３０の残渣は粘着部材８０に形成された貫通しない穴に付着することになるので、ノズル８の内周面やインク吐出面７０ａにその残渣が付着することがほとんどない。したがって、ノズル８からのインクの飛翔方向が安定する。

また、上述した本実施の形態におけるノズルプレート２８の製造方法において、粘着部材８０の粘着剤８２は紫外線硬化性樹脂が含まれているので、粘着部材８０に紫外線８９を照射することで、その粘着力が低下しているが、粘着剤がエキシマレーザ光には感度がなくて紫外線硬化性樹脂以外のγ線、Ｘ線、可視光線及び赤外線などの特定波長領域によって硬化する硬化性樹脂又は加熱することで硬化する樹脂を含んでいてもよい。これにより、上述した紫外線硬化性樹脂を含んだ粘着剤８２と同様に特定波長領域の電磁波を粘着剤に照射又は粘着部材を加熱することで、その粘着力がほとんどなくなり、容易にノズルプレートから剥離することが可能になる。したがって、上述と同様な効果を得ることができる。また、樹脂プレート３０の厚みを増やせば、スペーサプレート２９を樹脂プレート３０に固着させなくても、樹脂プレートのハンドリング性は向上する。また、スペーサプレート２９がなくてもよい。また、レーザ光はエキシマレーザ光以外であってもよいし、またレーザ光の波長が紫外線領域の波長でもよく、レーザ加工時に粘着部材の粘着剤が硬化して、その粘着剤の粘着力がノズルプレートから粘着部材が剥がれない程度に低下してもよい。また、ノズルプレート２８は２枚のプレート２９，３０から構成されるだけでなく、３枚以上のプレートから構成されていてもよい。また、樹脂プレート３０に撥水膜３０ａを形成する撥水加工をしなくてもよい。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 図１のII−II線に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。 ヘッド本体の平面図である。 図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図５のVI−VI線における断面図である。 アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。 インクジェットヘッドの製造工程図である。 本発明の一実施形態によるノズルプレートの製造方法の製造工程を示しており、（ａ）は樹脂プレートの片面に保護シートが貼り付けられた状態を示す図であり、（ｂ）は樹脂プレートに撥水膜を形成したときの状況を示す図であり、（ｃ）はスペーサプレートと樹脂プレートとを固着した状況を示す図であり、（ｄ）は撥水膜に粘着部材を貼り付けた状況を示す図であり、（ｅ）は樹脂プレートにノズルとなる孔を形成する状況を示した図である。 本発明の一実施形態によるノズルプレートの製造方法の製造工程を示しており、（ａ）は粘着部材に紫外線を照射した状態を示す図であり、（ｂ）は樹脂プレートから粘着部材を剥離した状態を示す図である。

１ インクジェットヘッド
８ ノズル
２８ ノズルプレート
２９ スペーサプレート（支持プレート）
２９ａ 連絡孔（貫通孔）
３０ 樹脂プレート（ポリイミド樹脂プレート）
３０ａ 撥水膜（撥水層）
７０ａ インク吐出面
８０ 粘着部材
８２ 粘着剤
８８ エキシマレーザ光
８９ 紫外線

Claims (4)

1. ノズルプレートの少なくとも一部を構成する樹脂プレートの一方の面に、粘着性を有しており且つ特定波長領域の電磁波の照射によって粘着力が低下する粘着部材を貼り付ける工程と、
   前記樹脂プレートの他方の面において前記粘着部材と対向する部分に前記特定波長領域外の波長を有するレーザ光を照射することによって、前記樹脂プレートにノズル孔となる貫通孔を形成する工程と、
   前記粘着部材に前記特定波長領域内の波長を有する電磁波を照射する工程と、
   前記樹脂プレートから前記粘着部材を剥離する工程とを備え、
   前記貫通孔を形成する工程において、前記樹脂プレートだけでなく前記粘着部材にも貫通孔を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
2. 前記粘着部材を貼り付ける工程よりも前に、前記樹脂プレートの前記他方の面に、前記樹脂プレートと共に前記ノズルプレートの少なくとも一部を構成し且つ貫通孔を有する支持プレートを固着させる工程をさらに備えており、
   前記粘着部材を貼り付ける工程において、前記樹脂プレートの前記一方の面において前記支持プレートの前記貫通孔と対向する部分に前記粘着部材を貼り付けることを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
3. 前記粘着部材を貼り付ける工程よりも前に、前記樹脂プレートの前記一方の面を撥水加工する工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズルプレートの製造方法。
4. ノズルプレートの少なくとも一部を構成するポリイミド樹脂プレートの一方の面に、撥水層を形成する工程と、
   前記ノズルプレートの少なくとも一部を構成し且つ貫通孔を有する金属製プレートを準備する工程と、
   前記ポリイミド樹脂プレートの他方の面に前記金属製プレートを固着させる固着工程と、
   前記撥水層が形成された前記ポリイミド樹脂プレートの一方の面に紫外線の照射によって重合する紫外線硬化性樹脂を有する粘着部材を貼り付ける工程と、
   前記ポリイミド樹脂プレートの他方の面に前記金属製プレートの貫通孔を介してエキシマレーザ光を照射して、前記粘着部材及び前記ポリイミド樹脂プレートに貫通孔を形成する工程と、
   前記ポリイミド樹脂プレートの一方の面側から前記粘着部材に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を重合させる工程と、
   前記ポリイミド樹脂プレートから前記粘着部材を剥離する工程とを備えていることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
   

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